MicroProf® 100
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MicroProf® 100 Das Tischgerät - wenn wenig Platz ist Der MicroProf® 100 ist das universell einsetzbare Oberflächenmessgerät für die einfache und schnelle Bestimmung von Topographie, Schichtdicke und Probendicke. Als kompaktes Tischgerät und damit kleinstes Mitglied der MicroProf® Multi-Sensor Familie bietet der MicroProf® 100 auch die volle Flexibilität der großen Brüder. Er basiert auf der bewährten FRT Multi-Sensor Technologie, in der unterschiedliche optische Messverfahren, die ansonsten nur über Einzellösungen realisierbar sind, zu einem universellen und platzsparenden Gerät verschmelzen. Zusätzlich kann der MicroProf® 100 auch mit der TTV-Option zur beidseitigen Probeninspektion ausgestattet werden. So messen Sie Ober- und Unterseite Ihrer Probe gleichzeitig und bestimmen im selben Messvorgang auch die Probendicke. Aufgrund seines modularen Aufbaus kann dieses Messgerät optimal auf Ihre jeweilige Anwendung zugeschnitten werden. Neben den unterschiedlichen Sensoren, mit denen das Gerät ausgestattet werden kann, ist auch die Software individuell konfigurierbar. Ihre Messaufgaben können sowohl manuell als auch automatisiert umgesetzt werden. MicroProf® 100 MESSAUFGABEN Roughness Step Height Film Thickness 3D-Messung Topographie Schichtdicke Wear 3D MapSchichtsysteme Flatness Probendicke Waviness Topography Layer Stacks Sample thickness Welligkeit Rauheit Ebenheit Stufenhöhe VerschleißProfile TTV TTV Profile ...... SYSTEMEIGENSCHAFTEN Tischgerät mit Umhausung in modernem Industriedesign basiert auf der bewährten FRT Multi-Sensor Technologie beidseitige Probeninspektion möglich (TTV-Option) integrierte CCD-Kamera mit zuschaltbarer Beleuchtung Sensorannäherung mit motorisierter Präzisionsachse leichte und effiziente Steuerung des Messgerätes durch FRT Acquire umfangreiche Analysesoftware FRT Mark III mit vielen Auswertemethoden gemäß DIN-EN-ISO und SEMI Normen vollautomatische 2D-, 3D- und Schichtdickenmessungen durch FRT Acquire Automation XT Metallisierung der Rückseite eines Solarwafers VORTEILE attraktives Preis-Leistungs-Verhältnis Oberflächenmessgerät für höchste Ansprüche in Industrie und Forschung Lösung zahlreicher Messaufgaben mit nur einem System 3D-Messungen von Topographie, Schichtdicke und Probendicke mit Mikro- und (Sub)-Nanometer Auflösung umfangreiche Auswahl an Sensoren (Punkt- und Flächensensoren) professionelle Qualitätssicherung durch präzise optische Messtechnik flexibel einsetzbar, zukunftssicher und jederzeit erweiterbar anwendungsspezifische Beratung und Service durch erfahrene FRT Spezialisten Topographie einer Plankonkavlinse Topographie eines Weisheitszahnes Punktsensoren Flächensensoren extrem flexibel beliebiger Scanbereich schnell auf großen Flächen höchste Auflösung große Flächen durch Stitching schnell auf kleinen Flächen Konfiguration mit einem oder mehreren Sensoren Rasterkraftmikroskop Schichtdickensensoren nm-Auflösung großer Scanbereich leichte Handhabung höchste Auflösung großer Messbereich Multilayer-Messung Messprinzip Vielfältige Messaufgaben erfordern variable Lösungen: Der MicroProf® 100 kann mit verschiedenen Sensoren zur Messung der Topographie, Schichtdicke und Probendicke ausgestattet werden. Die FRT MultiSensor Technologie bietet Ihnen eine große Auswahl an optischen Punkt- und Flächensensoren oder auch ein Rasterkraftmikroskop. Entsprechend Ihrer Anforderungen können diese im MicroProf® kombiniert oder jederzeit nachgerüstet werden. Nutzen Sie die Flexibilität der Punktsensoren für Ihre Messungen mit frei wählbaren Messfeldgrößen sowie die Schnelligkeit der Flächensensoren. Damit kann eine Vielzahl an Messaufgaben und ein großer Messbereich vom Zentimeter bis zum Sub-Nanometer in einem flexiblen, jederzeit erweiterbaren und kosteneffizienten Gerät realisiert werden. System Aufbau Portalaufbau Sensor Multi-Sensor Messtisch Verfahrbereich 150 mm x 100 mm Antrieb Direktantrieb Lager Kreuzrollenführung Encoder Auflösung 50 nm Ebenheit ~ 1 µm / 100 mm Max. Geschwindigkeit 200 mm / s Last 5 kg z-Achse motorisierte Achse z-Verfahrbereich 50 mm (100 mm optional) Systemanforderungen Umgebungsbedingungen sauber, schwingungsfrei und eine konstante Raumtemperatur Eingangsspannung 110 V / 220 V AC, 1 Phase Aufstellmaße (L x B x H) 550 mm x 400 mm x 690 mm ca. 100 kg Messeigenschaften (Messkopf) FRT CWL 600 µm * Messbereich xy 150 mm x 100 mm Messbereich z 600 µm Auflösung (lateral) 2 µm Auflösung (vertikal) 6 nm * am Beispiel des FRT CWL 600 µm, weitere Sensoren verfügbar Questions? Talk to an expert! Germany Asia / Pacific FRT Shanghai Co., Ltd. Phone+49 2204 84-2430 Phone +86 21 3876 0907 Fax +49 2204 84-2431 Deutschland Asien / Pazifi k Amerika Fax +86 21 3876 0917 E-Mail:[email protected] E-Mail:[email protected] FRT GmbH FRT Shanghai Co., Ltd. FRT of America, LLC (West) +49 2204 84-2430 FRT Distributors: +86 http://www.frt-gmbh.com/en/locations-and-distributors.aspx 21 3876 0907 +1 408 261 2632 +49 2204 84-2431 +86 21 3876 0917 +1 408 261 1173 [email protected] FRT is associated with these partners [email protected] [email protected] FRTan! GmbH Fragen? Sprechen Sie uns America FRT of America, LLC (West) Phone+1 408 261 2632 Fax +1 408 261 1173 E-Mail: [email protected] FRT Partner: FRT reserves the right to change technical specifications.24.07.17 Gewicht
