MicroProf® 100
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MicroProf® 100 Der MicroProf® 100 ist das universell einsetzbare Oberflächenmessgerät für die einfache und schnelle Bestimmung von Topographie, Schichtdicke und Probendicke. Als kompaktes Tischgerät und damit kleinstes Mitglied der MicroProf® Multi-Sensor Familie bietet der MicroProf® 100 auch die volle Flexibilität der großen Brüder. Er basiert auf der bewährten FRT Multi-Sensor Technologie, in der unterschiedliche optische Messverfahren, die ansonsten nur über Einzellösungen realisierbar sind, zu einem universellen und platzsparenden Gerät verschmelzen. Zusätzlich kann der MicroProf® 100 auch mit der TTV-Option zur beidseitigen Probeninspektion ausgestattet werden. So messen Sie Ober- und Unterseite Ihrer Probe gleichzeitig und bestimmen im selben Messvorgang auch die Probendicke. Aufgrund seines modularen Aufbaus kann dieses Messgerät optimal auf Ihre jeweilige Anwendung zugeschnitten werden. Neben den unterschiedlichen Sensoren, mit denen das Gerät ausgestattet werden kann, ist auch die Software individuell konfigurierbar. Ihre Messaufgaben können sowohl manuell als auch automatisiert umgesetzt werden. MESSAUFGABEN 3D-Messung Topographie Schichtdicke Probendicke Schichtsysteme Welligkeit Rauheit Ebenheit Stufenhöhe Verschleiß TTV Profile ... SYSTEMEIGENSCHAFTEN Tischgerät mit Umhausung in modernem Industriedesign basiert auf der bewährten FRT Multi-Sensor Technologie beidseitige Probeninspektion möglich (TTV-Option) integrierte CCD-Kamera mit zuschaltbarer Beleuchtung Sensorannäherung mit motorisierter Präzisionsachse leichte und effiziente Steuerung des Messgerätes durch FRT Acquire umfangreiche Analysesoftware FRT Mark III mit vielen Auswertemethoden gemäß DIN-EN-ISO und SEMI Normen vollautomatische 2D-, 3D- und Schichtdickenmessungen durch FRT Acquire Automation XT VORTEILE attraktives Preis-Leistungs-Verhältnis Oberflächenmessgerät für höchste Ansprüche in Industrie und Forschung Lösung zahlreicher Messaufgaben mit nur einem System 3D-Messungen von Topographie, Schichtdicke und Probendicke mit Mikro- und Nanometerauflösung umfangreiche Auswahl an Sensoren (Punkt- und Flächensensoren) professionelle Qualitätssicherung durch präzise optische Messtechnik flexibel einsetzbar, zukunftssicher und jederzeit erweiterbar anwendungsspezifische Beratung und Service durch erfahrene FRT Spezialisten Metallisierung der Rückseite eines Wafers Radius einer Linse Topographie eines Zahnes the art of metrologyTM MicroProf® 100 Punktsensoren Flächensensoren Chromatische Aberration Konfokal Konfokalmikroskop Weißlichtinterferometer Konfiguration mit einem oder mehreren Sensoren Schichtdickensensoren Interferometrie Reflektometrie Infrarot (IR), NIR, UV-VIS Rasterkraftmikroskop Contact Non-Contact Messprinzip Vielfältige Messaufgaben erfordern variable Lösungen: Der MicroProf® 100 kann mit verschiedenen Sensoren zur Messung der Topographie, Schichtdicke und Probendicke ausgestattet werden. Die FRT Multi-Sensor Technologie bietet Ihnen eine große Auswahl an optischen Punkt- und Flächensensoren oder auch ein Rasterkraftmikroskop. Entsprechend Ihrer Anforderungen können diese im MicroProf® kombiniert oder jederzeit nachgerüstet werden. Nutzen Sie die Flexibilität der Punktsensoren für Ihre Messungen mit frei wählbaren Messfeldgrößen sowie die Schnelligkeit der Flächensensoren. Damit kann eine Vielzahl an Messaufgaben und ein großer Messbereich vom Zentimeter bis zum Sub-Nanometer in einem flexiblen, jederzeit erweiterbaren und kosteneffizienten Gerät realisiert werden. System Aufbau Portalaufbau Sensor Multi-Sensor Messtisch Verfahrbereich 150 mm x 100 mm Antrieb Direktantrieb Lager Kreuzrollenführung Encoder Auflösung 50 nm Ebenheit ~ 1 µm / 100 mm Max. Geschwindigkeit 200 mm / s Last 5 kg z-Achse motorisierte Achse z-Verfahrbereich 50 mm (100 mm optional) Systemanforderungen Umgebungsbedingungen sauber, schwingungsfrei und eine konstante Raumtemperatur Eingangsspannung 110 V / 220 V AC, 1 Phase 550 mm x 400 mm x 690 mm Gewicht ca. 100 kg Messeigenschaften FRT CWL 600 µm * (Messkopf) Messbereich xy 150 mm x 100 mm Messbereich z 600 µm Auflösung (lateral) 2 µm Auflösung (vertikal) 6 nm * Am Beispiel des FRT CWL 600 µm, weitere Sensoren verfügbar. Fragen? Sprechen Sie uns an! Deutschland FRT GmbH Tel. +49 2204 84-2430 Fax+49 2204 84-2431 E-Mail: [email protected] FRT Distributoren: http://frt-gmbh.com/de/kontakt/frt-distributoren/ FRT Netzwerk Asien / Pazifik FRT Shanghai Co., Ltd. Tel. +86 21 3876 0907 Fax +86 21 3876 0917 E-Mail: [email protected] Amerika FRT of America, LLC (West) Tel. +1 408 261 2632 Fax +1 408 261 1173 E-Mail: [email protected] FRT behält sich das Recht vor, zu jeder Zeit technische Änderungen vorzunehmen.March 16, 2017 8:48 AM Aufstellmaße (L x B x H) the art of metrologyTM
