WPD Interferometer Hochpräzise, schnelle Abstandsmessung

WPD Interferometer
Hochpräzise, schnelle Abstandsmessung
Interferometrisches Messsystem
Berührungsloses, schnelles Messen von
Abstandsänderungen mit Auflösung im
Nanometerbereich
Beschreibung
Einsatzmöglichkeiten
WPD ist ein interferometrisches, berührungsloses
Messsystem für die schnelle Messung von Abstandsänderungen und Schwingungen mit einer Auflösung
im Nanometerbereich. Das optische Tastsystem basiert
auf einem neuartigen Konzept der kurzkohärenten Zweiwellenlängen-Heterodyn-Interferometrie. Das System
besteht aus einer Auswerteeinheit und einer robusten
optischen Sonde (optischer Tastarm), welche durch
einen Lichtleiter verbunden sind.
Das interferometrische Messsystem WPD ist besonders
geeignet für die Integration in bestehende Prozesse und
Maschinen, um Abstandsänderungen, Schwingungen,
Vibrationen, Verformungen oder Oberflächenstrukturen
zu vermessen. Aus den optisch gewonnenen Messdaten können Formparameter, wie Rundheit, Ebenheit, Geradheit, Parallelität, Neigungen, Winkel und
Durchmesser berechnet werden.
Eine große Auswahl an faseroptischen Sonden
ermöglicht eine einfache Adaption an die jeweilige
Messaufgabe.
Auch in sehr kleinen und schwerzugänglichen Bauräumen (z. B. Kegelsitze) und Bohrungen (Durchmesser
ab 1 mm ) kann mit den miniaturisierten Sonden gemessen
werden.
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Auflösung: 1 nm
Messfrequenz: bis 20 KHz
Materialien: Metall, Glas, Kunststoff
Messungen an rauen Oberflächen bis Rz max 4µm
Keine Antastkräfte, da berührungsfreies Messen
Messungen von kleinsten Geometrien, auch in Bohrungen und kleinsten Innenräumen
Großes Spektrum an optischen Sonden, Mehrstellenmesstechnik: Paralleles Einlesen von 2 Eingängen
Messergebnisse als 3D-Punktewolken darstellbar
Flexible Integration in bestehende Prozesse und
Maschinen
Einsatz in der Fertigung oder in Messräumen
Bei sehr kleinen, dünnen Bauteilen wird das Messergebnis auf Grund der berührungslosen Messung
nicht durch Antastkräfte verfälscht.
Über die mitgelieferte Software wird das WPD konfiguriert und die aufgezeichneten Messreihen können
anschaulich angezeigt und ausgewertet werden.
WPD Interferometrisches Abstand-Messsystem
Technische Daten Auswerteeinheit
Messgröße
relativer Abstand
Messtechnik
kurzkohärente HeterodynInterferometrie
Signalverarbeitung
digital
Digitale Auflösung
< 0,1 nm
Tiefenauflösung
< 1 nm
Absoluter Messbereich
± 8 µm
Relativer Messbereich
± 50 µm
Typische Abtastrate
10 kHz
Messwert-Schnittstelle
USB
Laserklasse 1M
Wellenlänge ~ 1,5 µm
Relative Luftfeuchte
max. 60% nicht kondensiert
Versorgungsspannung
230 V, 50 bis 60 Hz
Leistungsaufnahme
120 Watt
Abmessungen (BxHxT)
450x190x380 mm
Schutzklasse
IP21
Technische Daten Optische Tastarme
Standard Tastarme:
Durchmesser
Eintauchtiefe
Messfleck-Durchmesser
Akzeptanzwinkel
Antastwinkel 1-Kanal
Antastwinkel 2-Kanal
1,2 mm
46 mm
ca. 9 µm
+/- 2° bis max. +/- 4°
typisch: 0°,45°,60°,90°
typisch: 90°/45°, 90°/60°,
90°/0°
Kundenspezifische
Anpassungen
auf Anfrage
Faseroptische Tastarme:
Durchmesser
Bohrungsdurchmesser
Länge
Akzeptanzwinkel
35 µm
>80 µm
2 mm
+/- 2° bis max. +/- 4°
Spezial Tastarme:
High-NA Tastarm
Messfleck-Durchmesser
Akzeptanzwinkel
Durchmesser Tastarm
Antastwinkel 2-Kanal
Bohrungsdurchmesser
3 µm
+/- 20°
90°/90° bidirectional
ab 2,5 mm
3D-Messung einer Freiformfläche
High-NA Tastarm (Akzeptanzwinkel +/- 20 Grad)
Kontakt
Tobias Wiesendanger
Telefon: (+49)711/811-21888
E-mail: [email protected]
www.bosch-testing-technology.com
Pawel Drabarek
Telefon: (+49) 711/811-55081
E-mail: [email protected]
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Februar 2015
Bei dieser Unterlage handelt es sich um eine Prinzipdarstellung und keine Bedienungsanleitung. Einzelne Abweichungen in Darstellungen gegenüber der Bedienungsanleitung können bestehen. Der sachgemässe Einsatz des Systems ist der Bedienungsanleitung zu entnehmen.