11.1 11. Bandstruktur Warum lohnt es sich energetisch, wenn Atome Bindungen miteinander eingehen ? Was bestimmt die Bildung von Molekülen, bzw. von grossen Ensembles von Atomen, d.h. Festkörpern? Was passiert mit den scharfen Energieniveaus von Atomen in Festkörpern? Wie sieht die elektronische Struktur von Festkörpern aus? (Lichtabsorption zeigt keine scharfen Linien mehr) 11.1Die chemische Bindung Festkörper: komplexe Struktur, aus Atomen zusammengesetzt Verschiedene Atome haben eine verschiedene elektronische Struktur, verschiedene Schalen sind besetzt, Wellenfunktionen haben verschiedene räumliche Ausdehnung Für chemische Bindung müssen sich die Atome „berühren“, d.h. ihre Wellenfunktionen müssen überlappen Es gibt verschiedene Bindungstypen: kovalente Bindung, metallische Bindung, ionische Bindung, Wasserstoff-Brücken-Bindung, van-der-Waals Bindung Wir konzentrieren uns hier auf die kovalente Bindung, die für die meisten Halbleiter der wichtigste Bindungstyp ist. Kovalente Bindung Wechselwirkung zwischen nächsten Nachbarn ist entscheidend Zunächst Konzentration auf zweiatomiges Molekül: wie entsteht eine stabile Bindung, d.h. es ist für das Molekül energetisch günstiger in einer Bindung aufzutreten statt als zwei getrennte Atome. Hamilton-Operator für das zweiatomige Molekül: H = 2 2 Ze 2 Z'e 2 ZZ'e 2 + 2m 4 0 rA 4 0 rB 4 0 R 11.2 rA (rB): Abstand des Elektrons zum Atom A (B) R: Abstand zwischen den Atomen Molekulare Wellenfunktion ist Lösung folgender Schrödinger-Gleichung: H mol = E mol Exakte Lösung ist nicht möglich, daher folgende Näherung: Molekulare Wellenfunktion kann als Linearkombination der Zustände der beiden separierten (isolierten) Atome angenähert werden: Ansatz: mol = c A A + c B B A , B : Wellenfunktionen der beiden isolierten Atome A und B (seien bekannt) Erwartungswert für die Grundzustandsenergie kann wie folgt geschrieben werden: * H d r * d r 3 E= 3 Man kann allgemein zeigen, dass diese Energie minimal wird, falls die richtige Wellenfunktion ist. Für jede andere Wellenfunktion wird die Energie grösser. Je besser die ansatzweise bestimmte Wellenfunktion mit der tatsächlichen Wellenfunktion übereinstimmt, desto besser wird die Grundzustandsenergie durch obige Formel beschrieben. Abkürzungen: Überlappintegral: S = A * B d 3 r , H AA = A * H A d 3 r , H AB = A * H B d 3 r Damit erhält man folgenden Ausdruck für die Energie E: c A2 H AA + c B2 H BB + 2c A c B H AB E'= c A2 + c B2 + 2c A c B S minimale Energie bedeutet optimale Wellenfunktion, d.h. optimiere die Variablen cA und cB dies bedeutet mathematisch: E' E' =0= c A c B Man erhält folgende Gleichungen: c A ( H AA E') + c B ( H AB E' S ) = 0 c A ( H AB E' S ) + c B ( H BB E') = 0 Lösung ergibt sich durch Null-Setzen der Determinante der Koeffizientenmatrix: (H AA E')(H BB E') ( H AB E' S ) 2 =0 Betrachte Molekül, das aus zwei identischen Atomen besteht: H AA = H BB Lösung: E ± E ± '= H AA ± H AB 1± S Atome seien unendlich weit voneinander entfernt: Wellenfunktion überlappen überhaupt nicht, d.h. S=0, HAB=0 -> E ± '= H AA , d.h. atomare Wellenfunktionen 11.3 Beide Atome seien am gleichen Platz, d.h. S=1 -> E ± '= H AA ± H AB 2 (Minuszeichen liefert 0/0) Überlapp der Wellenfunktionen führt zu einer Aufspaltung der Energieniveaus, d.h. ein höherliegendes und ein tieferliegendes Niveau Bindender Zustand (bonding) Antibindender Zustand (anti-binding) 11.4 Molekül: Elektronen besetzen den tieferliegenden Zustand, d.h. Energiegewinn, entspricht der molekularen Bindungsenergie, Bildung einer kovalenten Bindung Nur teilweise gefüllte Orbitale, die weniger als zwei Elektronen enthalten, können an einer kovalenten Bindung teilnehmen Pauli-Prinzip: jeder Zustand kann zwei Elektronen (spin up und spin down) aufnehmen (deswegen gibt es ein stabiles H2-Molekül aber kein He2 Molekül) Bindendes Orbital: mol = A + B , erhöhte Aufenthaltswahrscheinlichkeit zwischen den Atomen Antibindendes Orbital: mol = A B , Aufenthaltswahrscheinlichkeit zwischen den Atomen genau Null, d.h. Energieverlust verglichen mit den freien Atomen Atomorbitale sind gerichtet (p und d, s ist isotrop wegen l=0), d.h. kovalente Bindung ist gerichtet Kovalente Bindung ist sehr stark, siehe Diamant, Si, Ge Ionische Bindung Bindungspartner sind nicht identisch, Ladung wird von einem Atom zum anderen verschoben, d.h. starke Coulomb-Kräfte Beispiel: NaCl, NaI, KrBr Bindungspartner aus 1.ter und 7.ter Hauptgruppe Metallische Bindung Extremfall, bei dem sich die Elektronen bei den Ionenzentren anhäufen Elektronen haben weit ausgedehnte Wellenfunktionen (im Gegensatz zur kovalenten Bindung) 11.5 d.h. viele Nachbarn nehmen an einer Bindung teil, Valenzelektronen sind im Kristall ausgeschmiert, Bindung ist nicht gerichtet (im Gegensatz zur kovalenten Bindung) Kristallstruktur ist dadurch bestimmt, dass der Raum optimal ausgefüllt wird 11.2Bloch’sches Theorem Ziel: Grundsätzliche Symmetrie-Eigenschaften eines periodischen Systems Betrachte Kristall, der aus einem periodischen Gitter von fest gebundenen Atomen besteht 2 2 Schrödinger-Gleichung: H (r) = + V ( r ) (r) = E (r) 2m Periodisches Potential: V ( r ) = V ( r + rn ) mit rn = n1a1 + n 2 a2 + n 3 a3 a1, a2 , a3 : Gittervektoren rn : willkürlicher Translationsvektor des dreidimensionalen Gitters Potential ist periodisch, d.h. es kann in eine Fourierreihe entwickelt werden V ( r ) = VG e iGr G G werden auch als reziproke Gittervektoren bezeichnet. Für die Wellenfunktionen: ( r ) = Ck e ik r k Setze die Fourierentwicklungen für das Potential und für die Wellenfunktion in die Schrödingergleichung ein: 2k 2 2m k Ck e ik r + Ck 'VG e i( k ' +G )r = E Ck e ik r k ',G k 2 2 k ik r e 2m E Ck + VG Ck G = 0 k G Beziehung muss für alle Ortsvektoren r gültig sein Ausdruck in der Klammer, der nicht von r abhängt, muss verschwinden für jedes k Umschreiben: 11.6 2k 2 E Ck + VG Ck G = 0 2m G (entspricht Darstellung der Schrödinger-Gleichung im reziproken Raum) Entwicklungskoeffizienten Ck von ( r ) sind gekoppelt, falls sich ihre k um einen reziproken Gittervektor G unterscheiden D.h. Ck ist gekoppelt an Ck G , Ck G ' , Ck G '' Betrachte N Einheitszellen man erhält N unabhängige Gleichungen, wobei jede Gleichung einem k -Vektor des reziproken Gitters entspricht Jede Lösung kann durch eine Superposition ebener Wellen dargestellt werden, die ebenen Wellen unterscheiden sich nur um einen reziproken Gittervektor G Eigenwerte E der Schrödingergleichung werden durch die Vektoren k gekennzeichnet, d.h. E = E( k ) Ergibt für die Wellenfunktion: k ( r ) = Ck G e i( k G )r = Ck G eiGr e ik r = uk ( r )e ik r G G Funktion uk ( r ) ist eine Fourierreihe über reziproke Gittervektoren G , d.h. sie hat dieselbe Periodizität wie das zugrunde liegende Gitter: uk ( r ) = uk ( r + rn ) Grundaussage des Bloch’schen Theorems: Die Lösung der Ein-ElektronenSchrödingergleichung in einem periodischen Potential beliebiger Amplitude ist eine modulierte ebene Welle k ( r ) = uk ( r )e ik r mit der Modulationsfunktion uk ( r ) = uk ( r + rn ) Die Wellenfunktionen k ( r ) heissen Bloch-Wellen oder Bloch-Zustände 11.7 Weiter gilt: k ( r ) = k +G ( r ) , d.h. Periodizität im k-Raum für die Wellenfunktion Schrödinger-Gleichung: H k = E( k ) k H k +G = E( k + G) k +G mit Translationsinvarianz der Wellenfunktion im k-Raum folgt: E( k ) = E( k + G) Energieeigenwerte E( k ) sind eine periodische Funktion der Quantenzahlen k 11.8 Es zeigt sich, dass diese k -periodischen Energiebänder zur Bandstruktur führen, d.h. zur Beschreibung der elektronischen Struktur eines Festkörpers mit einer periodischen Anordnung aus Atomen. 11.3Die Näherung fast freier Elektronen Betrachte ein periodisches Potential mit sehr kleiner Amplitude Zunächst sei die Potentialamplitude gleich Null, dann werde sie langsam „eingeschaltet“ Freie Elektronen: E = 2k 2 2m Extremfall: V = 0 -> VG = 0 für alle G Dennoch muss das Energiespektrum den allgemeinen Symmetriebedingungen für periodische Potentiale genügen, d.h. das Bloch-Theorem gilt d.h. das Energiespektrum ist auf eine endliche Zahl von k -Werten beschränkt die 1. Periode nennt man die 1. Brillouin-Zone: k a a wenn man die Funktion E( k ) dort kennt, dann kennt man sie durch periodische Fortsetzung im gesamten k-Raum Verschiebe Energieparabeln (=Energiedispersion des freien Elektrons) im k-Raum. 2 2 k + G E( k ) = E( k + G) = 2m 2k 2 Die Energiedispersion des freien Elektrons E( k ) = wird jeweils um einen reziproken 2m 2 Gittervektor G = n verschoben a a: Gitterperiode Es genügt die erste Periode, d.h. die erste Brillouinzone zu betrachten 11.9 Diese wird definiert durch die Schnittpunkte benachbarter Parabeln An den Rändern der Brillouinzone, d.h. bei k = ± gibt es Entartungen, d.h. es gibt zwei a gleiche Energien, die zu verschiedenen Parabeln und damit zu verschiedenem k gehören. Freies Elektron: Wellenfunktionen sind ebene Wellen Welche Zustände/Wellenfunktionen überlagern sich an den Zonengrenzen? e iGx / 2 e und G i( G )x 2 =e i G x 2 (Rechnung in einer Dimension) konstruiere neue Wellenfunktionen durch Überlagerung/Superposition + e e i G x 2 i G x 2 +e e i i G x 2 G x 2 cos x a sin x a Wahrscheinlichkeitsdichten: + = + * + cos 2 x x , = * sin 2 a a Elektron im Zustand + : Ladungsträgerdichte hat ein Maximum an der Stelle der positiven Ionenrümpfe, d.h. mehr Bindungsenergie, d.h. bindender Zustand, Energie reduziert relativ zum freien Elektron (bei diesem k-Wert) Elektron im Zustand : Ladungsträgerdichte hat ein Maximum zwischen den Atomen, d.h. höhere Energie im Vergleich zum freien Elektron (bei gleichem k-Wert) Endliche Potentialamplitude: Aufspaltung der Energieniveaus Abweichung vom Bild freier Elektronen (parabolische Energiedispersion) ist am Zonenrand am grössten, sonst ändert sich nicht viel Am Zonenrand bildet sich eine Bandlücke Quantitativ: E = E + E = 2VG , Bandlücke ist zweimal Fourierkoeffizient des Potentials Verallgemeinerung: es gibt erlaubte Energiebereiche, sogenannte Energiebänder, und verbotene Bereiche, sogenannte Energielücken 11.10 Dieses Bild funktioniert auch bei allgemeinen Festkörpern, nur das die Dispersion der Bänder dann sehr stark von derjenigen des freien Elektrons abweichen Es gibt Näherungen für den Fall sehr tief liegender Elektronen (tight binding) und sehr schwach gebundener Elektronen (quasi-freies Elektronengas) 11.11 Im Zwischenbereich gibt es keine Näherung und das Ergebnis muss mit komplexen numerischen Rechnungen gefunden werden 11.4Die Zustandsdichte dN 3 1 2m 2 dE E Zustandsdichte des freien Elektronengases: D(E) = V = 2 2 2 Herleitung über E( k ) Beziehung, konstante Energie entspricht Kugeloberfläche im k-Raum Jetzt: E( k ) ist eine komplizierte Funktion, d.h. Fläche konstanter Energie ist im Allgemeinen keine Kugeloberfläche mehr Zustandsdichte durch Integration über eine Energieschale E( k ), E( k ) + dE im k-Raum { dZ = } V E +dE dk (2 ) 3 E V (2 ) 3 die Dichte der Zustände im k-Raum, bzw. ist Volumen eines (2 ) 3 V Zustands im k-Raum Volumenelement dk im k-Raum Dabei ist aufgeteilt in Flächenelement dSE auf der Energiefläche und Komponente senkrecht zu dieser Fläche: dk = dSE dk Umschreiben des Energie-Differentials: dE = gradk E dk Zustandsdichte pro Volumen: D(E)dE = dSE 1 dE 3 (2 ) E ( k )= konst grad E( k ) k Spin-Entartung: jeder Zustand kann mit zwei Elektronen besetzt werden. Zustandsdichte D(E) wird dort besonders gross, wo gradk E verschwindet, d.h. wo die Energieflächen im k-Raum flach sind Diese Punkte nennt man van-Hove Singularitäten. 12.1 12. Transport von Elektronen Transport von elektrischer Ladung ist ein zeitabhängiger Prozess Im Prinzip muss die zeitabhängige Schrödingergleichung gelöst werden Bisher: Berechnung elektronischer Zustände mit zeitunabhängige Schrödingergleichung Jetzt: Verhalten von Elektronen in einem Band unter Einfluss eines elektrischen Feldes Einfachster Fall: stationärer Zustand, d.h. elektrisches Feld ist unabhängig von der Zeit, aber es fliesst ein Strom 12.1 Drude Modell Lange bevor eine Theorie zur Beschreibung von Festkörpern vorlag, hatte Drude bereits eine Vorstellung für den Transport von Elektronen durch einen Festkörper entwickelt. Betrachte die Bewegungsgleichung eines klassischen Teilchens unter dem Einfluss eines elektrischen Feldes: mv˙ + m v D = e E , mit Reibungsterm m vD v D = v v therm , Driftgeschwindigkeit, gerichtet aufgrund des angelegten elektrischen Feldes, Differenz zwischen tatsächlicher Geschwindigkeit und der zufälligen thermischen Geschwindigkeit Abschalten des elektrischen Feldes: Geschwindigkeit relaxiert zurück zur thermischen Geschwindigkeit, daher Relaxationszeit Stationärer Fall: v˙ = 0 , -> e vD = E m e 2n Stromdichte in Feldrichtung: j = env D = neμE = E m n: Volumendichte aller freien Elektronen μ: Beweglichkeit, definiert als Faktor zwischen Driftgeschwindigkeit und äusserer Feldstärke damit ergibt sich für die elektrische Leitfähigkeit j e 2n = = m E und für die Beweglichkeit μ= e m Einfache Modellvorstellung: - alle Elektronen tragen zum Strom bei (Pauli-Prinzip verbietet dies für Elektronen weit unterhalb der Fermi-Energie) 12.2 - die Streuzeit beschreibt die Zeit, die ein Teilchen typischerweise zwischen zwei Steuereignissen durchläuft, in diesem Fall zwischen zwei Ionen des Kristallgitters, d.h. die mittlere freie Weglänge ist von der Grössenordnung der Gitterperiode (BlochTheorem sagt, dass an einem periodischen Gitter nicht gestreut wird) 12.2 Hall –Effekt Betrachte einen Quader mit Stromfluss entlang einer Symmetrieachse und einem Magnetfeld, das senkrecht dazu angelegt wird: j: Stromdichte in x-Richtung B: Magnetfeld in y-Richtung b: Dicke des Quaders in z-Richtung UH: Hallspannung senkrecht zur Stromrichtung und senkrecht zum Magnetfeld Ohne Magnetfeld gibt es keine Hallspannung UH. Die Elektronen, die sich aufgrund des angelegten elektrischen Feldes in x-Richtung bewegen, spüren eine Lorentzkraft: FL = e v B Aufgrund dieser Kraft bewegen sich die Ladungen zu einer Grenzfläche in z-Richtung, die Ladungen mit dem entgegengesetzten Vorzeichen verbleiben auf der gegenüberliegenden Grenzfläche. Dadurch entsteht ein elektrisches Feld und damit eine Kraft: Fel = e E Im Gleichgewicht kompensieren sich diese beiden Kräfte: Fel = FL Es entsteht eine elektrische Spannung in z-Richtung: U z = U Hall = E z b = By v x b Stromdichte in x-Richtung: j x = n e v x = E x Hall-Spannung: U Hall = By b j E x = By b x n e n e d.h. Messung der Ladungsdichte wird möglich 12.3 Bewegung von Elektronen in Bändern Bewegung eines freien Elektrons mit Impuls p kann durch eine unendlich ausgedehnte ebene Welle beschrieben werden Unschärferelation: genau bestimmter Impuls verbietet einen genau bestimmten Ort 12.3 Beschreibe Elektron im Festkörper durch eine ähnliche Welle, Elektron sei mehr oder weniger lokalisiert Beschreibe Lokalisierung durch ein Wellenpaket, lineare Überlagerung von ebenen Wellen k k mit Wellenvektor im Intervall k ,k + 2 2 k+ (x,t) k 2 a(k)e [ i kx (k )t ] dk k k 2 (k) ist durch Dispersionsrelation bestimmt Wellenpaket dehnt sich aus mit der Zeit und propagiert Zentrum des Wellenpakets bewegt sich mit Gruppengeschwindigkeit (k) k Kristall: Elektronen werden durch Bloch-Wellen beschrieben Elektronen in Kristallen werden durch Wellenpakete von Blochwellen beschrieben ( k ) 1 = E( k ) Definiere Gruppengeschwindigkeit: v = k k Hier beschreibt E( k ) die Dispersion der Energiebänder in einem Festkörper Anlegen eines elektrischen Feldes im Zeitraum t bedeutet Energiezuwachs E = eEvt Wobei v die Gruppengeschwindigkeit des Wellenpakets ist ˙ k = eEt , bzw. k = eE Es folgt: E = E( k ) k = vk , k E: Energie, E : elektrisches Feld Dies gilt für Elektronen in Festkörpern, so lange die angelegten elektrischen Felder klein sind gegen die atomaren Felder 12.4 Schreibe nun die semiklassische Bewegungsgleichung für Kristallelektronen in Anwesenheit eines elektrischen Feldes: v˙ i = 1 1 d 2E ˙ 1 2E E( k ) = = eE k j 2 i j k ik j dt k j k ik j ( ) j 1 Analoge klassische Gleichung für Punktladung im elektrischen Feld: v˙ = eE m ( ) 1 1 2E Vergleich liefert: Tensor der effektiven Masse = m * ij 2 k ik j Bandstruktur E( k ) liefert einen Ausdruck, der äquivalent ist zur klassischen Masse Betrachte Bandstruktur an einem Extremum: 2 E( k ) = E 0 ± k x2 + k y2 + k z2 ) ( 2m * In der Nähe eines solchen Punktes ist die effektive Masse Näherung besonders nützlich, weil man die Elektron wie freie Teilchen mit einer modifizierten Masse beschreiben kann Effektive Masse kann positiv oder negativ sein Sobald man ein Band hat, dessen Dispersion näherungsweise parabolisch ist (d.h. in der Nähe eines Maximums oder Minimums), dann ist der Ansatz einer effektiven Masse sinnvoll. Für die Bewegung des Elektrons bzw. für dessen Reaktion auf ein elektrisches Feld können dann die klassischen Bewegungsgleichungen benutzt werden, wobei lediglich die Masse des freien Elektrons durch die effektive Bandmasse ersetzt wird. Was bedeutet ein negativer Wert für die effektive Masse? Die Elektronen bewegen sich bei einem angelegten elektrischen Feld entgegen der Bewegungsrichtung für freie Elektronen. 12.5 12.4 Ströme in Bändern: Elektronen und Löcher Elektronen haben verschiedene k-Vektoren (auch Elektronen an der Fermi-Fläche). Wie tragen Elektronen mit verschiedenen k-Vektoren zum Strom bei? Stromdichte allgemein: j = env Betrachte Volumenelement dk um k , berechne Teilchenstromdichte der Elektronen aus diesem Volumenelement dk 1 dj n = v( k ) = 3 k E( k )dk 3 8 (2 ) Zustandsdichte im k -Raum ist V , d.h. (Volumen eines Zustands im k-Raum)-1 3 (2 ) Spin-entartete Zustände werden doppelt gezählt Betrachte die Elektronen in einem ganz gefüllten Band, welchen Beitrag liefern sie zur elektrischen Stromdichte? e j = 3 k E( k )dk 8 1.BZ Band ist gefüllt -> Integral erstreckt sich über die 1. Brillouin Zone k E( k )dk Damit gibt es für jede Geschwindigkeit v( k ) = 12.6 Auch einen Beitrag von v(k ) . Aufgrund von Symmetrie-Eigenschaften des Gitters (Kristallstrukturen mit Inversionssymmetrie, oder genauer aufgrund der beiden Spin-Zustände) gilt E( k ) = E( k ) 1 1 Damit gilt: v(k ) = k E( k ) = k E( k ) = v( k ) Das bedeutet, dass die Stromdichte, die von einem gefüllten Band getragen wird, identisch verschwindet j (volles Band) = 0 ˙ k = eE teilweise gefülltes Band: elektrisches Feld E wirkt entsprechend d.h. Zustände werden im Band so umverteilt, dass sie nicht mehr symmetrisch um k = 0 angeordnet sind. Deswegen ist der Strom verschieden von Null: j (teilweise gefülltes Band) 0 Integral erstreckt sich nur über besetzte Zustände und nicht über die gesamte Brillouin-Zone: e e e +e j = 3 v( k )dk = 3 v( k )dk 3 v( k )dk = 3 v( k )dk 8 k besetzt 8 1. BZ 8 k leer 8 k leer =0 Formal: Strom, der durch die besetzten Zustände getragen wird ist identisch zu Strom, der von positiv geladenen Teilchen getragen wird. Die unbesetzten Zustände werden diesen neuen positiv geladenen Teilchen zugewiesen. Man nennt diese neuen Quasi-Teilchen Löcher. Deren Bewegungsgleichung ist ähnlich derjenigen für Elektronen, nur mit umgekehrtem Vorzeichen für die Ladung Löcher verhalten sich bzgl. elektrischen Feldern wie positiv geladene Teilchen Betrachte fast ganz gefülltes Band mit wenigen unbesetzten Zuständen ganz oben Thermodynamisches Gleichgewicht: Elektronen besetzen untere Bandzustände, Löcher findet man an der Oberkante des Bandes. Betrachte Band-Maximum: Banddispersion für Löcher 2k 2 E( k ) = E 0 2 mh * mh * ist die effektive Masse der Löcher an der Bandoberkante, d.h. mh * < 0 Betrachte Loch unter Einfluss eines elektrischen Feldes: ˙ 1 d e 1 v˙ = k E( k ) = k = E dt mh * mh * 12.7 ˙ Hier bezeichnen k E( k ) und k die unbesetzten elektronische Zustände Bewegungsgleichung ist diejenige eines positiv geladenen Teilchens mit einer positiven effektiven Masse Falls zwischen oberstem besetzten Zustand und unterstem unbesetztem Zustand eine Bandlücke existiert, so muss es sich um einen Isolator handeln, da volle Bändern keinen Strom leiten können Behauptung gilt streng nur bei T=0. Thermische Anregungen bei endlicher Temperatur T>0 führen zu wenigen zusätzlichen besetzten Zuständen im ursprünglich leeren Band, d.h. Stromfluss wird möglich Umgekehrt gibt es jetzt im ursprünglich voll besetzten Band leere Zustände (Löcher), die ebenfalls Strom tragen können Bei T 0 wird der Strom sowohl durch Elektronen wie durch Löcher getragen Dieses Verhaltern ist typisch für Isolatoren und Halbleiter Leitfähigkeit hängt hauptsächlich von den thermisch angeregten Ladungsträgern ab, d.h. von der Grösse der Bandlücke relativ zur thermischen Energie kT. Metalle: teilweise gefülltes Band, d.h. Zahl der Ladungsträger hängt praktisch nicht von der Temperatur ab 12.5 Fermi-Kugel im elektrischen Feld Damit ein elektrischer Strom fliesst, müssen die Elektronen durch ein elektrisches Feld beschleunigt werden können Stationärer Zustand bildet sich aus bei konstantem elektrischem Feld Im thermodynamischen Gleichgewicht wird die Verteilung der Zustände durch die FermiDirac-Verteilung beschrieben: 1 f 0 E( k ) = E ( k )E / kT ( F) e +1 [ ] Ausserhalb des Gleichgewichts, d.h. wenn ein elektrisches Feld angelegt ist, wird sich eine neue Verteilung einstellen: f f ( r , k ,t) Durch das elektrische Feld wird die Verteilung aus dem Gleichgewicht in den stationären Zustand gebracht. Nachdem das Feld abgeschaltet wurde, relaxiert die Verteilung durch Stoesse (z.B. Gitterschwingungen, Gitterdefekte) wieder zurück zum Gleichgewicht Relaxationszeit Lösung über Boltzmann-Transport Gleichung im elektrischen Feld, Näherung für kleine elektrische Felder: e f ( k ) = f 0 k + (k ) E 12.8 12.9 Stationäre Verteilung ist eine verschobene Fermi-Verteilung Nach Auschalten des elektrischen Feldes verschiebt sich die Fermi-Verteilung wieder zurück zum Ursprung, die Zeitkonstante ist durch die Relaxationszeit gegeben, d.h. durch die charakteristischen Streuprozesse durch Gitterschwingungen und durch Defekte e Es zeigt sich, dass die Verschiebung der Fermi-Kugel k = E sehr klein ist gegenüber dem Fermiwellenvektor, kF , k << k F Wie beim Drude-Modell ist die Relaxationszeit mit Streuprozessen verknüpft. Allerdings ist die Interpretation eine völlig andere. Während beim klassischen Drude-Modell die Zeit die Zeit zwischen zwei Streuereignissen beschreibt, so ist im quantenmechanischen Fall die Zeit für die Relaxation der Fermi-Kugel zurück zum thermodynamischen Gleichgewicht. 12.6 Elektrische Leitfähigkeit von Metallen Betrachte den Beitrag von Elektronenin einem Volumen dk zur Teilchenstromdichte, Besetzungswahrscheinlichkeit sei f ( k ) 1 Teilchenstromdichte: j n = 3 v( k ) f ( k ) dk Integration im k-Raum 8 1.BZ Elektrische Stromdichte für elektrisches Feld in x-Richtung: e j = 3 v( k ) f ( k ) dk 8 1.BZ e ( k ) e f = 3 v( k ) f 0 ( k ) + E x 0 dk 8 1.BZ k x f e (k) f e (k) E = f 0 (k ) + Ex Mit f ( k ) = f 0 ( k ) + k x k Isotropes Medium und kubisches Gitter: j y = 0 = j z für elektrisches Feld in x-Richtung Integral über gesamte BZ, f 0 ( k ) hat Inversionszentrum um k = 0 -> v x f 0 ( k ) dk x = 0 Weiter gilt: f 0 f 0 E f 0 = = v x k x E k x E Damit folgt für elektrische Stromdichte: f e2 j = 3 E x v2x ( k ) 0 dk 8 E 1.BZ spezifische Leitfähigkeit: = f j x e2 = v2x ( k ) 0 dk 3 E x 8 1.BZ E Breite der Fermi-Verteilung hat eine Breite von ca. 4 kT 12.10 ( Ausserdem ist f 0 inversionssymmetrisch um den Punkt E F , f 0 (E F ) = 1 2 ) f 0 ( E EF ) E dE dE dk = dSE dk = dSE = dSE v( k ) k E Diese Ergebnisse eingesetzt in Ausdruck für die Leitfähigkeit mit dE = k E dk : e2 v2 = 3 dSE dE x ( k ) (E E F ) 8 v( k ) e2 v2 = 3 dSE x ( k ) 8 E = E F v( k ) Im allgemeinen Fall ändern sich v( k ) und ( k ) über die Fermifläche Näherung für einen mittleren Wert: v 2x ( k ) gemittelt über die Fermi-Fläche v( k ) E F Spezialfall: Fermi-Kugel, d.h. freie Elektronen mit einer konstanten effektiven Masse 1 2 v 3 2 v ( k x ) v( k ) v 2x = = v(E F ) (E F ) EF 1 3 Ergebnis: die elektrische Leitfähigkeit einesMetalls kann ausgedrückt werden als Oberflächenintegral über die Fermi-Fläche E( k ) = E F im k-Raum ist eine Funktion von v(E F ) sowie (E F ) Diese Überlegungen zeigen, dass nur Elektronen in der Nähe der Fermifläche relevant sind für den Stromtransport in Metallen. Dies entspricht den Forderungen des Pauli-Prinzips. Elektronen tief unter der Fermi-Energie werden durch die Verschiebung der Fermi-Kugel nicht beeinflusst 12.11 Einfachster Fall: - Leitungsband eines Metalls - kT << EF - konstante effektive Masse m* -> v(E F ) = dS E k F m* = 2 4 kF2 E = EF kT<<EF -> n= 2 4 3 k F 3 8 3 -> kF3 = 3 2 n Damit ergibt sich folgender Ausdruck für die Leitfähigkeit: = e 2 (E F )n m* Beweglichkeit: μ = e (E F ) m* Diese Ausdrücke sind formal äquivalent zum Drude Modell. Allerdings ist die Interpretation eine gänzlich Andere. Sowohl im Drude-Modell als auch bei der qm Rechnung hängt die Leitfähigkeit von der Gesamtzahl der Ladungsträger n ab. Qm: dies kommt von der Integration im k-Raum Drude: alle Ladungsträger nehmen am Transport teil Die Ähnlichkeit der mathematischen Ausdrücke erklärt, warum man mit dem Drude Modell so weit kommt. Halbleiter: Ladungsträgerdichte n hängt stark von der Temperatur ab Metalle: Ladungsträgerdichte praktisch temperaturunabhängig, aber Beweglichkeit μ bzw. Relaxationszeit (E F ) stark temperaturabhängig, wichtigste Streumechanismen sind Phononen und Defekte. 12.12 Annahme: Phononenstreuung und Streuung an Defekten sind voneinander unabhängig Gesamte Streuwahrscheinlichkeit ist Summe der beiden individuellen Streuraten 1 1 1 = + ges Phononen Defekt Streuung an Defekten hängt nicht von der Temperatur ab, d.h. Defekt ist eine Konstante, die von den Verunreinigungen des Kristalls abhängt Phononen: Gitterschwingungen hängen stark von der Temperatur ab Phononen-Frequenzen enthalten Informationen über die elastischen Eigenschaften des Materials Gesamtwiderstand: Metall (T) = Phonon (T) + Defekte 13.1 13. Halbleiter Im Kapitel über Bandstruktur haben wir gelernt, dass nur ein teilweise gefülltes elektronisches Band zum elektrischen Strom eintragen kann. Total gefüllte oder total leere Bänder tragen nicht zur elektrischen Leitfähigkeit bei. Ein Material, das nur komplett gefüllt oder leere Bänder aufweist ist ein Isolator. Falls jedoch der Bandabstand zwischen der oberen kante des höchsten gefüllten Bandes (=Valenzbad) und der unteren Kante des tiefsten leeren Bandes (=Leitungsband) nicht zu gross ist (z.B. 1eV ), so hat die endliche Breite der FermiVerteilung 4kT , bei mittleren und hohen Temperaturen Konsequenzen für die Besetzung der Bänder. Bei endlichen Temperaturen werden einige Elektronen am oberen Rand des Valenzbandes angeregt in die untersten Zustände des Leitungsbandes. Die thermisch angeregten Elektronen 13.2 und Löcher können einen elektrischen Strom tragen. In diesem Fall spricht man von einem Halbleiter. Die Leitfähigkeit eines Halbleiters kann daher mit höherer Temperatur sehr stark zunehmen. Die Leitfähigkeit kann durch gezielte Zugabe von Verunreinigungen ebenfalls sehr stark modifiziert werden. Dies nennt man Dotierung. Die Abstimmbarkeit der elektrischen Leitfähigkeit von Halbleitern ist die Voraussetzung für die Entwicklung der modernen Mikroelektronik. 13.1 Eigenschaften der wichtigsten Halbleiter Der Halbleiter, aus dem der erste Transistor 1948 bei den Bell Telephone Laboratories hergestellt wurde, war aus Ge. Nahezu die gesamte Mikroelektronik basiert auf Si. Beinahe alle optischen Komponenten aus Halbleiter, z.B, der Halbleiter-Laser in jedem CD-Spieler, werden aus III-V Halbleiter hergestellt. Dies sind Verbindungen aus der III und V Hauptgruppe des Periodensystems, z.B. In P, GaAs, Al Sb etc. Si und Ge kristallisieren in der Diamantstruktur. Aufgrund der Mischung von s- und p-Orbitalen entsteht eine tetraedrische Bindung, die sogenannten sp3-Orbitale. Für Atomabstände nahe beim Gleichgewicht gibt es eine Aufspaltung in bindende und anti-bindende Orbitale. Die bindenden Orbitale bilden das Valenzband, die anti-bindenden das Leitungsband. Da alle 4 sund p-Elektronen das Valenzband komplett füllen, erhält man ein leeres Leitungsband. Als Ergebnis davon ist Diamant ein Isolator, während Si und Ge kleinere Bandlücken aufweisen und deswegen Halbleiter sind. Temperatur-Abhängigkeit der Bandlücke Eg: Mit zunehmender Temperatur nimmt die Gitter-Konstante aufgrund der thermischen Ausdehnung zu. Daher nimmt die Aufspaltung zwischen bindenden und anti-bindenden Zuständen ab und die Bandlücke wird kleiner. Eine genaue Beschreibung dieses Effekts muss auch phononische (Gitterschwingungen) Beiträge berücksichtigen. Die Bandstrukturen der wichtigsten Halbleiter sind im Detail berechnet und in Experimenten bestimmt worden. 13.3 Obwohl Si und Ge dieselbe Gittersymmetrie aufweisen, d.h. fcc (face centered cubic) mit 2atomiger Basis=Diamantstruktur, sind ihre E(k) -Beziehungen, d.h. ihre Bandstrukturen, sehr verschieden. Beide Halbleiter haben eine indirekte Energielücke. Dies bedeutet, dass der minimale Abstand zwischen Leitungs- und Valenzband sich zwischen Zuständen mit verschiedenen k-Vektoren befindet. Valenzband-Maximum bei k = [0,0,0] , -Punkt Leitungsband-Minimum entlang k = [111] für Ge und entlang k = [100] für Si E(k) in der parabolischen Näherung, d.h. nur Terme bis k2. Flächen konstanter Energie sind Ellipsoide um die [111] bzw. [100] Richtungen k 2k 2 k 2 E(k) = x y + z 2ml 2mt mt*: transversale effektive Masse ml*:longitudinale effektive Masse 13.4 Si Ge mt*/m 0.19 0.082 ml*/m 0.98 1.57 Dabei ist der Energie-Ursprung am Leitungsband-Minimum gewählt. III-V-Halbleiter haben meistens eine direkte Bandlücke im Gegensatz zu Si und Ge. Valenzband-Maximum und Leitungsband-Minimum liegen beide am -Punkt, d.h. bei k = (000) . Ebenso gibt es 3 Valenzbänder, leichte und schwere Löcher, sowie das Spin-abgespaltene Band. Ausnahme: GaP und AlSb haben ebenfalls indirekte Bandlücken. Ebenso kann man Elemente aus der II. und VI.-Hauptgruppe kombinieren, um sogenannte IIVI-Halbleiter herzustellen, z.B. ZnO, CdS, CdTe. In dieser Gruppe von Halbleitern ist der ionische Charakter der Bindung stärker. Eg (300k) eV 1.43 1.35 0.18 GaAs InP InSb ml*/m mlh*/m m*hh/m 0.07 0.073 0.015 0.12 0.078 0.021 0.68 0.4 0.39 lh= light hole hh= heavy hole 13.2 Ladungsträgerdichte in intrinsischen Halbleitern Elektrische Leitfähigkeit: = e ( nμn + pμ p ) n: Elektronendichte p: Löcherdichte n: Beweglichkeit der Elektronen p: Beweglichkeit der Löcher 13.5 Vernachlässigung der Energie- bzw. k -Abhängigkeit von n und p. Normalerweise genügt es die Ladungsträger im parabolischen Teil der Bänder zu berücksichtigen, wo die effektive Masse-Näherung gültig ist, d.h. me und mp sind konstant. Da die Driftgeschwindigkeit v und die elektrische Ladung von Löchern und Elektronen verschiedene Vorzeichen haben tragen beide Typen von Ladungsträgern mit demselben Vorzeichen zu bei. Metalle: nahezu Temperatur-unabhängig Halbleiter: sehr stark Temperatur-abhängig da Ladungsträger über die Bandlücke Eg thermisch angeregt werden müssen. n und p hängen stark von der Temperatur ab über die Fermi-Verteilung. Intrinsische Halbleiter: freie Elektronen und Löcher können nur durch Anregungen vom Valenzband ins Leitungsband entstehen. Wie in jedem Festkörper muss die Besetzung der Energieniveaus in Halbleitern der FermiStatistik genügen. n= D (E) f (E,T)dE L EL p= EV D V (E)[1 f (E,T)] dE DL Zustandsdichten in Leitungs- und Valenzband DV Die obigen Integrale sollten sich nur über die Bänder erstrecken. Da die Fermi-Funktion jedoch sehr schnell abfällt, können die Grenzen bis ± ausgedehnt werden. Parabolische Näherung (m*=const) DL (E) = (2me * ) 3 / 2 2 2 3 E E c für E>Ec DV (E) = (2mh * ) 3 / 2 2 2 3 E V E für E<EV Die Zustandsdichte im verbotenen Bereich EV<E<EL ist natürlich null. Intrinsischer Halbleiter: alle freien Elektronen im Leitungsband kommen aus Zuständen im Valenzband. n = p Konzentration von freien Elektronen und Löchern ist dieselbe. Für me*= mh* gilt DL=DV 13.6 EF muss in der Mitte zwischen den beiden Bändern liegen. DL DV EF verschiebt sich hin zu einem Band, so dass n=p gültig bleibt Breite der Fermi-Funktion 2kT50meV bei 300K << Eg1eV Fermi-Funktion kann durch die Boltzmann-Funktion angenähert werden für E>EL und E<EV E EF >> 1 kT E EF 1 exp << 1 E EF kT exp +1 kT Ladungsträgerdichte: n = Substitution: X L = n= (2me *) 2 2 3 3/2 ( kT ) (2me *) 2 E EL , kT 2 3 e E F / kT E E L eE / kT dE EL X L eX L dX L = 0 3 / 2 (E E )/ kT L F e 3/2 0 1 2 2me * kT 3 / 2 ( E L E F )/ kT X L eX L dX L = 2 e 2 h NL eff 2m h * kT 3 / 2 (EV E F )/ kT analog: p = 2 e 2 h NV eff effektive Zustandsdichten: N V , N L eff eff Verteilungsfunktion für translatorische Bewegung in 3D Kleine Konzentrationen von Ladungsträgern können durch die Boltzmann-Gleichung beschrieben werden. Formal kann das Leitungsband als Potentialtopf betrachtet werden, in dem die Fermi-Energie tief unterhalb (>>kT) des Bodens des Potentialtopfes liegt. NLeff, NVeff sogenannte effektive Zustandsdichten. Interpretation: das gesamte Leitungsband wird charakterisiert durch ein einziges Energieniveau EL mit der Zustandsdichte NLeff , die explizit von der Temperatur abhängt. Gleiches gilt für das Valenzband, mit dem Energieniveau Ev und der effektiven Zustandsdichte NVeff . Besetzungsdichten n und p beider Bänder sind durch den Boltzmann-Faktor bestimmt. Dabei wird die Energie von EF aus gemessen. Diese Näherung, die bei Halbleitern oft gilt, nennt man die Näherung der Nicht-Entartung. Grosse Ladungsträgerdichten können in Halbleitern durch Dotierung, d.h. Zugabe von grossen Mengen von Störatomen erzielt werden. In diesem Fall gilt obige Näherung nicht mehr und man spricht von entarteten Halbleitern. 13.7 Mit den Ausdrücken für n und p findet man: n p= N L eff V N e ff e E g / kT kT 3 * * = 4 me mh 2 2 ( ) 3 / 2 E / kT g e Falls ein Halbleiter bestimmt ist durch seine Bandlücke sowie seine effektiven Massen me* und mn*, so gilt für die Elektronen- und LöcherKonzentrationen als Funktion der Temperatur eine Art Massenwirkungsgesetz. Die zusätzliche Bedingung n=p für intrinsische Halbleiter liefert: n i = pi = N L eff N V eff e kT 3 / 2 * * = 2 me mh 2 2 ( ) E g / 2kT 3 / 4 E / 2kT g e Das Fermi-Niveau stellt sich genau so ein, dass bei einer bestimmten Temperatur Ladungsneutralität gilt. n = p = N L eff eE L / kT e E F / kT = N V eff e EV / kT eE F / kT e 2E F / kT = EF = N V eff (EV +E L )/ kT e N L eff E V + E L kT E + EL 3 * * + ln( N V eff /N L eff ) = V + kT ln mh /me 2 4 2 2 ( ) Falls die beiden effektiven Massen bzw. effektiven Zustandsdichte gleich sind, so liegt das Ferminiveau für einen intrinsischen Halbleiter genau in der Mitte der Energielücke für alle Temperaturen. Falls die effektiven Zustandsdichten in Leitungs- und Valenzband jedoch verschieden sind, so liegt die Fermi-Energie asymetrisch bzgl. der Bandkanten EL und EV. Ausserdem zeigt die Position des Fermi-Niveaus eine schwache Temperatur-Abhängigkeit. 13.8 13.3 Dotierung von Halbleitern Si hat bei 300 K eine intrinsische Ladungsträgerkonzentration von ni=1.5 ·1010cm-3 Dieser Wert ist extrem gering und führt zu sehr kleinen Strömen. Höhere Konzentrationen können durch Dotierung erzeugt werden. Dies bedeutet die Zugabe von elektrisch aktiven Störstellen in den Halbleiter. Die meisten Halbleiter können nicht mit genügender Reinheit als Einkristalle hergestellt werden, dass man intrinsische Leitfähigkeit bei Raumtemperatur beobachten kann. Unbeabsichtigte Dotierung führt bei 300 K zu Ladungsträgerdichten von ungefähr 1015 cm3 (bei GaAs oder Si) verglichen mit intrinsischen Konzentration im Bereich von ni 5 ·107 cm3 Elektrisch aktive Störstellen in einem Halbleiter erhöhen die Konzentration entweder der freien Elektronen oder der freien Löcher, indem Elektronen aus Leitungsband abgegeben werden oder vom Valenzband aufgenommen werden. Diese Störstellen nennt man Donator oder Akzeptor. Ein Donator entsteht in Si, indem ein 4-wertiges Si-Atom durch ein 5-wertiges Atom ersetzt wird, z.B. P,As,Sb. Die elektronische Struktur der äussersten Schale dieser Atome ist s2p3 statt s2p2 wie bei Si. Um sich der tetraedrischen Bindung der sp3 Hypridisierung anzupassen sind nur die 4 s2p2-Elektronen des 5-wertigen Donators notwendig. Das zusätzliche Elektron ist schwach an den positiv geladenen Donator gebunden, der ein Si-Atom ersetzt hat. 13.9 Ein 5-wertiger Donator kann in guter Näherung als positiv geladener Kern dargestellt werden, an den ein Elektron gebunden ist. Das Elektron kann losgelöst werden und sich dann "frei" durchs Gitter bewegen. Durch Ionisation wird das Elektron von der Störstelle ins Leitungsband angeregt. Der Donator kann als wasserstoffartiges Zentrum beschrieben werden, bei dem die Coulomb-Anziehung zwischen Zentrum und Valenz-Elektron durch die Anwesenheit der Elektronen des Si in der Nähe abgeschirmt wird. Abschirmung: abgeschätzt durch die Dielektrizitätskonstante von Si: E(Si)=11.7 Wasserstoff-Energieniveaus: E n = H mee 4 1 2 2 2( 4 0 ) n n=l Niveau Ionisierungsenergie= 13.6 eV P Donator in Si: 1) me= freie Elektronenmasse ersetzen durch die effektive Masse me*= 0.3 me eines Elektrons im Leitungsband. 2) Die Elektrizitätskonstante des Vacuums 0 ersetzen durch (Si)o En P in Si = me * e 4 1 2 2 2( 4 0 ) n Damit ergibt sich die Ionisierungsenergie des Donators zu 13.6eV (me*/me)/2~30meV Germanium: Ge=15.8, me*=0.12me (Ec-ED) ~6 meV Im Wasserstoff-Modell findet man für den Bohr'schen Radius r = 0 h2 me e 2 oder für den Donator rD = 0 h2 me *e 2 13.10 1 ~ 3 nm , d.h. das an den Donator gebundene 0.2 Elektron überstreicht bei seiner Bahn viele Gitterkonstanten. Dies rechtfertigt im Nachhinein das Konzept einer räumlich verschmierten Dielektrizitätskonstante. Für Si führt dies zu rD ~ 0.05 nm12 Donator Akzeptor Falls ein 3-wertiges Atom (B,Al,Ga) im Gitter eines 4-wertigen Elements (Si,Ge) eingebaut wird, so gelten alle Überlegungen entsprechend. Bildung eines sp3-Hybrids=Akzeptor nimmt Elektronen aus dem Valenzband auf => ein Loch wird zurückgelassen. Akzeptor-Ionisierungsenergie: Elektron wird vom Valenzband ins Akzeptor-Niveau angehoben => "geladene" Akzeptoren sind negativ geladen. Wasserstoff-Modell: Energie, um das Loch vom Akzeptor zu trennen. kleinste heute kontrollierbare Störstellenkonzentrationen ~1012cm-3 Ge: ni(300K) ~ 2.4 ·1013cm-3 Si: ni(300K) ~1.5 ·1010cm-3 13.4 Ladungsträgerdichte in dotierten Halbleitern dotierte Halbleiter -> Elektron thermisch angeregt aus Valenzband -> Elektron im Leitungsband aus Donatorzustand äquivalent für Loch im Valenzband nicht entartete Halbleiter n p = N L eff N V eff e E g / kT Massenwirkungsgesetz gilt auch im Fall der Dotierung, wo die Position der Fermi-Energie EF zunächst nicht auftaucht. Position von EF: bestimmt durch Neutralitätsbedingung alle Ladungen müssen berücksichtigt werden, auch diejenigen der ionisierten Störstellen ND/A: Dichte aller verfügbaren Donatoren/Akzeptoren N0D/A: Dichte aller neutralen Donatoren/Akzeptoren N+D/N-A: Dichte aller ionisierten Donatoren/Akzeptoren homogene Halbleiter: n+N-A=p+ND+, Ladungsneutralität 13.11 ND=ND0+ND+ NA=NA0+NAtypische Störstellen-Konfigurationen: 10131017cm-3 Bohr'sche Bahnen benachbarter Donatoren oder Akzeptoren überlappen nicht Besetzung der Donatoren mit Elektronen (nD) ist durch folgende Verteilung bestimmt: n D = N D = N D [1+ e(E D E F )/ kT ] 0 1 [ Analog für Akzeptoren: n A = N A = N A 1+ e( E F E A ) kT 0 ] 1 Hier: Beschränkung auf den Fall, wo entweder Donatoren oder Akzeptoren vorliegen. 1) Tiefe Temperaturen: 4 ( N D /N L e ff )e E d / kT >> 1, Ed=EL-ED n N D N L eff eE d / 2kT eine grosse Zahl der Donatoren ist nicht ionisiert, d.h. behält das Valenz-Elektron. Ausfrieren von Ladungsträgern Vgl. mit dem Fall intrinsischer Halbleiter: n i = pi = N L eff N V eff e d.h. E g / 2kT statt effektive Zustandsdichte im Valenzband NVeff jetzt Donatordichte ND statt Bandlücke Eg jetzt Donatorbindungsenergie Ed In diesem Tieftemperatur-Bereich hängt die Elektronenkonzentration exponentiell von der Temperatur ab, wie bei einem intrinsischen Halbleiter. Die grosse Bandlücke Eg ist jedoch durch die viel kleinere Donatorverbindungsenergie ersetzt. Man braucht also viel geringere Temperaturen, um eine bestimmte Dichte an freien Elektronen zu erzeugen. 2) Hohe Temperaturen 4 N D e E d / 2kT << 1 N L eff n N D = const 13.12 Die Konzentration der Donator-Elektronen im Leitungsband hat den maximal möglichen Wert erreicht, wenn alle Donatoren ionisiert sind. In dieser Näherung hat man die Elektronen, die direkt aus dem Valenzband angeregt werden, vernachlässigt. 3) Sehr hohe Temperaturen In diesem Fall ist die Zahl der aus dem Valenzband angeregten Elektronen so gross, dass sie berücksichtigt werden muss und unter Umständen sogar die Zahl der Donator-Elektronen übersteigt. In diesem Bereich verhält sich ein n-dotierter Halbleiter wie ein intrinsischer Halbleiter. Man spricht vom intrinsischen Gebiet der Ladungsträger-Konzentration. die Position der Fermi-Energie als Funktion der Temperaturen kann ähnlich wie im Fall intrinsischer Halbleiter diskutiert werden. Bei tiefen Temperaturen, wo die Donatoren anfangen auszufrieren, wird die Valenzband-Kante durch das Donator-Niveau ersetzt. Bei hohen Temperaturen gibt es sowieso einen Übergang zum Fall intrinsischer Halbleiter. für ndotiertes Silizium erstreckt sich der Sättigungsbereich für eine p-Konzentration von 3x1014cm-3 von 45 K bis 500 K. Dies bedeutet, dass bei Raumtemperatur alle Donatoren ionisiert sind. In der Realität wird es immer eine Restkonzentration von Akzeptoren geben, die die Dichte freier Elektronen im Leitungsband reduziert. Sämtliche hier angestellten Überlegungen für n-typ Halbleiter gelten natürlich analog für p-typ Halbleiter. 13.13 13.5 Der p-n Übergang Die moderne Festkörperphysik hängt eng mit der Entwicklung von Halbleiter-Bauelementen zusammen. Die Funktionsweise der meisten Halbleiter-Bauelemente beruht auf Phänomenen, die mit Inhomogenitäten in Halbleitern zusammenhängt. Inhomogene Konzentrationen von Donatoren und Akzeptoren führen zu unerwarteten Leitfähigkeitsphänomenen, die eine zentrale Bedeutung für das Design und die Herstellung von Halbleiter-Bauelementen haben. Hier werden wir uns auf die Diskussion des p-n Übergangs beschränken. Ein p-n Übergang besteht aus einem Halbleiter, z.B. Si, der auf einer Seite p- und auf der anderen Seite ndotiert ist. Im Idealfall erfolgt der Übergang von n- zu p-Dotierung innerhalb einer abrupten Stufe. "Abrupt" muss hier noch näher definiert werden, d.h. welche Längenskala ist hier relevant. 13.14 13.5.1 p-n Übergang im thermischen Gleichgewicht Zunächst betrachten wir zwei getrennte Halbleiter, die jeweils n-bzw. p-dotiert sind. Dies bedeutet, dass das Fermi-Niveau in den beiden Bereichen bei verschiedenen Energien innerhalb der Bandlücke liegt. Bringt man die beiden Kristallhälften zusammen, so muss der gesamte Festkörper im thermodynamischen Gleichgewicht das Fermi-Niveau überall an derselben Energie haben. 13.15 Dies bedeutet notwendigerweise, dass sich die entsprechenden Bandkanten der beiden Kristallhälften relativ zueinander verschieben müssen. Dies führt im Bereich des p-n Übergangs zu einer Bandverbiegung. In dieser semi-klassischen Beschreibung wird die Situation innerhalb des Übergangsgebiets durch ein ortsabhängiges Potential V (x) beschrieben. Dieses Potential ändert sich wenig im Bereich einer Gitterkonstante. Nach der Poisson-Gleichung entspricht das Potential V(x) einer Raumladung (x) mit 2V (x) (x) = 2 x 0 Tief im Kristall, weit weg vom Übergangsbereich, befindet sich das Fermi-Niveau im pdotierten Bereich nahe bei den Akzeptor-Zuständen und im n-dotierten Bereich nahe bei den Donator-Zuständen. Die Bandverbiegung im Übergangsbereich führt dazu, dass Akzeptoren im p-Gebiet unterhalb des Fermi-Niveaus zu liegen kommen und deswegen von Elektronen besetzt werden. Umgekehrt werden die Donatoren im n-Gebiet über das Fermi-Niveau angehoben, so dass sie entvölkert werden und damit positiv geladen sind. Die Raumladung besteht aus ionisierten Akzeptoren und Donatoren, die im Raum fest sind. dies führt zu einem geladenen Doppel-Schicht-System über den Sprung im Dotierprofil. Tiefe Temperaturen => Ausfrieren der Ladungsträger => Raumladungszone kommt zustande, weil die Ladung der räumlich festen Donatoren und Akzeptoren in der Nähe des Dotierungs-Übergangs nicht mehr durch die beweglichen Elektronen und Löcher des Leitungs- und Valenzbandes kompensiert wird. Ausserhalb der Raumlandungszone: 13.16 Donatoren (ND+ falls geladen) und Akzeptoren (NA) sind kompensiert durch gleich grosse Elektronen (nn) und Löcher (pp) Konzentrationen. nn: Elektronen im n-Gebiet ) Majoritäts- pp: Löcher im p-Gebiet )Ladungsträger Elektronen und Löcher sind frei beweglich. => Elektronen können in p-Gebiete diffundieren => Löcher können in n-Gebiete diffundieren => Minoritäts-Ladungsträger, np, pn Majoritäts-Ladungsträger: nn = N L pp = N V eff e eff e E L n E F kT E F EV p kT ausserdem n i = n n pn = N 2 V eff N L eff e E L n EV n kT VD: Diffusionspannung => Unterschied zwischen Minimum und Maximum von V(x) eVD = (E V E V ) = kT ln n mit pn = N V eff e p pp nn ni2 E F EV n kT n2 n p p N V eff und i = n n = n = V e p p n n p p n n p p N eff E Ln EVn kT tiefe Temperaturen - > Ausfrieren der Ladungsträger -> /eVD/~Eg Ströme Offensichtlich gibt es über einen p-n Übergang hinweg Potentialgradienten und damit elektrische Felder, in denen sich die freien Ladungen bewegen. Im stationären Zustand werden diese Diff-Ströme genau durch Diffusions-Ströme kompensiert. Diffusion: p n jdiff=jndiff+jpdiff = e Dn DP x x Drift: jDrift =jnDrift+jpDrift=e(nμn+pμp)Ex jdiff+jDrift=0 13.17 =->Beiträge für Elektronen und Löcher müssen sich je separat aufheben Dn n V (x) V = nμn mit E x = x x x Innerhalb der Raumladungszone gilt: Leitungsband ~ELP-eV(x) E P eV (x) E F n(x) = N L eff exp L kT n e V = n kT x x Dn = kT μn e Einstein-Beziehung: Diffusionskonstante <-> Beweglichkeit Für Löcher gilt eine analoge Beziehung. In der Realität sind p-n Übergänge nicht abrupt. Die genaue Form der Raumladungsdichte (x) hängt vom Wechselspiel der Drift- und Diffusionsströme ab. Für den Fall des abrupten Übergangs können näherungsweise Lösungen im so genannten Schottky-Modell erhalten werden. Ladungsträgerdichten: (x > 0) = e(N D+ n + p) (x < 0) = e(N A + n p) 13.18 Ausserhalb des Übergangsbereichs gilt 0 für x < d p eN A für d p < x < 0 (x) = eN D für 0 < x < dn 0 für x > d n Jetzt kann die Poisson-Gleichung integriert werden: eN d 2V (x) D für 0 < x < dn 2 dx 0 e Ex = N D (dn x) el. Feld 0 eN V (x) = Vn () D (dn x) 2 Potential 20 Vn () Ausserhalb Raumladungszone: V (x) = V p () für x > dn für x < d p dn räumliche Ausdehnung der Raumladungszone in die n-bzw. p-Gebiete dp Ladungsneutralität: NDdn=NAdp V(x) ist stetig bei x=0: ( ) e N D dn 2 + N A d p 2 = Vn () V p () = VD 2 0 dn = 20VD N A /N D e NA + ND (kleinere Dotierdichte dominiert) 20VD N D /N A dp = e NA + ND VD: typisch von der Grössenordnung Eg ~/eV ND, NA: typisch 1014-1018 cm-3 =dn, dp ist typisch 103-101 nm elektrisches Feld: E~104-106V/m 13.5.2 Elektrische Gleichrichtung in einem p-n Übergang Anlegen einer zeitunabhängigen externen Spannung U => Aufhebung des thermodynamischen Gleichgewichts => es entsteht ein stationärer Zustand nahe beim thermodynamischen Gleichgewicht 13.19 Da in der Raumladungszone die freien Ladungsträger verarmt sind, bietet dieses Gebiet den grössten elektrischen Widerstand der Gesamtstruktur. Die angelegte Spannung U fällt fast vollständig über dem Gebiet der Raumladungszone ab. Die Bandstruktur ausserhalb der Raumladungszone ändert sich demnach nicht bei angelegter externer Spannung. Vn () V p () = VD U U>0: Potential auf der p-Seite wird gegenüber der n-Seite angehoben. Die Grösse der Raumladungszone wird durch die externe Spannung verändert. VD VD U dn (U) = dn (U = 0) 1 U /VD d p (U) = d p (U = 0) 1 U /VD Für eine externe Spannung U 0 kompensieren sich Drift- und Diffusionströme nicht mehr. Es gibt folgende Beiträge zur Gesamt-Stromdichte: 1. Drift-Ströme der Minoritätsladungsträger aus dem p-Gebiet (Elektronen sind in der Minderheit) ins n-Gebiet verursacht durch die Diffusionsspannung VD. Die Minoritäts-Ladungsträger werden thermisch angeregt. Deswegen heisst der entsprechende Strom Erzeugungsstrom InEr genügend dünne Raumladungszone + genügend kleine Rekombinationsrate => jedes Elektron aus dem p-Gebiet, dass in der Raumladungszone landet, wird ins n-Gebiet gezogen (von + nach -). Dieser Effekt ist weitgehend unabhängig von der Grösse der Diffusions-Spannung und daher auch weitgehend unabhängig von der externen Spannung. 13.20 2. Diffusionsstrom von Elektronen aus dem n-Gebiet (dort sind de Elektronen in der Mehrheit) ins p-Gebiet. Dieser Strom heisst Rekombinations-Strom InRe k und verhält sich völlig anders. => Elektronen müssen die Potentialbarriere VD überwinden. Anteil der Elektronen, die die Barriere durch thermische Anregung überwinden können ~ e -e(VD -U)/kT => InRe k hängt stark von der externen Spannung U ab. Analoge Drift- und Diffusionsbeiträge gibt es natürlich auch für Löcher. Insgesamt: InRe k (U = 0) InEr (U 0) InRe k e -e(VD -U)/kT InRe k = InEre eU / kT Itotal = In = InRe k InEr = InEr (e eU / kT 1) Inklusive Löcher: I(U) = (InEr + I pEr )(e eU / kT 1) 13.21 Das thermodynamische Gleichgewicht wird hauptsächlich durch die Veränderung der Diffusions-Ströme zerstört. Der Einfluss der externen Spannung U auf die Drift-Ströme kann in guter Näherung vernachlässigt werden. Innerhalb dieser so genannten Diffusions-Strom-Näherung genügt es, den Einfluss der Spannung U auf die Diffusions-Ströme zu betrachten. Falls eine externe Spannung an den p-n Übergang angelegt ist, so sind die Fermi-Niveaus auf den beiden Seiten ausserhalb der Raumladungszone verschieden (kein thermodynamisches Gleichgewicht mehr). Die beiden Fermi-Niveaus unterscheiden sich genau um die angelegte Spannung. In der Raumladungszone selbst, die nicht länger im thermischen Gleichgewicht ist, kann ein echtes Fermi-Niveau nicht mehr definiert werden. In den Randbereichen ausserhalb der Raumladungszone spricht man dann von quasi-FermiNiveaus.