1 Mathematik und Nanotechnologie: Warum werden Computer immer kleiner? Ansgar Jüngel Institut für Analysis und Scientific Computing www.juengel.at.vu (einige Bilder sind aus urheberrechtlichen Gründen entfernt) • Einleitung • Drift-Diffusionsgleichungen • Numerische Beispiele 2 Einleitung Einsatz von Computern Kommunikation Audio/Video Haushalt Medizin Transport Wirtschaft Einleitung Vom Computer zum Halbleiter 1 Computer 3 Computerschaltung 4 Transistor 2 Prozessorplatine 3 Einleitung 1971 1982 1993 2007 Geschichte der Intel-Prozessoren 4004 108 KHz, 2250 Transistoren, Kanallänge: 10µm (1µm= 10−6m) 80286 12 MHz, 134.000 Transistoren, Kanallänge: 1,5µm Pentium 1 66 MHz, 7.500.000 Transistoren, Kanallänge: 0,35µm Core Duo 3 GHz, 410.000.000 Transistoren, Kanallänge: 45nm 4 Einleitung Entwicklung der Transistorzahl 1970–2008 5 Einleitung Entwicklung der Kanallänge 2000–2016 6 Introduction Herausforderungen im Zukünftiger Prozessor (2010): • Transistorzahl > 1 000 000 000 • Kanallänge < 45 nm • hochintegrierte Schaltkreise: Leistungsdichte > 100 W/cm2 Hauptprobleme: • sinkende Spannung → • steigende Frequenzen → • steigende Designvielfalt → Schaltkreisdesign Rauschen Mehrskalenproblem schnelle und akkurate Simulationen notwendig • steigende Leistungsdichte → parasitäre Effekte (Wärme, “hot spots”) 7 8 Einleitung Funktionsweise eines MOSFET-Transistors (MOSFET = Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) Source Gate Drain Elektronen 70 Nanometer Bulk • • • • Kanallänge: 70 Nanometer Elektronenfluß von Source zu Drain Stromfluß gesteuert vom elektrischen Potential am Gate Elektronen fließen von − nach + Drift-Diffusionsgleichungen Mathematische Modellierung Variablen: • Ortsvariable x • Anzahl der Elektronen: Elektronendichte n(x) ≥ 0 • Stromfluß: Teilchenstromdichte J(x) • elektrisches Potential V (x): gegebene Funktion Eindimensionale Gleichungen: • stationäre Stromdichte konstant: J ′ = 0 • Stromdichte = Diffusionsstrom + Driftstrom: J = Jdiff + Jdrift Frage: Wie lauten Diffusions- und Driftstrom? 9 Drift-Diffusionsgleichungen Herleitung von Diffusions- und Driftstrom H HH HH HH HH n′ < 0 HH HH HH HH HH V′ >0 ⇒ Jdrift = nV ′ ⇒ J = Jdiff + Jdrift = −n′ + nV ′ n - − Jdiff = −n′ HH - ⇒ V + - J >0 10 11 Drift-Diffusionsgleichungen Differentialgleichungen: J ′ = 0, J = −n′+nV ′ ⇒ −n′′+(nV ′)′ = 0, x ∈ (0, 1) Randbedingungen: n(0) = 1, n(1) = 1 • lineares Randwertproblem zweiter Ordnung (V gegeben) • kann explizit gelöst werden (→ VL Diff.gleichungen) Lösung des Randwertproblems: Z x n(x) = eV (x)−V (0) − J eV (x)−V (y)dy, 0 x ∈ [0, 1] Bestimmung des Stromes J: setze x = 1 in obige Formel ein Z 1 ⇒ 1 = eV (1)−V (0) − J eV (1)−V (y)dy 0 !−1 Z 1 V (1)−V (0) V (1)−V (y) ⇒ J = (e − 1) e dy 0 12 Drift-Diffusionsgleichungen Lösung des Randwertproblems: Z x V (x)−V (0) V (x)−V (y) n(x) = e −J e dy, 0 J = (eV (1)−V (0) − 1) 1 Z eV (1)−V (y)dy 0 x ∈ [0, 1] !−1 Probe (Randbedingungen): n(0) = eV (0)−V (0) = 1 n(1) = eV (1)−V (0) − J Z 0 → Randbedingungen sind erfüllt 1 eV (1)−V (y)dy = 1 13 Drift-Diffusionsgleichungen Lösung des Randwertproblems: Z n(x) = eV (x)−V (0) − J x eV (x)−V (y)dy, 0 Rechenregel: Z x Z x d f (x)g(y)dy = f ′(x)g(y)dy + f (x)g(x) dx 0 0 Probe (Differentialgleichung): Z x n′(x) = eV (x)−V (0)V ′(x) − J − JeV (x)−V (x) Z = eV (x)−V (0) − J eV (x)−V (y)V ′(x)dy 0 x eV (x)−V (y)dy V ′(x) − J 0 = n(x)V ′(x) − J → Differentialgleichung erfüllt ⇒ −n′ + nV ′ = J 14 Drift-Diffusionsgleichungen Strom: J = (eV (1)−V (0) − 1) Z 0 Von Interesse ist die Relation 1 eV (1)−V (y)dy !−1 angelegte Spannung U := V (1) − V (0) zum Strom J Beispiel: V (x) = x (linear anwachsende Spannung) !−1 1!−1 Z 1 1 U (1−y) U U U (1−y) = (e − 1) − e J = (e − 1) e dy U 0 0 −1 1 U = (e − 1) − (1 − eU ) =U U → Strom wächst linear mit angelegter Spannung U = 1 konstant → Widerstand R = UI = |J| Drift-Diffusionsgleichungen • Spannungsverlauf V (x) = x ergibt J = U (linear) • Realistischerer Zusammenhang: −4 1.4 x 10 drain current [A] 1.2 1 0.8 0.6 0.4 0.2 0 0 0.5 1 1.5 drain voltage [V] • Spannung 0.1 . . . 0.3 V: (fast) lineare Verstärkung • Spannung > 0.6 V: Sättigung 15 16 Drift-Diffusionsgleichungen Verfeinerung der Modellierung • elektrisches Potential ist nicht gegeben, sondern hängt von Elektronendichte ab (Elektronen erzeugen Potential) • Modellierung mit Poisson-Gleichung: V ′′ = n, x ∈ (0, 1), V (0) = 0, V (1) = U Poisson-Drift-Diffusions-Gleichungen: J ′ = 0, n(0) = 1, J = −n′ + nV ′, n(1) = 1, V ′′ = n, V (0) = 0, x ∈ (0, 1) V (1) = U • nichtlineares Randwertproblem wegen Produkt nV ′ • keine explizite Lösung ⇒ numerische Lösung Drift-Diffusionsgleichungen Numerische Methode: Finite Differenzen • Idee: ersetze Differentialquotient durch Differenzenquotient y(x + △x) − y(x) ′ y (x) ≈ △x ′ ′ y (x + △x) − y (x) ′′ y (x) ≈ △x y(x + △x) − y(x) y(x) − y(x − △x) − ≈ 2 (△x) (△x)2 y(x + △x) − 2y(x) + y(x − △x) = (△x)2 • Bequemere Schreibweise: xi = x, xi±1 = x ± △x yi+1 − yi yi+1 − 2yi + yi−1 ′ ′′ y (xi) ≈ , y (xi) ≈ △x (△x)2 17 Drift-Diffusionsgleichungen Numerische Methode: Finite Differenzen • Kontinuierliche Gleichungen: J ′ = 0, J = −n′ + nV ′, V ′′ = n • Approximierte Gleichungen: Ji − Ji−1 0= △x ni+1 − ni ni+1 + ni Vi+1 − Vi Ji = − + △x 2 △x Vi+1 − 2Vi + Vi−1 ni = (△x)2 • Löse diskretes Problem (→ VL Numerische Mathematik) und erhalte Approximationen ni, Vi von n(xi) und V (xi) 18 19 Numerische Beispiele Source Gate Drain MOS-Transistor in 2D Elektronen 70 Nanometer Bulk Elektronendichte Elektronentemperatur Numerische Beispiele MES-Transistor in 3D (MES = metal-semiconductor) Geschlossener Zustand Offener Zustand 20 Numerische Beispiele Gate-all-around MES-Transistor in 3D Drain n+ 0.1µm Gate n n+ Source 0.24µm 0.6µm Geometrie Temperatur Thermische Energie Stromdichte 21 Numerische Beispiele • • • • Quanteneffekte in der Physik charakteristische Längen < 100 nm ⇒ Quanteneffekte Quantenmechanik: Elektronen interpretiert als “Wellen” Elektronen können durch “Wände tunneln” Beispiel: hochpräzise Mikroskopaufnahmen von Molekülen 22 Numerische Beispiele Quanteneffekte in Halbleiterbauteilen Ziele: • Speicherung von einzelnen Elektronen (quantum dots) • ultraschnelle Bauteile und Quantencomputer 23 Numerische Beispiele Quantentransistor • Prinzip: Steuere Elektronenstrom durch Veränderung des Potentials in T-Stück • Transistor ist entweder offen oder geschlossen 24 Numerische Beispiele Quantentransistor in 2D: geschlossener Zustand 25 Numerische Beispiele Quantentransistor in 2D: offener Zustand 26 Numerische Beispiele Quantentransistor in 3D 27 Zusammenfassung Zusammenfassung: • Modellierung von Halbleiterbauteilen mit Diff.gleichungen • Analyse der Differentialgleichungen • Numerische Lösung der Differentialgleichungen Ziele in der Mathematik: • Herleitung der Modelle • Beweis der Existenz und Eindeutigkeit der Lösungen • Bestimmung einer präzisen Approximation der Gleichungen • Effiziente numerische Lösung der Gleichungen Benötigte Mathematik: • (Gewöhnliche und Partielle) Differentialgleichungen • Numerische Mathematik • Funktionalanalysis 28