Curriculum Vitae Lilienhof

Curriculum Vitae
Prof. Dr.-Ing. Hans-J. Lilienhof
Westfälische Hochschule
Fachbereich Elektrotechnik und angewandte Naturwissenschaften
Neidenburger Str. 43
45877 Gelsenkirchen
Telefon 0209 9596526
FAX
0209 9596549
Mail
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Hans-Joachim Lilienhof wurde 1951 geboren. Er studierte Physik an der Universität
Dortmund und schloss sein Studium mit einer Diplomarbeit aus dem Gebiet der
Festkörperphysik über ´Laserinduzierte Hochanregungseffekte´ 1979 ab. Danach wechselte
er an die FernUniversität in Hagen als wissenschaftlicher Mitarbeiter an den Lehrstuhl für
optische Nachrichtentechnik. Hier beschäftigte er sich mit der Entwicklung einer Technologie
zur Herstellung integriert-optischer Komponenten für die optische Übertragungstechnik. In
dieser Zeit entwickelte und implementierte er Prozesse zur Herstellung dieser
Komponenten, in dem Verfahren der Fotolithographie, der Dünnschichttechnik und der
optischen Messtechnik eingesetzt wurden. Mit diesen Arbeiten promovierte er 1983 auf
dem Gebiet der Mikrotechnologie zum Dr.-Ing. der Elektrotechnik.
Nach der Promotionszeit wechselte er an den Lehrstuhl für Hochfrequenztechnik der
Technischen Universität nach Dortmund und war verantwortlich für den Bereich der
Technologieentwicklung für integriert-optische Komponenten auf Basis von Glas. Zu den
Tätigkeiten gehörte die Konzeption und Implementierung eines Reinraumes mit
entsprechender Geräteausrüstung in Fotolithographie, chemischer und physikalischer
Beschichtungstechnik und entsprechender Messtechnik, als auch die Entwicklung
mikrotechnischer Komponenten für die optische Übertragungstechnik. In dieser Zeit fertigte
er auch für das damalige noch in Bonn sitzende Postministerium verschiedene Studien im
Bereich der gerade aufkommenden modernen Kommunikationsmedien an.
Im Jahre 1988 gründete er im Technologiepark Dortmund die HL Planartechnik GmbH (heute
MEAS Deutschland GmbH), die er als geschäftsführender Gesellschafter bis 1996 führte. HL
Planartechnik GmbH war ein führendes Unternehmen auf dem Gebiet der Dünnschichtsensorik
und mit einer der technologischen Unternehmensgründungen im Technologiepark Dortmund.
Es entwickelt, produziert und vertreibt Sensoren und Komponenten, hergestellt mit Verfahren
der Mikrostrukturierung als Standardkomponenten, als auch in der Auftragsentwicklung oder
bei kundenspezifischen Lösungen. Im Rahmen dieser Tätigkeit war er zuerst verantwortlich für
die Errichtung eines technisch orientierten Firmengebäudes einschließlich einer
Reinraumtechnik, Geräte- und Anlagenausstattung zur Produktion mikrotechnischer
Sensorsysteme, sowie der dazugehörigen Medienplanung für Gase, Abgase und Wasser. Nach
Abschluss dieser Aufbauarbeiten verantwortete er die Prozessentwicklung der Produktionslinie
bis hin zur Serienfertigung der Dünnfilmprodukte auf Basis der Mikrotechnologien. Diese Linie
war konzipiert für planare Mikrostrukturen mit PVD- und CVD- Beschichtungsanlagen für
Dünnfilmbeschichtung zwischen 20 und 1500 nm, Präzisions-Lithographie bis 1µm, Nass- und
Trockenätzprozesse, KOH–Ätzen für Bulk-Silicon-Micromachining, Lasertrimming sowie
kalibrierte Prozess- und Qualitätsmesseinrichtungen.
Als Geschäftsführer als eines der mikrotechnischen Unternehmungen am Standort Dortmund
war er involviert in die Gründung des Mikrostrukturzentrums als auch des Aufbau- und
Verbindungszentrum im Technologiepark Dortmund.
1996 nahm er einen Ruf auf eine Professur für Chemie und Werkstoffe der Mikrotechnik an der
FH-Gelsenkirchen an und wechselte zur Hochschule. Seit dem beschäftigt er sich mit
Verfahrens- und Prozessentwicklung für mikrotechnische Komponenten.
Aktivitäten
Stellv. Vorstandsmitglied des Wissenschaftsrates der AMA Fachverband für Sensorik
e.V., in dem etwa 400 Industrieunternehmen und ca. 70 Institute aus dem weiten
Umfeld der Mikrotechnik vertreten sind
Mitglied im Programmkommitee des AMA Innovationspreises
Mitglied im Programmkommitee der jährlichen Konferenz „Sensor“
Mitorganisation der IVAM Summerschool ´Mikrotechnik´
Bis 2008 Beiratsmitglied der Innolume GmbH, Dortmund
Bis 2009 Beiratsmitglied der MST.factory, Dortmund
2008/09 Mitglied im Beratergremium zur Einführung der MST-Ausbildung in Israel
Wesentliche industrielle Forschungsvorhaben der letzten Jahre:
“Nanostrukturierte Quanten-Dot-Wafer für langwellige Halbleier-Laserdioden“
„Oberflächenemittierende indirekt modulierte Quantenpunkt-Halbleiterlaser für die
optische Datenübertragung in Rechneranwendungen“
„Entwicklung von DPSS-Laser für den UV-Frequenzbereich“
„Entwicklung von Röntgenmasken durch Direkt-LIGA“
„Entwicklung von „e-learning“-Module für die Mikrosystemtechnik
„Hocheffizienter Energiespeicher in Zink-Luft-Technologie für Elektroautos“