WALTER SCHOTTKY INSTITUT Lehrstuhl für Halbleitertechnologie Prof. Dr.-Ing. M.-C. Amann Lösung Probeklausur OPTOELEKTRONIK 1 SS2010 1. LED (25 Punkte) a) Berechnung: (Druckverspannung mit negativen ε ⇒ Bezug auf die Schicht positiven ε ⇒ Bezug auf das Substrat ε a a a 1 ⇒a a a x∙y∙a x∙ 1 0.5952 nm y ∙a y∙ 1 mit 1-y (Phosphoranteil) = 0.4 ⇒ y x ∙a 1 0.6 0.5952 nm x ∙ 0.041 nm ⇒x ⇒ Ga ε . 0.5982 nm 0.073 7.3 % In . As . P . b) Berechnung: E ⇒λ ∂E ∂λ ∂ hc ∂λ λ 3.15 0.787 eV 1.576 μm hc ⇒ ∆E λ hc ∆λ λ Ja, die spektrale Breite ist Abhängig von der Wellenlänge λ Thermische Verbreiterung der Fermiverteilungen, ∆E ~ 1.8 k T x ∙ 1 y ∙a c) Berechnung: η mit N η η ∙η AN BN BN CN Ne 0.626 6 ∙ 10 1 0.0208 n 1 n ⇒η 1.3 % η d) Berechnung: 1 222 MHz 3.6 ∙ Typische Grenzfrequenzen einer Laserdiode: 1-5 GHz (VCSEL > 10 GHz) f Modulation einer LED: (Ladungsträgerlebensdauer begrenzt Modulation) im Bereich von ns Modulation einer Laserdiode: (Photonenlebensdauer begrenzt Modulation aufgrund von optischem Feedback des Resonators) im Bereich von ps 2. Laser (16 Punkte) a) Berechnung: ∂P ∂I aus Graphen ablesen ⇒η 1α 2α 0.7 mW 2 mA ∂P e ∂I hf 0.35 W A hf α 2e α 0.246 b) Berechnung: W ∙2 ∙ α α hf ∙ α A 9.72 cm ⇒α 1 1 α ln ⇒ 0.33 L R ⇒ 0.35 c) Berechnung: α′ ⇒η 1 α 2 1 1 2α 21α α 2 0.163 η wird kleiner da weniger ausgekoppelt wird, bei gleichen internen Verlusten d) Berechnung: I ∙e I T0 gibt Anderung des Schwellstroms über Temperatur an, hohes T0 bedeutet thermisch stabiler I 42 mA I I ∙e 42 mA I ∙ e 305K 300K 102 K 42 mA ln 40 mA ⇒T e) Berechnung: j ⇒ ö L (6.59) j j , L ⇒α , , α , e∙d∙R N e ∙ d ∙ B ∙ N (A = C = 0) α α e ∙ d ∙ B ∙ N Γ∙a ⇒j 3. Wellenleiter (5 Punkte) Berechnung: k d 2 R ⇒ ⇒β k k β k n 1 1 1 0.228 und n λ 2 2π n n ⇒Γ 0.573 0.2 ∙ 2.26 ∙ 10 m d n d d 3.605 185 nm 0.397 4. Fragen aus der Optoelektronik (14 Punkte) a) Die LED aus Aufgabe 1 soll mit einer Antireflexionsschicht verbessert werden, da eine Antireflexionsschicht den Winkel der Totalreflexion erhöht. den Reflexionskoeffizient erniedrigt. den internen Quantenwirkungsgrad erhöht. b) Eine Reduzierung der Reflexion an den Facetten einer Streifenlaserdiode würde die internen Verluste erniedrigen. die Spiegelverluste erniedrigen. den Schwellenstrom erhöhen. den differentiellen Quantenwirkungsgrad erhöhen. (Laserbetrieb vorausgesetzt) c) Wie würde sich bei einer Streifenlaserdiode eine Reduzierung der Spiegelreflektivität auf die 3dB Grenzfrequenz auswirken? Geben Sie eine kurze physikalische Begründung. ∝ α ↓ ⇒ α ↑ ⇒ α ↑ ⇒ f ↑ f d) Welche Bedingung muss für Laserbetrieb erfüllt sein? Bernard- Duraffourg Bedingung. Ladungsträgerinversion in den Bändern. Die Betriebstemperatur muss Die Betriebstemperatur muss höher als die charakteristische niedriger als die charakteristische Temperatur sein. Temperatur sein. e) Geben Sie zwei allgemeine Faktoren an, die die Emissionswellenlänge der SteifenLaserdiode beeinflussen und beschreiben Sie welche Änderung zu einer Erhöhung oder Erniedrigung der Wellenlänge führt. T ↑ ⇒ E ↓ ⇒ λ ↑, die Dicke der Quantentöpfe, I ↑ ⇒ T ↑ ⇒ E ↓ ⇒ λ ↑ f) Eine Steifen-Laserdiode mit einer aktiven Zone der Dicke 100 nm, einer Länge von 100 µm und einer Breite von 3 µm hat einen Schwellenstrom von 400 mA. Welcher Schwellenstromdichte entspricht dies? 1,3 kA/cm² 133 kA/cm² 1,3 ∙ 10 kA/cm² 1,3 ∙ 10 kA/cm³ g) Kann man an der Strom-Spannungs-Kennlinie eine (ideale) LED von einer (idealen) Laserdiode unterscheiden? (mit kurzer Begründung) Ja, da die Ferminiveaus bei einer laserdiode ab der schwell „festgehalten“ werden ⇒ UI-Kennlinie weißt Knick bei Einsetzen der stimulierten Emission auf h) Nennen Sie einen Grund, warum in einer pn-Photodiode ein intrinsischer Bereich eingeführt wird (pin Photodiode). Was verbessert sich gegenüber einer (gleich dicken) pn-Diode? Effektive Trennung der Ladungsträger aufgrund des E-Feldes im intrinsischen Bereich