10.06.2010 KIT, Campus Süd Thematischer Workshop "Lithium-Ionen-Batterien: Synthese, Charakterisierung und Processing" am 10. Juni 2010 - Abstract Entwicklung von Dünnschichtkomponenten für LIB mittels HF-Magnetronzerstäubung und lasergestützten Prozessen am IMF I C. Ziebert, B. Ketterer, M. Hagen, A. Knorr, K. Seemann, C. Adelhelm, R. Kohler, J. Pröll, P. Smyrek, W. Pfleging, S. Ulrich Die Anforderungen an Hochleistungsmaterialien für Kathoden, Anoden und Elektrolyten in Lithium-Ionen-Batterien (LIB) hinsichtlich der notwendigen physikalischen, chemischen, und elektrischen Eigenschaften erfordern ein anspruchsvolles und komplexes Profil, dem insbesondere Dünnschichten gerecht werden können. Vor allem Anwendungen für mobile Systeme erfordern ein innovatives, industrietaugliches Dünnschichtbatteriekonzept, um eine Erhöhung von Energiedichte, Leistungsdichte, Sicherheit, Lebensdauer sowie kurze Laderaten zu realisieren. Die für eine kommerzialisierbare LIB großen Vorteile der Dünnschichttechnologie im Vergleich zu anderen Verfahren bestehen zum einen in der Abscheidung von Elektroden- und Elektrolytmaterialien auf dünnen und damit leichten Trägermaterialien und zum anderen in der Vergrößerung der aktiven Oberfläche um einen Faktor 10. Damit könnten große "stapelbare" Flächen realisiert werden, die zu hohen Leistungsdichten und damit kurzen Laderaten bei gleichzeitig hoher Strukturstabilität führen. Die große Schichtoberfläche kann durch eine angepasste Strukturierung und Modifizierung mittels lasergestützter Prozesstechniken um einen Faktor >10 weiter vergrößert werden, beispielsweise durch die Erzeugung kegelförmiger Strukturen im Mikro- und Submikrometerbereich mit einem hohen Aspektverhältnis. Der Prozess des LaserAnnealings kann gezielt zur Einstellung der Kristallinität, der Korngröße und der Textur der Dünnschichtsysteme sowie zur Vermeidung der Schichtdelamination bei der Temperung eingesetzt werden. Darüber hinaus tragen auch ein Nanokompositdesign durch Ummantelung des aktiven Materials sowie der Ersatz von Flüssigelektrolyten durch Feststoffelektrolyten zu einer höheren Degradationsbeständigkeit (Lebensdauer) und erhöhten Sicherheit bei. Daher wird am IMF-I gezielt die viel versprechende Kombination aus der Dünnschichtabscheidung durch Magnetronzerstäuben (Sputtern) und lasergestützten Prozessen der Strukturierung auf Mikro- und Nanometerskala, der Modifizierung und des Annealings eingesetzt, um Dünnschichtkomponenten für LIB mit präzise einstellbaren Eigenschaftsprofilen und Strukturen zu entwickeln. Die abgeschiedenen Elektroden- und Feststoffelektrolytschichten werden umfassend von der Makro- bis zur Nanoskala charakterisiert. Dazu gehören die Bestimmung der chemischen Zusammensetzung (ICPOES, Trägergasheißextraktion, Mikrosonde), die Identifizierung und Charakterisierung der kristallinen und amorphen Phasenanteile und der Mikrostruktur (XRD, XRR, REM, TEM, Raman-Spektroskopie), die Untersuchung der Oberflächentopographie (AFM), die Untersuchung der Leitfähigkeiten (Impedanzspektroskopie) sowie die Untersuchung der Zellparameter (Zyklentest). Es werden Beispiele für alle drei Batteriekomponenten (Kathode, Anode, Feststoffelektrolyt) gezeigt und anhand dieser das Potenzial der Kombination der eingesetzten Methoden hinsichtlich Einstellung der Kristallstruktur und der Textur, der Kristallitgrößen, der Morphologie, der Oberflächentopographie und der Zyklenstabilität aufgezeigt.