Spektrale Kalibrierlampen hoher Leistung von Oriel
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TECHNISCHE INFORMATION 78 Lichtquellen Spektrale Kalibrierlampen hoher Leistung von Oriel • Strahlungsquellen mit intensiven diskreten Spektrallinien im UV-, VIS- und NIR-Bereich • Kostengünstiges Gehäuse für diese Lampen zur Montage auf Stiften • Einfach auszutauschende Lampen Linienstrahler mit hoher Leistung 65130 und 65010 Diese Strahlungsquellen sind die richtige Wahl, wenn diskrete Spektrallinien sehr hoher Intensität benötigt werden. Die Intensität dieser Lampen ist ungefähr doppelt so hoch wie diejenige vergleichbarer Linienstrahler (siehe Seite 75), wobei sich die spektrale Intensitätsverteilung stark unterscheidet. Die Lampen werden in das Lampengehäuse 65160 montiert, in dem ein Filterhalter für Interferenzfilter mit 25,4 mm Durchmesser integriert ist, und mit dem geregelten AC-Netzteil 65150 betrieben. Wegen des geregelten AC-Betriebs des Netzteils kommt es zu schnellen Intensitätsänderungen im Bereich von Millisekunden. Allerdings ist die mittlere Ausgangsintensität über viele Sekunden sehr stabil. Die Z-Halterung 66275 ermöglicht die Montage der Lampenhalterung 65160 auf einen Stift bei einer niedrigen optischen Achshöhe, passend zu den Eingängen der Monochromatoren. Die niedrigste Höhe der Mittellinie mit dieser Halterung beträgt 71 mm. Weitere Einzelheiten zu der Z-Halterung 66275 finden sich auf der Seite 244. Spektrallinien über 400 nm 300 350 400 450 500 550 600 650 nm 300 350 400 450 500 550 600 650 nm 65010 Cs 65020 He 65130 Hg 65060 HgCd 65080 Na 65090 Ne 65110 TI 65120 Zn 250 250 300 350 400 Wellenlänge (nm) Abb. 1 Spektren spektraler Kalibrierlampen hoher Leistung Telefon: +49-(0) 6151-708-0 • Fax: +49-(0) 6151-708-952 390,6 365,0/6,3 334,1 312,6 289,4 296,8 275,3 253,7 253,6 65130 Hg 237,8 240,0 MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE Lampengehäuse 65160 auf Z-Halterung 66275. Spektrallinien unter 400 nm 250 ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN Sicherheitshinweise Auch diese Strahlungsquellen mit niedriger Leistung emittieren gefährliche UV-Stahlung. Es sollten unbedingt Schutzbrille und Schutzhandschuhe getragen werden (Zu UVSicherheitsausrüstung siehe Seite 246). Die Z-Halterung senkt die Höhe der optischen Achse 265,4 HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG • Hohe Langzeit-Ausgangsstabilität nm Lichtquellen TECHNISCHE INFORMATION Technische Daten Netzteil Zündspannung 600 V für ca. 350 ms (peak to peak) Betriebsspannung 10 - 60 V, Lampenabhängig 0,6 - 1 A, Lampenabhängig Eingang 115 V / 2,4 A oder 230 V / 1,2 A Gewicht 18.2 LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG Betriebsstrom System Spannungsregelung (<1 Hz) <±1% bei ±10 % Änderung der Netzspannung Bestell-Information DEUTERIUM-LICHTQUELLEN Linienstrahler 79 Abtrahlfläche (mm) Lampen-Typ Lampenleistung Lampenstrom Ungefähre Lichtstärke (cd) Höhe Breite 65010 Cäsium (Cs) 10 1 0,3 15 6 65020 Helium (He) 55 1 2 15 8 65060* Quecksilber-Cadmium (Hg-Cd) 25 1 10 20 8 65080 Natrium (Na) 15 1 40 15 6.5 65090 Neon (Ne) 30 1 3,5 15 8 65110* Thallium (Tl) 15 1 1,5 8 3 65120* Zink (Zn) 15 1 0,5 15 6 65130* Quecksilber (Hg) 22 - 44 0,6 - 1 20 20 3 BOGENLICHTQUELLEN Modell * Diese Lampen haben für die UV-Transmission einen Quarzkolben. Zubehör Beschreibung 65150 Geregeltes AC-Netzteil 65160 Lampengehäuse 66275 Z-Halterung HALOGEN-LICHTQUELLEN Modell MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN 65150 Netzgerät Spektrallinienlampe 65160 Lampenhalter 93,5 254 267 85 nutzbare Apertur: Ø 23,5 152,4 9-Pin Miniatur-Grundplatte 152,4 ON ER PO W 64 76 38 38 Bemerkung: Mehr technische Informationen dazu finden Sie auf unserer Website www.newport.com. Email: [email protected] • Web: newport.com ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN Abb. 4 Abmessungen der Linienstrahler mit hoher Leistung, des Gehäuses 65160 und des Netzteils 65150 INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE Bohrung mit Gew. 1/4”-20 ORIEL SONNENSIMULATOREN 76 43
