Datenblatt - keller

Piezoresistive Drucksensoren
Serie 2/3/4
absolut-, referenz- und differenzdruck
Die Drucksensoren der Serie 2, 3 und 4 eignen sich für den direkten Aufbau auf Leiterbahnen
und Anwendungen, wo kleine Dimensionen und tiefe Kosten erforderlich sind. Der Drucksensor
ist eine piezoresistive Messzelle, bestehend aus einem Siliziumchip und einer Glasplatte, aufgebaut auf einer Glasdurchführung und geschützt durch ein Gehäuse. Die Sensoren zeichnen sich
aus durch ein einfaches Herstellungsverfahren, das sehr hohe Ausgangssignal, die Hysteresefreiheit und durch eine hohe Stabilität.
Jeder Drucksensor wird gründlich auf sein Druckverhalten und die Temperaturabhängigkeit
­geprüft und mit einem individuellen Eichzertifikat geliefert, in dem seine Kennwerte sowie die
Ergebnisse aller durchgeführten Prüfungen festgehalten sind.
Serie 2
Serie 2
Das Messmedium wirkt direkt auf den Siliziumchip mit den diffundierten Widerständen. An­
wendung in trockener Messluft und Atmosphäre.
Serie 3
Die Messzelle mit Glasdurchführung ist in einem Aluminiumgehäuse eingebaut. Eine dünne
Parylene Schicht umgibt den Sensor allseitig und schützt vor Feuchtigkeit und kurzzeitigen Einsätzen in nassen Medien. Geeignet zum Messen feuchter, nicht aggressiver Gase.
Serie 3
Serie 4
Das Messmedium wirkt auf die Rückseite des Siliziumchips. Anwendung in nassen, nicht
­aggressiven Medien oder in Messluft mit Kondensatbildung. Optimal für Unterdruck­messungen.
Typische Anwendungen
Höhenmessung, Flugzeugbau, Meteorologie, Steuergeräte, Robotik, sanitäre und pharma­
zeutische Gase, Klimatisierung, Leckagemessungen…
- Robustheit, geringer Platzbedarf, kleine Masse, kostengünstig
- Erhöhte Empfindlichkeit und Auflösung (Auflösung: 10 cm Luftsäule)
Serie 4
Serie 2
Serie 3
Serie 4
Ø5
Elektrische Anschlüsse
Ø5
7
Ø 15
17
5
Markierung,
Serie 2
7
Ø 10,8
17
22
IN
OUT
6
⊕14 mm
Ø 15
KELLER AG für Druckmesstechnik
CH-8404 Winterthur
+41 52 235 25 25
[email protected]
IN
l
IN
l
l
l
l
l
⊕14 mm
⊕18 mm
Ø 15
KELLER Ges. für Druckmesstechnik mbH
D-79798 Jestetten
+49 7745 9214 0
[email protected]
Version 04/2008
Änderungen vorbehalten
Unternehmen zertifiziert nach ISO 9001
www.keller-druck.com
OUT
IN
Spezifikationen
Allgemeine Eigenschaften: Speisung I = 1 mA Konstantstrom
Bereiche (FS) bar-0,1-0,2-0,5-1
0,1
PR
Serie 2
0,2
0,5
1
2
PR-PAA-PD
5
10
20
PR-PAA-PA-PD
Serie 3
PR-PAA-PA
Serie 4
PR-PD
PAA: Absolutdruck. Nullpunkt bei Vakuum
PA: Absolutdruck. Nullpunkt bei Umgebungsluftdruck (bei Kalibrierung)
PR: Referenzdruck
PD: Differenzdruck
Bereiche, Überdruck, Ausgangssignal (FS)
Druckbereiche (FS) bar-0,1-0,2-0,5
Überdruck
bar-1,0-1,0-1,0
Ausgangssignal, typ. (Series 2/3) mV
Ausgangssignal, typ. (Series 4) mV
18
18
25
25
45
45
-1
0,1
Ω
Konstante Stromspeisung (1)
mA
Isolierung / 500 V
Kompensierter Bereich
2,5
2,5
70
18
25
45
70
70
18
3500
± 20%
1 (andere auf Anfrage)
°C-10…80
°C
Lagertemperatur
0…50-10…80 (optional)
°C-30…100
Vibration (20 bis 2000 Hz) g
Festigkeit (FS bei 25 °C)
Zyklen
10
> 100 x 106
Mechanische Eigenschaften
Gehäuse Serie 2 und 4
Delrin (POM)
Gewicht
8 Gramm
Gehäuse Serie 3
Tot-Volumenänderung
Litzen (optional)
Spezifische Eigenschaften
% FS Offset bei 25 °C
mV
< 0,1 mm3/FS
0,09 mm2, 12 x ø 0,1 mm, Silikonmantel
Isolation 250 V, ø ext. 1,2 mm, L: 7 cm (2)
0,25 typ. 0,5 max.
< 5 mV (kompensiert mit R5 auf ± 0,5 mV)
Temperaturfehler
Bereich 0…50 °C
- Empfindlichkeit
0,01 typ.
- Nullpunkt
mV/°C
Langzeitstabilität
%/°C
mV
0,01 typ.
0,25 typ.
0,025 max.
0,025 max.
(1)
(2)
(3)
58
90
135
100
5
Bei konstanter Spannungsspeisung beträgt der Temperaturkoeffizient der Empfindlichkeit -0,2 %/K
Andere Bereiche auf Anfrage
Einschliesslich Linearität, Hysterese und Reproduzierbarkeit. Linearität berechnet als beste Gerade durch Null
15
200
200
150
-
20
30
200
-
PR-2/1 bar/8750.8 (a)
----------------------------------------------------------------------------------
(c)
(d)
(e)
(f)
(g)
Temp
Zero
+220
Comp
dZero
[°C]
[mV]
[mV]
[mV]
[mV]
0.1 -13.0
-22.5
0.1
-0.2
25.3
-11.9
-22.30.30.0
50.3
-10.8
-22.4
0.2
-0.2
-----------------------------------------------------------------------------COMP
R1 = 220 kOhm (h)
R4 = 91.0 Ohm (h)
ZERO
0.3 mV (i)
SENS
108.3 mV/bar at 1.000 mA (j)
SENS
433.3 mV/bar at 4.000 mA (j)
(m)
(n)
LIN. Lnorm
Lbfsl
(k)
(l)
[bar]
[mV]
[%Fs]
[%Fs]
-0.000
0.0
0.00
-0.15
0.500
54.4
0.20
0.15
1.000
108.1
-0.20
-0.15
---------------------------------------------------------------------------------Long Term Stability Ok (o)
Supply 1.000 mA (p)
05.03.08 (q) ------------------------------------------- GOL3.H03Aa0 (q)
(nur für werksinterne Kompensationskalkulation)
(f) Nullpunkt, in mV, mit ermitteltem Komp.-Widerstand R1 oder R2
(g) Temp. Nullpunktsfehler, in mV, mit Komp.-Widerstand R1 oder R2
(h) Kompensations-Widerstände R1 / R2 und R3 / R4
(i) Offset mit Kompensations-Widerständen R1 / R2 und R3 / R4.
Feinabgleich des Nullpunktes mit R5 Potentiometer in Schaltung.
(j) Empfindlichkeit des Drucksensors
(k)Drucktestpunkte
(l) Signal bei Drucktestpunkten
(m) Linearität (beste Gerade durch Null)
(n) Linearität (beste Gerade)
(o) Auswertung Langzeitstabilität
(p) Speisung (Konstantstrom)
(q) Testdatum -------- Testanlage
Vermerke:
- Die angegebenen Spezifikationen gelten nur bei Speisung mit Konstantstrom;
Die Ausgangsspannung ist proportional zum Speisestrom. Bei Speisung mit
kons-tanter Spannung bleiben die Nullpunktwerte unverändert, die Empfindlichkeit
nimmt pro +5 °C um ≈ 1% ab.
- Bei extremen Temperaturen sind Kompensations-Widerstände mit Temperaturkoeffizienten < 50 ppm/°C zu verwenden.
Hinweis: Sensor und Widerstände können unterschiedlichen Temperatu­ren ausgesetzt sein.
- Die Kompensations-Widerstände werden auf Wunsch zugelötet.
BLAU
Optionen (auf Anfrage)
OUT
R1
IN
SCHWARZ
- Kompensierter Temperaturbereich -10…80 °C
R2
- Kompensationswiderstände
- Um Faktor 2 verbesserter Nullpunktsabgleich (NTC)
MESSBRÜCKE
- Genauigkeit 0,1 oder 0,2 %FS
ROT
WEISS
- Spezielle Tests, spezielle Gehäuse
- Elektrische Drähte
KELLER AG für Druckmesstechnik
CH-8404 Winterthur
+41 52 235 25 25
[email protected]
10
7,5
Jedem Sensor wird ein Kalibrierblatt mit folgenden Angaben beigelegt:
(a) Typ (PR-2), Zeichn.-Nr. (8750.8) und Bereich (1 bar) des Sensors
(b) Teststation des Sensors
(c) Testtemperaturen
(d) Unkompensierte Nullpunktwerte in mV
(e) Nullpunktwerte, in mV, mit Testwiderstand (220 kΩ)
Aluminium
Speisung I = 1 mA Konstantstrom
Genauigkeit (3)
28
2
3
------------------------------------------------------------------------- 289 (b)
MΩ100
(2)
1
2,5
Umgebungseigenschaften
Betriebstemperatur
0,5
2,5
Elektrische Eigenschaften (bei 25 °C)
Brückenwiderstand
0,2
-1
GELB
AUFNEHMER
KELLER Ges. für Druckmesstechnik mbH
D-79798 Jestetten
+49 7745 9214 0
[email protected]
OUT
R4
R3
R5
KOMPENSATION
Version 04/2008
Änderungen vorbehalten
Unternehmen zertifiziert nach ISO 9001
www.keller-druck.com
IN