VI. Laserdioden VI.1: Einführung 1. 2. Kontakt 1 3. 1. 2. Kontakt 2 Rekombination in der LED: Abb. VI.1: Spontane Emission an einem pn-Übergang - statistisch auftretender Prozess - Energie des Photons ungefähr gleich der Bandlücke -Ausbreitungsrichtung undefiniert reicht nicht aus zur Beschreibung von Halbleiterlaserdioden, mit denen extrem gerichtetes und monochromatisches Licht erzeugt Absorption, Spontane Emission, Stimulierte Emission Absorption Spontane Emission Stimulierte Emission Abb. VI.2: Schematische Darstellung von Absorption, Spontaner und Stimulierter Emission Absorption und spontane Emission: kann relativ gut in einem statistischen Bild beschrieben werden Stimulierte Emission: Phase und Frequenz des Lichtes muss beachtet werden Stimulierte Emission Stimulierten Emission: Wechselwirkung eines Photons mit einem angeregten Medium (Atom, Molekül, Festkörper) erzeugt zweites Photon mit: - derselben Frequenz, - derselben Phase, - derselben Ausbreitungsrichtung. - Energie des zweiten Photons wird Material entnommen → Grundlage der Lasertätigkeit Abb. VI.3: Prinzip der stimulierten Emission Optik in Halbleiterbauelementen Ebene Wellen als Lösungen der Maxwell-Gleichungen: E ( x, y , z, t ) = E0e ( x ) ⎡ j ωt − kr ⎤ ⎣ ⎦ z O. B. d. A. in z-Richtung propagierend und in x-Richtung polarisiert: E x ( x, y , z, t ) = E x 0e (− j β z) mit Propagationskonstante β= enthält Zeitabhängigkeit 2π n λ0 Erweiterung auf Gewinn und Verlust Iin I ( x ) = I0 e Dämpfung der Intensität einer em. Welle beim Durchgang durch ein absorbierendes Medium −α x Iout Erweiterung auf Gewinn und Verlust Iout Iout ( x ) = Iin e −α x Verstärkung der Intensität einer em. Welle beim Durchgang durch ein verstärkendes Medium Iin → kann in Wellengleichung ebenfalls durch Realteil im Exponenten berücksichtigt werden I( x ) ∝ E 2 ( x ) E x ( x, y , z, t ) = E x 0 ( − j γ z ) γ =β−j α 2 Absorption/Verstärkung 1. E2 3. E1 Ein optischer Übergang kann nur stattfinden, wenn der Ausgangszustand besetzt ist und der Endzustand unbesetzt ist: ⎡ ⎤ α net = α 0 ⎢f (E1 )(1 − f (E2 )) − f (E2 )(1 − f (E1 ))⎥ Für den effektiven Absorptions⎢⎣ ⎥⎦ stim. Em. koeffizienten ergibt sich damit: = α 0 [f (E1 ) − f (E2 )] = α 0 (1 − fh − fe ) Für die Intensität gilt beim Durchlauf durch einen Halbleiter: I ( x ) = I0 exp( −α net x ) Optische Verstärkung Jegliche Anwesenheit von Ladungsträgern führt zu einer Verringerung der Band-Band-Absorption (Ausbleichen.) Positive optische Verstärkung (negative Absorption), exponentieller Anstieg der Lichtintensität beim Durchgang durch das Material falls: fe + fh > 1 1. 2. Kontakt 1 3. 1. 2. für die entsprechende Photonenenergie Die negative Absorption wird oft als optischer Gewinn bezeichnet: g (E ) = −α (E ) = α 0 (fe + fh − 1) Kontakt 2 Absorption, Spontane u. Stimulierte Emission VI.2: Die Einsteinkoeffizienten Quantitativere Analyse dieser Prozesse: Modellsystem aus zwei Niveaus I1> und I2> Optische Übergänge nur, I2> R12 wenn die Energie der Photonen exakt dem energetischen Abstand der beiden Niveaus R21 entspricht. nph (E12 )dE: Anzahl der Photonen I1> Abb. VI.4: Absorption und stimulierte Emission am 2-Niveau-System im "passenden" Energieintervall Übergänge zwischen den beiden Niveau finden mit den Raten R12 und R21 statt. Absorption: Elektronen werden von I1> nach I2> angeregt. Rate R 12 für diesen Prozess: R12 = PAbs nPh (E12 )dE ≡ B12 nPh (E12 ) B12 = PAbs dE (1. Einsteinkoeffizient) Absorption, Spontane u. Stimulierte Emission - Absorption kann nur stattfinden, wenn Zustand I1> besetzt und Zustand I2> unbesetzt ist (Pauli-Prinzip) - im thermodynamischen Gleichgewicht wird die Besetzung durch Besetzungsfunktionen f(E) beschrieben: I2> R12 = B12 f (E1 )(1 − f (E2 ))nPh (E12 ) R12 Ganz ähnlich ergibt sich für die stimulierte Emission: Glg. VII.1 R21 I1> R21,stim = B21f (E2 )(1 − f (E1 )nPh (E12 ) Und genauso für die spontane Emission: R21,spon = A21f (E2 )(1 − f (E1 )) Im thermischen Gleichgewicht gilt: R12 = R21,stim + R21,spon Glg. VII.2 Absorption, Spontane u. Stimulierte Emission Besetzung der elektronischen Niveaus I1> und I2> erfolgt nach Fermi-Dirac-Funktion: 1 f (E i ) = 1+ e R12 = R21,stim + R21,spon I2> ⎛ E i − EF ⎞ ⎜ ⎟ ⎝ kBT ⎠ R12 I1> Photonen: Quanten des elektromagnetischen Feldes Beschreibung erfolgt in einen ähnlichen Formalismus wie bei den Elektronen wichtiger Unterschied: Elektronen sind Fermionen (Spin 1/2)↔Photonen sind Bosonen (Spin 1) - keine zwei Fermionen im gleichen Quantenzustand - keine Problem für Bosonen (sonst keine stimulierte Emission) R21 Absorption, Spontane u. Stimulierte Emission Die Besetzung von vorgegebenen photonischen Zuständen erfolgt nach der Bose-Einstein-Verteilung: Anzahl von Photonen bei einer bestimmten Energie muss photonische Zustandsdichte gPh berücksichtigen: 1 nBE (E,T ) = e ⎛ E ⎞ ⎜ ⎟ ⎝ kBT ⎠ −1 → nPh (E12 ,T ) = g Ph (E12 )nBE (E12 ,T ) Photonische Zustandsdichte (Berechnung erfolgt analog wie bei Elektronen): 8π n 3E 2 g Ph (E ) = h3c 3 (Brechungsindex ändert die photonische Zustandsdichte) Die Einsteinkoeffizienten R12 = R21,stim + R21,spon Glg. VII.2 ⎛ E12 ⎞ ⎜ ⎟ ⎝ kBT ⎠ Einsetzen der Ausdrücke in Glg. VII.2 ein und Umformung ergibt: A21 B e − B21 = 12 ⎛ E ⎞ 12 g Ph (E12 ) ⎜ ⎟ ⎝ kBT ⎠ e −1 T -unabhängig T −abhängig Linke Seite: T-unabhängiger Ausdruck Rechte Seite: T-abhängiger Ausdruck Annahmen waren unabhängig von T → rechte Seite muss auch T-unabhängig sein → B12=B21 B12 = B21 Absorption und Emission erfolgen mit den gleichen Raten Große Absorption ↔ Große stimulierte Emission Die Einsteinkoeffizienten 1. Spontane Emissionsrate kann aus Absorption bzw. stimulierter Emission berechnet werden 2. Kontakt 1 3. 2 8π nr3 E12 A21 = g Ph (E 12 ) ⋅ B12 = B21 ⋅ h3 c 3 1. 2. Kontakt 2 Jeder elektronische Übergang muss also für alle Prozesse nur einmal berechnet werden. R12 = Wtot ∼ α Also im Halbleiter: Wtot = 2π e A pc ,v 2 4m0 2 2 2 ∫ dE 1 ⎛ 2meff ⎞ 2π 2 ⎜⎝ 2 ⎟⎠ 3 2 E − E g δ (E − ω ) Halbleiterlaserdiode: Doppelheterostrukturlaser Abb. VI.14: Schema eines Doppelheterostrukturlasers VII Optik in Halbleiterbauelementen Wellenleiter: 1. Wellenleitung in ebenen Wellenleitern x z nc ("Cladding") n f (Film) ns (Substrate) 2. Reflexionsund Antireflexionsschichten n1 n2 n1 VII.1 Optik an Grenzflächen Medium 1 Medium 2 Fällt eine em. Welle auf eine Grenzfläche, so wird das Verhalten beschrieben durch Stetigkeit der Tangentialkomponente E-Feldes des H-Feldes → Führt zu Reflexionen Reflexion und Transmission Senkrechter Einfall einer ebenen Welle auf Grenzfläche Et Er Ei Et =t = |x =0 2n1 n1 + n2 Ei Er x Ei |x =0 =r = n1 − n2 n1 + n2 0 →Phasensprung von π beim Übergang vom optisch dünneren zum optisch dichteren Medium Reflexion bei senkrechtem Einfall Intensität: n − n2 R= 1 n1 + n2 Bsp: GaAs-LED: 2 2n1 T = n1 + n2 2 → Hohe Reflexion bei hohem Brechzahlunterschied: Luft (n=1) GaAs (n=3.6) n − n2 R= 1 n1 + n2 2 2,62 = ≈ 31% 2 4,6 VII.2 Dielektrische Spiegel Idee: Erhöhung der Reflexion durch phasenrichtiges Hintereinanderschachteln von Grenzflächen: n1 n2 n1 n2 n1 Er0 Er1 d1 Er2 d2 Er3 d1 n2>n1 d2 d1 d2 Konstruktive Interferenz von Er,2 und Er,1falls: 2β d2 = 2 2π n2 λ d2 = π ⇒ d2 = λ0 4n2 Konstruktive Interferenz von Er,3 und Er2 falls: 2 β d1 + π = 2 2π n1 λ0 d1 + π = 2π ⇒ d1 = λ0 4n1 Dielektrische Spiegel → Konstruktive Interferenz aller an den Grenzflächen reflektierten Teilwellen → Einsatz als dielektrische Spiegelschichten (z.B. in Lasern) „Lambdaviertelschichten“ „Quarterwavestacks“ GaAs/AlGaAsλ/4-stacks http://www.science.uva.nl/research/scm/optcorn/optlay/optlay.html DBR VII.3 Wellenleitung Schräger Einfall an einer Grenzfläche lineare TE-Welle (E-Feld senkrecht zur Einfallsebene) (analoge Behandlung möglicht für TMWellen (E-Feld in Einfallsebene)) Ei ( x, y, z , t ) = Ei ,0 e ( ) ⎡ j ω t − ki r ⎤ ⎣ ⎦ Ansatz für die Wellen in den Teilbereichen: ⎛ −n1k0 cos Θi ⎞ ⎟ k i = ⎜⎜ 0 ⎟ ⎜ n k sin Θ ⎟ i ⎠ ⎝ 1 0 ⎛ −n1k0 cos Θr k r = ⎜⎜ 0 ⎜ n k sin Θ r ⎝ 1 0 ⎞ ⎟ ⎟ ⎟ ⎠ ⎛ −n2 k0 cos Θt ⎞ ⎟ kt = ⎜⎜ 0 ⎟ ⎜ n k sin Θ ⎟ t ⎠ ⎝ 2 0 Reflexion und Brechung Stetigkeit der Tangentialkomp. von E an der Grenzfläche (x=0) Ei e ( − jkn1z sin Θi ) + Er e ( − jkn1z sin Θr ) = Et e ( − jkn2 sin Θt ) Gilt für alle z: → Phasenfaktor muss unabhängig von z immer gleich sein n1 sin Θi = n1 sin Θr = n2 sin Θt → Reflexion: Θi = Θr → Brechung: n1 sin Θi = n2 sin Θt Für die Amplitude gilt: mit: Er = n12 cos Θt = + 1 − 2 sin2 Θi n2 n1 cos Θi − n2 cos Θt Ei n1 cos Θi + n2 cos Θt für "normale" Reflexion (n1 < n2 ) Totalreflexion n12 cos Θt = 1 − 2 sin2 Θi n2 Winkel für gebrochenen Strahl: n1 Für n1 > n2 wird Radikand negativ falls Θi > ΘC = arcsin n2 (Grenzwinkel der Totalreflexion) Bsp: GaAs (n1=3.6) gegen Luft: Θc ≈ 16° Totalreflexion n12 cos Θt = − j 2 sin2 Θi − 1 n2 Dann gilt für den Winkel θt: und für die Amplitude: also gilt: Das bedeutet: Er = n1 cos Θi + j n12 sin2 Θi − n22 n1 cos Θi − j n sin Θi − n 2 1 Er = Ei e ( Er 2 = Ei mit Phasenverschiebung: 2 2 2 2 Ei 2 jφ ) → gesamte Intensität wird reflektiert ! tan φ = n12 sin2 Θi − n22 n1 cos Θi Totalreflexion Transmittierte Welle klingt exponentiell ab mit Eindringtiefe x: x= λ 2π n12 sin Θi − n22 Planare Filmwellenleiter f: Film C: Cladding (Deckschicht) S: Substrat nf > ns ≥ nc Geführte Filmwelle falls: n sin Θ > c nf ns sin Θ > nf (nf>ns>nc) nc n n n < sin Θ < s → Substratwelle; sin Θ < c ≤ s → Raumwelle ( → Abstrahlung) nf nf nf nf Wellenleitermoden Geführte Welle propagiert in z-Richtung mit β = neff k0 = nf sin Θk0 , wobei ns < neff < nf In x-Richtung: Stehende Wellen → Lösungen nur für diskrete Θ Bedingung für die Phasenverschiebung für einen vollen Umlauf: 2k0 nf h Höhe des Films cos Θ − 2φc Phasen − verschiebung Cladding − 2φs Phasen − verschiebung Substrat = m2π Wellenleitermoden Graphische Lösung von: k0 nf h cos Θ − mπ = φc + φs Symmetrische Wellenleiter: Immer Lösung möglich Bei asymmetrischen Wellenleitern ggf. keine Lösung möglich (h unterhalb „cut-off“Filmdicke) Wellenleitermoden Klassifizierung der Moden nach m: Numerische Lösung der Wellenleitermoden in einem Polymerlaser TE0 ,TE1,... TM0 ,TM1,... Intensitätsprofil der Grundmode in einem planaren Wellenleiter Füllfaktor (Confinement-Faktor) Optische Verstärkung im Halbleitermaterial: g akt (E ) = −α (E ) = α 0 (fe (Ee ) + fh (Eh ) − 1) Dieser Wert gilt allerdings nur für die Verstärkung in einem Volumenmaterial und berücksichtigt nicht die spezielle Form der Ausbreitung in einem Wellenleiter. Möchte man den effektiven Gewinn einer geführten Wellenleitermode berechnen, so muss der Füllfaktor (engl. Confinement-Factor) Γakt berechnet werden: d Füllfaktor: Γakt = 2 ∫ E( x ) dx 0 ∞ ∫ −∞ 2 E ( x ) dx Damit ergibt sich für den modalen Gewinn: gmod = Γakt g akt