Dipl.-Ing. Christoph Glacer, Infineon AG München “Entwicklung

LEHRSTUHL FÜR TECHNISCHE ELEKTROPHYSIK
Leitung: Prof. Dr. rer. nat. Gerhard Wachutka
TECHNISCHE
UNIVERSITÄT
MÜNCHEN
OBERSEMINAR ELEKTROPHYSIK und
PHYSIKALISCHE ELEKTRONIK
Montag, 18. November, 2013
9:15 Uhr
TU Nordgelände, Geb. N4, Raum N 1414
Dipl.-Ing. Christoph Glacer,
Infineon AG München
“Entwicklung eines Silizium MEMS Wandlers
für Mikrolautsprechersysteme”
"Mikrolelektromechanische Silizium-Kondensatormikrofone entwickeln sich seit den letzten
Jahren zu einem Standard für Sprach- und Tonaufnahme in mobilen Anwendungen. Solche
Wandler bieten bei kleinen Abmessungen eine gute Reproduzierbarkeit, eine niedrige
Empfindlichkeit für Vibrationen und die Möglichkeit einer kostengünstigen Massenfabrikation.
Da keine Elektrete zum Einsatz kommen, sind diese Wandler sehr temperaturstabil und
geeignet für automatisierte Reflow-Lötprozesse.
Die Infineon Technologies AG ist bereits seit einigen Jahren sehr erfolgreich bei der
Entwicklung und dem Vertrieb von Siliziummikrofonen. Wie die meisten akustischen Wandler,
können auch diese Systeme reversibel betrieben werden. Durch das Anlegen einer elektrischen
Spannung wird die Membran in Bewegung versetzt und es wird ein Schall generiert - der
Wandler wird nun als Lautsprecher betrieben.
Die im Elektrotechnischen Kolloquium vorgestellte Arbeit behandelt die Entwicklung eines
solchen MEMS Mikrolautsprechers für mobile Anwendungen. Begonnen wurde dabei mit einer
Parallelschaltung mehrerer Siliziummikrofone um den Schalldruck erhöhen zu können. Da diese
Wandler allerdings auf den Empfang und nicht das Aussenden von Schall optimiert sind, wird
nun an einem verbesserten Lautsprecher gearbeitet. Dieser muss ein entsprechend großes
Luftvolumen verdrängen können, um einen ausreichend hohen Schalldruckpegel bereitstellen
zu können.
Es soll hier ein Einblick in die Entwicklung eines oberflächenmikromechanischen
Mikrolautsprechers und die Charakterisierung eines solchen Wandlers bei Infineon gegeben
werden.“
Aktuelle Programmübersicht: www.tep.e-technik.tu-muenchen.deSeminare