CMOS Analog Design Bernhard Hoppe Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik Hochschule Darmstadt University of Applied Sciences Fachbereich EIT 28.12.09 Einleitung Einleitung In diesem Lehrbrief werden integrierte CMOS-Analogschaltungen behandelt. Die am häufigsten benutzte analoge elektronische Komponente ist der Operationsverstärker (OpAmp), den wir schon im Lehrbrief Signalumwandlung häufig eingesetzt haben. Auf die Realisierung dieser grundlegenden Struktur wollen wir in diesem Lehrbrief hinarbeiten. Analoge Schaltungen unterscheiden sich von digitalen Schaltungen dadurch, dass hier nicht nur bestimmte Spannungspegel eine Rolle spielen, sondern die gesamte Bandbreite von Spannungen und Strömen, die die verwendete Technologie zulässt. Aufgrund der vielfältigen Freiheitsgrade war im Gegensatz zu Digitalschaltungen die Entwicklung praxistauglicher Synthesewerkzeuge für die automatisierte analoge Schaltungsentwicklung bisher noch nicht möglich. Analogschaltungen werden deshalb auf der Basis von Handrechnungen und einfachen physikalischen Modellen entworfen. Simulationen mit Schaltkreissimulatoren, wie etwa SPICE, werden nur abschließend zur Verifikation der Schaltung und zur Feinjustierung der Transistorabmessungen herangezogen. Deshalb ist hier ein weitergehenderes Verständnis der physikalischen Bauelemente erforderlich, als in der digitalen Domäne. Die elementaren Methoden der Schaltkreisanalyse wie die Kleinsignalwechselbetrachtung, Bode Diagramme, Kennlinien und die Großsignaltransientenanalyse spielen beim Entwurf von Analogschaltungen eine ganz wesentliche Rolle und müssen beherrscht werden. Damit unterscheidet sich das Analogdesign wesentlich von der üblichen computerorientierten Entwicklungsmethodik. Der Ingenieur muss verstehen, wie seine Schaltung arbeitet und was zu tun ist, um bestimmte Schaltungseigenschaften zu erreichen. Computersimulation mit noch so genauen Bauelementmodellen ohne Verständnis für die Schaltung kann in der Regel keine Designaufgabe lösen. Wie kann man dieses Verständnis gewinnen? Zuerst muss man die Bauelemente, die in integrierten CMOS-Schaltungen zur Verfügung stehen, in ihrer Funktion, Genauigkeit, Parameterbereich und ihren physikalische Grenzen kennen lernen. Dann muss man lernen, analoge Schaltungen mit den Methoden der Elektrotechnik zu analysieren. Das Ergebnis einer solchen Analyse sind einfache mathematische Formeln, aus denen man das Schaltungsverhalten ableiten kann und die sich auf ähnliche Schaltungen verallgemeinern lassen. Dann ist es wichtig, Schaltungen hierarchisch in Blöcke aus Grundschaltungen zerlegen zu können, die einzeln für sich analysiert und für das gegebene Designziel angepasst werden können. Dieses Vorgehen führt zu Designstrategien, mit denen die Transistorabmessung und Ströme in der Schaltung aus den Spezifikationsparametern ermittelt werden können. Das Ergebnis dieses Entwurfsablaufs ist ein Transistorschaltplan, in dem die I Einleitung benötigten Gleichströme und die Abmessungen der Transistoren eingetragen sind und der nach Eingabe in ein Simulationswerkzeug mit den technologiespezifischen elektrischen Parametern der Bauelemente simuliert werden kann. In den 1980er Jahren war es noch nicht klar, dass die CMOS-Technologie die bestimmende Technologie für analoge Schaltungen werden wird. Damals wurden die meisten Analogschaltungen in Bipolartechnik gefertigt. CMOS als Technologie für die Umsetzung analoger Funktionen ist bestimmt nicht die erste Wahl aus Sicht des Ingenieurs, denn die Transistoreigenschaften von NMOS- oder PMOS Feldeffekttransistoren sind weniger gut, als die von Bipolartransistoren. Die Wahl wurde von der Industrie aus Kostengründen getroffen. In der Praxis sollen analoge und digitale Funktionen in einem MixedSignal-Chip in einer preiswerten Standardtechnologie gefertigt werden. Speicher und Mikroprozessoren sind die dominierenden Halbleiteranwendungen für CMOS-Schaltungen. Aufgrund der involvierten Stückszahlen sind CMOSProzesse die Standardfertigungstechnologien. Damit führt an der CMOS-Analogtechnik kein Weg vorbei. Dieser Lehrbrief ist wie folgt aufgebaut: Im ersten Kapitel wird der analoge Entwurfsablauf dem digitalen Entwurfsverfahren gegenüber gestellt und die Problematik des Analogdesigns herausgearbeitet. Im zweiten Kapitel werden die in CMOS-Chips zur Verfügung stehenden Bauelemente besprochen. Da die Technologie primär auf die Fertigung von Transistoren ausgelegt ist, bestehen bei passiven Komponenten Einschränkungen und dies hat Konsequenzen für Entwurfsmethodik und Schaltungstechnik. In Kapitel 3 geht es um analoge Grundschaltungen, die Stromquellen und Verstärker. Anschließend wird in Kapitel 4 auf die Differenzstufe eingegangen, die in fast allen analogen Schaltungen vom Operationsverstärker bis zum ADU vielfältig eingesetzt wird. Abschließend behandeln wir den Operationsverstärker, der als komplexere Analogschaltungen aus den vorher besprochenen Grundschaltungen zusammengesetzt wird. Da diese Schaltung meist in Rückkopplung arbeitet, ist hier die Stabilität gegenüber Schwingen und Übersteuern ein wichtiges zusätzliches Entwurfskriterium. In allen Kapiteln wird der Stoff mit Übungsaufgaben vertieft und es werden konkrete Designbeispiele durchgerechnet und mit SPICE simuliert. Die Educational Version von SystemVision ist völlig ausreichend für die nötigen Simulationen (siehe Lehrbrief Simulation [ET-SIM-A32]), . II Einleitung Lehrziele Ziel dieser Kurseinheit ist es, grundlegende Kenntnisse über Methoden, physikalische Grundlagen und Designstrategien des CMOS-Analog-Designs zu vermitteln und anhand der wichtigsten analogen Grundschaltungen praktisch einzuüben. Analoge Schaltungen sind auch und gerade bei der fortschreitenden Digitalisierung wichtig, denn die Umgebung in der elektronische Systeme arbeiten, ist in der Regel nicht digitalisiert, sondern hier sind werte- und zeitkontinuierliche Größen bestimmend. Die Schnittstellen zwischen analogem und dem digitalem Verhalten werden von analogen Schaltungen gebildet. Nach dem Studium dieser Kurseinheit sollten Sie • • • • • die Eigenschaften der in CMOS-Technologien verfügbaren aktiven und passiven Bauelemente und ihre parasitären Zusatzkomponenten kennen, Kleinsignal- und Großsignalmodelle für MOS-Transistoren anwenden können, die wichtigsten analogen Grundschaltungen (Stromquellen, Verstärker, Differenzstufen) mit einfachen Designstrategien entwerfen und anschließend simulieren können, einen einfachen Operationsverstärker aus den genannten Grundschaltungen aufbauen können und dabei die Stabilität des Verstärkers bei einer rückkoppelnden externen Beschaltung zu garantieren. III Einleitung IV Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Einleitung Lehrziele I III Inhaltsverzeichnis V 1. Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken 1 1.1 Digitale und analoge Signale und Designverfahren ..................................... 2 1.2 Analog-Design und Digital-Entwurf im Vergleich ...................................... 3 1.3 Ablauf eines Analog-Designs....................................................................... 7 1.3.1 Leitlinien für die analoge Simulation ................................................. 9 1.3.2 Analoge Schaltkreisberechnungen.................................................... 10 1.4 Zusammenfassung ...................................................................................... 12 2. Aktive und passive Komponenten 13 2.1 Der pn-Übergang ........................................................................................ 13 2.1.1 Eigenschaften der Halbleiter-Diode.................................................. 14 2.2 MOS-Transistoren ...................................................................................... 21 2.2.1 Großsignalmodell.............................................................................. 22 2.2.2 Parasitäten ......................................................................................... 26 2.2.3 Kleinsignalmodelle ........................................................................... 27 2.3 Widerstände und Kondensatoren................................................................ 30 2.3.1 Kondensatoren .................................................................................. 30 2.3.2 Widerstände ...................................................................................... 32 2.4 MOS-Schalter und aktive Widerstände ...................................................... 32 2.4.1 Aktive Widerstände .......................................................................... 35 2.5 Zusammenfassung ...................................................................................... 37 3. Quellen, Senken und Verstärker 39 3.1 Einfache Stromspiegel................................................................................ 39 3.1.2 Designstrategie für Stromspiegel...................................................... 42 3.1.2 Verbesserte Stromspiegelschaltungen .............................................. 44 3.2 Verstärkerschaltungen ................................................................................ 47 3.2.1 Die Common-Source-Stufe............................................................... 47 V Inhaltsverzeichnis 3.2.2 CS-Stufe mit aktiver Last.................................................................. 51 3.3 Verstärkerdesign ......................................................................................... 55 3.4 Zusammenfassung....................................................................................... 57 4. Differenzstufen 59 4.1 MOS-Differenzverstärker im Überblick ..................................................... 59 4.2 Verstärkungsberechnung............................................................................. 62 4.3 Spannungsbereiche, Slew Rate und Frequenzgang .................................... 66 4.4 Designstrategie............................................................................................ 67 4.4 Praktische Durchführung ............................................................................ 68 4.5 Zusammenfassung....................................................................................... 72 5. Operationsverstärker 73 5.1 Eigenschaften von Operationsverstärkern .................................................. 73 5.2 Frequenzgang.............................................................................................. 74 5.2 Zweistufiger OpAmp .................................................................................. 76 5.2.1 Stabilität von OpAmps mit Rückkopplung ....................................... 77 5.2.2 Frequenz- und Phasenkorrekturen..................................................... 80 5.3 Designbeispiel............................................................................................. 84 5.3.1 Transistordimensionierung für 0,8µm CMOS .................................. 89 5.3.2 Simulation ......................................................................................... 92 5.4 Zusammenfassung....................................................................................... 95 VI 6. Zusammenfassung und Schluss 97 Literaturverzeichnis 99 Stichwortverzeichnis 101 Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken 1. Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken Halbleiterschaltungen aus Millionen von Transistoren sind im Alltag allgegenwärtig. Die weite Verbreitung integrierter elektronischer Komponenten, die hoch komplexe Aufgaben kostengünstig schaltungstechnisch umsetzen und zuverlässig mit geringem Energiebedarf ausführen, hängt mit der revolutionären Entwicklung der Herstellprozesse von integrierten Schaltungen zusammen. Heute ist es möglich, einzelne Transistoren auf einer Fläche von weniger als 1µm2 herzustellen und auf Chips mit einigen 100 mm2 millionenfach zu platzieren. Für die Verschaltung stehen bis zu 10 Verdrahtungsebenen zur Verfügung. Früher waren ICs im wesentlichen Komponenten eines Systems, das auf einer Leiterplatte aufgebaut wurde. Sie erfüllten entweder rein analoge oder rein digitale Funktionalitäten, mit klaren Trennlinien zwischen diesen beiden Signaldomänen. Heute verschwinden diese Trennlinien und wir haben es mit Systemen auf einem Chip (System on a Chip, SOC) zu tun, in denen sowohl digitale wie auch analoge Funktionsblöcke zusammengefasst sind (Mixed-Signal-Designs). Die wichtigste Technologie für solche komplexen Systeme ist die CMOS-Technik (Complementary-MetalOxide-Semiconductor), bei der Oberflächenfeldeffekttransistoren mit n- oder p-Leitung die elektronischen Grundelemente im Design darstellen. Diese Technologie ist am besten für komplexe SOC-Schaltungen geeignet, denn sie bietet zum einen höchste Packungsdichten (100.000 Logikgatter pro mm2) und niedrige Verlustleistung (pJ pro Schaltvorgang) für den digitalen Bereich und gleichzeitig ein brauchbares Portfolio an Bauelementen für den Analogentwurf. Aus diesen Gründen konzentrieren wir uns in diesem Lehrbrief auf die CMOS-Technologie. Digitale Schaltungen weisen eine sehr reguläre Struktur auf. Sie sind aus einer überschaubaren Anzahl von verschiedenen digitalen Gattern und Registertypen zusammengesetzt. Die boolesche Algebra ermöglicht verschiedene systematische Optimierverfahren, die es erlauben, gegebene Verknüpfungen optimal (d.h. mit einer minimalen Zahl von Gattern) aufzubauen. Deshalb kann der Entwurf von Digitalschaltungen weitgehend automatisiert werden. Es gibt verschiedene CAD-Tools mit deren Hilfe aus einer abstrakten Verhaltensbeschreibung das fertige Schaltungslayout als Vorgabe für den Halbleiterherstellprozess generiert werden kann. Der analoge Entwurf ist nicht in gleichem Maße automatisierbar, sondern hier muss der Entwicklungsingenieur selbst beginnend mit Handrechnungen unter Nutzung von Schaltkreissimulatoren wie SPICE jeden einzelnen Transistor dimensionieren. Die bekannten Designmethoden vom analogen Leiterplattenentwurf lassen sich nicht anwenden, denn in der CMOS-Silizium-Planartechnik fehlen Induktivitäten. Widerstände und Kondensatoren mit hoher absoluter Genauigkeit und großen Widerstands- bzw. Kapazitätswerten stehen ebenfalls nicht zur 1 Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken Verfügung. Bipolartransistoren, die auf Leiterplatten meist eingesetzt werden, können in CMOS-Technik nur mit bescheidenen Leistungsdaten in parasitärer Form realisiert werden. Für die CMOS-Analogtechnik wurden deshalb neue Schaltungskonzepte entwickelt, wenn sich die bipolaren Konfigurationen nicht übertragen lassen. In diesem Lehrbrief wird Ablauf des analogen Design-Prozesses für die CMOS-Technologie für die verschiedenen geläufigen analogen Grundkomponenten durchgeführt: • Transistoren, Widerstände und Kondensatoren • Analogschalter • Stromquellen und Senken • Verstärker • Operationsverstärker In diesem Kapitel diskutieren wir zunächst den Begriff des analogen elektrischen Signals und die Signalverarbeitung in Analogschaltungen im Vergleich mit digitalen Signalen und Schaltungen. 1.1 Digitale und analoge Signale und Designverfahren Ein Signal ist eine messbare physikalische Größe, die Information über den Zustand oder die zeitliche Entwicklung eines Systems transportiert. Die physikalischen Größen, die bei elektronischen Schaltungen als Signale verwendet werden, sind Spannungen, Ströme oder Ladungen, also elektrische Größen. Bei analogen Signalen ändert sich der Strom-, Spannungs- oder Ladungswert wert- und zeitkontinuierlich (Bild 1.1). Ein solches Signal kann also in seinem zeitlichen Verlauf unendlich viele Wertigkeiten besitzen. Analoge Signale haben in der Regel einen Amplitudenbereich und ändern sich häufig periodisch (z.B. zwischen Massepotential und Versorgungsspannung). Im Gegensatz dazu besitzt ein digitales Signal nur wenige diskrete Zustände, z.B. nur die Wertigkeiten "1" ("HIGH") und "0" ("LOW"). Diese beiden Pegel lassen sich mit der An- oder Abwesenheit von bestimmten Ladungsmengen, Spannungen oder Stromflüssen leicht darstellen. Digitale Signale auf mehreren (N) Signalleitungen b0 bis bN-1 werden zu Datenbussen zusammengefasst und repräsentieren dann im Rahmen eines Stellenwertsystems eine Dualzahl oder Binärzahl N B = b0 2 −1 + b1 2 −2 + b2 2 −3 + .. + bN −1 2 − N = ∑ bi −1 2 − i i =1 2 Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken Diese Binärzahl ist im Intervall von 0 bis 1 definiert und kann auf die übliche unnormierte Darstellung durch Multiplikation mit 2N überführt werden. b0 ist das wichtigste Bit (MSB) und bN-1 das unwichtigste (LSB). Bild 1.1 Signale: A(t), analoger Zeitverlauf zwischen Massepotential und Betriebsspannung VDD; D(t), wertediskreter zeitlich diskontinuierlicher Verlauf eines Digitalsignals Wie analoge Signale in digitale gewandelt werden können und umgekehrt hatten wir schon im Lehrbrief „Signalumwandlung“ besprochen. 1.2 Analog-Design und Digital-Entwurf im Vergleich Digitale Signale nutzen also den zur Verfügung stehenden Parameterbereich nicht aus, beinhalten also auch weniger Information. Sie sind deshalb zwar störsicherer, benötigen aber für die gleiche Funktionalität wesentlich mehr Schaltelemente (Transistoren), um den reduzierten Informationsgehalt elektronisch zu verarbeiten. Digitale Signalverarbeitung ist also weniger effizient als analoge Verfahren. Die entsprechenden digitalen Schaltungen erscheinen zwar wegen der vielen (Millionen) Transistoren komplexer, sind aber paradoxerweise viel leichter zu generieren, als die analogen Gegenstücke, die aus vergleichsweise sehr wenigen Bauelementen (10 -50) bestehen. Die Unterschiede zwischen analoger und der digitaler Signalverarbeitungselektronik und der entsprechenden Designverfahren zeigt schon der Vergleich 3 Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken zweier Komparatoren in analoger bzw. digitaler Ausgestaltung (Bild 1.2), die zwei Binärworte oder zwei Spannungen vergleichen: • Digital: 4 Bit ≈ 35 Gatter ≈ 200 Transistoren, • Analog: Differenzverstärker mit einem Eingang auf der Referenzspannung ≈ 5 Transistoren). Der Schaltplan des analogen Komparators ist zwar einfacher, die Transistoren müssen aber für jede Technologie neu ausgelegt werden, d. h. es sind geeignete Weiten/Längen-Verhältnisse als kontinuierliche Größen für die Transistoren zu ermitteln. Dabei sind, wie wir noch später genauer sehen werden, Spezifikationen für das Einschwingverhalten, die Schaltschwellen, die Ein- und Ausgangspegel, die Verlustleistung usw. vorzugeben und dann im Design einzuhalten. Das Designproblem umfasst damit 10 kontinuierlich veränderbare Entwurfsparameter. Auch wenn man nur 10 Weiten- und Längenstufen probieren würde, um zu testen ob die Spezifikationen erfüllt sind, wären 1010 Simulationen erforderlich. Die Versuchs- und Irrtummethode scheidet damit klar aus. Wir brauchen also eine Strategie, in welcher Reihenfolge die Weiten und Längen der einzelnen Transistoren bestimmt werden und einen Satz von (einfachen) Formeln, die Spezifikationswerte und Transistorgeometrien verknüpfen, die sich per Hand auswerten lassen. Dann wird dieses Handdesign mit Simulationen für die gegebene Technologie nachsimuliert und ggf. nachjustiert. Bild 1.2 Komparatoren: links analoger Komparator, der die Spannung VP und VN miteinander vergleicht. Ist VP > VN , dann ist die Ausgangsspannung Vo positiv, andernfalls negativ. Rechts: digitaler Komparator (DM74LS85 von National Semiconductors), der die 4Bit-Worte A = (A0A1A2A3) und B = (B0B1B2B3) vergleicht und A > B, A < B und A = B über das Setzen von drei Ausgabebits mitteilt. 4 Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken Der Schaltplan der digitalen Variante kann aus einer einfachen VHDL-Beschreibung [ET-SYS-A21] per Synthese erstellt werden: PACKAGE comp_pack IS TYPE bit4 is range 0 TO 15; TYPE t_comp IS (greater_than, less_than, equal, not_equal); END comp_pack; LIBRARY IEEE; USE IEEE.std_logic_1164.ALL; USE WORK.comp_pack.ALL; ENTITY compare IS PORT( A, B : IN bit4; ctrl : IN t_comp; gt, lt, eq: OUT std_logic); END compare; ARCHITECTURE synth OF compare IS BEGIN PROCESS(a, b, ctrl) BEGIN gt <= '0'; lt <= '0'; eq <= '0'; neq <= '0'; gte <= '0'; lte <= '0'; CASE ctrl IS WHEN greater_than => IF (a > b) THEN gt <= '1'; END IF; WHEN less_than => IF (a < b) THEN lt <= '1'; END IF; WHEN equal => IF (a = b) THEN eq <= '1'; END IF; END CASE; END PROCESS; END synth; Timing und Pegel brauchen nicht weiter analysiert werden. Es genügt entsprechende Synthese-Constraints (Constraint: Randbedingung) vorzugeben, die die Signalverzögerung begrenzen. Die Spannungsbereiche sind schon mit Zuladen der zur Verfügung stehenden ASIC-Zell-Bibliothek festgelegt. Wird eine andere Technologiebibliothek verwendet, dann steht die Schaltung sofort und ohne weitere Designarbeiten in einer anderen Technologie zur Verfügung (einfache Portierbarkeit von digitalen Schaltungen). Die Genauigkeit dieser digitalen Schaltung (und von digitalen Schaltungen allgemein) lässt sich leicht erhöhen, indem statt 4 Bit 12 Bit Eingabeworte 5 Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken vorgegeben werden, dazu ist lediglich der Datentyp bit8 durch den Typ TYPE bit12 is range 0 TO 4095; zu ersetzen. Die Umsetzung besorgt die Logik-Synthese, die jetzt ggf. etwas länger dauert. Bei analogen Schaltungen liegt die Genauigkeit für eine gegebene Architektur im Prinzip fest, denn Transistoren lassen sich nur innerhalb bestimmter geometrischer und damit elektrischer Toleranzen fertigen. Diese Toleranzen stellen eine obere Grenze für die erzielbare Genauigkeit dar, die aus prinzipiellen Gründen nicht überschritten und in der Praxis meist noch nicht mal erreicht werden kann, da beim Design Kompromisse zwischen den verschiedenen oft gegenläufigen Anforderungen getroffen werden müssen. Technologische Ungenauigkeiten betreffen bei digitalen Schaltungen hingegen nie die Funktion, sondern nur das Zeitverhalten. Die Schaltung arbeitet also bei höheren Technologischwankungen etwas langsamer aber immer noch funktional korrekt. Dies kann aber durch entsprechende Vorhalte in den Timing-Constraints ausgeglichen werden. Digitale Schaltungen verwenden nur wenige Gattertypen. Eine typische Zellbibliothek umfasst vielleicht 350 Zelltypen, aus denen sich jede beliebige digitale Schaltung, vom besprochenen Komparator bis zum kompletten Mikroprozessor aufbauen lässt. Die Schaltungsaufbauten sind folglich sehr regulär und können, wenn die Zellen bestimmte geometrische Vorgaben in Bezug auf Höhe und Lage der Versorgungsanschlüsse einhalten, fast automatisch in ein Layout umgesetzt werden. Bei diesem Standardzellendesign-Flow werden die Zellen in Zellreihen gesetzt und automatisch an den Anschlüssen mit Signalleitungen untereinander und mit den Schaltungspins verbunden. Bei analogen Designs muss das Layout per Hand an der CAD-Station aus Polygonen in verschiedenen Maskenebenen zusammengesetzt werden, denn hier kommt es auf Ausrichtung und Platzierung jedes einzelnen Transistors an. Bild 1.3 Rechts: Layout des analogen Komparators aus Einzeltransistoren (3 NMOS, 2 PMOS) erstellt mit Polygon-Editierung. Links: Standardzellenlayout des digitalen Komparators. In der Mitte sind drei Standardzellreihen gezeigt und am Rand die Power-Busse, die Betriebspannung VDD und Massepotential VSS zuführen. 6 Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken Nicht nur zwischen den Entwurfabläufen von integrierten analogen und digitalen Schaltungen existieren deutliche Unterschiede. Auch bei analogen Schaltungen, die aus diskreten Komponenten auf Leiterplatten bestehen, und integrierten Analogchips bestehen Unterschiede in Designmethodik und Implementierungsmöglichkeiten. Diskrete Schaltungen bestehen aus aktiven und passiven Bauelemente, die nicht dasselbe Halbleitersubstrat verwenden, und deshalb in den Parametern streuen. Bei integrierten Schaltungen kann die enge Nachbarschaft zwischen den Komponenten genutzt werden, um die Passung der Bauelementparameter zu verbessern (Matching, siehe Lehrbrief [ET-SIUA31]). Dadurch ergeben sich neue Designmöglichkeiten. Gleichzeitig können die geometrischen Abmessungen der Bauelemente in bestimmten Grenzen frei variiert werden. Diese geometrische Kontrolle eröffnet ebenfalls neue DesignDimensionen. Allerdings ist man beim Entwurf von den zur Verfügung stehenden Parametern her beschränkt. Es sind z.B. nur relativ kleine Kapazitäten und Widerstandswerte realisierbar. Auch schwanken die Absolutwerte der Parameter wesentlich stärker, als bei diskreten Elementen. Widerstände mit 1% Genauigkeit sind in Chips kaum zu realisieren. Probeaufbauten (Breadboarding) zu Testzwecken, wie bei Leiterplatten sind beim Design integrierter Analogschaltungen ebenfalls nicht möglich. Man ist also beim Design fast vollständig auf Handrechnungen und Simulationen angewiesen. Das eigentliche Funktionieren lässt sich nur mit Messungen an Prototypen nachweisen, die eigens in der Halbleiterfabrik gefertigt werden und die Entwicklung verteuern. Bei AnalogDesigns sind meistens nach der Prototypenmessung Nacharbeiten erforderlich, deshalb werden Redesigns von im Zeitplan von Chipentwicklungen berücksichtigt. Bei digitalen Designs ist die Entwurfssicherheit so hoch, dass meisten die ersten Prototypen schon voll funktionsfähig sind. 1.3 Ablauf eines Analog-Designs Das Design einer Analogschaltung kann in verschiedene Schritte zerlegt werden. Die wesentlichen Punkte sind in Bild 1.4 als Ablaufdiagramm dargestellt. Wir können den Ablauf in die Definitionsphase, die Umsetzung in eine Schaltung, die Simulation der Schaltung, die Erstellung der Layoutgeometrien mit anschließender Layoutverifikation sowie die Extraktionsphase unterteilen. Am Ende folgt die Prototypenuntersuchung und dann beginnt die Produktion. In der Definitionsphase wird das Schaltungskonzept entwickelt. Die Konzeptfindung ist von besonderer Bedeutung, weil hier die elektrischen Möglichkeiten des späteren Chips in Bezug auf Performance, Ausbeute und Herstellkosten 7 Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken weitgehend vorbestimmt werden. Hier werden die Bauelemente nach Maßgabe der Spezifikation mit einfachen Handrechnungen vordimensioniert. Dann erfolgt die Erfassung in einem Schaltplan als strukturelle Beschreibung der Schaltung. Die Schaltung wird simuliert, um sicherzustellen, dass alle Spezifikationswerte auch bei Verwendung der vollständigen Bauelementmodelle eingehalten werden. Die Schaltplansimulation abstrahiert noch von den geometrischen Gegebenheiten, die erst nach der Layouterstellung bekannt sind und die in Form von parasitären Schaltelementen in den Schaltplan eingehen. Spezifikation Definition Korrektur Schaltplan Vergleich mit Spezifikation Simulation Layoutverifikation Layout Layoutextraktion Test und Messung Protoypenherstellung Produktion Bild 1.4 Ablaufdiagramm eines analogen Designprojekts Die Layouterstellung wird begonnen, wenn die Simulation des Schaltplans die vollständige Übereinstimmung mit der Spezifikation gezeigt hat. Die Layoutgeometrien werden einer Designregelprüfung unterzogen. Dann werden die Parasitäten für die Leiterbahneinflüsse und andere geometrische Effekte extrahiert. Der Schaltplan wird um diese Zusatzbauelemente ergänzt und erneut 8 Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken simuliert. Wird die Spezifikation nach wie vor erfüllt, werden Prototypen gefertigt und vermessen und wieder wird mit der Spezifikation verglichen. Danach wird die Schaltung in die Applikation eingebaut und überprüft ob das gesamte Gerät funktioniert. Dieser Test verifiziert, dass die Spezifikation tatsächlich alle Geräteanforderungen enthalten hat. Sollte keine Applikationsfreigabe möglich sein, weil der Chip sich nicht so verhält, wie erwartet, muss die Spezifikation angepasst werden und der gesamte Designablauf beginnt von vorne. Ein solches Redesign wird auch durchgeführt, wenn die Prototypen Parameterwerte aus der Spezifikation nicht erfüllen. 1.3.1 Leitlinien für die analoge Simulation An zentraler Stelle im Entwurfsablauf steht die Simulation, denn die korrekte Umsetzung der Spezifikation in den Schaltplan und die Korrektur jedes Designfehlers, der sich u. U. erst am Ende des Designzyklus zeigt, müssen mit Simulationen überprüft werden. Sonst könnte die Funktion des Chips und die Wirksamkeit der Korrektur erst Wochen später an teuren Musterchips überprüft werden. Die leistungsfähigen Simulationstools, wie wir sie heute verwenden, sind ursprünglich für den analogen Schaltkreisentwurf entwickelt worden. Die Vorteile der Simulation sind: • Probeaufbauten auf Leiterplattenniveau sind unnötig; • Jeder Knoten in der Schaltung ist zugänglich und die zugehörigen Potentiale und Ströme können ausgegeben werden; • Rückkoppelschleifen können aufgetrennt werden; • Die Schaltung kann leicht verändert werden; • Die Schaltung kann durch einfaches Eintippen von Werten bei erhöhten Temperaturen und für verschiedene Prozessvarianten analysiert werden. Um die Simulation beim Design effizient einzusetzen, sollte man sich, wie im Lehrbrief Simulation [ET-SIM-31] schon angesprochen, an folgende Regeln halten: • Verwende keinen Simulator, wenn der Bereich der zu erwartenden Ergebnisse nicht von vorneherein bekannt ist. • Beschränke Dich bei der Simulation auf die wesentlichen Systemkomponenten und simuliere nie mehr vom System als nötig! • Ändere nie mehr als eine Designvariable zwischen zwei Simulationen, sonst sind die Auswirkungen der Designverbesserung nicht zuzuordnen. • Lerne die wesentlichen Funktionsprinzipien des verwendeten Simula- 9 Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken • tors kennen, sonst kann man dieses Werkzeug nur eingeschränkt benutzen! Simulationen ersetzen nicht das Nachdenken! 1.3.2 Analoge Schaltkreisberechnungen Analoge Schaltungen werden mit mathematischen Methoden analysiert. Dazu werden diese systematisch in Zweipolersatzschaltungen überführt, die Zweipole in linearer Näherung betrachtet und dann in einer Gleichstromanalyse die Spannungen und Ströme in der Schaltung berechnet. Um Zeitabhängigkeiten zu betrachten führen wir in der Regel Wechselstrombetrachtungen durch. Dazu werden sinusförmige Signalverläufe vorausgesetzt und es wird mit komplexen Amplituden und Widerständen für die Schaltelemente gerechnet. Die mathematischen Methoden bleiben gegenüber der Gleichbetrachtung unverändert. Die Rechnungen werden lediglich in der komplexen Ebene ausgeführt. Als Methoden zur Schaltungsanalyse stehen uns folgende Methoden zur Verfügung. • Bei der Knotenanalyse stellen wir mit Hilfe des Kirchhoffschen Knotensatzes Gleichungen für die Knoten in der Schaltung auf und lösen das sich ergebende lineare Gleichungssystem mit Hilfe der Cramerschen Regel. • Bei der Maschenanalyse verenden wir den Kirchhoffschen Maschensatz und erhalten Gleichungen für die Maschenspannung, die wir wieder auflösen können. • Die Methode der Ersatzspannungsquelle ist dann sinnvoll wenn wir nur einen Zweig des Netzwerks untersuchen wollen und dort Spannung und Strom ermitteln sollen. Dann wird der fragliche Zweig aus der Schaltung genommen und die restliche Schaltung als verallgemeinerte Zweipol-Spannungsquelle angesehen, für die wir Leerlaufspannung und Kurzschlussstrom ermitteln. Diese Parameter tragen wir in das Schaltbild einer Spannungsquelle mit Innenwiderstand ein, schalten den zunächst entfernten Widerstand zwischen die Klemmen der Quelle und berechnen Klemmenspannung und -strom der belasteten Quelle. Hier und im Weiteren benutzen wir die folgende Notation für die Variablen (Tabelle 1.1). 10 Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken Signaldefinition Größe Index Beispiel GroßsignalAugenblickswert Gleichwert Wechselwert Komplexe Größe Kleinbuchstabe Großbuchstabe vOL Großbuchstabe Kleinbuchstabe Großbuchstabe Großbuchstabe Kleinbuchstabe Kleinbuchstabe ISS i0 Adiff Tabelle 1.1 Schreibweise für verschiedene Signalklassen " Übungsaufgaben In diesen Übungsaufgaben wiederholen wir die Methoden der in Netzwerkanalyse, die die Grundlage jedes Simulationsprogramms bildet, und rechnen die folgenden Beispiele für die Knotenanalyse, die Maschenanalyse sowie für die Methode der Ersatzspannungsquelle (siehe Kapitel 3, Lehrbrief „Simulationstechnik“, [ET-SIM-31]). Knotenanalyse: Gesucht ist vout/iin für die folgende Schaltung A B R2 iin R1 gmv1 R3 vout Maschenanalyse: Gesucht ist vout/vin für die Schaltung Methode der Ersatzspannungsquelle: Berechnen Sie Strom und Spannung im 11 Analoge Schaltungen und Entwurfstechniken Widerstand RAB: R1 R2 A vAB RAB B iAB R3 R4 vin isource 1.4 Zusammenfassung In diesem Kapitel wurde eine Einführung in die Probleme der analogen Schaltungstechnik gegeben und den entsprechenden Entwicklungsablauf vorgestellt. Die Unterschiede zwischen analogen und den gebräuchlicheren digitalen Schaltungen wurden herausgearbeitet. Im Unterschied zum Leiterplattenentwurf bestehen beim Design integrierter Schaltungen generell keine nachträglichen Änderungsmöglichkeiten, sondern hier muss stets auch beim kleinsten Fehler die gesamte Schaltung korrigiert und neu in den Fertigungsdurchlauf eingeschleust werden. Deshalb werden beim Entwurf von analogen Schaltungen, bei dem die Möglichkeit zur automatischen Schaltungssynthese fehlt, systematische Zugänge benötigt, die auf Netzwerkanalysen und Simulationsläufen beruhen. Die Rolle der Simulation im Designablauf wurden erörtert und die Grenzen des Verfahrens aufgezeigt. Die Übungsaufgaben behandeln die verschiedenen Methoden für die Netzwerkanalyse. Wir haben abschließend eine Notation für die Signalbezeichnungen im gesamten Lehrbrief festgelegt. 12 Aktive und passive Komponenten 2. Aktive und passive Komponenten In diesem Kapitel werden die Einzelkomponenten, die in analogen integrierten Schaltungen zur Verfügung stehen (Transistoren, Widerstände, Kondensatoren, pn-Übergänge) vorgestellt und mit physikalischen Modellgleichungen beschrieben. Die Integration von Transistoren, Widerständen und Kondensatoren auf einem gemeinsamen Substrat schränkt die möglichen Bauelemente ein (z.B. keine Induktivitäten) und lässt nur bestimmte Parameterbereiche zu (Transistorleitwerte, Widerstände, Kapazitätswerte). 2.1 Der pn-Übergang Der pn-Übergang ist die wichtigste Struktur in der Halbleitertechnologie. Diese Übergänge lassen den Strom nur in einer Richtung (Vorwärtsrichtung) fließen und sperren bei entgegengesetzter Polung (Sperrrichtung). Es handelt sich also um Dioden. In Sperrrichtung gepolte Dioden sind die wichtigste Form der elektrischen Isolation zwischen verschiedenen Bereichen innerhalb eines Chips. Der Bipolartransistor besteht aus zwei np- bzw. pn-Übergängen (engl. Junction-Transistor) in so enger Nachbarschaft, dass der Vorwärtsstrom in einem Übergang, den Strom im zweiten vorgibt (Transistoreffekt). Auch in MOS-Transistoren isolieren pn-Übergänge Source- und Draingebiete gegen den Kanal und das Substrat, sowie das Substrat gegen die Wanne, usw. Bild 2.1 Querschnitt durch einen pn-Übergang hergestellt in Siliziumplanartechnologie gepolt in Sperrrichtung für vD > 0V. Wesentlich für das gleichrichtende Verhalten ist das Auftreten von Raumladungen im Grenzbereich zwischen p- und n-leitendem Halbleiter. Raumla13 Aktive und passive Komponente dungen sind Bereiche, in denen positive bzw. negative Ladungen ortsfest im Überschuss anzutreffen sind. Dies ist in Metallen oder homogen dotierten Halbleitern nicht möglich, denn hier herrscht stets Ladungsneutralität. Je nach angelegter Spannung ist die Raumladungszone größer oder kleiner. Sobald die Vorwärtsspannung einen kritischen Wert überschritten hat, verschwinden die Raumladungen und die Diode wird leitfähig. Die exponentielle StromSpannungskennlinie einer in Durchlass gepolten Diode ist das Standardbeispiel für einen nicht linearen Zweipol. Liegt eine Sperrspannung an, dann dehnt sich die Raumladung aus und der Strom wird aufgrund fehlender beweglicher Ladungsträger sehr klein. Der Stromfluss durch die Diode kommt auch bei Sperrpolung nicht zum völligen Erliegen, hier fließt der konstante Sättigungssperrstrom. In CMOS-Analogschaltungen sind die folgenden Eigenschaften von pnÜbergängen relevant: • Sperrschichtweite • Sperrschichtkapazität • Durchbruchsspannung • und Sperrströme 2.1.1 Eigenschaften der Halbleiter-Diode Das einfachste Modell für eine Diode ist das Stäbchenmodell, bei dem die Dotierung abrupt am Übergang von Donatoren (Konzentration ND) zu Akzeptoren (NA) springt (siehe Bild 2.1). Man spricht auch von einem Übergang mit Stufenprofil (Step-Junction). Solche Übergänge sind zwar technisch nicht herstellbar. Die Annahme vereinfacht aber die Rechnungen und führt auf qualitativ korrekte Modellgleichungen, die leicht an die Realität durch weitere Parameter angepasst werden können. Sperrschichten am pn-Übergang Ohne externe Spannung diffundieren die jeweiligen Majoritäten (Löcher im pBereich und Elektronen im n-Bereich) aufgrund der thermischen Bewegung und des Konzentrationsgefälles für den jeweiligen Ladungsträgertyp über die Grenze der unterschiedlich dotierten Bereiche. Dort rekombinieren sie mit den dort reichlich vorhandenen Ladungsträgern des anderen Typs (also bspw. Elektronen aus der n-Zone mit Löchern aus der p-Zone). Dadurch verarmen die dotierten Gebiete beiderseits des Übergangs an beweglichen Ladungsträgern, die vor Zustandekommen des Übergangs die ortsfesten Ladungen der Dotierstoff-Ionen kompensiert haben. Deshalb werden jetzt die Ladungen der im Gitter eingebauten Dotierstoffionen nicht mehr ausgeglichen. Es bildet sich die erwähnte Raumladung, deren Vorzeichen entgegengesetzt zum Leitungstyp 14 Aktive und passive Komponenten gepolt ist. Donatoren haben ein Elektron abgegeben und sind positiv geladen (positive Raumladung im n-Halbleiter), Akzeptoren haben ein Elektron aufgenommen und sind negativ geladen (negative Raumladung im pHalbleiter). Die Halbleitergebiete auf beiden Seiten des Übergangs laden sich also auf und zwar so, dass sie den weiteren Austausch von Majoritäten behindern. xd xp xn n-Halbleiter p-Halbleiter iD + vD - 1/cm3 ND x -NA Bild 2.2 pn-Übergang: physikalischer Aufbau und unten Dotierstoffkonzentration in Längsrichtung(x-Koordinate). Der Übergang erfolgt genau bei x = 0. vD ist die Spannung, die an der Diode anliegt. Bei vD > 0V ist die Diode in Vorwärtsrichtung gepolt. Durch die gegenläufige Wirkung von Diffusion und Aufladung stellt sich ein stationärer Zustand ein, der dadurch gekennzeichnet ist, dass genauso viel positive bzw. negative Ladungsträger die Grenzfläche aufgrund der Wärmebewegung überqueren, wie aufgrund der Feldkräfte in entgegen gesetzter Richtung bewegt werden. Feldströme und Diffusionsströme kompensieren sich vD = iD ≡ 0) und es bildet sich eine bestimmte Potential-, Feld- und Raumladungsverteilung aus, die von der Dotierstoffverteilung und der Temperatur abhängen (Bild 2.3). Die Raumladungszone erstreckt sich dann im n-Halbleiter bis x = xn und im pGebiet bis x = xp (Achtung: xp ist negativ!). Die Weite der Verarmungszone bezeichnen wir mit xd = xn - xp. Da die gesamte Diode elektrisch neutral ist, gilt qN D xn = − qN A x p . (2.1) 15 Aktive und passive Komponente Ladungsdichte in der Raumladungszone in cm -3 Elektrisches Feld E(x) in V/cm Potential in V Bild 2.3 pn-Übergang: Raumladungsdichte (oben), E-Feld längs des Übergangs (Mitte) und elektrostatisches Potential in x-Richtung (unten). q ist dabei die Elementarladung, also die negative Ladung eines Elektrons (q = 1,6 ⋅ 10-19 As). Das elektrische Feld in der Raumladungszone kann aus der Ladungsverteilung mit Hilfe der eindimensionalen Gauss-Formel berechnet werden: dE ( x ) qN = ε Si dx εSi ist die dielektrische Konstante von Silizium (εSi = 11,7ε0 , ε0 = 8,854 ⋅ 10-14 F/cm). Die Differentialgleichung kann nach Trennen der Variablen längs der gesamten Raumladungszone von xp bis 0 bzw. 0 bis xn integriert werden. Am Rand der Raumladungszone verschwindet die Feldstärke und am metallurgischen Übergang bei x = 0 wird sie maximal E(0) = E0: E0 = E0 = E0 0 0 xp 0 xp E0 0 ∫ dE = ∫ ∫ dE = ∫ − qN A ε Si qN D ε Si dx = dx = qN A x p ε Si − qN D xn (2.2) ε Si Der Potentialunterschied, der sich längs der Raumladungszone ausbildet, kann wegen des Zusammenhangs zwischen Feld und Potential E = − grad φ mit Hilfe der Integration der negativen Feldstärke berechnet werden. Da die Feldstärke erst am Rand der Raumladungszone einsetzt und am anderen Rand wieder verschwindet, sind die Integrationsgrenzen xp und xn. Die Formel für die Feldstärke ist damit 16 Aktive und passive Komponenten xn ⎛ x − xp ⎞ ⎛x −x⎞ φ0 − vD = − E0 ∫ ⎜ dx −E0 ∫ ⎜ n ⎟ ⎟ dx ⎜ x ⎟ x p n ⎝ ⎠ xp ⎝ 0 ⎠ . xn − x p = − E0 2 0 (2.3) vD ist die Spannung, die extern an die Diode angelegt wird und diese ist beim stromlosen Übergang zunächst erst einmal 0. φ0 ist das Kontaktpotenzial (oder die Barrierenspannung), das bei allen leitfähigen Materialien mit unterschiedlichen Elektronendichten auftritt, wenn diese in Kontakt gebracht werden. In einem Stromkreis ist diese Spannung aber nicht messbar, denn aufgrund weiterer elektrischer Kontakte (mit weiteren Kontaktspannungen) kompensieren sich alle Barrierenspannungen nach dem Kirchhoffschen Maschensatz. Das Kontaktpotenzial entsteht aufgrund der Differenz der Austrittsarbeiten in beiden unterschiedlich dotierten Halbleiterbereichen. Diese Differenz bildet sich, weil Unterschiede in den jeweiligen Fermi-Energien existieren. Diese Energien sind wiederum durch die Dotierung und den Leitungstyp festgelegt. Die Barrierenspannung ist also ein Materialparameter, der sich für jeden pnÜbergang nach der Formel φ0 = ⎛ N AND ⎞ k BT ⎛ N A N D ⎞ ≡ ln ⎜ ln V ⎟ ⎜ ⎟ T 2 2 q ⎝ ni ⎠ ⎝ ni ⎠ (2.4) berechnen lässt. kB ist die Boltzmannkonstante (1,38⋅10-23J/K) und ni ist die intrinsische Ladungsträgerkonzentration von Silizium bei der Temperatur T. VT, die Temperaturspannung, fasst die Größen im Bruch vor dem Logarithmus zur Temperaturspannung zusammen. Bei Raumtemperatur gilt ni = 1,45⋅1010/cm3 und VT = 25,9 mV. Aus den Gleichungen 2.1. bis 2.3 können wir die Ausdehnung der Verarmungszone in den n- bzw p-leitenden Halbleiterbereich ausrechnen: xn = 2ε Si (φ0 − vD ) N A qN D ( N A + N D ) 2ε Si (φ0 − vD ) N D xp = − qN A ( N A + N D ) (2.5) Die gesamte Sperrschichtweite ist damit xd = (φ0 − vD ) 2ε Si ( N A + N D ) qN D N A . (2.6) 17 Aktive und passive Komponente Diese Formel zeigt, dass die Breite der Sperrschicht proportional zur Wurzel des Unterschieds zwischen Barrierenspannung und angelegter Spannung ist. Die Sperrschicht verschwindet genau dann, wenn vD und φ0 gleich sind. Dann geht auch die gleichrichtende Wirkung des Übergangs verloren und die Struktur verhält sich wie ein homogen dotierter Halbleiterkristall. In der Raumladungszone ist die Raumladung Qj konzentriert, die wir aus dem Volumen der Zone (Produkt Querschnitts A mit der Ausdehnung xn oder xp) bei einer gegebenen Spannung und der jeweiligen Dotierstoffkonzentration berechnen können: Q j = AqN A x p = AqN D xn = A 2ε Si N D N A ( N A + ND ) (φ0 − vD ) . (2.7) Die Ladung in der Verarmungszone ändert sich mit der angelegten Spannung, denn mit vD wächst oder schrumpft je nach Polung deren Weite. Diese Schicht wirkt also als Ladungsspeicher mit spannungsabhängiger Kapazität, stellt also einen Kondensator dar. Um die Sperrschichtkapazität auszurechnen, betrachten wir die differentielle Kapazität C j = dQ j dv : D Cj = dQ j dvD =A ε Si N D N A 2 ( NA + ND ) 1 ≡ C j0 (φ0 − vD ) (1 − vD / φ0 ) m . (2.8) Cj0 bezeichnet die Sperrschichtkapazität ohne angelegte Spannung (vD =0) und m ist der so genannte Abschwächungskoeffizient. Dieser Parameter beschreibt den Einfluss der zu tieferen Halbleiterschichten abnehmenden Dotierstoffkonzentration und korrigiert so das Verhalten des hypothetischen Übergangs mit Stufenprofil (m = ½) für technologisch herstellbare pn-Übergänge (siehe Bild 2.1). Der Bereich dieses Technologieparameters liegt typischerweise im Bereich 1/3 < m < 1/2. Bild 2.4 zeigt die Sperrschichtkapazität als Funktion der angelegten Spannung vD. Bei großen Sperrspannungen ist die Weite der Raumladungszone groß und Cj verschwindet. Wächst vD, dann schrumpft der Abstand zwischen den leitfähigen Bereichen des Übergangs, der effektive Plattenabstand sinkt, die Kapazität steigt. Kurz bevor vD die Barrierenspannungen erreicht hat, wird Cj zumindest theoretisch maximal. Allerdings treten in realen Dioden dann bereits größere Vorwärtsströme auf und die Raumladungszone ist aufgrund der enthaltenen beweglichen Ladung kein Dielektrikum mehr. Cj verschwindet deshalb in realen Strukturen für vD → φ0 . 18 Aktive und passive Komponenten φ0 φ0 Bild 2.4 Kapazität des pn-Übergang als Funktion der angelegten Spannung vD. Oben theoretischer Verlauf, unten tatsächlicher Verlauf. Übungsaufgabe " Berechnen Sie die xp, xn, φ0, Cj0 und Cj für einen pn-Übergang mit Stufencharakteristik für eine angelegte Spannung von -4V, einer Dotierstoffverteilung NA = 5,0⋅1015/cm3 und ND = 1,0⋅1020/cm3 und einer Querschnittsfläche A = 100 µm2 bei Raumtemperatur. Sperr- und Vorwärtsströme Die Strom-Spannungsgleichung der Halbleiterdiode entsteht physikalisch, wenn eine Vorwärtsspannung vD > 0 an die Diode angelegt wird: Die Weite der Raumladungszone schrumpft (Glg. 2.6). Die Feldströme nehmen ab und die Diffusionsströme durch die Sperrschicht zu. Es fließt ein stark mit der Durchlassspannung ansteigender Majoritätenstrom durch die Grenzfläche. Auf beiden Seiten der Sperrschicht setzten Rekombinationsvorgänge ein. Die dabei verschwindenden freien Ladungsträger werden von der angeschlossenen Quelle als Vorwärtsstrom iVD nachgeliefert. Da die Diffusion von Ladungen durch die Sperrschicht, die eine Potentialbarriere darstellt, von der Wärmebewegung getrieben wird, ist die Wahrscheinlichkeit, dass eine Ladung gegen diese Potentialbarriere anlaufen kann, proportional zum Boltzmann-Faktor: 19 Aktive und passive Komponente ⎛ q ⋅ vD ⎞ PB ∼ exp ⎜ ⎟. ⎝ k BT ⎠ Dieser Faktor ist ein Maß für die Wahrscheinlichkeit, dass eine Ladung bei der anliegenden Spannung vD die Grenzfläche vom p-Gebiet in Richtung n-Zone überwindet. Damit diese Bewegung zielgerichtet erfolgt, muss die thermische Energie kBT von der elektrischen Energie der Elektronen im Feld der Vorwärtsspannung q⋅ vD übertroffen werden. Die Strom-Spannungsgleichung hat die Form: ⎧⎪ ⎛ q ⋅ vD ⎞ ⎫⎪ iD = I SS ⎨exp ⎜ ⎟ − 1⎬ . ⎝ k BT ⎠ ⎭⎪ ⎩⎪ (2.9) ISS bezeichnet hier den Sättigungssperrstrom. Ohne angelegte Spannung fließt kein Strom. Aber sobald eine negative Spannung an die Diode gelegt wird, begünstigt dies die Feldströme und die Diffusionsströme nehmen ab. Neu generierte Elektron-Lochpaare, die in das Potentialgefälle der Sperrschicht geraten, werden auseinander gerissen. Die räumliche Trennung reduziert die Wahrscheinlichkeit, dass diese Ladungsträger rekombinieren und deshalb gelangen viele der getrennten Paare an die jeweiligen Klemmen und können dort als Sperrstrom nachgewiesen werden, der als Generationsstrom fast nicht von der angelegten Spannung abhängt. Der Sperrstrom entsteht also aufgrund von reduzierten Rekombinationsraten aufgrund eines großen Potentialgefälles. Da diese Raten sich an der relativ kleinen Gesamtzahl der Ladungsträger ni orientieren, die durch thermische Generation im Halbleiter zustande kommen, sind die Sperrströme entsprechend schwach. Man kann zeigen, dass der Sättigungssperrstrom auch von den Diffusionskonstanten für Elektronen und Löcher De und Dh im Halbleiter und von den Diffusionslängen Le und Lh abhängt. Zusätzlich gehen noch die Dotierungen ein: ⎡D n2 D n2⎤ I SS = qA ⎢ h i + e i ⎥ ⎣ Lh N D Le N A ⎦ (2.10) Übungsaufgabe " Berechnen Sie ISS für einen pn-Übergang mit NA = 5,0⋅1015/cm3 und ND = 1⋅1020/cm3 und einer Querschnittsfläche A = 1000µm2 bei Raum20 Aktive und passive Komponenten temperatur mit De= 20 cm2/s, Dh= 10 cm2/s und Diffusionslängen Le= 10 µm und Lh= 5µm. 2.2 MOS-Transistoren Das wichtigste Bauelement der modernen Halbleiterelektronik ist der MOSTransistor. In CMOS Schaltungen werden sowohl N-Kanal-, wie auch P-Kanal-Transistoren auf einem gemeinsamen Substrat verwendet. Bild 2.5 zeigt einen Querschnitt durch eine CMOS-Schaltung in N-Wannen-Technik. Der PKanal-Transistor besteht aus zwei stark p-dotierten Zonen (p+) in einer leicht n-dotierten Zone, der N-Wanne. Der N-Kanal-Transistor liegt im p-dotierten Substrat. Die beiden hoch dotierten Gebiete der Transistoren werden als Source und Drain (Quelle und Senke für bewegliche Ladungsträger) bezeichnet. Zwischen den p+-Gebieten des PMOS-Transistors (n+-Gebieten beim N-Typ) im Abstand L liegt der Kanalbereich. Hier bildet sich nach Anlegen geeigneter Spannungen an das Gate der leitfähige Kanal aus, der die Source- mit der Drain-Elektrode verbindet und so den Transistor einschaltet. Die GateElektrode ist von der Siliziumoberfläche im Kanalbereich durch eine dünne dielektrische Schicht isoliert, die als Gateoxid mit der Dicke tOX und der chemischen Formel SiO2 bezeichnet wird. Das Gate besteht aus polykristallinem Silizium (Polysilizium) das nach entsprechend hoher Dotierung fast metallisch leitfähig ist und die früher gebräuchlichen Metall-Elektroden ersetzt hat. Die vertikale Schichtfolge MetallOxid-Silizium (MOS) hat den Transistoren den Namen gegeben. N-Transistor P-Transistor Polysilizium Wannen-Kontakt n-Wanne Substrat-Kontakt p-Substrat Bild 2.5 Querschnitt durch einen N- und P-MOS-Transistor in einer N-Wannen-Technologie W und L sind die Weite und Länge des Kanals. Die Substrat- und Wannenkontakte sorgen für geeignete Potentialunterschiede, sodass der pn-Übergang zwischen Substrat und Wanne stets gesperrt ist. Die Wanne liegt auf Betriebsspannung und das Substrat auf Masse. Jeder der beiden Transistortypen hat 4 Anschlüsse: Gate, Drain, Source und Bulk. Das Potential am Bulk-Anschluss ist entweder das Wannenpotential 21 Aktive und passive Komponente (PMOS) oder das Substratpotential (NMOS). Von diesen Potentialen können drei unabhängige Spannungen abgeleitet werden, die auf das Potential des Source-Knotens bezogen sind: vGS, vDS, vSB also Gate-Source-, Drain-Sourceund Source-Bulk-Spannung. Die Schaltplansymbole der Transistoren sind in Bild 2.6 gezeigt. vGS S iD G vGS vSB B vDS S iD vSB B G D D N-Typ P-Typ vDS Bild 2.6 Transistorschaltplansymbole mit Anschlussklemmenbezeichnungen und Ansteuerspannungen. Die Spannungspfeile und Strompfeile geben die positiven Zählrichtungen für Spannungen und Ströme in den beiden Transistortypen an. 2.2.1 Großsignalmodell MOS-Transistoren werden über die Gate-Source-Spannung gesteuert. Sobald diese Spannung eine Schwelle überschreitet, wird der Transistor aktiv und die vorher gegeneinander isolierten Source- und Drain-Elektroden werden leitfähig verbunden. Je nach einwirkender Drain-Source-Spannung fließt dann ein größerer oder kleinerer Strom. Die Stromgleichungen sind für den Großsignalbereich: vDS ⎤ W⎡ v v vDS ; 0 < vDS ≤ ( vGS − vth ) − − ( ) GS th L ⎢⎣ 2 ⎥⎦ W 1 2 iD = K N ' ( vGS − vth ) (1 + λ vDS ); 0 < ( vGS − vth ) ≤ vDS (2.11) L 2 iD = 0; ( vGS − vth ) ≤ 0 iD = K N ' Diese Gleichungen sind hier für den N-Typ angegeben. Der Strom wird bei Ausgangskennlinien als Funktion der Drain-Source-Spannung vDS gesehen, wobei die Gate-Source-Spannung vGS die Rolle eines Parameters spielt. Die oberste Gleichung beschreibt den Strom in linearen, die mittlere im Sättigungsund die untere im Sperrbereich- Bild 2.7 zeigt eine simulierte Ausgangskennlinie. Der Strom nimmt proportional mit der Weite W des 22 Aktive und passive Komponenten Kanals (als Stromflussbreite) zu und ist antiproportional zur Kanallänge L, der Stromweglänge. Da NMOS- und PMOS-Transistor komplementäre Bauelemente sind, können die Gleichungen für den P-Typ aus 2.11 dadurch abgeleitet werden, dass die Vorzeichen aller Spannungen umgedreht werden und die Stromflussrichtung ebenfalls in entgegen gesetzter Richtung positiv gezählt wird, wie in Bild 2.6. KN’ ist der spezifische Transistorleitwert K N ' = µeCOX = µe ε OX (2.12) tOX für den N-Typ. µe bezeichnet die Elektronenbeweglichkeit im Kanal, tOX ist die Dicke des Gateoxid und εOX dessen dielektrische Konstante. Der Quotient aus dielektrischer Konstante und Gateoxid-Dicke ist die Kapazität der Gateelektrode pro Flächeneinheit. Beim P-Typ sind in den Gleichungen nicht nur alle Vorzeichen umzudrehen, sondern auch KN ’ durch den entsprechenden Transistorleitwert KP’ zu ersetzen. Da N- und P-Transistoren mit der gleichen Technologie gefertigt werden, bleibt die Oxiddicke zwar gleich, aber die Ladungsträger im Kanal sind beim P-Typ Löcher, die eine schlechtere Beweglichkeit µh aufweisen, als die Elektronen beim N-Typ (µe ≈ 2µh ). Linear Sättigung vGS Bild 2.7 Ausgangskennlinienfeld für den NMOS Transistor. Aufgetragen ist der Drainstrom gegen die Drain-Source-Spannung, die hier von 0V bis 10 V läuft. Die einzelnen Kurven gehören zu den verschiedenen Gate-Source-Spannungen, die von 2 V in Schritten von 1 V bis nach 8 V laufen. 23 Aktive und passive Komponente Der Parameter λ ist der Kanallängenmodulationsfaktor. Dieser erfasst die experimentell beobachtete Abhängigkeit des Drainstroms von der DrainSource-Spannung, die vom einfachsten Transistor-Modell nicht berücksichtigt wird. Die Einsatzspannung vth ist ebenfalls für N- und P-Typ verschieden und wird deshalb ebenfalls, wenn nötig, in allen späteren Formeln mit einem Index versehen (vthN, vthP ). Die Einsatzspannung ist der Potentialunterschied zwischen Gate- und Bulk, bei dem der Transistor leitend wird. Allerdings sind in allen Formeln die Spannungen bezogen auf den Source-Knoten angegeben. Deshalb wird die Einsatzspannung in zwei Terme aufgeteilt: vth0 für die Einsatzspannungen ohne Potentialdifferenz zwischen Source und Bulk und in einen Korrekturterm, in den der Einfluss des Bulks eingeht: vth = vth 0 + γ ( −2φF + vSB − −2φF ) (2.13) Der Parameter γ ist der Substratsteuerfaktor, der den Einfluss des Bulkpotenzials gewichtet. φF bezeichnet das Fermipotenzial des Substrats (N-Typ) bzw. der Wanne (P-Typ). Auch γ nimmt für P- (in der N-Wanne) und N-Typ (im pleitenden Substrat) unterschiedliche Werte an. Das Fermipotenzial ist das Gleichgewichtspotenzial im dotierten Halbleiter: φF = −vT ln φF = vT ln NA ; p − Si ni ND ; n − Si ni Der Substratsteuerfaktor, die Fermipotenziale, Transistorleitwerte und die Einsatzspannungen ohne Substrat- oder Wannenvorspannung können im Prinzip aus physikalischen Gleichungen hergeleitet werden. Die so bestimmten Größen stimmen aber nicht immer mit den tatsächlich gemessenen überein. Deshalb betrachtet man die Parameter als Anpassgrößen, die aus Messungen an Testtransistoren in der betrachteten Technologie ermittelt werden. Dazu werden u. a. Transistorkennlinien aufgenommen und mathematisch angepasst. Da die Transistorgleichungen nichtlinear sind, können Transistorschaltungen ohne weitere Näherungen nicht analytisch ausgewertet werden. Wir sind auf Simulationsprogramme, wie etwa SPICE angewiesen [ET-SIM-A32]. Handrechnungen sind aber in einfachen Fällen möglich. Parameter für eine 0,8µm- und 0,35µm -CMOS-Technologie zeigt Tabelle 2.1. 24 Aktive und passive Komponenten Parameter Beschreibung Parameterwerte NMOS PMOS Einheit Vth0 K’ Einsatzspannung VBS = 0 Transistorleitwert Substratsteuerfaktor Kanallängenmodulationsfaktor Oberflächenpotential bei starker Inversion 0,5 ± 0,05 -0,65 ± 0,5 175 ± 10% 60 ± 10% 0,58 0,42 0,06⏐L=1µm 0,06⏐ L=1µm 0,04⏐L=2µm 0,04⏐ L=2µm 0,8 0,8 V µA/V2 V1/2 V-1 Beschreibung Parameterwerte NMOS PMOS γ λ 2⏐φF⏐ Parameter V Einheit Einsatzspannung VBS = 0 0,7 ± 0,15 -0,7 ± 0,15 V Transistorleitwert 110 ± 10% 50 ± 10% µA/V2 Substratsteuerfaktor 0,4 0,57 V1/2 γ Kanallängenmodulations- 0,04⏐L=1µm 0,05⏐ L=1µm V-1 λ faktor 0,01⏐L=2µm 0,01⏐ L=2µm 2⏐φF⏐ Oberflächenpotential bei 0,7 0,8 V starker Inversion Tabelle 2.1 Oben: Großsignalparameter für Handrechnungen für die 0,35µm CMOS-Technologie von AMS (maximale Versorgungsspannung VDD – VSS = 3,5 V), unten: für eine 0,8µm CMOS-Technologie aus [AllanHolberg02] mit Versorgungsspannung VDD – VSS = 5 V Vth0 K’ Übungsaufgabe " Zwei MOS-Transistoren, wie in Bild 2.6 gezeigt, deren W/LVerhältnis 5µm zu 1µm beträgt, wurden in einer Technologie mit 0,8µm gefertigt (Parameter in Tabelle 2.1). Die Spannungen beim NTyp an Drain, Gate, Source, und Bulk sind 3V, 2V, 0V und 0V und die beim P-Typ -3V, -2V, 0V und 0V. Berechnen Sie den Drainstrom iD für beide Transistortypen. 25 Aktive und passive Komponente 2.2.2 Parasitäten Neben dem Drainstrom und der Einsatzspannung sind für das transiente Transistorverhalten die Transistorparasitäten wichtig. Dabei handelt es sich um zusätzliche elektrische Komponenten, die bei der Herstellung der MOSTransistoren in Siliziumplanartechnologie unvermeidlich mit entstehen. Parasitäre Elemente beim MOS-Transistor sind Widerstände, Kapazitäten und gesperrte Dioden (Sperrströme!), die in Bild 2.8 in einer Ersatzschaltung und im physikalischen Querschnitt durch einen Transistor dargestellt sind. Bild 2.8 Ersatzschaltbild und physikalischer Querschnitt für einen NMOS-Transistor mit parasitären Kapazitäten: zwischen Gate (G) Source (S) Bulk (B)und Drain (D), CGS, CGD und CGB; zwischen Bulk und Source und Drain CBS und CBD, sowie den Dioden zwischen Bulk und Source bzw. Bulk und Drain. Sperrströme ibs und ibd fließen durch die gesperrten pn-Übergänge, die Source und Drain gegen das Substrat isolieren. rD und rS sind die Bahnwiderstände des Drain- (D) und Source-Bereichs. iD ist der Drainstrom, der durch die üblichen Transistorgleichungen in den verschiedenen Betriebszuständen des Bauelements gegeben ist. Die GateBulk-Kapazität teilt sich in zwei Kapazitäten auf, die Oxidkapazität als größerer Beitrag und die Kapazität der Verarmungszone zwischen Kanal und den nicht invertierten tieferen Substratbereichen. 26 Aktive und passive Komponenten Von besonderer Bedeutung für das dynamische Verhalten von analogen Schaltungen sind die parasitären Transistorkapazitäten. Die Widerstände, die die begrenzte Leitfähigkeit der dotierten Halbleiterbereiche von Source und Drain zwischen Kontakt und Kanalbereich berücksichtigen, sind klein und spielen keine so wichtige Rolle. Die Kapazitäten sind zum einen die spannungsabhängigen Sperrschichtkapazitäten der Source- und Drain-Bereiche CBS und CBD. Dazu kommen die Überlappkapazitäten zwischen Gateelektrode und Source- und Drain, die sich aufgrund der technologisch begründeten Überlappung des Gates mit den genannten Gebieten ausbilden. Es ist nämlich technisch unmöglich, den Kanalbereich exakt mit dem Polysilizium-Gate zu überdecken. Die Überlappkapazitäten sind Millerkapazitäten, sie zählen doppelt, weil bei Schaltvorgängen sowohl die Boden- wie die Deckplatte des äquivalenten Plattenkondensators umgeladen wird! Die Gate-Bulk-Kapazität CGB setzt sich aus der Kapazität zwischen Gateelektrode und der Kanalschicht mit dem Gateoxid als Dielektrikum (COX) und der Sperrschichtkapazität (Cver) zwischen Kanal und dem nicht invertierten Substrat zusammen. Diese Kapazität hängt in komplizierter Weise mit den Potentialen an den Transistoranschlüssen zusammen. Um die Parasitäten in das Transistorverhalten einzubeziehen, werden für Simulatoren wie SPICE mehr als ein Dutzend Parameter verwendet. In Handrechnungen arbeitet man meist mit vereinfachten Werten für COX und die Sourcebzw. Drain-Kapazität, die man ohne Berücksichtigung der Spannungsabhängigkeiten mit Hilfe der SPICE-Parameter und der zugehörigen SPICE-Modelle ausrechnet. 2.2.3 Kleinsignalmodelle Die voll gültigen Großsignalmodelle der Transistoren sind nicht linear und damit mathematisch nur eingeschränkt handhabbar. Häufig kann man aber mit grafischen Methoden oder iterativ den Arbeitspunkt festlegen und dann die Schaltung in der Nähe des Arbeitspunkts mit linearen Kleinsignal-Modellen untersuchen. Diese Modelle gelten nur in den Bereichen, in denen die Großsignalkennlinien sich hinreichend gut durch eine Gerade nachbilden lassen. Wie vereinbart, bezeichnen wir Kleinsignalgrößen mit Kleinbuchstaben und kleingeschriebenen Indizes. Bild 2.9 zeigt das Kleinsignal-Ersatzschaltbild für einen MOS-Transistor. 27 Aktive und passive Komponente Bild 2.9 Kleinsignalmodell eines NMOS-Transistors mit parasitären Kapazitäten CGS, CGD, CBS, CBD und CGB. Der Drainstrom wird durch die beiden durch die Gate-Source- bzw. BulkSource-Spannung gesteuerten Stromquellen und durch den Leitwert des Kanals gds eingestellt. Der Leitwert ist in Serie zu den Drain- bzw. Source-Widerständen rd und rs geschaltet. Das Modell enthält wieder Parameter. Diese Kleinsignalparameter lassen sich aus den Großsignalparametern berechnen. Beide Beschreibungsformen hängen darüber zusammen, dass die Kleinsignalparameter als kleine Störungen der Großsignalvariablen aufgefasst werden und als partielle Ableitung am Arbeitspunkt berechnet werden können. Die Kanalleitwerte gm, gmbs und gds sind als Ableitungen des Drainstroms nach der Gate-Source-, Bulk-Sourcebzw. nach der Drain-Source Spannung am Arbeitspunkt gegeben. gm = ∂iD ∂i ∂i ; g mbs = D ; gds = D ; ∂vGS ∂vBS ∂vDS (2.14) Die konkreten Werte für die Kleinsignalparameter hängen vom Betriebszustand des Transistors ab. Bei CMOS-Analogschaltungen versucht man, die Transistoren soweit es geht, in Sättigung zu halten. Deshalb sind die Parameter für den Sättigungsbereich besonders wichtig. Mit Gleichung 2.11 ergibt sich für den Eingangsleitwert gm = 2K N ' W W I D (1 + λVDS ) ≅ 2 K N ' I D . L L (2.15) Der Arbeitspunkt ist ein Gleichwert und deshalb werden, wie in Tabelle 1.1 angegeben, Großbuchstaben und große Indices verwendet. Der Beitrag der von 28 Aktive und passive Komponenten der Bulk-Source-Spannung gesteuerten Stromquelle wird von g mbs = −∂iD ∂i ∂VTH =− D ∂vSB ∂VTH ∂vSB (2.16) bestimmt. Wir haben die Definitionsgleichung lediglich mit der Kettenregel erweitert und betrachten statt vBS jetzt vSB. Damit ist ein Vorzeichenwechsel verbunden. Aus Glg. 2.13 und der Tatsache, dass g mbs = g m γ 2 2φF + VSB ∂iD ∂i = − D gilt, folgt ∂vth ∂vGS ≡ η gm . (2.17) Dieser Leitwert wird später bei allen Wechselstromanalysen von Transistorschaltungen wichtig, bei denen das Source-Bulk-Potential der Bauelemente nicht 0V ist. Der letzte noch fehlende Kleinsignalparameter ist der Kanal- oder Ausgangsleitwert bzw. der Ausgangswiderstand r0. g ds = I Dλ 1 ≈ I Dλ = 1 + λVDS r0 (2.18) Wir erkennen, dass die Kleinsignalparameter von den Großsignalparametern und den Gleichspannungen und Strömen am Arbeitspunkt abhängen. Übungsaufgabe " Berechnen Sie die Kleinsignalparameter für einen MOS-Transistor vom P-Typ und vom N-Typ. Benutzen Sie die Parameter aus Tabelle 2.1 (0,8µm-Prozess). Wir nehmen an, dass der Drainstrom am Arbeitspunkt jeweils den Betrag von 50µA hat und die Bulk-SourceSpannung betragsmäßig bei 2V liegt. Das W/L-Verhältnis ist in beiden Fällen 1µm zu 1µm. 29 Aktive und passive Komponente 2.3 Widerstände und Kondensatoren Die Halbleiterherstelltechnologien (Silizium-Planar-Technologie) für CMOSSchaltungen sind für die Implementierung von Transistoren ausgelegt. Passive Bauelemente, die mit den Herstellprozessen quasi als Nebenprodukt hergestellt werden können, sind Widerstände und Kondensatoren. Spulen können in einer planaren Technologie nur mit sehr kleinen Induktivitäten (eine Windung) integriert werden und spielen in der Analogschaltungstechnik keine Rolle. 2.3.1 Kondensatoren Kondensatoren werden in analogen integrierten Schaltungen viel häufiger eingesetzt als in diskret aufgebauten Leiterplattendesigns. Anwendungen von Kondensatoren sind: • Kompensations-Kapazitäten in Verstärkern; • Verstärkungsbestimmende Komponenten in Ladungsverstärkern; • Ladungsspeicher in Schaltkondensator-Filter-Schaltkreisen und in Digital-Analog-Wandlern. Kriterien, die ein Kondensator in einer Analogschaltung erfüllen muss, sind: • Gute Passung mit anderen baugleichen Kapazitäten; • Kleiner Spannungskoeffizient der Kapazität; • Kleiner Anteil von parasitären Kapazitäten an der Gesamtkapazität; • Hohe spezifische Kapazität für geringen Flächenbedarf und damit für preisgünstige Fertigung; • Geringer Temperaturgang. In analogfähigen CMOS-Prozessen kann man Kondensatoren aufbauen, die den Anforderungen im Wesentlichen entsprechen. Es gibt drei Varianten. Bild 2.10 zeigt die beiden meistverwendeten Typen. Der erste Typ ist der MOS-Kondensator, der aus einer Metall- oder Polysiliziumfläche besteht, die mit dünnem Siliziumdioxid gegen eine hoch dotierte Halbleiterschicht isoliert ist. Die hohe Dotierung der Bodenplatte sorgt für einen relativ kleinen Spannungskoeffizienten, der durch die Einwirkung des Feldes im Dielektrikum auf die Ladungsträger im Silizium zustande kommt (siehe Feldeffekt). Der zweite Typ von Kondensatoren, die aber nur in CMOS-Analog-Prozessen zur Verfügung steht, ist ein echter Plattenkondensator aus zwei Polysiliziumschichten. Ein digitaler Prozess hat nur eine Poly-Ebene. Die Isolation besteht wieder aus einer Oxidschicht, die aber aus technologischen Gründen dicker ausfällt, als das Gateoxid beim ersten Typ. Dieser Kondensator erfüllt alle Kriterien sehr gut und wird in Analogschaltung standardmäßig verwendet. Noch genauere Kondensatoren ohne messbaren Temperatur- oder Spannungs30 Aktive und passive Komponenten gang lassen sich mit Platten aus Metalllagen realisieren, die üblicherweise zum Verdrahten auf dem Chip genutzt werden. Die Kapazitätswerte sind aber pro Flächeneinheit viel kleiner als bei den anderen Typen, weil der Plattenabstand aufgrund der dickeren Isolierschichten größer ausfällt. Metallbahn zum Anschluss Dickes Oxid Poly-Si n+-Dotierung dünnes Gateoxid Metallbahn zum Anschluss Poly-Si II Si-Oxid Poly-Si I Feldoxid FOX Silizium-Substrat Bild 2.10 Kondensatoren in CMOS-Prozessen: Oben MOS-Kapazität, unten Poly-Poly-Kondensator. FOX ist das dicke Feldoxid, das die Verbindungsbahnen von den aktiven Strukturen des Chips isoliert. Polysilizium ist eine hoch dotierte und damit gut leitfähige Schicht aus polykristallinem Silizium. Aufgrund der kleinen Kapazitätswerte, die wie Tabelle 2.2 zeigt, möglich sind (1 fF/µm), machen sich parasitäre Zusatzkapazitäten besonders bemerkbar. Diese kommen dadurch zustande, dass eine Platte aus Gründen der Kontaktierung immer etwas kleiner ausfallen muss, als die andere. Die Kapazitätsbeiträge der Anschlussleiterbahnen wirken ebenfalls parasitär. 31 Aktive und passive Komponente 2.3.2 Widerstände Widerstände lassen sich in integrierten Schaltungen nur mit großen Einschränkungen in Bezug auf Größe und Genauigkeit realisieren. Deshalb werden fast alle Schaltungen in integrierter Form soweit es geht nur aus Kondensatoren und Transistoren aufgebaut. Einige Spezialschaltungen, wie etwa DAUs oder ADUs [ET-SIU-A31] setzen aber Widerstände ein. Als Strukturen mit geringer Leitfähigkeit kommen niedrig bis mittelstark dotierte Siliziumzonen (diffundierter Widerstand) und die Polysiliziumschichten (Poly-Widerstand) in Frage, die einen höheren spezifischen Widerstand aufweisen, als die Metallebenen (Bild 2.11). Der Widerstand der Polyschicht hängt von der Dotierung ab. Aufgrund der Halbleitereigenschaften von dotierten Siliziumzonen im Substrat haben diffundierte Widerstände große Temperatur- und Spannungskoeffizienten. Die spezifischen Widerstände liegen bei etwa 100 Ω pro Quadrat. Widerstandswerte oberhalb von einigen 10 kΩ können folglich nicht realisiert werden. Typ MOS-Kondensator Poly-Poly-Kondens. Widerstand p+ diffundiert Widerstand n+ diffundiert Poly-Widerstand Bereich 2 2,2-2,7 fF/µm 0,8-1,0 fF/µm2 80-150 Ω/ 50-80 Ω/ 10-40 Ω/ Passung TK in ppm/°C VK in ppm/V 0,05% 0,05% 0,4% 0,4% 0,4% 50 50 1500 1500 1500 50 50 200 200 000 Tabelle 2.2 Kenndaten von Widerständen und Kondensatoren für eine 0,8µm CMOS-Technologie. 2.4 MOS-Schalter und aktive Widerstände Wie wir schon im Lehrbrief Signalumwandlung [ET-SIU-A31] gesehen haben, werden Schalter, mit denen sich Signalleitungen und Stromflüsse unterbrechen und einschalten lassen, in vielfältiger Weise in Analogschaltungen benötigt. Ein großer Vorteil der MOS-Technologie ist, dass MOS-Transistoren bidirektionale Stromflüsse zulassen und sich damit gut als Schalter eignen (Bild 2.12). Ein MOS-Transistor wirkt als Schalter zwischen Source- und Drainklemme, der beim P-Typ mit einem Low-Signal am Gate und bei N-Typ mit der logischen „1“ (High-Signal) eingeschaltet werden kann. 32 Aktive und passive Komponenten Metall Oxid p+ Passivierung n-Wanne p-Substrat Passivierung Metall Polysilizium-Leitbahn als Widerstand p-Substrat Bild 2.11 Widerstände in CMOS-Prozessen: Oben diffundierter Widerstand, unten Polysilizium Widerstand. Bild 2.12 NMOS-Transistor als Schalter: je nach Potenzialverhältnissen ist entweder A oder B der Source- bzw. der Drainanschlusss (VA > VB : A Drain, B Source, (VA < VB B Drain, A Source). Der Ein-Widerstand des Schalters setzt sich aus den beiden parasitären Sourceund Drain-Widerständen rS und rD zusammen, die in Reihe mit dem Kanalwiderstand geschaltet sind. Meist sind rS und rD viel kleiner als der Kanalwiderstand und können vernachlässigt werden. Der Kanalwiderstand lässt sich unter der Annahme berechnen, dass die maximale oder zumindest eine große GateSource-Spannung anliegt, um den Transistor voll einzuschalten. Dann ist der Transistor im linearen Arbeitsbereich und der Strom, der durch den Schalter fließt, wird nach 2.11 von der Gleichung 33 Aktive und passive Komponente iD = K N ' v W⎡ ( vGS − vth ) − DS ⎤⎥ vDS ; ⎢ L⎣ 2 ⎦ 0 < vDS ≤ ( vGS − vth ) bestimmt. Der differentielle Kleinsignalwiderstand zwischen Source und Drain ist für einen Arbeitspunkt VGS, VDS durch folgende Ableitung gegeben: rEIN = 1 ∂iD ∂vDS = L K N ' W (VGS − vth − VDS ) . Arbeitspunkt Bild 2.13 zeigt schematisch den Zusammenhang zwischen rEIN und der Steuerspannung am Gate. Bild 2.13 Ein-Widerstand eines eingeschalteten NMOS-Transistorschalters Eine wichtige Einschränkung bei MOS-Transistorschaltern ist die Abhängigkeit des Widerstands vom Verhältnis des Spannungsabfalls im Kanal und der Steuerspannung am Gate. Auch wenn die Gate-Spannung die volle Versorgungsspannung VDD annimmt, darf die Drain-Source-Spannung nicht zu groß werden, denn aus den Transistorgleichungen folgt, dass der Transistor für vGS < vDS – vth abschaltet. Also darf vDS hier nicht größer werden, als eine Einsatzspannung unter der Versorgungsspannung VDD. Sonst ist der Transistor aus und der Widerstand des Schalters wird sehr groß, rAUS (nach Bild 2.13 im 10kΩ-Bereich). Das bedeutet, dass die maximal mögliche Spannung im Sy34 Aktive und passive Komponenten stem (nämlich der Versorgungsspannung) nicht vom Eingang auf den Ausgang des Schalters übertragen werden kann. Statt VDD kommt dort nur VDD – vth an. Der Aus-Widerstand wird aber nie unendlich, wie beim idealen Schalter, sondern im Aus-Zustand fließen immer noch die Sperrströme durch die Source/Drain-Substrat-Übergänge und weitere Leckströme zwischen dem Kanal und dem Gate. Die Sperrströme betragen bei Raumtemperatur etwa 1fA pro µm2 Diffusionsfläche und verdoppeln sich bei jeder Temperaturerhöhung um etwa 8°C (bei 120°C 5 pA). Übungsaufgabe " Berechnen Sie den Widerstand eines NMOS-Schalters mit W/L = 1 und VGS = 5V eine Drain-Source-Spannung VDS von 2 V mit den 0,8µm-Parametern aus Tabelle 2.1. Ein besonderes Problem bei NMOS- oder PMOS-Schaltern ist der Ladungsübertrag im gesperrten Zustand über die Überlappkapazitäten zwischen Gate und Drain bzw. zwischen Gate und Source CGS, CGD. Über diese kapazitive Kopplung werden Ladungen vom Gate-Signal (meist ein ständig wechselndes Taktsignal) in den Source- und den Drain-Knoten übertragen. Dieser Effekt ist unvermeidbar. Um ein Gefühl für die Größenordnungen des Effekts zu vermitteln, betrachten wir einen NMOS-Schalter (Gatespannung von 5V, W/L = 0,8µm/0,8µm), der eine Lastkapazität am Drain von CL = 200 fF auf die Source-Spannung von 1V auflädt und danach innerhalb von 10 ns ausgeschaltet wird. Dann wird soviel Ladung von den parasitären Kapazitäten übertragen, dass sich die Spannung an CL ca. 20 mV erhöht. Dieser Spannungsfehler von 2% kann bei DAUs schon die erzielbare Auflösung auf N = 5 Bit beschränken! 2.4.1 Aktive Widerstände Wie schon angesprochen, können wir in CMOS-Prozessen keine größeren Widerstände realisieren. Wenn nur ein Spannungsabfall erzeugt werden soll und das lineare ohmsche Verhalten nicht wesentlich ist, lassen sich „Widerstände“ einsetzen, die aus speziell verschalteten MOS-Transistoren bestehen und deshalb aktive Widerstände oder Lasten heißen (Bild 2.14). Wenn wir bei einem MOS-Transistor den Gate-Anschluss mit dem Drain-Kno35 Aktive und passive Komponente ten kurzschließen, dann hat der Transistor eine ähnliche Spannungskennlinie wie ein Diode. Der Strom nimmt stark mit der am Gate und gleichzeitig am Drain anliegenden Spannung zu. Außer als Lastwiderstand wird dieser diodenverschaltete Transistor (diode connected) noch in Stromspiegelschaltungen eingesetzt, die wir im nächsten Kapitel behandeln. Bild 2.14 Aktive NMOS- und PMOS-Last (links bzw. rechts) und Kleinsignalersatzschaltbild (rechts). Spannungsquellen kennzeichnen Potenzialdifferenzen zur Masse und zur Versorgungsspannung. Die Strom-Spannungskennlinie einer aktiven Last können wir aus der Sättigungsstromformel berechnen, denn der Transistor kann diesen Bereich nicht verlassen: vDS > vGS – vth = vDS – vth. Ohne den Kanallängenmodulationseffekt erhalten wir für V(I) bzw. I(V) I (V ) = I (VGS = VDS ) = I D = K N ' V ( I ) = VGS = VDS = Vth + 2I D ß W β 2 2 (VGS − Vth ) ≡ (VGS − Vth ) 2L 2 . Eine Diodenkennlinie ist das aber nicht ganz. Statt eines exponentiellen Zusammenhangs zwischen I und V haben wir nur eine parabolische Zunahme! Da in einer aktiven Last der Drainstrom direkt von der Drain-Source-Spannung bestimmt wird, können wir den differentiellen Widerstand am Arbeitspunkt ausrechnen und erhalten mit Hilfe des Kleinsignalersatzschaltbildes aus 2.14 rout = 1 g m + g mbs + g ds 1 gm , denn gm ist i. A. wesentlich größer als die beiden anderen Leitwerte gmbs und gds. 36 Aktive und passive Komponenten Übungsaufgabe " Berechnen Sie die Weiten für einen Spannungsteiler (Bild 2.15) aus einer NMOS- und PMOS-Last, der aus der Versorgungsspannung von 5V eine Referenzspannung von 3V erzeugt. Verwenden Sie L = 1µm als einheitliche Kanallänge. 2.5 Zusammenfassung In diesem Kapitel wurden die Einzelkomponenten für den Entwurf analoger Schaltungen vorgestellt, die in integrierten CMOS-Schaltkreisen zur Verfügung stehen. Aus der Integration von vielen Transistoren, Widerständen und Kondensatoren auf einem gemeinsamen Substrat resultieren verschiedene Einschränkungen in Bezug auf die möglichen Parameterwerte (Transistorleitwerte, Widerstände, Kapazitätswerte). Außerdem treten bei integrierten Komponenten parasitäre Zusatzelemente auf, die sich elektrisch bemerkbar machen. Diese Effekte müssen daher bereits beim Design einbezogen werden. Als erstes haben wir in diesem Kapitel den pn-Übergang als grundlegendes Bauelement der Integrationstechnologie behandelt. In CMOS-Schaltungen werden pn-Übergänge meist als Isolationen verwendet. Deshalb haben wir uns primär mit dem Sperrverhalten beschäftigt und Sperrströme und Sperrschichtkapazitäten betrachtet. Das wichtigste Bauelement in integrierten Schaltungen sind natürlich die MOS-Transistoren, die wir in CMOS-Technik als N-Typ und P-Typ zur Verfügung haben. Die Stromgleichungen der beiden komplementären Bauelementtypen wurden vorgestellt und die parasitären Effekte besprochen. Aus diesen Großsignalmodellen haben wir Kleinsignalmodelle abgeleitet, die in der Nähe eines Arbeitspunktes gelten. Als erste Anwendung des MOS-Transistors wurde der Einsatz als Schalter (MOS-Switch) behandelt. MOS-Schalter aus Einzeltransistoren vom P- oder N-Typ übertragen aufgrund der Transistoreigenschaften das Eingangssignal nicht 1:1. Wo dies nötig ist, werden deshalb zwei komplementäre Transistoren parallel zu einem Transfergatter verschaltet. 37 Aktive und passive Komponente VDD=5V Wp + WN Vbias=3V - Bild 2.15 Spannungsteiler aus aktiven Lasten für die obige Übungsaufgabe. Im dritten Abschnitt folgte die Diskussion von passiven Bauelementen, die in einer auf MOS-Transistoren ausgerichteten Herstelltechnik realisiert werden können. Möglich sind, wie eingangs erwähnt, lediglich Widerstände und Kondensatoren. Die absolute Genauigkeit dieser Bauelemente ist beschränkt, weil sie lithografisch definiert werden und deshalb gewisse Ungenauigkeiten in der Kantenlage der einzelnen Funktionsschichten unvermeidlich sind. Die relative Genauigkeit hingegen ist in der Regel sehr gut und viel besser, als von diskreten Bauelementen gewohnt. Der Bereich der möglichen Widerstandsund Kapazitätswerte ist wegen der Mikrometerabmessungen der Bauelemente beschränkt. Sind größere Spannungsabfälle zu realisieren, können wir aktive Lasten, also diodenverschaltete MOS-Transistoren einsetzen, die aber keine lineare sondern eine quadratische Strom-Spannungskennlinie aufweisen. 38 Quellen, Senken und Verstärker 3. Quellen, Senken und Verstärker Die wichtigste analoge Schaltung ist der Operationsverstärker. Ein solcher OpAmp verstärkt ein Differenzspannungssignal und gibt eine massebezogene Ausgangsspannung Vout aus. OpAmps werden in der Regel rückgekoppelt und haben eine sehr hohe Verstärkung. Eine einfache Schaltung ist in Bild 3.1 gezeigt. Wir erkennen, dass diese Schaltung aus mehreren elementaren Blöcken besteht. In der differentiellen Eingangsstufe erkennen wir eine Differenzstufe aus PMOS-Transistoren, die von einem NMOS-Stromspiegel versorgt wird. Die zweite Stufe besteht aus einem Transistorverstärker mit einer PMOS-Gleichstromquelle, die ebenfalls Teil eines Stromspiegels ist. Bild 3.1 CMOS OpAmp mit PMOS-Eingängen. Die Grundkomponenten Quelle, Senke und Verstärker werden in diesem Kapitel nacheinander behandelt. Differenzstufen folgen in Kapitel 4. Wir beginnen hier mit der Stromspiegelschaltung, die als Stromquelle oder Stromsenke ausgelegt werden kann. 3.1 Einfache Stromspiegel Die Stromspiegelschaltung stammt aus der Bipolartechnik und dient auch in CMOS als Stromsenke (N-Typ-Transistoren) oder als Quelle (P-Typ Transistoren). Mit dieser Schaltung können Konstantströme abgeführt oder eingeprägt 39 Quellen, Senken und Verstärker werden. Diese Ströme werden aus einem Referenzstrom abgeleitet und mit Hilfe von geeigneten Transistorabmessungen verstärkt oder abgeschwächt. Das Ersatzschaltbild für eine Stromquelle (oder Senke) ist in Bild 3.2 gezeigt. Eine solche Schaltung besteht aus einer idealen Quelle I0 die über einen parallel geschalteten Ausgangswiderstand r0 mit den Ausgangspins verbunden ist und den Strom Iout abgibt. Die Ausgangsspannung Vout beeinflusst den Strom. Nur bei der idealen Quelle (r0 → ∞) hängt der Ausgangsstrom nicht von der Spannung ab. Die wichtigsten Parameter einer Stromquelle sind der Ausgangsspannungsbereich, in dem die Schaltung als Quelle oder Senke arbeitet und der Ausgangswiderstand. Bild 3.2 Zweipolersatzschaltbild einer Stromquelle Da der MOS-Transistor im Sättigungsbereich einen Drainstrom liefert, der nicht von der Drain-Source-Spannung abhängt (im einfachsten Modell), kann man mit dem Transistor im Prinzip eine Stromquelle (oder Senke aufbauen) vorausgesetzt, der Transistor wird in Sättigung gehalten. Damit ein MOSTransistor immer in Sättigung bleibt, braucht man nur seinen Gate-Anschluss (wie bei der aktiven Last) mit dem Drain-Knoten zu verbinden. Den Strom der in dieser aktiven Last fließt, kann man über einen Referenzwiderstand nach VDD bzw. VSS einstellen. Um den Strom nach außen zu führen, benötigen wir einen zweiten Transistor, den wir mit seinem Gate an den Gateknoten der aktiven Last anschließen. So entsteht ein Stromspiegel, (Bild 3.3). Bei gleicher Auslegung der beiden Transistoren (ID1 = ID2) wird der Strom in M1 in M2 gespiegelt, also vom Referenzzweig in den Ausgangszweig. Der Widerstand RD und (W/L)1 bestimmen den Referenzstrom. Die Stromverhältnisse werden durch Transistorgeometrien festgelegt und hängen nicht vom Strom ab. Die Ausgangsimpedanz ist hoch, denn IOUT ist nicht von der Spannung im Ausgangszweig abhängig. Es gibt jedoch eine minimale (maximale) Ausgangspannung, unterhalb der der Spiegel nicht mehr als Stromsenke(-quelle) funktioniert: Wenn die Ausgangsspannung (oder die Differenz zwischen Ausgangs- und Betriebsspannung hinreichend klein wird, geht der Ausgangstransistor aus der Sättigung in den linearen Bereich und dann wird der Strom von der Ausgangsspannung beeinflusst. 40 Quellen, Senken und Verstärker Bild 3.3 Stromspiegel mit zwei NMOS-Transistoren als Stromsenke (links) und als Stromquelle mit PMOS-Transistoren (rechts) Sind beide Transistoren im Spiegel geometrisch gleich dann gilt W1 W2 = ⇒ I D1 = I D 2 L1 L2 weil aufgrund der elektrischen Verbindungen der Gateknoten die Gate-Sourcespannungen der beiden Transistoren (solange diese in Sättigung bleiben) übereinstimmen. Wenn der Kanallängenmodulationseffekt vernachlässigt wird, haben wir wegen I D1 = W 1 2 μn Cox 1 (VGS 1 − VTH ) L1 2 I D2 = W 1 2 μn Cox 2 (VGS 2 − VTH ) 2 L2 (3.1) die Beziehung (W L )2 I D 2 W2 L1 I = oder I out = I D1 W1 L2 (W L )1 REF (3.2) Also bestimmen die Weiten- zu Längenverhältnisse der beiden Transistoren die Ströme im Ein- und Ausgangszweig. Den Referenzstrom können wir mit Hilfe des Referenzwiderstands einstellen I REF = I D1 = VDD − VGS − VSS RD (3.3) und die minimale Ausgangsspannung bei der Stromsenke folgt aus der Sättigungsbedingung für den Ausgangsstransistor: Vout = Vmin = VGS 2 − VTH = VDS 2 (3.4) 41 Quellen, Senken und Verstärker Der Ausgangswiderstand r0 ist vom Kanallängenmodulationsfaktor λ abhängig. Maßgeblich ist der Ausgangsleitwert des Transistors M2: I Dλ g ds = = I Dλ 1 + λVDS (3.5) 1 ro = 1/ g ds ( M 2) = I D 2λ Stromquellen und –senken lassen sich kombinieren. Unter der Annahme, dass die Kanallängen für alle Transistoren gleich sind und die Elektronenbeweglichkeit (NMOS) doppelt so groß ist, wie die Löcherbeweglichkeit (PMOS), erzeugt die in Bild 3.4 gezeigte Schaltung um die Faktoren 1, 2 und 4 verstärkte Referenzströme. Bild 3.4 Stromsenke, deren Strom mit PMOS-Transistoren in vervielfachte Quellströme umgewandelt wird. 3.1.2 Designstrategie für Stromspiegel Bereits für eine einfache Stromsenke sind 5 Designvariablen einzustellen, die Transistorweiten und -längen und der Referenzwiderstand. Mit Simulationen alleine kommt man zu keiner sinnvollen Lösung. Es wird deshalb zuerst mit Handrechnungen eine geeignete Startdimensionierung gesucht, die mit Simulationen nachgeprüft und ggf. verbessert werden kann. Die Designstrategie, die wir im folgenden für eine Stromsenke mit 10µA und einem Ausgangsspannungsbereich zwischen 0,2V und 3,3V für die 3,3V CMOS-Technologie mit 42 Quellen, Senken und Verstärker minimaler Kanallänge von 0,35µm vorstellen wollen (siehe Tabelle 2.1), beginnt mit der Auswahl einer geeigneten Kanallänge. Diese muss größer sein, als die minimale Länge aus den Designregeln für den verwendeten Prozess. Nach Tabelle 2.1 können wir die Kanallängen auf 1µm setzen, denn dann ist der Kanallängenmodulationsfaktor bereits klein und eine weitere Erhöhung bringt keine deutlichen Verbesserungen. Die Transistorweiten bestimmen das Stromverhältnis im Ausgangs- und Referenzzweig. I D1 W1 = I D 2 W2 (3.6) Der zweite Schritt ist nun VGS für den Transistor im Referenzzweig zu wählen. Da der Ausgangstransistor bei Vout = VGS – VTH aus der Sättigung geht, wird VGS nahe an VTH gelegt. Je niedriger aber diese „overdrive“ oder Überschussspannung VGS – VTH = ΔV gewählt wird, desto größer werden die Transistorweiten, die für einen gegebenen Strom benötigt werden. Für eine Overdrive-Spannung von 0.2V ergibt sich VGS = VTH + ΔV = 0.7 V. Jetzt können wir den Widerstand RD berechnen: RD = VDD − VGS − VSS I D1 (3.7) Wenn wir als Referenzstrom 10 µA wählen, erhalten wir RD = 3.3 − 0.7 − 0 2.6 = = 260 k Ω 10 μ A 10 μ A Da solche Widerstände nicht on-chip realisiert werden können, ist ein externer Widerstand nötig. Der nächste Schritt ist die Berechnung der Transistorweiten. Nach I D1 = gilt oder 1 W1 2 ⎛ μA⎞ μnCox ⎜ 2 ⎟ * ( 0.7 − 0.5) = 10 μ A 2 L1 ⎝V ⎠ 175 ⎛ μ A ⎞ W1 2 = 10 μ A ⎜ 2 ⎟ * 0.04 (V ) * 2 ⎝V ⎠ 1 μm W1 = W2 = 2.85μ m ≈ 3μ m Wie erwähnt, geht der Ausgangstransistor bei VDS 2 ≥ VGS − VTH = ΔV aus der 43 Quellen, Senken und Verstärker Sättigung: Vmin = Vout = ΔV = 0.2 V . Bleibt als letzte interessierende Größe der Ausgangswiderstand, der vom Ausgangsleitwert von M2 bestimmt wird: rout = 1 1 = = 1.67 M Ω λ I D 2 0.06 (1 V ) *10 μ A Das Simulationsergebnis zeigt Bild 3.5. Vout = VG – VTH Bild 3.5 Simulation der Stromsenke, wie im Text dimensioniert. Übungsaufgabe " Designen Sie eine Stromsenke mit den Transistorparametern für die 0,35µm CMOS-Technologie (Tabelle 2.1) für VDD = 3,3V und VSS = 0V. Die Überschussgatespannung sei 500 mV. Die Schaltung soll unter ungünstigsten Bedingungen (Worst Case Parameterwerte) 50µA abführen. Berechnen Sie den Ausgangswiderstand und die maximale Ausgangsspannung. 3.1.2 Verbesserte Stromspiegelschaltungen In der Praxis erzeugen Kanallängenmodulationseffekte u. U. erhebliche Fehler bei der Spiegelung der Ströme. Ein weiteres Problem ist im Ausgangspfad die Abweichung von der Randbedingung VDS2 ≡VGS2, die nur beim Transistor M1 per Verdrahtung sicher gestellt ist. Der Drainknoten des Transistors M2 wird durch angeschlossene Komponenten belastet. Diese Effekte kann man unter- 44 Quellen, Senken und Verstärker drücken, indem man am Ausgang eine Kaskodenschaltung verwendet, wie in Bild 3.6 gezeigt. Kaskoden Strom Senke Bild 3.6 Kaskodenschaltung: Die Stromsenke erhält im Ausgangszweig einen Zusatztransistor M3 mit dessen Gatespannung der Pegel des Knotens Y auf den gleichen Wert wie am Knoten X gebracht werden kann. Der Transistor M3 schirmt also den Drainknoten von M2 von Änderungen der Ausgangsspannung ab. Vy bleibt von der Spannung her auf gleichem Niveau wie Vx und deshalb wird der Strom im Referenzpfad in den Ausgangspfad 1:1 übertragen. Zur geeigneten Gatespannung für M3, die Vy = Vx sicherstellt, kommt man, indem dessen Gateknoten mit dem Knoten N in der Schaltung aus Bild 3.7 verbunden wird. Wenn die beiden zusätzlichen Transistoren M3 und M0 auch gleich dimensioniert sind, dann gilt wegen VGS 0 + Vx = VGS 3 + V y sogar auch Vy = Vx, wenn der Substratsteuereffekt, der hier auftritt, berücksichtigt wird. Der Ausgangswiderstand bei dieser Kaskodenschaltung ist viel größer als im Fall des reinen Stromspiegels. Aus dem Kleinsignalersatzschaltbild (Bild 3.8) folgt, wenn wir die Ströme am Drain von M3 aufsummieren iout = g m 3vgs 3 + vout − ( −vgs 3 ) rds 3 , (3.8) denn v2 ist -vgs3. und vgs2 = 0, denn das Gate des Transistors M2 liegt auf Gleichpotential. Da die Gate-Source-Spannung des Transistors M3 durch vgs 3 = −iout ⋅ rds 3 45 Quellen, Senken und Verstärker gegeben ist, erhalten wir für den Ausgangswiderstand rout = rds 3 (1 + gm 3rds 3 ) + rds 2 ≈ gm 3rds 2 , rds 2 = rds 3 ≡ rds (3.9) Bild 3.7 Stromspiegel mit Kaskodenschaltung Bild 3.8 Kleinsignalersatzschaltbild des Ausgangszweigs eines Stromspiegel mit Kaskodenschaltung. Der Substratsteuereffekt in M3 wird vernachlässigt, die Ersatzstromquelle ist durchgestrichen. Die durch vgs2 gesteuerte Stromquelle liefert keinen Strom, da diese GateSource-Spannung fest auf Gleichpotential liegt. Für unsere Beispielschaltung aus Abschnitt 3.1.2 verbessert sich der Ausgangswiderstand von 1,67 MΩ bei vier gleich dimensionierten Transistoren (W/L = 3/1) und ΔV = 0.2V als Overdrive-Spannung in der Kaskode auf 284 MΩ (gm4 = 102 µA/V). Der Nachteil ist der reduzierte Ausgangsspannungsbereich, der jetzt zwischen VDD = 3,3V und Vmin = 2ΔV = 0.4V liegt. 46 Quellen, Senken und Verstärker 3.2 Verstärkerschaltungen Ein MOS-Transistor wandelt Änderungen der Gate-Source-Spannung in Stromänderungen im Drainknoten um. Mit einer ohmschen Last am Drain entsteht eine zur Eingangsspannung proportionale verstärkte Ausgangsspannung. Es gibt verschiedene Verstärkerkonfigurationen. Häufig verwendet werden die Common-Source-Stufe als Eintransistorverstärker und das Differenzpaar als Verstärkerschaltung für Spannungsdifferenzen. 3.2.1 Die Common-Source-Stufe Die Common-Source-Stufe (CS-Stufe) (Bild 3.9) besteht aus einem NMOSTransistor, dessen Drainausgang mit der Versorgungsspannung über einen Widerstand RD verbunden ist. Geänderte Eingangsspannungen am Gate verändern den Drain-Strom und dieser den Ausgangspegel Vout. Bild 3.9 Schaltbild und Kleinsignalersatzschaltbild im Sättigungsbereich für eine CS-Stufe. Die CS-Stufe hat den gleichen Aufbau wie ein digitales Inverter-Gatter in NMOS-Schaltungstechnik. Eine positive Eingangsspannungsänderung bewirkt 47 Quellen, Senken und Verstärker eine Abnahme der Ausgangsspannung Vout. Die Kennlinie dieses invertierenden Verstärkers ist in Bild 3.10 gezeigt. Solange der Eingangsspannung Vin unterhalb der Einsatzspannung bleibt, zieht der Widerstand die Ausgangsspannung auf den Versorgungspegel. Oberhalb von VTH ist der Transistor M1 zuerst in Sättigung und wechselt bei der Spannung Vin1 (Vin = Vout + VTH) in den linearen Bereich. Bild 3.10 Übertragungskennlinie einer CS-Stufe. In Formeln erhalten wir für die unterschiedlichen Bereiche der Kennlinie: 1. In Sättigung 2 1 W V out = V DD − R D μ nC ox (V in −V TH ) 2 L (3.10) 2. Im linearen Bereich 1 W 2 Vout = VDD − R D μnCox ⎡⎣ 2 (V in − V TH )V out − V out ⎤⎦ 2 L (3.11) 3. Für kleine Eingangsspannungen unterhalb der Einsatzspannung V out = V DD (3.12) Die Verstärkung können wir durch Ableiten berechnen oder aus dem Kleinsignalersatzschaltbild (Bild 3.9) ablesen. Bei kleinen Spannungen (M1 ist aus) ist die Verstärkung Null. Im Sättigungsbereich gilt: Aν = W ∂V out = − R DμnCox (V in −V TH ) = − g m RD ∂V in L (3.13) gm ist der Eingangsleitwert des Transistors (siehe Glg. 2.15). Dieser Kleinsignalparameter ist von der Gate-Source-Spannung abhängig, dies überträgt sich auf die Verstärkung, die sich damit mit dem Arbeitspunkt ändert (Nichtlineari48 Quellen, Senken und Verstärker tät!). Im linearen Bereich unter Annahme, dass V out << V in − Vth gilt, verhält sich der Verstärker wir ein Spannungsteiler, denn dann können wir Vout2 in Gleichung 3.11 streichen, nach Vout auflösen und wie folgt umstellen: VDD Ron ≡ VDD W Ron + R D 1 + μn Cox R D (V in −V TH ) L 1 Ron = W μn Cox (V in −V TH ) L Vout = (3.14) Hier verstärkt die CS-Stufe also nicht mehr. Zur Verstärkung muss die CSStufe deshalb in Sättigung betrieben werden. Um zu untersuchen, wie wir die Verstärkung erhöhen können, schreiben wir die Verstärkung in die folgende Form um: Aν = − 2 μn Cox W V RD ⋅ L ID = − g m RD (3.15) VRD ist der Spannungsabfall am Pull-up-Widerstand RD. Dieser Widerstand kann in Gleichung 3.13 durch VRD/ID ersetzt werden. Dann seten wir die −2VRD Formel für ID im Sättigungsbereich ein und erhalten .Den (Vin − VTH ) Nenner können wir wieder durch ID ausdrücken. So erhalten wir dann 3.15. Diese Formel zeigt, dass wir für eine höhere Verstärkung entweder W/L vergrößern können, den Spannungsabfall im Widerstand erhöhen (also RD größer) oder den Drainstrom des Transistors (also dessen W/L-Verhältnis) verkleinern müssen, weil dieser effektiv unter der Wurzel im Nenner steht. Diese Veränderungen haben aber auch nachteilige Konsequenzen: • Ein größeres W/L bedingt eine größere Eingangskapazität; • Ein größerer Spannungsabfall an RD reduziert den Ausgangsspannungsbereich; • Der vergrößerte Widerstand erhöht die Zeitkonstante am Ausgang. Folglich können die Kriterien Verstärkung, Bandbreite, Ausgangsspannungsbereich, die einen Verstärker kennzeichnen, nicht gleichzeitig optimiert werden! Für eine genauere Betrachtung bei Kurzkanaltransistoren ist die Kanallängenmodulation in der Sättigung mit einzubeziehen: 1 W 2 V out = VDD − R D μnCox (V in − V TH ) (1+ λV out ) . 2 L (3.16) 49 Quellen, Senken und Verstärker Damit erhalten wir für die Verstärkung ∂V out W = − R DμnCox (V in − V TH ) (1 + λV out ) L ∂V in W 1 ∂Vout 2 − RD μnCox (V in − V TH ) λ L 2 ∂Vin (3.17) Da der Kanallängenmodulationseffekt nur eine Korrektur zum Langkanalwert des Drainstroms darstellt, können wir I D ≈ (1 2 ) μnCox (W L ) (V in − VTH ) 2 (3.18) im zweiten Term auf der rechten Seite einsetzen und erhalten Aν = − RD g m − RD I D λ Aν = − g m RD 1 + RD λ I D (3.19) Der Nenner des Bruches ist bei Berücksichtigung der Kanallängenmodulation größer als 1 und folglich sinkt durch die Einbeziehung von λ die Verstärkung! Um eine obere Grenze für die Verstärkung abzuleiten, drücken wir λ durch den Ausgangswiderstand des Transistors ro aus: λ I D = 1 rO ⇒ Aν = − RD g m − RD Aν rO Aν = − g m (3.20) rO RD rO + RD Wenn wir statt des Pull-Up-Widerstand RD eine ideale Stromquelle mit unendlicher Impedanz verwenden, dann gilt RD→∞. Dann ist die Verstärkung in diesem Grenzfall durch das Verhältnis von Eingangs- und Ausgangsleitwert gegeben: lim RD → ∞, Aν = − g m rO rO +1 RD ⇒ Aν = − g m rO . (3.21) Dieses Verhältnis liegt bei modernen Technologien bei etwa 10 bis 30 und das ist damit die maximal mögliche Verstärkung, die im Vergleich zu kommerziell verfügbaren integrierten Verstärkern (Verstärker in Bipolartechnik oder mehrstufige CMOS-Verstärkern) recht bescheiden ausfällt. 50 Quellen, Senken und Verstärker 3.2.2 CS-Stufe mit aktiver Last Da wir, wie in Abschnitt 2.3 gezeigt, in CMOS-Technologie keine sehr hohen passiven Widerstände realisieren können, ersetzt man häufig den Widerstand RD in der CS-Stufe durch eine aktive NMOS- bzw. PMOS-Last (Bild 3.11). Ein MOSFET wirkt, wie in Abschnitt 2.4.1 erwähnt, als Kleinsignalwiderstand, wenn Gate und Drain kurzgeschlossen werden. Wenn wir eine NMOSLast für RD einsetzen, dann liegen Source- und Bulk-Anschluss nicht auf dem gleichen Potential. Deshalb tritt der Substratsteuereffekt auf, und die Einsatzspannung der aktiven Last steigt. Bild 3.11 CS-Stufe mit aktiver NMOS-Last in Großsignal- (oben) und Kleinsignalbetrachtung (unten). Der NMOS-Transistor, an dem die Eingangsgansspannung Vin anliegt, ist oben rechts durch eine spannungsgesteuerte Stromquelle ersetzt worden. Der Substratsteuer- oder BodyEffekt ist in der Kleinsignalschaltung über eine zusätzliche Stromquelle berücksichtigt, die von der Bulk-Source-Spannung Vbs gesteuert wird. Wenn die Drain-Source-Spannung in der Kleinsignal-Ersatzschaltung gleich der Gate-Source-Spannung ist (aktive Last), dann gilt V1 = Vx und folglich I X = ( g m + g mbs )VX + VX . rO 51 Quellen, Senken und Verstärker Die Impedanz ergibt sich damit zu VX 1 1 1 rO ≈ = = 1 IX g + g + g m + g mbs g m + g mbs m mb rO (3.22) Der Substratsteuereffekt verringert also die Impedanz der Schaltung! Wenn wir nun die Spannungsverstärkung Aν berechnen wollen, dann müssen wir in Formel (3.13) für RD die Impedanz der NMOS-Last einsetzen: Aν = − g m1 1 g 1 g = − m1 wobei η = mbs 2 (3.23) g m 2 + g mbs 2 gm 2 1 + η gm 2 Das Verhältnis η der beiden Leitwerte wurde bereits in Gleichung (2.17) eingeführt. Mit Transistorgeometrien ausgedrückt erhalten wir für die Spannungsverstärkung Aν Aν = − 2 μnCox (W L )1 I D1 2 μnCox (W L ) 2 I D 2 1 1+η Da in beiden Transistoren wegen des Kirchhoffschen Knotensatzes der gleiche Strom fließt, vereinfacht sich die Formel zu Aν = − (W L )1 1 (W L )2 1 + η (3.24) Die Verstärkung kann also sehr einfach über die Transistorgeometrien eingestellt werden. Die Schaltung hat aber einen Nachteil, denn wie bereits in Abschnitt 2.4 angesprochen, erreicht der Drain-Knoten der aktiven NMOS-Last nie die volle Versorgungsspannung, sondern schaltet eine Einsatzspannung unterhalb von VDD ab. Bild 3.12 zeigt den eingeschränktem Ausgangsspannungsbereich in der Kennlinie. Übungsaufgabe " Berechnen Sie die Verstärkung der CS Stufe mit aktiver Last mit in Großsignalbetrachtung und zeigen Sie die Äquivalenz mit Formel (3.23). Anleitung: • Setzen Sie die Transistorströme gleich I D1 = I D 2 ; 52 Quellen, Senken und Verstärker • • • Beseitigen Sie die Quadrate; Leiten Sie das Ergebnis auf beiden Seiten des Gleichheitszeichens nach der Eingangsspannung ab; Nutzen Sie die Definitionsgleichungen für die Kleinsignalparameter aus Abschnitt 2.2 aus! Bild 3.12 Übertragungskennlinie einer CS-Stufe mit aktiver NMOS-Last. Bei Punkt A tritt M1 in den linearen Bereich ein und bei noch größeren Eingangsspannungen verhält sich der Verstärker nicht linear. Die maximale Ausgangsspannung liegt bei VDD - VTH. Wenn statt einer NMOS-Last ein PMOS Transistor Verwendung findet (Bild 3.13), dann tritt bei diesem Transistor kein Substratsteuereffekt auf, denn Source und Bulk liegen beide auf Versorgungspotential. Das Verhältnis η ist gleich Null und für die Verstärkung gilt die einfache Beziehung: Aν = − (W L )1 ⋅ μn (W L )2 ⋅ μ p (3.25) Bild 3.13 CS-Stufe mit aktiver PMOS-Last. 53 Quellen, Senken und Verstärker Am Ausgang wird wieder nicht die volle Versorgungsspannung erreicht, denn der P-Transistor schaltet bei VGS < VDD - VTP ab. Die maximale Ausgangsspannung ist also gleich VDD - VTP. Die Kennlinie ist damit qualitativ die gleiche wie bei der CS-Stufe mit NMOS-Last (Bild 3.11). Trotzdem ist diese Schaltung mit einem PMOS-Widerstand die gebräuchlichste CSKonfiguration. Die minimale Ausgangsspannung lässt sich unter der Annahme berechnen, dass der der Transistor M1 im linearen Bereich ist und dass die Einsatzspannungen von PMOS- und NMOS-Transistor betragsmäßig gleich groß sind. Dann gilt für den Strom in M1 id 1 = µnCox W v ² W v ² (vgs1 − VT )vDS 1 − ds1 ) = µnCox (vDD − VT )vout − out ) L 2 L 2 und für den Strom in M2 id 2 = µ pCox W µC W ( vsg 2 − Vtp )² = p ox ( vDD − vout − Vtp )² 2 L 2 L Setzt man die beiden Ströme gleich und löst nach der Ausgangsspannung auf, dann ergibt sich: Vout (min) = VDD − VT − VDD − VT µW 1+ p p µnWn (3.26a) und wie oben bereits ausgeführt Vout (max) = VDD −VT (3.26b) Für den Frequenzgang des Verstärkers ist es wichtig, den Ausgangswiderstand ro zu kennen. Am Ausgangsknoten liegen die Kanalwiderstände rds1 und rds2 der beiden Transistoren an und der Transistor M2 mit seinem Leitwert gm2. Damit gilt: ro = 1 1 ≅ g ds1 + g m 2 + g ds 2 g m 2 (3.27) Da dieser Ausgangswiderstand wegen der Diodenverschaltung des Transistors M2 klein ist (Sättigung), eignet sich die CS-Stufe für Anwendungen, in denen ein invertierender Verstärker mit einer großen Bandbreite benötigt wird. Die 3dB Frequenz, bei der die Verstärkung auf 50% sinkt, einer CS-Stufe, die am Ausgang mit einer Kapazität Cout (externe Kondensator plus parasitäre Kapazitäten der Transistoren) belastet ist, ergibt sich aus der RC-Konstante, ro⋅ Cout . Für einen PMOS-Transistor mit W/L = 3/1, in dem der Drainstrom 60µA 54 Quellen, Senken und Verstärker fließt, gilt bei Cout = 5 pF nach Tabelle 2.1 1/ ro = g m = 2µ pCox (W / L) I D = 2 ⋅ 50 ⋅ 3 ⋅ 60µA / V = 134µA / V roC = 5 pF /134 µA / V = 0,037 ⋅ 10−6 s ω−3dB = 27 Mrad / s ⇒ f −3dB = 4,3MHz (3.28) 3.3 Verstärkerdesign Wenn ein CS-Verstärker in einer gegebenen Technologie entworfen werden soll, sind die W zu L-Verhältnisse der beiden Transistoren für die gegebene Verstärkung zu bestimmen. Alternativ können auch die Transistorabmessungen und die –ströme bekannt sein. Dann ist die Verstärkung gesucht. In der Regel wird eine Verstärkung vorgegeben, aus der sich alles weitere ableitet. Sei Aν z.B. gleich -4. Dann können wir für die 0,35µm Technologie aus Tabelle 2.1 die Weitenverhältnisse (WN/WP = 27,5/5,5) der beiden Transistoren berechnen, wobei die Länge zur Unterdrückung der Kanallängenmodulation auf 1,0µm einheitlich festgelegt wird. Dann nehmen wir per Simulation die Kennlinie Vout = f(Vin) auf und berechnen mit Hilfe des Simulators die Ableitung der Ausgangsspannung nach Vin, und damit die Verstärkung. Die beiden Punkte, an denen die Steigung -4 beträgt, sind die Arbeitspunkte (Bild 3.14). Wir wählen Vin = 0,67V / Vout = 1,91V als Arbeitspunkt. Aus der Verstärkungskennlinie kann die minimale und maximale Ausgangsspannung abgelesen (Vout(max) = 2,98V, Vout(min) = 0,06V) und mit den theoretischen Ergebnissen von 3.26 verglichen (Vout(max) = 2,80V, Vout(min) = 0,08V). Zur Berechnung des Frequenzverhaltens ist zunächst der Strom im Arbeitspunkt zu berechnen. Daraus folgt der Eingangsleitwert gm2 des PMOS Transistors und dann mit der vorgegeben Lastkapazität (5 pF) die 3dB-Frequenz: iD 1 = iD 2 = W 1 2 µ pCox p (Vout ( Arbeitspunkt ) − VDD − VT ) 2 Lp g m 2 = 2 µ pCox (W / L) p I D roC = C / g m 2 ω−3dB = ω g m 2 rad ⇒ f −3dB = −3dB Hz 2π C s (3.29) 55 Quellen, Senken und Verstärker Kennlinie Verstärkung Bild 3.14 CS-Stufe mit aktiver PMOS-Last. Kennlinie und Verstärkung. Eingerahmt ist der Verstärkungswert -4 der am Arbeitspunkt erreicht wird. Vout ( Arbeitspunkt ) − VDD ist im Übrigen die Gate-Source-Spannung des PMOS-Transistors M2. Die Simulation liefert f-3dB = 4,1 MHz, die Rechnung f-3dB = 6,2 MHz. Der Unterschied wird im Wesentlichen von den in der Rechnung vernachlässigten parasitären Kapazitäten der Draingebiete der beiden Transistoren verursacht. Übungsaufgabe " Berechnen Sie die Verstärkung, den Ausgangswiderstand und den Ausgangsspannungsbereich sowie f-3dB für eine CS-Stufe mit aktiver PMOS-Last für eine Versorgungsspannung von 5V. Verwenden Sie dafür die Parameter der 0,8µm Technologie aus Tabelle 2.1. Die Transistorströme sind 100 µA, die Weiten WN/WP = 2/1 bei gleicher Länge von 1µm. Der Ausgang ist mit 1 pF belastet. 56 Quellen, Senken und Verstärker 3.4 Zusammenfassung In diesem Kapitel wurden als einfache analoge Grundschaltungen Stromspiegel und die Common-Source-Stufe vorgestellt. Diese Schaltungen werden meist nicht als Einzelkomponente verwendet, sondern sind Teil eines komplexeren Systems, wie etwa eines Differenzverstärkers oder Operationsverstärkers, wie in den nächsten beiden Kapiteln dargelegt. Aufgrund des Sättigungsverhaltens eignen sich MOS-Transistoren gut zur Realisierung von Stromquellen mit hohem Ausgangswiderstand. Dazu wird der über einen Vorwiderstand eingestellte Strom mit Hilfe eines „DiodeConnected-Transistors“ in einen parallel geschalteten Transistor gespiegelt. Der Drainstrom des Spiegeltransistors wird entweder nach Masse abgeführt (NMOS-Stromspiegel) oder fließt in den Ausgangsknoten (PMOS-Stromspiegel). Durch Kaskodenschaltungen lassen sich die Ausgangswiderstände von Stromspiegelschaltungen auf Kosten des Ausgangsspannungsbereichs erhöhen. Der einfachste Eintransistorverstärker ist die Common-Source-Stufe (CS-Stufe). Sie besteht aus einem NMOS-Transistor, dessen Drainausgang mit der Versorgungsspannung über einen Widerstand RD verbunden ist. Dieser Widerstand ist in der Regel eine aktive PMOS-Last. Dadurch sinkt zwar der Ausgangsspannungsbereich um eine Einsatzspannung. Die Implementierung ist aber einfacher, als mit passiven Komponenten, denn die Verstärkung lässt sich direkt durch das Verhältnis der Weiten von PMOS- und NMOS-Transistor einstellen. Die Verstärkung dieser einfachen Schaltungen ist nicht sehr hoch (maximal 10 bis 30), aber aufgrund des geringen Ausgangswiderstands des diodenverschalteten Transistors M2 (Sättigung), eignet sich die CS-Stufe für Anwendungen, in denen ein invertierender Verstärker mit einer großen Bandbreite benötigt wird. 57 Differenzstufen 4. Differenzstufen Eine der wichtigsten analogen Grundschaltungen ist die Differenzstufe. Sie wird in Komparatoren, als Leseverstärker in Speicherbauelementen und als 1Bit ADU in Sigma-Delta-Wandlern verwendet. Eine Differenzstufe ist auch die typische Eingangstufe für einen Operationsverstärker. Neuerdings werden auch digitale Signale als Differenzsignale übertragen, um die Störsicherheit zu verbessern. Für diese Datenübertragung (LVDS, Low Voltage Differential Signalling) werden ebenfalls Differenzverstärker benötigt [LVDS08]. Der Vorteil der differentiellen Signalverarbeitung liegt darin, dass eingekoppelte Störungen nur auf den Gleichtakt wirken und sich in der Differenzspannung, die als Nutzsignal dient, ausmitteln (Bild 4.1). Takt Kopplung Signal Bild 4.1 Durch Einkopplung eines Taktsignals gestörte Signalübertragung (oben). Kompensation durch Übertragung einer Spannungsdifferenz als Nutzsignal (unten). 4.1 MOS-Differenzverstärker im Überblick Ein Differenzverstärker ist im Prinzip ein symmetrischer Gleichspannungsverstärker mit zwei Ein- und zwei Ausgängen. Wie Bild 4.2 zeigt, ist die naive Parallelschaltung zweier CS-Stufen nicht ausreichend. Kennzeichnend ist deshalb die Stromquelle, die den Strom ISS liefert, und den beiden Source-Knoten der Transistoren zuführt. Dann wird das Abscheiden der Ausgangssignale bei 59 Differenzstufen hohen und kleinen Eingangspegeln verhindert (Bild 4.3). Man bezeichnet diese Schaltung auch als source-gekoppeltes Paar. Die Ausgangspegel liegen dann zwischen VDD und VDD - RD·ISS unabhängig vom Gleichtakt. Der Widerstand RD ist für beide Zweige gleich groß. Die Übertragungskennlinie der Differenzstufe zeigt das Bild 4.4. Die Verstärkung des Differenzsignals Vout1 – Vout2 ist genau dann maximal, wenn die beiden Eingangsspannungen gleich sind. Interessanterweise verschwindet, wie die Kennlinie zeigt, die Verstärkung, wenn die Eingangsspannungsunterschiede zu groß werden. Die Grenze liegt bei Vin1 − Vin 2 lim = I SS W μnCox 2L (4.1) Zwei parallele CS-Stufen verstärken Vin1 –Vin2 Niedrige Gleichtaktspannung schaltet einen Transistor ab! Bild 4.2 Differenzverstärker aus 2 CS-Stufen: Bei niedrigen Gleichspannungen wird der Ausgang verzerrt. Bild 4.3Grundschaltung der MOS-Differenzstufe mit Stromquelle als Basis. Zur Symmetrisierung werden die Lastwiderstände gleich groß (=RD ) ausgelegt. 60 Differenzstufen Bild 4.4 Kennlinie der MOS-Differenzstufe (a) und differentielles Ausgangssignal (b). Statt zweier Ausgangssignale wird meist die verstärkte Eingangsspannungsdifferenz Vout ausgegeben: Vout = Aν (Vin1 − Vin 2 ) (4.2) Die drei Signale Vin1, Vin2 und Vout sind massebezogene Signale. Die differentielle Eingangsspannung VID = Vin1 - Vin2 wird üblicherweise in einen Gleichanteil VIC (IC: Input Common Mode Voltage) und einen Differenzanteil VID (ID: Input Differential Mode Voltage) aufgeteilt: Vin1 + Vin 2 2 V Vin1 = VIC + ID 2 V Vin 2 = VIC − ID 2 VIC = (4.3) Die Ausgangsspannung kann ebenfalls über die beiden Eingangsspannungskomponenten VID und VID mit entsprechenden Verstärkungsfaktoren für Gleich- und Differenzsignale AνC und AνD angegeben werden. Diese beiden Faktoren können aus der Gleichstromverstärkung Aν abgeleitet werden. Vout = Aν DVID ± Aν CVIC = Aν D (Vin1 − Vin 2 ) ± Aν C Vin1 + Vin 2 2 (4.4) Idealerweise sollte der Differenzverstärker nur die Eingangsspannungsdifferenz verstärken, den Gleichtaktanteil nicht. Deshalb ist bei realen Verstärkern AνC sehr klein und das Plus-Minus-Zeichen in (4.4) drückt aus, dass dieser Gleichverstärkungsfaktor positiv oder negativ sein kann. Der Arbeitsbereich eines Differenzverstärkers wird mit zwei Parametern charakterisiert, der Input Common Mode Range (ICMR) und der Gleichtaktunterdrückungsfaktor 61 Differenzstufen (CMRR: Common Mode Rejection Ratio). ICMR ist der Eingangsspannungsgleichtaktbereich, in dem der Verstärker eine Spannungsdifferenz mit der gegebenen Differenzverstärkung verstärkt. Dieser Bereich wird verlassen, wenn einer der Transistoren aus der Sättigung geht. CMMR ist das Verhältnis AνD / AνC und dieses Verhältnis sollte im Idealfall unendlich groß sein, was für AνC → 0 sofort der Fall ist. Da die Transistoren M1 und M2 nicht völlig identisch sind, gilt bei Vin1 = Vin2 nicht automatisch Vout1 = Vout2, sondern dies ist nur der Fall, wenn Vin2 gegenüber Vin1 um Vin2 + Vos verschoben wird. Vos ist die Eingangsoffsetspannung (typ. 5 - 20 mV). 4.2 Verstärkungsberechnung Bild 4.5 zeigt die Eingangstransistoren M1 und M2 eines CMOS-Differenzverstärkers mit der Stromquelle für den Strom ISS. Die beiden Transistoren M3 und M4 bilden eine Stromsenke, die den Source-Strom der Transistoren bereitstellt. Bild 4.5 NMOS-Differenzstufe (M1 und M2) mit NMOS Stromspiegel als Sourcestrom-Generator (M3 und M4). Man kann die Bulkanschlüsse entweder auf Masse legen oder eine floatende Wanne verwenden. Für die Großsignalbetrachtung gehen wir von perfekter Passung der beiden Transistoren M1 und M2 aus (also gleiche Weiten und Längen) und nehmen an, dass diese Bauelemente in Sättigung sind. Wenn wir wie in Tabelle 1.1 vereinbart Wechselgrößen mit Kleinbuchstaben schreiben und die Gleichung 2.11 nach vGS auflösen dann erhalten wir: 62 Differenzstufen 2iD1 2iD 2 − W W K 'N K 'N L L vID = vGS 1 − vGS 2 = (4.5a) Da sich die beiden Transistorströme addieren gilt I SS = iD1 + iD 2 (4.5b) Wenn wir die Gleichung (4.5.b) in (4.5.a) einsetzen und quadrieren, können wir die beiden Drain-Ströme durch Lösen der resultierenden quadratischen Gleichung bestimmen und durch die Differenzspannung und den Gesamtsrom ISS ausdrücken: I I iD1 = SS + SS 2 2 2 ⎧⎪ W vID 2 ⎛ W ⎞ v ID 4 ⎫⎪ − ⎜ K 'N ⎟ ⎨K 'N ⎬ L I SS ⎝ L ⎠ 4 I SS 2 ⎭⎪ ⎩⎪ I SS I SS − 2 2 W v ID ⎛ W ⎞ v ⎪⎫ ⎪⎧ − ⎜ K ' N ⎟ ID 2 ⎬ ⎨ K 'N L I SS ⎝ L ⎠ 4 I SS ⎭⎪ ⎩⎪ iD 2 = 2 2 (4.6) 4 Diese Lösungen gelten nur, solange die Wurzeln reell bleiben, also die I SS Bedingung v ID < 2 erfüllt ist. K 'N W L Bild 4.6 zeigt die normierten Drain-Ströme der beiden Eingangstransistoren. -2 ID/ISS iD2 2 iD1 vID⋅{ISS/KN’(W/L)}-1/2 Bild 4.6 Normierte Drain-Ströme der NMOS-Differenzstufe (M1 und M2) Aus der Formel 4.6 können wir nun die Leitwerte der Differenzeingänge ausrechnen indem wir iD1 bzw. iD2 nach vID ableiten. Die beiden resultierenden Leitwerte sind entgegengesetzt gleich und nehmen bei vID = 0 ihr Maximum an: gm = W I SS ∂iD1 ( v ID = 0) = K ' N L 4 ∂v ID (4.7) 63 Differenzstufen Dieses Ergebnis erhalten wird, wenn ganz normal abgeleitet und anschließend vereinfacht wird. Dann setzen wir vID = 0. Wenn man das Ergebnis mit dem Eingangsleitwert eines einzelnen NMOS-Transistors in Sättigung vergleicht (für ID = ISS/2, siehe Gleichung 2.15), dann stellt man fest, dass der Leitwert eines Differenzstufeneingangstransistors genau die Hälfte des Eingangsleitwerts des Einzeltransistors erreicht. Dies liegt daran, dass nur die Hälfte der Differenzeingangsspannung vID an jedem der beiden Eingangstransistoren wirksam ist. Diesen Nachteil kann man ausgleichen. Dazu werden als Lasten, die die Drainströme iD1 und iD2 liefern, PMOS-Stromspiegel eingesetzt (Bild 4.7). Liegt hier eine Differenzspannung vID = vG1 - vG2 an, dann wird für positive Spannungsdifferenzen iD1 > iD2, da nach wie vor I SS = iD1 + iD 2 gelten muss. Wird iD1 größer, dann steigen auch die Ströme in M3 und M4. Gleichzeitig nimmt aber aufgrund der der kleineren Gate-Source-Spannung vG2 der Strom iD2 ab. Damit der Kirchhoffsche Knotensatz erfüllt bleibt, wird iout positiv und die Ausgangsspannung die an der externen Last abfällt, nimmt zu. Unter Gleichbedingungen vG1 = vG2 fließt kein Strom im Ausgangsknoten (iout = 0). Gilt hingegen vG1 < vG2, dann fließt im Ausgang ein negativer Strom iout. Die Schaltung mit der Stromspiegellast spiegelt also den Strom im linken Zweig der Differenzstufe vorzeichenrichtig in den rechten und konvertiert das differentielle Ausgangssignal in ein massebezogenes einzelnes Spannungssignal. Bild 4.7 NMOS-Differenzstufe mit einem PMOS Stromspiegel als Last. 64 Differenzstufen Der Ausgangsstrom ist ein differentieller Strom der bei perfektem Matching der Transistorpaare genau der Differenz iD1 - iD2 entspricht. Bildet man dessen Leitwert und bezeichnet diesen als gmd (d = differenziell) dann erhalten wir bei Beachtung der Vorzeichen: g md = ∂iout W ( v ID = 0) = K ' N 1 I SS = 2 g m ∂v ID L1 Der Vergleich mit Gleichung 2.15 zeigt, dass wir den gleichen Leitwert bekommen, wie am Eingang eines Einzel-Transistors mit ID = ISS/2 (Gleichung 2.15). Die Großsignalkennlinie zeigt Bild 4.8. VDD M4 linear M4 Sättigung VIC M2 Sättigung M2 linear VSS 0 vID Bild 4.8 Spannungskennlinie: NMOS-Differenzstufe mit einem PMOS-Stromspiegel als Last. Die Verstärkung der Schaltung folgt aus iout = g md vID (4.8) vout = rout iout wobei der Ausgangswiderstand sich aus den Ausgangsleitwerten der beiden Transistoren im Ausgangszweig M2 und M4 zusammensetzt. Mit Glg. 2.18 finden wir rout = 1 1 = g ds 2 + g ds 4 (λ + λ ) I SS 2 4 2 (4.9) Als Endergebnis erhalten wir Aν = vout routiout 2 = = iout λ2 + λ4 v ID g md K 'N W1 1 L1 I SS (4.10) 65 Differenzstufen 4.3 Spannungsbereiche, Slew Rate und Frequenzgang Der Eingangsgleichtaktbereich oder Input Common Mode Range (ICMR) gibt an, welche Gleichspannungsanteile der Differenzverstärker verarbeiten kann. Um diesen Bereich zu bestimmen setzen wir VID = 0 und verschieben den Gleichanteil VIC solange, bis einer der Transistoren im Verstärker aus der Sättigung geht. Man kann sich also die Gates der beiden Eingangstransistoren kurzgeschlossen und an VIC liegend denken. Mit VIC an den Gates der beiden Eingangstransistoren M1 und M2, gibt es zwei Pfade nach VDD, von denen der ungünstigere, der eine kleinere maximale ICMR-Spannung zwischen dem Gate von M1 zur Versorgung ergibt, durch den Transistor M1 und den Transistor M3 verläuft: VIC (max) = VDD − VSG 3 − VDS 1 + VGS 1 = VDD − VSG 3 + VTN 1 (4.11) VIC (max) ist also die maximale Spannung am Gate des Transistors M1, bei denen der Transistor M1 in Sättigung bleibt, d. h. VDS1 ≥ VGS1 – VTN1. Für genau VDS1 = VGS1 – VTN1 wie auf der rechten Seite von Glg. 4.11 eingetragen ist die maximale Common-Mode Spannung erreicht. Da wir uns für den ICMR-Bereich interessieren, benötigen wir noch VIC (min) als die minimale Spannung am Gate des Transistors M1, bei der VDS1 ≥ VGS1 – VT1 gilt. Wir erhalten VIC (min) = VSS − VDS 5 ( sat ) + VGS 2 (4.12) Diese beiden Gleichungen werden sehr wichtig, wie wir im nächsten Abschnitt bei der Berechnung eines Designbeispiels sehen werden. Die Ausgangsanstiegsgeschwindigkeit Slew Rate (SR) gibt an, wie schnell der Ausgang eine angeschlossene kapazitive Last CL auf den der Eingangsspannungsdifferenz proportionalen Endwert laden (oder entladen) kann. Zu dieser Last kommen noch alle internen parasitären Kapazitäten der Ausgangstransistoren hinzu. Den Ladestrom ISS liefert die Stromquelle, der Transistor M5. Damit gilt SR = I 5 / CL (4.13) Ein Zahlenbeispiel: Bei ISS = 100 µA, CL = 5 pF Î SR = 20V/µs. Die 3dB-Grenzfrequenz des Verstärkers ist wie beim CS-Verstärker durch die RC-Zeitkonstante des Ausgangszweigs gegeben: ω−3dB = 2π f −3dB = 1 rout CL (4.14) Die Leistungsaufnahme Pdiss des Verstärkers ist ebenfalls eine interessante Größe, die durch das Produkt aus Source-Spannung ISS und der Potentialdiffe66 Differenzstufen renz zwischen Versorgungs- und Masseanschluss gegeben ist: Pdiss = (VDD − VSS ) ⋅ I SS (4.15) Übungsaufgabe " Berechnen Sie den ICMR unter ungünstigsten Bedingungen für VDD = 5V ± 1V, VSS = 0V, ISS = 100 µA, W1/L1 = W2/L2 = 5, W3/L3 = W4/L4 = 1, L = 1,0µm und VDS5(sat) = 0,2V. Verwenden Sie die jeweils ungünstigsten Werte im Rahmen der in Tabelle 2.1 gegebenen Parameter für die 0,8µm CMOS-Technologie, die zu dem minimal möglichen ICMR-Bereich führen. 4.4 Designstrategie Wenn wir einen Differenzverstärker entwerfen wollen, gehen wir von einem Datenblatt aus, in dem die Betriebsspannung, die Gleichstromverstärkung, die Leistungsaufnahme, der gewünschte Frequenzgang und der Eingangsgleichtaktbereich vorgegeben sind. Die wichtigsten Formeln für das Differenzverstärker-Design sind im Folgenden noch einmal zusammen gestellt: rout = 2 (λN + λP ) I5 Adiff = gm1rout = 2μnCox W1 I d 1 ⋅ rout L1 Pdiss = (VDD + VSS ) I5 = (VDD + VSS ) ⋅ ( I 3 + I 4 ) ω−3dB 1 = routCL (4.16) VIC (min) = VSS − VDS 5 ( sat ) + VGS 2 VIC (max) = VDD − VSG 3 − VDS1 + VGS1 = VDD − VSG 3 + VTN 1 Wenn wir für eine gegebene Spezifikation die zugehörigen Transistordimensionen berechnen wollen, gehen wir folgendermaßen vor: 67 Differenzstufen 1. Wähle I5 um SR bei geg. CL und Pdiss zu erfüllen! 2. Prüfe ob rout die 3dB-Frequenz erfüllt, sonst erhöhe I5! 3. Dimensioniere M4 und M3, um die obere Grenze für Arbeitsbereich zu erfüllen! 4. Dimensioniere M1 und M2, um die Verstärkungsvorgabe zu erreichen! 5. Dimensioniere M5, um die untere Grenze für Arbeitsbereich zu erfüllen! 6. Iteriere, wenn nötig! Mit dieser Methode lassen sich die Transistorabmessungen widerspruchsfrei bestimmen. Wir werden im nächsten Abschnitt ein Beispiel rechnen. 4.4 Praktische Durchführung Folgende Anforderungen für den Verstärker seien gegeben: VDD = −VSS = 2,5V SR ≥ 10V / µs f −3dB ≥ 100kHz (CL = 5 pF ) −1,5V ≤ ICMR ≤ 2V Adiff = 100 Pdiss ≤ 1mW Als Technologie soll die 0,8µm CMOS-Technologie mit Versorgungsspannung VDD – VSS = 5 V zum Einsatz kommen. Wenn für die gegebenen Spezifikationen die Transistordimensionierungen bestimmt werden sollen, wird als erstes der Strom im Transistor M5 berechnet. SR = I 5 / CL = I 5 / 5 pF ≥ 10V / µs I 5 ≥ 50µA Damit die Spezifikation für die Verlustleistung nicht überschritten wird, liegt die obere Grenze für I5 bei 200 µA. Eine weitere Bedingung für I5 ist der Ausgangswiderstand Rout, der aus der 3dB-Frequenz und der Ausgangslast CL berechnet werden kann und deshalb nicht kleiner als 318 kΩ werden darf: 68 Differenzstufen ω−3dB = 2π f −3dB = 6, 28 ⋅ 100kHz ≤ rout = 1 Rout CL 1 ⇒ rout ≤ 318k Ω Rout 5 pF 2 ≤ 318k Ω ( λN + λP ) I 5 Mit den bekannten Kanallängenmodulationsfaktoren erhalten wir hieraus eine untere Grenze für I5 von 70 µA. Wir wählen nach diesen Überlegungen für die weiteren Schritte den Wert 100 µA für den Basisstrom. Um die Anforderungen des ICMR einzuarbeiten, betrachten wir die Gleichung 4.11, die die obere Grenze des Gleichtaktbereichs angibt: VIC (max) = VDD − VSG 3 − VDS1 + VGS 1 = VDD − VSG 3 + VTN 1 Wir lösen nach VGS3 auf und setzen -VDS1 + VGS1 = VT1. VGS3 beträgt dann 2,5 2 + 0,7 = 1,2V. VGS3 bestimmt auch den Sättigungsstrom von M3, der nach Kirchhoff im Arbeitspunkt (also unter Gleichbedingungen) Iss / 2 = 50 µA betragen muss: VSG 3 = 1,2V = 2 ⋅ 50µA L3 + 0,7V 50µA / V ² W3 Dieses Ergebnis liefert die Sättigungsstromgleichung für M3, wenn wir den Strom auf Iss / 2 = 50 µA setzen und nach der Gate-Source-Spannung auflösen. Die Unbekannten sind hier die Dimensionen für die Transistoren M3 und den identischen Transistor M4: 0,5V = 2 L3 W3 2 W3 W4 = = =8 L3 L4 0.5² . Nachdem wir diese Abmessungen kennen, betrachten wir M1 und M2. Hier können wir die vorgegebene Kleinsignalverstärkung von 100V/V ausnutzen. Der Strom in Transistor M1 wird über den Stromspiegel (gebildet aus den Transistoren M2 und M4) in den Ausgangszweig gespiegelt. Der Ausgangswiderstand des Differenzverstärkers ist im Rahmen der Kleinsignalbetrachtung der Parallelwiderstand aus den Kanalwiderständen der Transistoren M2 und 69 Differenzstufen M4. Wenn wir zu den entsprechenden Leitwerten übergehen, erhalten wir nach Gleichung (4.8) g m1v ID g ds 2 + g ds 4 vout = ( g m1v ID )( rout ) = . Für die Verstärkung bedeutet dies 100V / V = ( g m1 )( rout ) = g m1 , g ds 2 + g ds 4 und daraus folgt mit id1 = Iss/2 und Gleichung 4.9 ∂id 1 ∂vgs1 = ≈ ∂id 2 ∂id 4 + ∂vds 2 ∂vds 4 g m1 g ds 2 + g ds 4 2µnC Ox id 1 W1 L1 (λN + λP ) ⋅ id 1 = 2µnC Ox W1 L1 (λN + λP ) ⋅ id 1 = 2 ⋅ 110 W1 L1 µA V² (0,04 + 0,05) ⋅ 50µA = 23,31 W1 Dies ergibt für die Weiten zu Längenverhältnisse der beiden Transistoren M1 und M2 den Wert 18,4. Aus der unteren Grenze für den Gleichtaktbereich VIC(min) VIC (min) = VSS − VDS 5 ( sat ) +VGS 2 können wir die Drain-Source-Sättigungsspannung VDS5(sat) für den Stromquellentransistor am Fußpunkt des Verstärkers berechnen. Dazu benötigen wir aber die Spannung VGS2. Diese können wir aus der Stromgleichung I2 = µnCox W2 2 (VGS 2 −VTN ) 2 L2 berechnen, denn der Strom beträgt im Arbeitspunkt ISS/2 = 50µA. Die Transistordimensionen (W2/L2 = 18,4) sind ebenfalls bekannt und die Technologiewerte können aus den Transistorparametern entnommen werden: VGS2 = 0.222V + 0,7V. Für die gesuchte Spannung erhalten wir damit VDS5(sat) = 0,3V – 0,222V = 0.0777V. Da der Transistor M5 mit dieser Spannung immer noch den Strom von 100µA produzieren muss, folgt: 70 L1 Differenzstufen W5 2 I5 200µA = = = 300 L5 µnCoxVds 5 ( sat )² 110µA ⋅ ( 0, 0777 ) 2 Dies ist ein sehr großer Fußpunkttransistor. Um dessen Weite zu reduzieren, vergrößern wir W1/L1, denn damit wird der Spannungsabfall in M1 kleiner und dies erlaubt einen größeren VDS5(sat)-Wert. Eine größere Spannung am Transistor liefert mit kleinerem W/L-Verhältnis den gewünschten Strom von 100 µA. Mit W1/L1 = W2/L2 = 25 erhalten wir W5/L5 = 150, denn dann wird VDS5(sat) = 0,11V. Damit steigt die Verstärkung, was aber nicht schädlich ist. Wenn wir als minimale Kanallänge nicht die minimal mögliche Kanallänge verwenden, die im Prozess möglich ist (0,8 µm), sondern stattdessen L = 1,0 µm für alle Transistoren, erhalten wir folgende Dimensionierung für den Verstärker: W1 = W2 = 25 µm W3 = W4 = 8 µm W5 = 150 µm (4.17) Zum Schluss können wir noch überprüfen, ob die Differenzverstärkung Aν ≥ 100 V/V erreicht wird: 2 Aυ = λ1 + λ2 K1' ⋅ W1 2 = L1 ⋅ I SS λ1 + λ2 K1' ⋅ W1 2 110 ⋅ 25 = = 117 L1 ⋅ I SS 0, 09 100 bzw. 112 für die erste Dimensionierung (Weite vom M5 = 300 µm). Alternativ können wir auch Aν nach der Formel Aν = gm1Rout berechnen und erhalten für die Dimensionierung aus (4.17) den gleichen Wert Aυ = g m1 Rout = I SS K1' ⋅ W1 110 ⋅ 25 ⋅ 50 −6 Rout = 10 ⋅ 318 ⋅ 103 = 118 2 L1 1 . " Übungsaufgabe Wiederholen Sie die Transistordimensionierung für die 0,35 µm Technologie aus Tabelle 2.1 mit L ≡ 1µm und VSS = 0,0V, VDD = 3,5V, VIC(min) = 0,4V, VIC(max) = 3,0V. Ansonsten sollen gleiche Vorgaben gelten: Aν ≥ 100 V/V, Pdiss < 1 mW, f-3db > 100 kHz. 71 Differenzstufen 4.5 Zusammenfassung Der Differenzverstärker ist eine der wichtigsten Komponenten beim CMOSAnalogdesign. In diesem Kapitel wurde die Grundkonfiguration mit NMOSEingangstransistoren und einer PMOS-Stromspiegellast behandelt. Die wichtigsten Eigenschaften der Differenzstufe sind: • Gute Gleichtaktunabhängigkeit durch die Stromquelle im Fußpunkt • Linearität in der Nähe des Gleichgewichtspunktes, • hoher Eingangswiderstand, • Verstärkung und Slew Rate sind moderat (100, 20V/µs), • die Eingangsoffsetspannung ist technologisch begründet und ein Maß für Transistorreproduzierbarkeit in der verwendeten Technologie, • die Gleichtaktunterdrückung ist gut, insbesondere wenn geeignete Stromquellen (Kaskodenschaltung) verwendet werden, • die Verlustleistung ist sehr klein und diese Schaltung ist kompatibel mit der Hochintegration in Deep Submicron VLSI-Technologien. In der Literatur werden Methoden vorgestellt, mit denen die Verstärkung, die Bandbreite und andere Leistungsdaten der Schaltung verbessert werden können ([AllanHolberg02], [BeRaz03]). 72 Operationsverstärker 5. Operationsverstärker Der Operationsverstärker ist eine komplexere analoge Schaltung, die sich aus den in vorangehenden Kapiteln behandelten Grundschaltungen zusammensetzt. Operationsverstärker sind „normale“ Verstärker, die aber nicht durch ihre interne Verschaltung für bestimmte Leistungsanforderungen ausgelegt werden, sondern durch eine äußere Gegenkopplungsbeschaltung. Deshalb werden Operationsverstärker (OpAmp, Operational Amplifiers) als gleichspannungsgekoppelte Verstärker mit Ruhepotential Null ausgeführt. Ihre hohe Verstärkung garantiert, dass auch für negative Rückkopplung die Übertragungsfunktion der rückgekoppelten Schaltung nicht von der Verstärkung des OpAmps abhängig ist. Solche hochwertigen Verstärker wurden früher meist in Analogrechnern zur Durchführung mathematischer Operationen (Integration, Differenziation) eingesetzt. Daher stammt auch der Name. Wie wir im vorherigen Kapitel gesehen haben, ist die Verstärkung, die mit MOS-Transistoren erreicht werden kann, nicht sehr hoch. Deshalb bestehen OpAmps aus mindestens zwei oder noch mehr Verstärkerstufen. Die zweistufige Variante ist bei integrierten OpAmps besonders weit verbreitet und wird deshalb in diesem Kapitel vorgestellt. Diese Konfiguration ist besonders robust und die Basis für kompliziertere OpAmps mit weiter verbesserten Leistungsdaten [Sansen06]. Anhand des zweistufigen OpAmps wird das wichtige Konzept der Kompensation erläutert. Die Kompensation stellt die Stabilität des Verstärkers unter Rückkopplungsbedingungen sicher. 5.1 Eigenschaften von Operationsverstärkern Der ideale OpAmp hat eine unendlich große differentielle Spannungsverstärkung, einen unendlich hohen Eingangswiderstand und den Ausgangswiderstand 0Ω. Reale OpAmps können diese Spezifikationen nur näherungsweise erfüllen. So ist der Verstärkungsfaktor typischerweise für Standard-CMOSOpAmps etwa 5000 und dies ist für die meisten Anwendungen ausreichend. Bild 5.1 zeigt das Schaltplansymbol für einen Operationsverstärker und die Beschaltung als Spannungsverstärker. Die Ausgangsspannung des Verstärkers vout ist durch die Gleichung vout = Aν ( v1 − v2 ) (5.1) definiert. Aν ist die offene (Differenz-)Verstärkung (ohne Rückkopplung, Open 73 Operationsverstärker Loop Gain). Bild 5.1 Symbol eines OpAmps (links) und als Spannungsverstärker beschaltet (rechts). Wie beim Differenzverstärker gibt es einen invertierenden und einen nicht invertierenden Eingang. Wird der +-Eingang auf Masse gelegt, entsteht der invertierende Spannungsverstärker. In Bild 5.1 ist die Beschaltung eines OpAmps als Spannungsverstärker gezeigt. Die Rückführung der Ausgangsspannung durch R2 auf den negativen Eingang des Verstärkers erzeugt eine negative Rückkopplung. Wird die Spannung v2 auf Masse gelegt, invertiert der Verstärker. Wenn die Verstärkung groß genug ist, wird die Rückkopplung dafür sorgen, dass die Eingangsspannungsdifferenz v1 – v2 verschwindet. Dann fließt auch kein Eingangsstrom mehr i1 = – i2 = 0. Man spricht dann von der virtuellen Masse. Da nun der Strom i1 = v1/R1 gilt und der Strom im Widerstand R2 der Gleichung vout/R2 genügt, folgt aus dem Knotensatz vout R2 (5.2) = vin R1 Wenn der Operationsverstärker mit negativer Rückkopplung betrieben wird, dann bestimmt folglich die externe Beschaltung das Verhalten. Trotz. ungenauer Vorwärtsverstärkungsfaktoren ist die Übertragungsfunktion exakt, wenn die Verstärkung des OpAmps nut groß genug ist. 5.2 Frequenzgang Wie schon beim Differenzverstärker besprochen, verändert sich das Verhalten eines Verstärkers, wenn statt Gleichsignalen Wechselspannungen angelegt werden. Dies ist insbesondere dann der Fall wenn hohe Frequenzen im spiel sind. Die Ausgangsspannung des OpAmps in Bild 5.1 kann in der Frequenzdomäne als ⎡V ( s) + V2 ( s) ⎤ Vout ( s ) = Aν ( s) [V1 ( s) − V2 ( s)] ± Ac ( s) ⎢ 1 ⎥⎦ 2 ⎣ 74 (5.3) Operationsverstärker geschrieben werden. Wenn wir von der Gleichtaktverstärkung Ac(s) absehen, die sehr klein ausfallen muss, dann ist das Verhalten nur von der differentiellen Frequenzantwort Aν(s) bestimmt, und diese hat die allgemeine Form: Aν ( s) = Aν (0) ⎞ ⎛ s ⎞⎛ s ⎞⎛ s ⎜ p − 1⎟ ⎜ p − 1⎟ ⎜ p − 1⎟ ........ ⎝ 1 ⎠ ⎝ 2 ⎠⎝ 3 ⎠ (5.4) p1, p2, …. sind die Polstellen der Vorwärtsverstärkung, also des OpAmps in Open-Loop-Betrieb. Die Pole liegen bei den Frequenzen ωi , die sich aus den Zeitkonstanten der Impedanzen in der Verstärkerschaltung berechnen lassen: (5.5) pi = −ωi Die Nullstellen des Verstärkers werden erst später einbezogen und hier noch vernachlässigt. Bild 5.2 zeigt die Frequenzantwort eines typischen Operationsverstärkers. A dB 20log10(A ) -20 dB/Dekade GB 0dB -40 dB/Dekade Bild 5.2 Frequenzgang der Differenzverstärkung eines OpAmps. Das Verhalten entspricht aus Stabilitätsgründen bis zur Grenzfrequenz GB, bei der die Verstärkung betragsmäßig 1 wird, dem eines Tiefpasses 1. Ordnung. Einer der Pole tritt bei viel niedrigeren Frequenzen auf, als die anderen und hat deshalb den stärksten Einfluss auf den Frequenzgang. Die Lage dieses dominierenden Pols kann vom Design des Verstärkers in gewissen technologieabhängigen Grenzen beeinflusst werden. Ab dieser Frequenz beginnt der Abfall mit -20 dB pro Dekade. Der Betrag der Verstärkung des OpAmps schneidet die 0dB-Linie bei der Einheits-Verstärkungs-Bandbreite (Unity Gain Bandwidth, GB). Zur Berechnung von GB ist die Gleichverstärkung mit dem Betrag des dominanten Pols zu multiplizieren. Man kann nämlich zeigen, dass das Verstärkungs-Bandbreite-Produkt eines Verstärkers in guter Näherung 75 Operationsverstärker unabhängig von der Gegenkopplung konstant gleich dieser 0dB-Grenzfrequenz ist. 5.2 Zweistufiger OpAmp Eine der wichtigsten OpAmp-Konfigurationen ist der zweistufige Operationsverstärker, der in Bild 5.3 abgebildet ist. Die Variante mit PMOS-Eingangstransistoren ist bereits in Bild 3.1 als Beispiel für eine komplexere Analogschaltung gezeigt worden. Andere Architekturen, wie OpAmps mit gefalteter Kaskodenstufe, werden in der Literatur [z.B.: AllanHolberg02] behandelt. Bild 5.3 Schaltplan eines ungepufferten 2stufigen OpAmps mit NMOS Eingängen. Die Transistoren M1 bis M5 bilden die erste Stufe (I), die Transistoren M6 und M7 die zweite. Der zweistufige Verstärker (Bild 5.3) besteht aus einer Differenzstufe, die die differentielle Eingangsspannung in differentielle Ströme umsetzt. Diese Ströme werden von der Stromspiegelschaltung in eine Differenzspannung (single ended) umgesetzt. Damit ist die erste Stufe nichts anderes als der im letzten Kapitel besprochene CMOS-Differenzverstärker. Die zweite Stufe besteht aus einem CS-Verstärker, der die Spannung in einen proportionalen Strom 76 Operationsverstärker wandelt. Dieser Strom wird mit Hilfe einer aktiven PMOS-Last in die Ausgangsspannung umgesetzt, genau wie bei der CS-Stufe aus Abschnitt 3.2.2. Diese Schaltung ist die klassische Operationsverstärkerarchitektur, die es auch in bipolarer Variante gibt. MOS-Schaltungen haben eine sehr hohe Eingangsimpedanz. Alle Effekte, die mit den Eingangströmen zusammenhängen und die bei Bipolarverstärkern in die Spezifikation eingehen, brauchen bei MOS-Verstärkern nicht berücksichtigt zu werden. Die Ausgangsanstiegsgeschwindigkeit (Slew Rate) wird bei der Schaltung aus Bild 5.3 nicht von der Ausgangsstufe, sondern vom maximalen Strom bestimmt, der in der ersten Stufe zu Verfügung steht, also von der SourceStromquelle (M5) und der kapazitiven Last Cc, die zur Kompensation des Frequenzgangs dient: I (5.6) SR = 5 CC Diese Last muss zuerst umgeladen werden, bevor die Ausgangstufe eingeschaltet wird. Zweistufige Verstärker sind Systeme 2.Ordnung, die zwei Pole aufweisen. Damit nur der erste Pol wirksam ist und wir ein Tiefpassverhalten bekommen, wird der zweite Pol durch entsprechende Beschaltung innerhalb des OpAmps zu hohen Frequenzen oberhalb von GB verschoben. Dies wird als Frequenzkompensation bezeichnet. 5.2.1 Stabilität von OpAmps mit Rückkopplung Die allgemeine negative Feedback-Konfiguration ist Bild 5.4 gezeigt. Bild 5.4 OpAmp mit negativer Rückkopplung. A ist die Verstärkung des OpAmps im OpenLoop-Betrieb, F ist die Übertragungsfunktion des Rückkoppelpfades. 77 Operationsverstärker Für diese Schaltung gilt: vε = vin − F ⋅ vout vout = A ⋅ vε L= (5.7) 1 vout A ⋅ vε = ≈ ( A → ∞) vin vε (1 + FA) F Dies verdeutlicht noch einmal die eingangs erwähnte Eigenschaft der OpAmps: Die Außenbeschaltung bestimmt die gesamte Übertragungsfunktion und die Schleifenverstärkung L des rückgekoppelten Verstärkers, vorausgesetzt, dass die Verstärkung A groß genug ist. So lässt sich trotz der ungenauen (hohen) Verstärkung eine präzise Übertragungsfunktion realisieren. In der Frequenzdarstellung lässt sich die Schleifenverstärkung als L( s ) = − A( s ) ⋅ F ( s) (5.8) schreiben. Das wesentliche Problem bei der Rückführung des negativen, verstärkten Eingangssignals besteht darin, dass dieses Signal bei der Überlagerung mit der Eingangsgröße positiv interferieren könnte. Dann würde sich das Signal über die Schleife selbst regenerieren. Dann verstärkt der OpAmp nicht mehr, sondern wirkt als Oszillator oder der Ausgang läuft in den maximalen oder minimalen Spannungsbereich und verharrt dort (clamping). Damit sich die Schwingungen am Eingang nicht aufschaukeln können, muss gelten: • Schleifenverstärkung kleiner als 1, • Phasenverschiebung betragsmäßig kleiner als -180° (5.8) oder über die Laplace-Transformierte ausgedrückt: • Arg[−A(jω0dB)F(jω0dB)] > 0°, wobei ω0dB die Frequenz ist, bei der der Betrag der Schleifenverstärkung 1 (= 0dB) ist. Der kritischste Fall für die Stabilität tritt auf, wenn der Rückkoppelfaktor F(s) = 1 gewählt wird, weill dann Ausgangssignal unverändert auf einen Eingang geführt wird. Die Beziehungen 5.8 stellen die Umkehrung der Schwingungsbedingungen für den Fall dar, dass ein negativ rückgekoppeltes System als Schwingkreis genutzt werden soll. Hier muss die Verstärkung der Amplitude (obere Gleichung) größer als 1 und die Phasenverschiebung in der Schleife gerade -180° betragen. Dann genau treten ungedämpfte Schwingungen auf. Besteht eine Abweichungen von ΦM von -180° und ist die Verstärkung ≤ 1, dann ist das System stabil. ΦM ist die Phasenreserve (Bild 5.5). Eine Phasenreserve von 45° wird als ausreichend angesehen, aber 60° werden meist 78 Operationsverstärker angestrebt. Die Bedeutung einer Phasenreserve für die Stabilität zeigt sich am deutlichsten im Zeitbereich, wenn die Sprungantwort des rückgekoppelten Systems betrachtet wird (Bild 5.6). Größere Phasenreserven verbessern also das Einschwingverhalten des Ausgangssignals des Verstärkers. Arg A(j F(j A(j F(j 104dB 20dB/Dekade 0dB 180 40dB/Dekade 135 90 0 0dB Bild 5.5 Bode Diagramm eines zweistufigen OpAmp mit negativer Rückkopplung. ΦM ist die Phasenreserve. vout(t)/Aν0 ω(t) Bild 5.6 Sprungantwort eines Systems zweiter Ordnung für verschiedene Phasenreserven von 45° bis 70° . 79 Operationsverstärker 5.2.2 Frequenz- und Phasenkorrekturen Mit dem unten in Bild 5.7 gezeigten Kleinsignalersatzschaltbild eines zweistufigen Verstärkers kann man dessen Polstellen ermitteln: 1 1 (5.9) p '1 = − p '2 = − RI CI RII CII Die beiden Ausgangswiderstände RI und RII sind naturgemäß groß, damit eine hohe Spannungsverstärkung über beide Stufen erreicht wird. Deshalb sind die Polfrequenzen beide nahe beieinander und recht klein. Die Phasenreserve ist wird dann aber ebenfalls sehr gering und ist nicht ausreichend. Deshalb muss der Frequenzgang des Verstärkers korrigiert werden, indem man den nicht dominanten Pol zu größeren Frequenzen hin verschiebt. Bild 5.7 Ersatzschaltbild eines zweistufigen Operationsverstärkers. Eine wichtige Methode zur Frequenzkorrektor ist die Miller Kompensation. Dabei wird ein Kondensator Cc zwischen den Ausgang der ersten Stufe und den Eingang der zweiten Stufe geschaltet (Bild 5.8). Bild 5.8 Ersatzschaltbild eines zweistufigen Operationsverstärkers mit Millerkapazität Cc. Dieser Kondensator erhöht 1. die effektive Kapazität CI um den Faktor (gmIIRII )Cc. Deshalb wird die Frequenz des ersten Pols von p’1 zu einer deutlich niedrigeren Frequenz p1 verschoben, und 2. wegen der negativen Rückkopplung wird der Ausgangswiderstand der zweiten Stufe verkleinert. Die neue Polstelle p2 liegt bei einer höheren Frequenz als p’2. Aus dem Ersatzschaltbild folgt für die Verstärkung 80 Operationsverstärker vout ( s ) g I g II RI RII (1 − sCc / g II ) = vin ( s ) 1 + s [ RI (CI + CII ) + RII (Cc + CII ) + g II RI RII Cc ] + s 2 RI RII [CcCI + Cc (CI + CII )] (5.10) g I g II RI RII = Aν (0) ist die Gleichstromverstärkung des OpAmps. Wenn wir annehmen, dass die beiden Pole nach der Korrektur weit auseinander liegen, dann können wir aus 5.10 die beiden Polstellen berechnen: 1 g II CC (5.11) p1 = − p2 = − g II RI RII CC CI CII + CC (CI + CII ) Die kapazitiven Lasten CI und CII sind unterschiedlich. Die Kapazität CII ist, weil dort die externe Lastkapazität des OpAmps eingeht, deutlich größer. Die Kompensationskapazität CC ist wiederum größer als CI. Folglich gilt die Relation CII >> CC >> CI. Mit dieser Beziehung kann der Pol p2 näherungsweise durch das Verhältnis g (5.12) p2 ≈ − II CII Ausgedrückt werden. Ein Nachteil der Frequenzkompensation besteht darin, dass mit der Vorwärtskopplung über CC eine Nullstelle z1 in der Übertragungsfunktion entsteht, die in der rechten positiven Halbebene liegt: g (5.13) z1 ≈ II CC Eine solche Nullstelle wirkt wie ein Pol in der negativen Halbebene und damit ist eine Phasenverschiebung verbunden, die die Phasenreserve reduziert. Deshalb müssen die Frequenzen, bei denen p2 und z1 auftreten, soweit noch oben verschoben werden, dass sie außerhalb des praktisch relevanten Bereichs zwischen 0 und GB liegen. Dann verhält sich das System wie ein Tiefpass erster Ordnung. Bild 5.9 zeigt Frequenzgang und Phasengang für den Operationsverstärker vor und nach der Kompensation. Offensichtlich begrenzt die auftretende Nullstelle die Grenzfrequenz zusätzlich. Deshalb gibt es verschiedene Verfahren, die Vorwärtskopplung über den Miller-Kondensator zu eliminieren [AllanHolberg02]. In diesem Lehrbrief wollen wir darauf nicht weiter eingehen. Wenn wir auf die Transistoren in der Schaltung aus Bild 5.3 Bezug nehmen, in der auch bereits der Kompensationskondensator CC eingezeichnet ist, dann können wir nach den Kapitel 3.2 und 4.2 die Leitwerte der beiden Verstärkerstufen gI und gII mit den Leitwerten der Transistoren M1, gm1, oder bei perfektem Matching auch von M2, gm2, bzw. mit dem Leitwert der Transistors 81 Operationsverstärker Arg A(j F(j A(j F(j M6, gm6, identifizieren. Bild 5.9 Bode Diagramm eines zweistufigen OpAmp: Die Verstärkung(oben) ist vor und nach der Kompensation und die Phasenkennlinie (Mitte) nach der Kompensation gezeichnet. Unten sehen wir die Wurzelortverschiebung durch Einführen des Millerkondensators. Die Formeln für die Lage des nicht dominanten Pols, der Bandbreite und der Nullstelle in der rechten Halbebene sind damit: p2 ≈ − g II − g m 6 ≈ CII CL z1 ≈ g II g m 6 = CC CC (5.14) Bei der Berechnung von GB müssen wir die Gleichverstärkung aus Glg. (5.10, für den Fall s → 0) mit dem Betrag des dominanten Pols p1 multiplizieren. Wir erhalten GB ≈ " gI Cc (5.15) Übungsaufgabe Beweisen Sie die Formel 5.15 mit Hilfe der im Text abgeleiteten Beziehungen! Soll nun eine bestimmte Phasenreserve durch eine geeignete Wahl der Miller- 82 Operationsverstärker Kapazität erreicht werden, dann sind Vorgaben über die Lage der Nullstelle relativ zu GB notwendig. In der Regel wird davon ausgegangen, dass z1 bei der zehnfachen Frequenz von GB liegt. Für ΦM = 60° gilt dann: Φ M = ±180° − Arg [ A( jω ) F ( jω )] = ±180° − tan −1 120° = tan −1 ω p1 − tan −1 ω p2 − tan −1 ω z1 = 60° GB GB GB + tan −1 + tan −1 p1 p2 z1 (5.16) Mit der Definitionsgleichung von GB, der Annahme, dass die Gleichverstärkung sehr groß ist (tan-1 (∞) = 90°) und mit der gewählten Nullstellenfrequenz erhalten wir 120° = tan −1 Aν (0) + tan −1 24,3° = tan −1 GB + tan −1 0,1 p2 GB p2 (5.17) Aus dieser Formel folgt direkt, dass die Pol p2 oberhalb von 2,2GB liegen muss. Die angenommene Phasenreserve von 60° bedingt die folgenden Zusammenhänge: gm6 g g g > 10 m 2 , g m 6 > 10 g m 2 , m 6 > 2, 2 m 2 CC CC C2 CC (5.18) Aus diesen Gleichungen folgt dann CC > 2, 2 " CII = 0, 22CL 10 (5.19) Übungsaufgabe Zeigen Sie unter den gleichen Annahmen, dass für eine Phasenreserve von 45° der zweite Pol bei der Frequenz von 1,22GB liegen muss! 83 Operationsverstärker 5.3 Designbeispiel In den vorherigen Abschnitten wurden die allgemeinen Aspekte des Designs von CMOS-Operationsverstärkern behandelt. Daraus wird im Folgenden eine systematische Designmethodik für einen zweistufigen Operationsverstärkers mit NMOS-Eingangsdifferenzstufe entwickelt, wie er in Bild 5.10 gezeigt ist. Bild 5.10 Schaltplan eines ungepufferten 2stufigen OpAmps mit NMOS Eingängen. Die Transistoren M1 bis M5 bilden die erste Stufe (I), die Transistoren M6 und M7 die zweite (II). Wir gehen davon aus, dass die Transistoren, soweit nötig, perfekte Passung aufweisen und für die Kleinsignalparameter gilt: gm1 = gm2 = gI; gm6 = gII ; gds2 + gds4 = GI und gds6 + gds7 = GII . Es gibt, wie die vorherigen Abschnitte zeigen, die folgenden relevanten Parameter, die das Verhalten des Verstärkers festlegen: 1. Slew-Rate, Ausgangsanstiegsgeschwindigkeit: SR = I5 CL 2. Verstärkung der ersten Stufe Aν 1 = − g m1 −2 g m1 = g ds 2 + g ds 4 I 5 (λ2 + λ4 ) 3. Verstärkung der zweiten Stufe 84 Operationsverstärker Aν 2 = − gm 6 − g m1 = g ds 6 + g ds 7 I 6 (λ6 + λ7 ) 4. Verstärkungsbandbreiteprodukt GB = g m1 Cc 5. Ausgangspol p2 = − gm 6 CL 6. Nullstelle in der rechten Halbebene z1 = gm6 Cc 7. Positive Gleichtaktunterdrückung (CMRR) I5 − VT 03 (max) + VT 1 (min) ß3 Vin (max) = VDD − 8. Negative Gleichtaktunterdrückung (CMR) Vin (min) = VSS + I5 + VT 1 (max) + VDS 5 ( sat ) ß1 9. Sättigungsspannung VDS ( sat ) = 2 I DS ß Um das Design tatsächlich durchzuführen, Spezifikationswerte für den OpAmp definiert sein: 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. müssen folgende Gleichspannungsverstärkung, Aν(0) Verstärkungsbandbreiteprodukt GB Eingangsgleichtaktbereich ICMR Lastkapazität CL Slew-Rate, Ausgangsanstiegsgeschwindigkeit Ausgangsspannungsbereich Verlustleistung, Pdiss Um diese Spezifikationen in ein Design in der vorgegebenen Technologie umzusetzen, wird folgendermaßen verfahren. Zuerst wird eine einheitliche Kanallänge für die Transistoren im Design gewählt. Diese Wahl bestimmt den Kanallängenmodulationsfaktor λ, der in die Verstärkung eingeht. In der Regel wählen wir eine Länge die in etwa zweimal so groß ist, wie die minimal zulässige Kanallänge im verwendeten Prozess. Dies ist meistens ausreichend, um den Einfluss von λ zu begrenzen. 85 Operationsverstärker Der nächste Schritt ist die Wahl der Kompensationskapazität Cc. Mit dieser Kapazität kann der Pol des Ausgangssignals p2 verschoben werden. Wird der Pol auf mindestens das 2,2-fache des Verstärkungsbandbreiteprodukts GB gelegt, bekommen wir mindestens 60° Phasenreserve. Dazu ist aber gleichzeitig die Nullstelle in der rechten Halbebene z1 auf mindestens 10GB zu legen. Diese Lage von Pol und Nullstelle wird, wie gezeigt wurde, durch den folgenden minimalen Wert für Cc erreicht: Cc > 2, 2 CL 10 Die Ausgangsanstiegsgeschwindigkeit wird vom Basisstrom der Differenzstufe bestimmt. Diesen Strom, I5, können wir aus der Spezifikation der Slew-Rate für die gewählte Kapazität des Kompensationskondensators berechnen: I 5 = SR(Cc ) . Liegt keine Vorgabe für die Ausgangsanstiegsgeschwindigkeit vor, dann kann man aus der Spezifikation (falls vorhanden) für die Ausgangseinschwingzeit einen Wert abschätzen, in dem wir ein Zehntel der Einschwingzeit für den Anstieg auf die halbe Versorgungsspannung vorgeben. M3 ist der erste Transistor, der zu dimensionieren ist. (W/L)3 richtet sich dabei nach der Spezifikation für die positive Gleichtaktunterdrückung (CMR). Wie aus der Formel (Eintrag 7 in obiger Liste) durch Auflösen nach den Transistorabmessungen folgt, gilt hier: I5 ⎛W ⎞ ⎜ ⎟ = ' 2 ⎝ L ⎠3 K 3 (VDD − Vin (max) − VT 03 (max) + VT 1 (min) ) VT 03 (max) ist dabei die maximale Einsatzspannung des Transistors M3 und VT 1 (min) die minimale Einsatzspannung des Transistors M1. Die Leitwerte der Eingangstransistoren folgen aus Cc und GB (siehe Eintrag 4 in obiger Liste): GB = g m1 Cc . Die Transistorabmessungen für M1 können dann mit gm1 berechnet werden: g 2 m1 ⎛W ⎞ ⎜ ⎟ = ' ⎝ L ⎠1 K 1 ⋅ I 5 . Nun können wir den Sättigungsstrom I5 den wir aus der Spezifikation der Slew-Rate bestimmt haben, verwenden um den Transistor M5 zu dimensionieren. Die Formel für die negative Gleichtaktunterdrückung (Eintrag 8 in obiger Liste) können wir nach der relevanten Spannung an M5, VDS5, 86 Operationsverstärker auflösen: VDS 5 = Vin (min) − VSS − I5 − VT 1 (max) ß1 Wenn diese Sättigungsspannung sehr klein ausfällt, dann werden große Transistorabmessungen bei M5 benötigt, um den Strom I5 zu liefern. Wenn die Spannung negativ wird, was physikalisch nicht zulässig ist, dann kann die Spezifikation für ICMR, also den Gleichtakteingangsspannungsbereich mit der vorhandenen Technologie evtl. nicht erfüllt werden. Dann muss I5 kleiner gewählt werden und dies hat Auswirkungen auf die Slew-Rate. Diese Änderung ist aber in allen vorherigen Designschritten wieder einzuarbeiten. Wenn VDS5 berechnet worden ist, dann folgt für das Weiten/Längenverhältnis aus der 9. Formel der obigen Liste: VDS 5 ( sat ) = 2 I5 W I ⇒ 5= ' 5 2 ß5 L5 K5 (VDS 5 ) Mit dieser Berechnung ist der Entwurf der ersten Stufe abgeschlossen. Für die Ausgangsstufe muss zuerst die Lage des Ausgangspols p2 geeignet eingestellt werden. Bei einer Phasenreserve von 60° gilt wegen p2 = − gm 6 CL für den Leitwert von M6 g m 6 = 2, 2 g m 2CL Cc . Für eine ausreichende Phasenreserve ist der Leitwert von M6 mindestens zehnmal so groß wie gm1. Um I6, W6 und L6 für den Transistor M6 festzulegen, gibt es zwei Möglichkeiten. Die erste besteht darin, den Stromspiegel der ersten Stufe (M3 und M4) und den Transistor M6 passend zu den Anforderungen auszulegen. Dazu muss VSG4 und VSG5 gleichgesetzt werden. Aus der Formel für gm = K’(W/L)(VGS-VT) erhalten wir dann ⎛ W ⎞ ⎛ W ⎞ gm 6 ⎜ ⎟ =⎜ ⎟ ⎝ L ⎠6 ⎝ L ⎠4 g m 4 . Wenn wir W6 und L6 sowie gm6 kennen, folgt I6 aus der Formel I6 = g 2 m 6C L ⎛W ⎞ 2 K '6 ⎜ ⎟ ⎝ L ⎠6 87 Operationsverstärker der gesuchte Strom von M6. Nun muss überprüft werden, ob die maximale Ausgangsspannung noch erreicht wird. Ist dies nicht der Fall, dann kann das W/L-Verhältnis von M6 oder der Strom erhöht werden, bis dies wieder zutrifft. Dann wird aber der Strom von M3 nicht mehr exakt nach M4 gespiegelt! Die Dimensionierung der Ausgangsstufe kann auch so bestimmt werden, dass der Strom aus dem Leitwert gm6 und der nötigen Sättigungsspannung VDS(sat) von M6 berechnet wird. VDS(sat) ist durch den Ausgangsspannungsbereich vorgegeben. Wir erhalten g m 6C L ⎛W ⎞ ⎜ ⎟ = ⎝ L ⎠6 K '6 VDS 6 ( sat ) . Egal wie die Abmessungen von M6 bestimmt wurden, ist es ratsam, jetzt die Verlustleistungsspezifikation zu überprüfen, da dieser Transistor den größten Leistungsbedarf in der Schaltung aufweist. Die W/L-Verhältnisse von M7 bestimmen sich aus dem Stromverhältnis von M6 und M5: ⎛ W ⎞ ⎛ W ⎞ ⎛ I6 ⎞ ⎜ ⎟ =⎜ ⎟ ⎜ ⎟. ⎝ L ⎠ 7 ⎝ L ⎠5 ⎝ I 5 ⎠ Damit ist der erste Grobentwurf fertig und wir können nun zum Abschluss die Verstärkung berechnen: ⎛ ⎞ 2 gm 2 gm6 Aν = Aν 1 Aν 2 = ⎜ ⎟. ⎝ I 5 (λ2 + λ4 ) I 6 (λ6 + λ7 ) ⎠ Sollte die Verstärkung zu klein ausfallen, können einige Korrekturen durchgeführt werden. Tabelle 5.1 zeigt den Einfluss von Transistorabmessungen und Strömen im OpAmp auf die Parameter des Verstärkers. Sobald aber ein Parameter im Design, also die Weite oder Länge eines Transistors geändert wurde, muss aber der Designzyklus nochmals komplett durchlaufen werden, um die Übereinstimmung mit der Spezifikation sicher zu stellen. Vergrößern DC-Verst. Verst.*Bandbr. GB Lage Nullst. Slew Rate Last CL ID5 1/2 (↓) (↑)1/2 ID7 (↓) 1/2 (↑)1/2 ↑ W/L1,2 1/2 (↑) (↑)1/2 L1,2 ↑ L3,4 ↑ W6/L6 (↑) 1/2 W7 L7 Cc ↑ ↓ (↑)1/2 ↓ ↓ ↓ Tabelle 5.1 Einfluss von Transistorabmessungen und Strömen im OpAmp auf die Designparameter des Verstärkers. 88 Operationsverstärker 5.3.1 Transistordimensionierung für 0,8µm CMOS Um die obige Methodik praktisch einzuüben, geben wir folgende Spezifikationen vor, die dann in ein Design in der 0,8µm CMOS-Technologie realisiert werden sollen (Parameter aus Tabelle 2.1). Als MindestPhasenreserve geben wir 60° vor und die Kanallänge soll einheitlich 1,0µm bei allen Transistoren betragen. Aν > 5000 V/V Verst.*Bandbr. (GB): 5 MHz Vout-Bereich: ± 2V VDD = 2,5 V CL = 10 pF ICMR = -1 bis 2V VSS = -2,5V Slew Rate > 10V/µs Pdiss ≤ 2mW Tabelle 5.2 OpAmp-Spezifikationswerte Als erstes berechnen wir den Kompensationskondensator Cc der für 60° Phasenreserve größer als 22% der Lastkapazität CL sein sollte. Cc > 0,22 ⋅10pF = 2,2 pF, also der Einfachheit halber Cc = 3pF. Als nächstes wird die Slew-Rate-Spezifikation berücksichtigt: I 5 = SR(Cc ) > (10V / µs )( 3 pF ) = 30µA . Als erste Transistorweite wird W3 berechnet. Diese Größe richtet sich dabei nach der Spezifikation für die positive Gleichtaktunterdrückung (CMRR): W3 = I5 K (VDD − Vin (max) − VT 03 (max) + VT 1 (min) ) ' 3 30µA 50 ⋅10 −6 ( 2,5V − 2,0V − 0,85V + 0,55) 2 2 = = 15µm Weil M3 und M4 einen Stromspiegel bilden, ist auch die Weite von M4, W4, 15µm. Der nächste Schritt ist die Berechnung von gm1, dem Transistorleitwert der Eingangstransistoren, GB = g m1 ⇒ g m1 = ( 5 ⋅106 ) ( 2π ) ( 3 ⋅10−12 ) = 94, 25µS Cc aus dem die W/L-Verhältnisse für M1 und M2 folgen: g m12 W1 W2 94, 252 = = = = 2,79 ≈ 3 L1 L2 2 K N ' I1 2 ⋅ 110 ⋅15 Die nächste zu Größe, die jetzt bestimmt werden kann, ist VDS5: 89 Operationsverstärker VDS 5 = Vin (min) − VSS − −1V − ( −2,5V ) − I5 − VT 1 (max) = ß1 30 ⋅10−6 V − 0,85V = 0,35V 3 ⋅110 ⋅10−6 Aus VDS5 folgt das W/L-Verhältnis für M5: VDS 5 ( sat ) = 2I5 W 2I ⇒ 5= ' 5 2 = ß5 L5 K5 (VDS 5 ) 2 ( 30 ⋅10−6 ) 110 ⋅10−6 (0,35)2 . = 4, 49 ≈ 4,5 Dann wird der Transistorleitwert vom M6 berechnet. Wegen gm1 = gm2 ergibt sich g m 6 = 2, 2 g m 2CL g 10 pF = 2, 2 m1 = 942,5µS Cc 2, 2 pF . Der Leitwert gm4 kann im Arbeitspunkt aus dem Basisstrom I5 berechnet werden: ID4 = I5/2 und wir erhalten: ⎛W ⎞ g m 4 = 2 K P ' ⎜ ⎟ I D 4 = 2 ⋅ 50 ⋅ 10−12 ⋅15 ⋅15 = 150µS ⎝ L ⎠4 . Wenn nun gm4, W4/L4 und gm6 bekannt sind, können wir aus ⎛ W ⎞ ⎛ W ⎞ gm 6 ⎜ ⎟ =⎜ ⎟ ⎝ L ⎠6 ⎝ L ⎠ 4 g m 4 die Weite und Länge von M6 bestimmen: W6/L6 = 94,25 ≈ 94. Ist diese Größe bekannt, folgt der Strom in M6: ( 942,5 ⋅10 ) = 94,5µA ≈ 95µA g 2m6 I6 = = . 2 ⋅ 50 ⋅10−6 ( 94 ) ⎛W ⎞ 2 K '6 ⎜ ⎟ ⎝ L ⎠6 −6 2 Der letzte Transistor, der dimensioniert werden muss, ist M7. Aus der relevanten Formel ⎛ W ⎞ ⎛ W ⎞ ⎛ I6 ⎞ ⎜ ⎟ =⎜ ⎟ ⎜ ⎟ ⎝ L ⎠ 7 ⎝ L ⎠5 ⎝ I 5 ⎠ 90 Operationsverstärker folgt W7/L7 = 14,25 ≈ 14.Nun können wir die Spezifikation der minimalen Ausgangsspannung für die berechneten Designparameter überprüfen. Bei dieser Spannung geht der Transistor M7 aus der Sättigung (I6 = I7): Vmin (out ) = −2.0V ==> VDS 7 ( sat ) ≤ 0,5V VDS 7 ( sat ) = 2I7 2 ⋅ 95 = = 0,351V 110 ⋅ 14 ' W7 KN L7 Dieser Wert von VDS7(sat) liegt unterhalb der durch die minimale Ausgangsspannung definierte Grenze. Zum Schluss können wir noch die Verlustleistung und die Verstärkung ausrechnen und mit der Spezifikation vergleichen. Die Verlustleistung ist das Produkt aus den summierten Strömen und der Versorgungsspannung: Pdiss = 5V ( 30µA + 95µA) = 0,625mW Für die Verstärkung erhalten wir ⎛ ⎞ 2 gm 2 gm6 Aν = ⎜ ⎟= ⎝ I 5 (λ2 + λ7 ) I 6 (λ6 + λ7 ) ⎠ ⎛ ⎞ 2 ⋅ 942,5 ⋅ 92, 45 ⋅10−12 = 7696V / V ⎜ −12 ⎟ 30(0,04 0,05)95(0,04 0,05) 10 + + ⋅ ⎝ ⎠ Beide Werte liegen in der Spezifikation. Damit ist der Grobentwurf fertig und das Design (Bild 5.11) kann nun mit Simulationen genauer analysiert werden. 91 Operationsverstärker Bild 5.11 Schaltplan des ungepufferten 2stufigen OpAmps mit berechneter Dimensionierung. 5.3.2 Simulation Die berechneten Transistordimensionen basieren auf einfachen Modellen. Deshalb sind Simulationen mit SPICE (oder einem anderen Schaltkreissimulator nötig (ELDO, SMASH) nötig, denn wir haben insbesondere alle parasitären Kapazitäten in den Transistoren der Implementierung vernachlässigt und diese zusätzlichen Kondensatoren können sich auf den Frequenzgang in Betrag und Phase auswirken. Auch die vernachlässigte Kanallängenmodulation ist zu berücksichtigen. Zur Simulation verwenden wir natürlich die gleiche 0,8µm CMOS Technologie aus Tabelle 2.1, für die wir auch SPICE-Parameter haben. Zuerst simulieren wir die statische Transferkennlinie (.DC-Analyse) bei der der negative Eingang des Verstärkers auf der analogen Masse (0V: Mitte zwischen 2,5V und -2.5V)) liegt und der andere Eingang von -5mV auf +5mV hoch läuft (Bild 5.12). Danach wird der Frequenzgang mit einer Kleinsignal-Wechselstromanalyse simuliert (.AC-Analyse), Bild 5.13. Das SPICE-Modell besteht aus einem Subcircuit für den OpAmp und aus den Steueranweisungen, sowie der externen Beschaltung des Verstärkers: OPEN LOOP CONFIGURATION VIN+ 1 0 DC 0 AC 1.0 VDD 4 0 DC 2.5 VSS 0 5 DC 2.5 VIN- 2 0 DC 0 CL 3 0 10P X1 1 2 3 4 5 OPAMP .subckt OPAMP 1 2 6 8 9 M1 4 2 3 3 NMOS1 W = 3U L = 1U AD = 18P AS = 18P PD = 18U PS = 18U M2 5 1 3 3 NMOS1 W = 3U L = 1U AD = 18P AS = 18P PD = 18U PS = 18U M3 4 4 8 8 PMOS1 W = 15U L = 1U AD = 90P AS = 90P PD = 42U PS = 42U M4 5 4 8 8 PMOS1 W = 15U L = 1U AD = 90P AS = 90P PD = 42U PS = 42U M5 3 7 9 9 NMOS1 W = 4.5U L = 1U AD = 27P AS = 27P PD = 21U PS = 21U M6 6 5 8 8 PMOS1 W = 94U L = 1U AD = 564P AS = 564P PD = 200U PS = 200U M7 6 7 9 9 NMOS1 W = 14U L = 1U AD = 84P AS = 84P PD = 40U PS = 40U M8 7 7 9 9 NMOS1 W = 4.5U L = 1U AD = 27P AS = 27P PD = 21U PS = 21U 92 Operationsverstärker CC 5 6 3.0P .MODEL NMOS1 NMOS VTO = 0.70 KP = 110U GAMMA = 0.4 LAMBDA = 0.04 PHI = + 0.7 MJ = 0.5 MJSW = 0.38 CGBO = 700P CGSO = 220P CGDO = 220P CJ = 770U + CJSW = 380P LD = 0.016U TOX = 14N .MODEL PMOS1 PMOS VTO = -0.70 KP = 50U GAMMA = 0.57 LAMBDA = 0.05 PHI = + 0.8 MJ = 0.5 MJSW = 0.35 CGBO = 700P CGSO = 220P CGDO = 220P CJ = 560U + CJSW = 350P LD = 0.014U TOX = 14N IBIAS 8 7 30U .ENDS .OP .TF V(3) VIN+ .DC VIN+ -0.005 0.005 100U .PRINT DC V(3) .AC DEC 10 1 10MEG .PRINT AC VDB(3) VP(3) .PROBE .END In den beiden Modelkarten .MODEL NMOS1 und .MODEL PMOS1 treten die Transistorparameter aus Tabelle 2.1 zuzüglich Parametern für die parasitären Kapazitäten (z.B. Gate-Source-Überlapp CGSO usw.) und die Gateoxiddicke TOX auf. 93 Operationsverstärker Bild 5.12 Statische Transferkennlinie des nicht rückgekoppelten OpAmps: Oben Vin-, Mitte Vin+, Unten: Ausgangsspannung aufgetragen gegen Vin-. Aus der Übertragungsfunktion (Bild 5.12) können wir den maximalen Ausgangsspannungsbereich (-2,5V bis +2.4V) ablesen und bei entsprechender Vergrößerung auch den Eingangsoffset ermitteln. Die Gleichspannungsverstärkung lässt sich durch Ableitung an der Null-Volt-Linie abschätzen. Der Bode-Plot (5.13) zeigt, dass die Schaltung gut kompensiert ist und dass wir in Bezug auf die Phasenreserve sogar 65° statt 60° erreichen. GB liegt leicht oberhalb der Vorgabe bei 5,3 MHz. Mit der Beschaltung als Spannungsfolger können wir den Eingangsgleichtaktbereich simulieren (.DC-Kennlinie mit Eingangsspannungsrampe von -2.5V bis + 2,5V) und die auch Slew-Rate nachprüfen (Stufenfunktion am Eingang bei spezifizierter Last im Rahmen einer Transientenanalyse). Dazu sind die Knoten 2 und 3 in der Netzliste kurzzuschließen X1 1 3 3 4 5 OPAMP Bild 5.13 Bode-Diagramm Oben: Verstärkung, unten Phasenlage. Die Gleichstromverstärkung beträgt 80dB und sie fällt mit 20 dB pro Dekade ab. GB liegt bei 5,3MHz, die Phasenreserve (siehe unten) beträgt etwa 65°. Mit dieser Konfiguration können wir den Eingangsgleichtaktbereich ermitteln (.DC-Kennlinie mit Eingangsspannungsrampe von -2.5V bis + 2,5V) und die Slew-Rate nachprüfen (Stufenfunktion am Eingang bei spezifizierter Last im Rahmen einer Transientenanalyse). 94 Operationsverstärker " Übungsaufgabe Führen Sie die nötigen SPICE-Simulationen durch für den Spannungsfolger zur Berechnung des Eingangsgleichtaktbereichs (ICMR) und der Ausgangsanstiegsgeschwindigkeit bei einer Last von 10pF. Ermitteln Sie die mittlere Leistungsaufnahme der Schaltung und vergleichen Sie die gefundenen Werte mit den Spezifikationsvorgaben. Verwenden Sie SystemVision als SPICE-Netzlistensimulator [ET-SIM-A32]. 5.4 Zusammenfassung In diesem Kapitel wurde das Verhalten von Operationsverstärkern analysiert und eine Designmethodik für einfache OpAmps vorgestellt. Operationsverstärker brauchen eine hohe Spannungsverstärkung und werden deshalb mindestens zweistufig ausgeführt. Die erste Stufe ist ein Differenzverstärker, die zweite ein Spannungsverstärker (CS-Stufe mit aktiver PMOS-Last). Um solche Schaltungen nach Maßgabe von Spezifikationswerten designen zu können, wurde das Verhalten der Schaltung mit qualitativen Methoden anhand von einfachen (Kleinsignal-) Modellen studiert. Besonders zu beachten ist die Stabilität bei diesen Verstärkern, da diese meist in Rückkopplung über eine externe Beschaltung eingesetzt werden. Das besondere an OpAmps ist nämlich, dass über die Rückkopplung das Verhalten (genauer die Operation), sehr präzise festgelegt werden kann, auch dann wenn die Verstärkung der Schaltung selbst keinesfalls genau festliegt. Um dann das Schwingen zu verhindern, muss das System eine ausreichende Phasenreserve aufweisen. Es gibt dazu verschieden Kompensationsverfahren. In diesem Lehrbrief wurde die Kompensation über eine Miller-Kapazität behandelt, mit der die beiden Pole der zweistufigen Verstärkerstruktur zu geeigneten Frequenzen hin verschoben werden. Der dominante Pol, der die Einheitsverstärkungsgrenzfrequenz (GB) bestimmt, verschiebt sich zu tieferen Frequenzen hin. Der nicht dominante Pol wird zu hohen Frequenzen verschoben, die etwa bei 3GB liegen. Die positive Nullstelle wird bei 10GB platziert. Die Einstellgröße ist bei dieser Korrektur des Frequenzgangs die Millerkapazität, die ein bestimmtes Vielfaches der vorgegebenen Lastkapazität 95 Operationsverstärker (0,22CL) erreichen muss. Nachdem die Schaltung kompensiert ist, werden zunächst die Gleichstromparameter (ICMR) und die Slew-Rate umgesetzt. Dann wird der Leitwert der Eingangsdifferenzstufe aus der Vorgabe von GB ermittelt. Dann werden anhand der Vorgaben für die Ausgangspannungsbereiche die Transistoren der zweiten Stufe dimensioniert und abschließend die Gleichstromverstärkung geprüft. Gegebenenfalls sind Nachiterationen nötig. Diese handberechneten Designparameter werden mit Hilfe von SPICE-Simulationen abschließend mit der Spezifikation verglichen. Es sind ggf. noch bestimmte Ströme und Transistorweiten zu justieren. Die hier behandelte OpAmp-Struktur kann für alle Anwendungen verwendet werden, in der es nicht auf einen niedrigen Ausgangswiderstand ankommt, wie er zum Treiben resistiver Lasten notwendig wäre. Der millerkompensierte OpAmp ist eine gute Grundlage für komplexere Verstärkerarchitekturen, wie etwa den Kaskoden-OpAmp mit höheren GB-Werten. 96 Zusammenfassung und Schluss 6. Zusammenfassung und Schluss In diesem Lehrbrief wurden die Grundlagen der CMOS Analogtechnik behandelt. Der Analogentwurf von integrierten Schaltungen ist komplexer als der von digitalen Schaltkreisen, weil hier das physikalische Verständnis für die Bauelementeigenschaften und die elektrischen Eigenschaften der Schaltungskomponenten nötig ist. Die Designaufgabe kann nicht mit Synthesetools gelöst werden, die wie bei digitalen Entwürfen aus einer Verhaltensbeschreibung einen Schaltplan aus elektrischen Komponenten generieren und optimieren. Analoge Schaltungen lassen sich stets in Grundfunktionen aufteilen (OpAmps, Komparatoren, Verstärker, Strom- und Spannungsquellen, Strom- und Spannungsreferenzen). Deshalb wird eine komplexe Designaufgabe, z.B. der Entwurf eines Analog-Digital-Umsetzers, zuerst in einzelne Teilaufgaben für die Baugruppen zerlegt, die dann nacheinander entwickelt und aufeinander abgestimmt werden (Bottom-Up-Design). Der analoge Entwurf beruht im Gegensatz zum digitalen auf mathematischen Analysen mit Papier und Bleistift. Der Computer wird nur zur Verifikation und zur Korrektur von Schaltungseigenschaften eingesetzt. Die analoge Entwurfsaufgabe lässt sich über standardisierte Vorgehensweisen (Designrezepturen) bewältigen. Diese Verfahrensweisen zeichnen sich dadurch aus, dass sie festlegen welcher Spezifikationswert welchen DC-Strom bzw. welche Transistorabmessung (Weite und Länge) bestimmt. Mit Voruntersuchungen wird zuerst eine analogtaugliche einheitliche Kanallänge ermittelt, bei der der Kanallängenmodulationseffekt hinreichend klein ausfällt. Dies reduziert die Zahl der Designvariablen auf die Hälfte. In der Regel versucht man, die Transistoren der Schaltung im Betrieb im Sättigungszustand zu halten und folglich die Schaltung aus effektiven Stromquellen aufzubauen. Wir haben in diesem Lehrbrief die einfachsten MOS-Analogschaltungen im Detail behandelt: Quellen, Verstärker und Differenzstufen. Nach der Erklärung der Funktionsweise wurden Designbeispiele besprochen und praktische Schaltungsentwürfe durchgerechnet und anschließend simuliert. Die Stromsenke oder –quelle ist die grundlegende Schaltung, die sich in allen analogen Designs mindestens einmal wieder findet. Die ideale Quelle oder Senke hat einen unendlich hohen Ausgangswiderstand und gibt eine feste Spannung oder Strom ab (oder nimmt diesen auf), unabhängig von der Ausgangspannung. In realiter ist der Ausgangswiderstand von solchen Schaltungen endlich und der Ausgangsspannungsbereich beschränkt. Das Ziel des Analogdesigns von Quellen und Senken ist es, Spannungsbereich und Ausgangsimpedanz in den Bereich zu bringen, den die Spezifikation verlangt. Dazu wurden verschiedene Schaltungsoptionen vorgestellt. Einstufige MOS-Verstärker finden sich als Komponente in Operationsverstärkern und vielen anderen Schaltungen. Sie bestehen aus einem Transistor und 97 Zusammenfassung und Schluss einem Widerstand, der als aktive Last ausgeführt, relativ hohe Verstärkungen ermöglicht und gleichzeitig ein kompaktes Layout erlaubt. Differenzstufen sind die Standeingangsschaltungen für Analogblöcke, werden aber auch in Halbleiterspeicherschaltungen als Leseverstärker verwendet. Diese Verstärker verstärken die Differenz von zwei Spannungen und geben das Differenzsignal massebezogen (single ended) aus. Verstärkung und die Slew Rate sind in MOS-Technik moderat (100, 20V/µs). Bei MOS-Differenzstufen tritt prinzipiell eine Eingangsoffsetspannung auf, die technologisch begründet ist und ein Maß für Transistorreproduzierbarkeit in der verwendeten Technologie darstellt. Die Gleichtaktunterdrückung ist gut, insbesondere wenn geeignete Stromquellen (Kaskodenschaltung) verwendet werden. Es lassen sich geringe Verlustleistungen realisieren und dies ist günstig für die Hochintegration. Als komplexere Schaltung haben wir den Operationsverstärker besprochen, der sich aus einer Stromquelle, einer Differenzeingangstufe und einem CommonSource-Verstärker mit aktiver PMOS-Last zusammensetzt. OpAmps müssen in Frequenzgang und Phasenlage kompensiert werden, damit die Schaltung im Fall der Rückkopplung stabil bleibt. Wir haben die Methode der kapazitiven Stabilisierung mit einem Miller-Kondensator zwischen erster und zweiter Stufe behandelt. Es wurde ein Beispieldesign für einen OpAmp mit typischen Spezifikationswerten durchgeführt und mit SPICE-Simulationen verglichen. Die in diesem Lehrbrief erarbeiten Designstrategien lassen sich auf jede CMOS-Technologie übertragen und anwenden. Nach der Durcharbeitung können Sie also die hier vorgestellten Designs selbst durchführen. Weiter Schaltungsbeispiele finden sich in der Literatur (siehe Literaturverzeichnis) oder in Fachzeitschriften, wie im Journal of Solid State Circuits (JSSC) der amerikanischen Ingenieursvereinigung IEEE. 98 Literaturverzeichnis Literaturverzeichnis [AllanHolberg02] P. E. Allan und D. R. Holberg: CMOS Analog Circuit Design, 2nd ed., Oxford University Press, Oxford, 2002 [Sansen06] W.M.C. Sansen, Analog Design Essentials, Springer, Dordrecht, 2006 [BeRaz03] Behzad Razavi, Design of Analog CMOS Integrated Circuits, McGraw-Hill Higher Education, 2003 [ET-SYS-A21] B. Hoppe und T. Schumann, Systemspezifikation und Hardwarebeschreibungssprachen, Schriften des Master of Science Studiums Elektrotechnik, Koblenz 2007 [ET-SIU-A31] B. Hoppe, Signalumwandlung, Schriften des Master of Science Studiums Elektrotechnik, Koblenz 2008 [ET-SIM-A32] B. Hoppe, Simulation, Schriften des Master of Science Studiums Elektrotechnik, Koblenz 2007 [LVDS08] International Engineering Consortium: LowVoltage Differential Signaling (LVDS), www.iec.org/online/tutorials/low_voltage 99 Stichwortverzeichnis Stichwortverzeichnis 3dB Frequenz 54 Einheits-Verstärkungs-Bandbreite 75 Abschwächungskoeffizient 18 Einsatzspannung 24 aktive Widerstände 35 Elektronenbeweglichkeit 23 Akzeptoren 14 Elementarladung 16 Applikationsfreigabe 9 Ersatzspannungsquelle 10 Arbeitspunkt 34 Feldoxid 31 Arbeitspunkte 55 Frequenzkompensation 77 Ausgangsanstiegsgeschwindigkeit 66 Fußpunkttransistor 71 Ausgangsleitwert 29 Gateoxid 21 Ausgangswiderstand 40, 46 Gauss-Formel 16 Austrittsarbeiten 17 Gleichstromverstärkung 61, 81 Binärzahl 2 Gleichtakteingangsspannungsbereich 87 Bipolartransistor 13 Gleichtaktunterdrückung 86 Bipolartransistoren 2 Gleichtaktunterdrückungsfaktor 61 Boltzmannkonstante 17 Gleichverstärkung 75 Breadboarding 7 ICMR 62 Bulk-Anschluss 21 Impedanz 52 clamping 78 Induktivitäten 30 CMOS-Analog-Prozess 30 Input Common Mode Voltage 61 CMRR 62 Input Differential Mode Voltage 61 Common-Source-Stufe 47 Kanallängenmodulationsfaktor 24, 42, 43 Constraint 5 Kaskodenschaltung 45 CS-Verstärker 76 Kleinsignal-Modelle 27 Designregeln 43 Knotenanalyse 10 dielektrische Konstante 16 Komparatoren 4 Differenzpaar 47 Kompensation 73 Differenzstufe 61, 76 Kondensatoren 30 Differenzverstärker 59 Kontaktpotenzial 17 Diffusion 15 Laplace-Transformierte 78 Diffusionskonstanten 20 Logik-Synthese 6 Diffusionslängen 20 LSB 3 Diffusionsströme 19 LVDS 59 Diode 14 Majoritäten 15 diode connected 36 Maschenanalyse 10 Dioden 13 Matching 7, 81 Donatoren 14 Miller Kompensation 80 Drain 21 Millerkapazität 80 Dualzahl 2 Millerkapazitäten 27 Eingangsgleichtaktbereich 66 MOS-Kapazität 31 Eingangsleitwert 28 MOS-Switch 37 101 Stichwortverzeichnis MSB 3 Stabilität 79 NMOS-Last 51 Standardzellendesign 6 NMOS-Transistorschalter 34 Step-Junction 14 Nullstelle 81 Stromsenke 42 Nullstellen 75 Stromspiegelschaltung 39, 76 Nutzsignal 59 strukturelle Beschreibung 8 N-Wannen-Technik 21 Subcircuit 92 OpAmp 39, 73 Substratsteuereffekt 45 Open Loop Gain 74 Substratsteuerfaktor 24 Operationsverstärker 73 SystemVision 95 Overdrive-Spannung 43 Temperaturspannung 17 Parasitäten 8 thermische Energie 20 Phasengang 81 Tiefpasses 75 Phasenreserve 78 Toleranzen 6 Phasenverschiebung 78 Transistorleitwert 23 PMOS-Widerstand 54 Transistorparasitäten 26 pn-Übergang 13 Überlappkapazitäten 27 Polfrequenzen 80 Übertragungskennlinie 48 Polstellen 75 Unity Gain Bandwidth, GB 75 Polygon 6 Verarmungszone 18 Raumladungen 13 Verlustleistung 91 Raumladungsdichte 16 Verstärkung 49, 50, 65 Raumladungszone 18 VHDL 5 Redesigns 7 virtuellen Masse 74 Referenzstrom 40, 43 Vorwärtsspannung 14, 19 Rekombinationsraten 20 Widerstände 32 Rekombinationsvorgänge 19 Worst Case Parameterwerte 44 Sättigungssperrstrom 14, 20 Schalter 33 Schaltplan 8 Schaltungsanalyse 10 Schwingkreis 78 Signal 2 Simulation 9 Slew Rate 66 SOC 1 Source 21 Spannungsteiler 38 Sperrschichtkapazität 18, 27 Sperrschichtkapazitäten 27 SPICE 1 SPICE-Modell 92 Sprungantwort 79 102 Stichwortverzeichnis 103