Herstellen von optischen Bauelementen aus Glas

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Themenangebot für Bachelor- und Masterarbeiten:
Herstellen von optischen Bauelementen aus Glas durch reaktives Ionenätzen
Im Rahmen des Projektes „Kompetenzdreieck Optische Mikrosysteme“ sollen optische Bauelemente wie
beispielsweise Linsen, Prismen und Gitter mittels reaktiven Ionenätzens aus Kieselglas hergestellt werden.
Speziell für diese Aufgabe wurde eine neue Plasmaätzanlage beschafft. Zur Herstellung der optischen
Bauelemente müssen geeignete Maskierungsschichten getestet werden, neue Ätzprozesse entwickelt und das
Design der optischen Bauelemente vorgenommen werden.
Bild 1: ICP-RIE (Quelle Homepage der Firma
SENTECH Instruments GmbH)
Gewünschte Unterstützung durch studentische Mitarbeit
Ihr Aufgabengebiet:
Thema 1: Entwickeln von geeigneten Ätzprozessen und Maskierungsschichten
Thema 2: Konzeptentwicklung und Design von optischen Bauelementen (z.B. ein Freistrahlinterferometer),
die mittels reaktiven Ionenätzens hergestellt werden können.
Empfohlene Voraussetzungen:
Persönliches Interesse an Mikrosystemen, Technologie bzw. Design von optischen Bauelementen.
Die genaue Aufgabenstellung erfolgt nach Absprache.
Fakultät für Maschinenbau
Ansprechpartner: Dipl.-Ing. Stefan Weinberger
Fachgebiet Mikromechanische Systeme
Telefon +49 3677 69-3421
Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Martin Hoffmann
[email protected]
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