Mehr Genauigkeit durch variable Wellenformen.
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TruPlasma Bipolar Serie 4000 Mehr Genauigkeit durch variable Wellenformen. M a k e l l o s e B i l d e r, b e s t e c h e n d e E i n d r ü c k e : Hervorragende Qualität und Leistung dankTRUMPF Hüttinger Flexible Lösungen. Äußerste Genauigkeit. Höchstleistung für reaktives Sputtern. Die bipolar gepulsten Generatoren der TruPlasma Bipolar Serie 4000 sind die ideale Wahl für Prozesse mit Dual Magnetrons oder beim reaktiven Sputtern auf Glas und Folien. Dank breitem Einsatzbereich und ausgeklügeltem Arc-Management sind sie ideal für Anwendungen geeignet, die hohe Qualität und hohen Durchsatz verlangen. Klassische Vertreter sind die Herstellung von Flachbildschirmen und Solarzellen sowie die Aufbringung dekorativer und verschleißfester Schichten. TruPlasma Serie 4000 ist erhältlich mit Ausgangsleistungen von 5 Kilowatt bis 30 Kilowatt. Die primäre DC-Leistungseinheit ergänzt eine auf MOSFET basierte Schaltung, welche die Ausgangsleistung pulst. Unterschiedlichste Pulsvariationen sind damit am Ausgang möglich. Der Einschaltzeit jeder Halbwelle ist frei einstellbar. Dadurch verbessern sich die Prozessergebnisse und die Ausbeute des Beschichtungsmaterials (Target) steigt. TRUMPF Hüttingers einzigartiges und reaktionsschnelles Arc-Management vermindert die Arc-Energie und senkt Prozessunterbrechungen. Erhöhter Ertrag und Produktivität sind die Folge. Eigenschaften Nutzen Acht Leistungsmodi: von reinem DC zu bipolarem Pulsen, erlaubt vielseitige rechteckige Ausgangsspannungswellen Unabhängige Einstellungen für positive und negative Wellenzyklen Präzise Arc-Behandlung über die gesamte Pulsbreite Anpassbare Frequenz und variable Pulsparameter Erweiterte Zündungseigenschaften Flexibel über alle Phasen sämtlicher Prozesse Regelbarer Leistungstransfer für maximale Ausbeute des Targets Reduzierte Arc-Energie und verbesserte Sputterergebnisse Optimale Prozessbedingungen und bedienerfreundlicher Betrieb Eröffnet eine große Bandbreite an Anwendungen mit nur einer Stromversorgung TruPlasma Bipolar Serie 4000 Ausgangsdaten Arc Parameter Ausgangsleistung 5 kW – 30 kW Ausgangsspannung Bis zu 800 V Max. Ausgangsstrom 12,5 A – 500 A Regelarten Leistung, Spannung, Strom, SimReg Wirkungsgrad 90 % – 94 %1 Tastverhältnis 100 % Regulierung bei Netzschwankungen ± 10 % Last 10 % – 90 % Genauigkeit ± 0,5 % Wiederholgenauigkeit ± 0,2 % Ausgangspolung Imax Erkennung Var. lmax Schwelle: 10 % – 110 % Kreuzerkennung (U x I) Var. Ux Schwelle: 0 V – 600 V Var. lx Schwelle: 10 % – 100 % Dynamische Spannungsveränderung Var. dU Schwelle: 0 V – 400 V Arc Erkennung < 500 ns Eingangsdaten Netzspannung 3 x 400 V ± 10 % 3 x 380 V ± 10 %2 3 x 208 V ± 10 %2 Netzfrequenz 50 Hz / 60 Hz ± 5 % Negativ 1) Abhängig von Ausführung. Pulsparameter 2) Auf Anfrage verfügbar. Pulsfrequenz 100 kHz (0 kHz – 50 kHz für Bipolares Pulsen) Einschaltdauer (Zyklusbetrieb) 20 % – 80 % TruPlasma Bipolar Serie 4000 I I Periode = 1 / Freq. t t DC - A DC - A - uARC I TA Bipolarer Puls Eintastzeit A + B ≤ 95 % t I DC - B DC - B - uARC I TB Periode = 1 / Freq. Periode = 1 / Freq. t t TA TA Max. gelieferte Leistung Eintastzeit A + B = 100 % Unipolarer Betrieb A Tastung ein A = TA / Periode = 20 … 80 % I Periode = 1 / Freq. t TB Unipolarer Betrieb B Tastung ein B = TB / Periode = 20 … 80 % TB TruPlasma Bipolar Serie 4000 Kühldaten Kühlsystem Umluftkühlung / Lüftersteuerung Max. Lufteingangstemperatur +35 ° C Umgebungsbedingungen Temperatur +5 °C bis +35 °C Betrieb -25 °C bis +55 °CLagerung Max. Luftfeuchtigkeit 80 % keine Betauung Max. Einsatzhöhe Max. 2 000 m über NN3 3) Geräte für höhere Einsatzhöhen auf Anfrage erhältlich. Schnittstellen Analog / Digital 2 x 25-polig Sub-D RS 232 / RS 485 9-pin Sub-D PROFIBUS4 9-pin Sub-D 4) Optional verfügbar. Abmessungen ( B x H x T) TruPlasma Bipolar 4005 483 mm x 178 mm x 675 mm TruPlasma Bipolar 4010 483 mm x 275 mm x 675 mm TruPlasma Bipolar 4020 / 4030 483 mm x 550 mm x 675 mm Gewicht TruPlasma Bipolar Serie 4000 45 kg5 5) Der Wert gibt das Minimalgewicht an. Abhängig von Ausführung. TruPlasma Bipolar 4005 584 mm 482 mm 442 mm 178 mm 505 mm ARM 465 mm ARM15/6 ARM15/6 TruPlasma Bipolar 4020 / 4030 733 mm 442 mm 635 mm 275 mm 482 mm 676 mm © TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG, 2013. Alle Rechte vorbehalten. Fehler und technische Änderungen vorbehalten. 1527468 - V05 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Bötzinger Straße 80 · 79111 Freiburg · Tel. +49 761 8971-0 Fax +49 761 8971-1150 · E-Mail [email protected] Homepage www.trumpf-huettinger.com
