FRAUNHOFER-INSTITUT FÜR ANGEWANDTE OPTIK UND FEINMECHANIK IOF 1 2 1 Optischer Aufbau des athermalen IR-Spektrometers MERTIS. 2 Freiformspiegel mit exakten Referenz- 3 ASPHÄRISCHE SPIEGEL FÜR WELTRAUM UND ASTRONOMIE marken bei der interferometrischen Messung UV-Spektralband wird eine polierbare, mit mit dem CGH. 3 MRF-Bearbeitung eines asphärischen Motivation dem Ionenstrahl (IBF) oder durch MagnetoRheological-Finishing (MRF) korrigierbare Aluminiumspiegels mit amorpher NiP- Asphären und Freiformen finden zuneh- amorphe Nickel-Phosphor-Schicht (NiP) mend Einsatz in der Instrumentierung für auf ein ausdehnungsangepasstes Spiegel- Weltraum und Astronomie. Spiegeltelesko- substrat aufgebracht. Zusätzlich können Fraunhofer-Institut für Angewandte pe werden für multispektrale Abbildungs- optische Vergütungs- und Schutzschichten Optik und Feinmechanik IOF systeme vom IR bis UV genutzt; die appliziert werden. Polierschicht. Anwendung im Spektralbereich VIS oder Albert-Einstein-Straße 7 UV stellt besondere Anforderungen an die 07745 Jena Form und Oberflächengüte der optischen Flächen. Institutsleiter Ergebnisse aus der Praxis Asphärischer Spiegel (190 mm x 250 mm) - Al-6061, NiP-Schicht, geschütztes Ag Prof. Dr. Andreas Tünnermann Technologien Abteilung Feinwerktechnik Die ultrapräzise Bearbeitung der Spiegel- Abteilungsleiterin oberfläche mit Diamantwerkzeugen, kom- Dr. Ramona Eberhardt biniert mit Polier- und Korrekturtechniken, - SPDT, Polieren, IBF-Formkorrektur - Mikrorauheit (WLI 50x): < 1 nm (rms) - Formabweichung: < 14 nm (rms); 110 nm (p-v) bietet eine große Gestaltungsvielfalt Freiformspiegel (Ø 320 mm) Ansprechpartner weltraumerprobter Optikmaterialien. - AlSi-Werkstoff, NiP-Schicht Andreas Gebhardt Hochauflösende Messtechnologien wie die - SPDT, MRF-Formkorrektur, Polieren Telefon +49 3641 807-340 interferometrische Optikprüfung mit - Mikrorauheit (WLI 50x): [email protected] Computer Generierten Hologrammen < 3 nm (rms) nach MRF (CGH) oder taktile Messverfahren < 0,8 nm (rms) nach Polieren www.iof.fraunhofer.de ermöglichen eine exakte Spiegelvermessung. Für Anwendungen im VIS- oder - Formabweichung: < 16 nm (rms); 120 nm (p-v)