GDOES_Horiba Jobin
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OPTISCHE GLIMMENTLADUNGSSPEKTROSKOPIE MIT HOCHFREQUENZANREGUNG Bei der optischen Glimmentladungsspektroskopie HF (GDOES-HF) werden Argonatome mittels Hochfrequenz in einer Hohlanode ionisiert und in Richtung Probe (Kathode) beschleunigt. An der Probenoberfläche werden dadurch kontinuierlich Atome herausgeschlagen und angeregt. Beim Übergang zurück in den Grundzustand wird ein für jedes Element charakteristisches Licht emittiert, welches gemessen wird. Durch den kontinuierlichen Materialabtrag wird eine Tiefenprofilanalyse ermöglicht. Horiba Jobin Yvon – GD Profiler 2 Einsatzgebiet Charakterisierung von Oberflächen (quantitative Tiefenprofilanalyse) Spezifikationen Ermittlung der Materialzusammensetzung (Bulkanalyse) − Quantifizierung mit zertifizierten Standards − Simultananalyse von 41 (+1)* Elementen − *Monochromator zur Analyse eines zusätzlichen Elements − Bulkanalyse (ppm-Bereich) − HF-Anregung für leitende und nicht leitende Probenstücke − HDD – High Dynamic Rage Detector Verfügbare Elemente: Ag, Al, Au, B, Ba, Bi, C, Ca, Cl, Co, Cr, Cu, F, Fe, H, In, Ir, K, Li, Mg, Mn, Mo, N, Na, Nb, Ni, O, P, Pb, Pd, Pt, S, Sb, Si, Sn, Ta, Ti, V, W, Zn, Zr; Chem. Ni-P-Beschichtung 100 90 Konzentra tion [At%] 70 Ti - 100% N - 100% Fe - 100% O - 20% C - 10% N 60 50 O 40 Ti 30 C 20 10 0 0 2 4 6 8 10 12 14 Ni Konzentration [Gew.-%] Fe 80 100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 0 16 P Tiefenprofilanalyse Fe - 100% Ni - 100% P - 20% Mn - 10% − Sputterratenkorrektur − Tiefenauflösung ca. 10% − Tiefenbereich: (10)50nm – 190µm Mn 0 Tiefe [µm] Fe 5 Tiefe [µm] 10 15 Probenanforderungen − Analysenfläche: Ø 2 oder 4 mm − Probendurchmesser: > 15 mm Abbildung links oben: TiN auf Stahlsubstrat − Probenkammer für kleinere Proben >2 mm Abbildung rechts oben: chemisch Ni-P Beschichtung auf Stahlsubstrat − Probendicke: bis 40 mm − plane Oberfläche − geringe Rauhigkeit − „dichte“ Probe Abbildung links unten: Cu/Cr/Ni-Multilayer auf Si-Waver Anwendungen Prüfung von Oberflächenbeschichtungen Untersuchung von Diffusionszonen Qualitätskontrolle Prüfung von Oberflächenbehandlungen Beizen, Nitrieren, Phosphatieren etc. Viktor-Kaplan-Straße 2 Jänner 2011 Korrosionsuntersuchungen - Überprüfung von Korrosionsschutzmassnahmen Ing. Gregor Palczynski 2700 Wiener Neustadt Tel.: +432622/222 66-16 bzw. 72/75 Fax: +432622/222 66-50 Email: [email protected]
