Elektronenstrahlmikrosonde electron probe x

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Elektronenstrahlmikrosonde
electron probe x-ray
microanalysis (EPXMA)
Eigenschaften der Elektronen
Masse me = 9,1.10-31 kg
Elektrische Ladung e = 1,6.10-19 As
Kraft im elektrischen Feld F = eE
Kraft im magnetischen Feld F = evB
Prinzip des
Rasterelektronenmikroskops und des
Elektronenstrahlmikroanalysators
Erzeugung einer
Elektronensonde (<1µm)
Elektronenquelle
Triodensystem
bestehend aus:
Kathode
Wehneltzylinder
Anode
Wehneltzylinder
Wolfram Haarnadelkathode, arbeitet
durch Glühelektronenemission bei ca.
T=2700 K
Elektronenlinse
Das magnetische Feld einer
weicheisengekapselten stromdurchflossenen
Spule beeinflusst die Bahn von Elektronen
Einheit zur Rasterung des
Elektronenstrahls
ABT DS 150F,
Topcon, Tokio
Auswahl
rasterelektronenmikroskopischer
Aufnahmen von künstlichen und
natürlichen Objekten
Eichstandard zur Vergrößerungskontrolle
Seitenlänge der kleinen Quadrate 10 µm
Nanopartikeln (mittlerer
Durchmesser 40 nm)
Halbleiterspeicher- Chip
Teil eines integrierten Schaltkreises (IC)
Papieroberfläche
Glaskapillare
patch clamp Technik
Pollenkörner
Flügel der Stubenfliege
Facettenauge
Facettenauge
Blutkapillaren der Iris des
Rinderauges
Biokristall
Riechzellen der Ratte
Otholit
Kaseinmicellen der
Ziegenmilch
laserinduzierte Perforationen:
massive Probe (links), dünne Folie (rechts)
Wechselwirkung zwischen
Elektronen und Materie
Reichweite der Primärelektronen PE
Erzeugung von Röntgenstrahlung
Vereinfachtes Schema der
Energiezustände eines Atoms
Das Moseleysche Gesetz ermöglicht über die
Messung der Wellenlänge bzw. Energie von
charakteristischer Röntgenstrahlung die
qualitative Elementanalyse
D
Die Auswertung der Braggschen Interferenzbedingung
2dsin =n liefert die Wellenlänge
Energiedispersive
Röntgenspektrometrie (EDX)
Si(Li)-Kristall für EDX
EDX Spektrometer mit Dewar für flüssigen
Stickstoff zur Kühlung des Si(Li)-Kristalls
Röntgenspektrum
von Messing
Elementverteilungsbild, Kalium
im Bereich einer Spaltöffnung
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