OPTISCHE M ESSTECHNIK / OPTICAL M EASURING Quantenpunkte weisen Einzelphotonen nach Quantum Dots Detect Single Photons Abstract A. J. Shields, M. Pepper, Toshiba Research Europe Limited (TREL) 00 Zusammenfassung Die Detektion von Einzelphotonen wird in weiten Bereichen von Wissenschaft und Technik angewandt. Konventionell werden Einzelphotonen mit Vakuum-Photomultipliern (photomultiplier tubes, PMTs) oder Halbleiter-Avalanche-Photodioden (APDs) nachgewiesen, indem das Signals eines einzelnen photo-angeregten Elektrons mit Lawinenprozessen vervielfacht wird. Im folgenden Bericht beschreiben wir eine neuartige Nachweismethode für Einzelphotonen mittels eines Feldeffekt-Transistors (FET) mit Quantenpunkten und erörtern die potentielle Bedeutung eines solchen Detektors. Einzelphotonen Die Vorstellung, dass Licht aus unteilbaren Quanten besteht, wurde erstmals vor fast genau 100 Jahren von Planck formuliert. Er erkannte, dass sich die Form der Emissionsspektren glühend heißer Objekte exakt beschreiben lässt, wenn man annimmt, dass das Licht in Vielfachen eines gewissen Quantums emittiert wird. Zu jener Zeit gab es jedoch keine plausible theoretische Erklärung für diese mathematische Feststellung, und selbst Planck war skeptisch gegenüber seiner Annahme. 1905 gab Einstein der Lichtquantisierung weiteren Rückhalt indem er zeigte, dass damit auch der photoelektrische Effekt erklärt werden kann. Seitdem hat sich die Quantentheorie bei der Erklärung vieler Phänomene als erfolgreich erwiesen und wird jetzt fest als eine Grundlage der modernen Physik akzeptiert. Ein solches Quantum, ein Photon, entspricht einem außerordentlich ’schwachen’ optischen Signal. Dies kann anhand der Tatsache abgeschätzt werden, dass eine gewöhnliche 100 W-Glühlampe pro Sekunde etwa 10.000.000.000.000.000.000 Photonen emittiert (1019 oder 10 Milliarden Milliarden). Für sehr schwache optische Signale ist das Zählen von Einzelphotonen eine hervorragend geeignete Messmethode, da jeg2 Photonik liches Verstärkerrauschen eliminiert wird, so dass nur noch die statistischen Schwankungen der Quellenintensität bleiben. Anwendungen Die Technik des Einzelphotonen-Nachweises wird bereits in vielen verschiedenen Anwendungsbereichen eingesetzt, zum Beispiel in unterschiedlichen bildgebenden Röntgen- und Radioisotopen-Verfahren in der medizinischen Bilderfassung, und seit kurzem auch bei der Laser-optischen Bilderfassung im Infraroten. Lebensdauer-Fluoreszenzmessungen können auch bei der Diagnose bestimmter medizinischer Zustände verwendet werden, indem sie von der Einzelphotonenzählung (single photon counting, SPC) Gebrauch machen. In der analytischen Chemie dient sie zur Bestimmung der chemischen Rezeptur von Proben. Weitere Anwendungen sind die Laser-Ortung, die Bildaufbereitung, industrielle Scan-Vorgänge und Prozesskontroll-Verfahren. Einzelphotonennachweise werden auch häufig in der wissenschaftlichen Forschung im Bereich der Partikelphysik, Astrophysik und Materialwissenschaft eingesetzt. Eine andere inzwischen aufkommende Anwendung für die Einzelphotonen-Technologie ist das faszinierende neue Feld der Quanten-Informationstechnologie. Es besteht derzeit viel Interesse daran, mittels Quantenkryptographie Geschäftsvorgänge in offenen optischen Netzwerken zu sichern. Beispielsweise erlaubt es die Quanten-Schlüsselübertragung zwei Kommunikationspartnern, einen gemeinsamen kryptographischen Schlüssel zu vereinbaren mit der Garantie, dass er nicht von einem Hacker abgefangen wird. Die Methode basiert auf der Kodierung der gesendeten Bits mit einzelnen Photonen. Somit beruht die Sicherheit des Schlüssels auf fundamentalen Gesetzen der Quantenmechanik: Da Einzelphotonen nicht geteilt werden können, kann ein Lauscher keine unbemerkte Messung des Quantenbitsignals machen. Er müsste es abfangen und neu aussenden. Single photon detection is employed in a wide range of applications in science and technology. Conventionally single photons have been detected, in either the vacuum photomultiplier tube (PMT) or the semiconductor avalanche photodiode (APD), by multiplying the signal due to a single photo-excited electron with an avalanche process. We describe here a novel method for detecting single photons using a field effect transistor (FET) containing quantum dots and discuss the potential merits of the device. Single Photons The idea of light being comprised of indivisible quanta was first introduced by Planck almost exactly 100 years ago. Planck found he could accurately describe the form of the emission spectra of a glowing hot object, if he assumed the light was emitted in multiples of a certain quantum. However, at the time, there was no apparent explanation for this mathematical fix, and even Planck himself was sceptical of the idea. In 1905 Einstein gave further credibility to the quantisation of light, by showing it could also explain the photoelectric effect. Since then, quantum theory has proven successful in explaining a wide range of phenomena and is now firmly accepted as a foundation of modern Physics. One such quantum, a photon, corresponds to an extraordinarily ‘dim’ optical signal. This can be gauged from the fact that an ordinary 100 W light bulb will emit approximately 10,000,000,000,000,000,000 (1019 or 10 billion billion) photons every second. Counting individual photons provides the optimal method of measuring very weak optical signals, as it allows amplifier noise to be eliminated, leaving just the random statistical variations in the source intensity. Applications The technique of single photon detection is already widely used today in a diverse range of applications, for instance, in various forms of x-ray and radioisotope imaging in medical imaging and, more recently, in laser optical imaging at infra-red wavelengths. Lifetime fluorescence measurements using single photon counting (SPC) can also be used in the diagnosis of some medical conditions. It is employed in analytical chemistry for determining the chemical recipe of samples. Another application is in laser ranging, tracking and imaging and for industrial scanning and process control. Single photon detection is also widely used in scientific research in the fields of particle physics, astrophysics and materials science. Another emerging application for single photon technology is in the exciting new field of quantum information technology. There is currently much interest in using quantum cryptography to secure transactions over open optical networks. For example, quantum key distribution allows two users to form a shared cryptographic key with a guarantee that it has not been intercepted by a hacker. The technique is based upon encoding the transmitted bits upon single photons. The key’s security is then founded upon fundamental laws of quantum mechanics: Since single photons don’t split, an eavesdropper can not make any unseen measurement of the quantum bit signal. It would have to be intercepted and then retransmitted, allowing the legitimate receipient to detect that the photons’ state has been altered, since the „no-cloning“ theorem in quantum mechanics prevents the hacker measuring and copying all the information in a quantum bit. Several research groups have demonstrated the viability of key distribution over several tens of kilometres of optical fibre. However, since fibre length and bit rate of state-of-the-art systems are limited by the high dark count noise in the APD, there is currently much interest in developing less noisy single photon detectors. Detecting single photons Optical detectors convert light into an electrical signal. For example, photoemissive materials can emit an electron in response to a single photon. However, the electrical signal due to a single photon-induced electron would be too small to measure directly. Therefore in conventional types of single photon detectors, such as PMT or APD, the photo-excited electron is multiplied using an avalanche process to produce a detectable current. PMTs, which are based on vacuum tube technology, are good detectors for the very low light levels present in many applications and they can achieve high temporal resolutions of 10 – 100 ps using microchannel plate (MCP) type designs. However, they are also relatively bulky and fragile, they are easily damaged by excess Der legitime Empfänger könnte dann feststellen, dass der Zustand der Photonen geändert wurde, da das „No-Cloning“ Theorem in der Quantenmechanik das Messen und Kopieren des gesamten Informationsgehalts eines Quantenbits verbietet. Verschiedene Forschungsgruppen haben die Machbarkeit einer solchen Schlüsselübertragung über Lichtwel- Abbildung 1: In einem Atomkraftmikroskop (AFM) aufgenommelenleiter von mehre- nes Bild der Inseln, die nach dem Aufbringen einer dünnen Schicht ren zehn Kilometern von InAs auf GaAs durch Molekülstrahl-Epitaxie entstehen. Diese Länge demonstriert. Nanometer-großen Inseln bilden die Quantenpunkte. Da jedoch Faserlänge und Übertra- Figure 1: Image recorded in an Atomic Force Microscope (AFM) of gungsrate der the islands formed after depositing a thin layer of InAs upon GaAs gegenwärtig besten by molecular beam epitaxy. These nanometer sized islands form the Systeme von der ho- quantum dots. hen APD-Dunkelzählrate begegrenzt werden, besteht dernoch mehr als PMTs zum Rauschen neigen. zeit viel Interesse an der Entwicklung Außerdem benötigen sie nach wie vor horauscharmer Einzelphotonen-Detektoren. he Spannungen und sind sehr empfindlich gegenüber Temperatur und Überspannungen. Besonders problematisch für APDs, die Nachweis einzelner Photonen im SPC-Modus betrieben werden, ist das Phänomen des Nachpulsens. Es ist ein Optische Detektoren wandeln Licht in elekNebenprodukt des Lawinenprozesses und trische Signale um. So können beispielsverursacht nach der Detektion eines weise photoemissive Materialien als AntPhotons manchmal (in bis zu ~20 % der Fälwort auf ein einzelnes Photon ein Elektron le) einen Pseudo-Puls. Das Nachpulsen ist emittieren. Das elektrische Signal, das durch besonders dominant bei hohen Wiederholein einzelnes photo-induziertes Elektron raten, was unglücklicherweise für manche verursacht wird, ist jedoch zu klein um es diAnwendungen gerade die erwünschte Siturekt zu messen. Deshalb wird das Photoation ist. elektron bei konventionellen EinzelphotoVor kurzem haben wir bei TREL einen neunen-Detektoren wie PMT oder APD mit Hilartigen Einzelphotonen-Detektor entwife eines Lawinenprozesses multipliziert, um ckelt, der nach einem ganz anderen Prinzip einen detektierbaren Strom zu erzeugen. arbeitet, als konventionelle Detektoren, und PMTs, die auf Vakuumröhren-Technologie deshalb einige ihrer Probleme überwinden basieren, sind in vielen Anwendungen gute kann. Da das Prinzp des neuen Detektors Detektoren für sehr geringe Lichtleistunnicht auf einem Lawinenprozess beruht, ist gen, und sie können mit Hilfe des Mikrokaer nicht vom Nachpuls-Problem betroffen, nal-Designs (microchannel plate, MCP) howährend er dennoch schnell, empfindlich, he zeitliche Auflösungen von 10 – 100 ps errobust und billig herstellbar ist. Im Herzstück reichen. Sie sind aber auch relativ sperrig des neuen Detektors befinden sich winzige und zerbrechlich, sie werden leicht durch Halbleiterregionen, die Quantenpunkte geübermäßige Lichtintensität oder durch Übernannt werden. spannungen beschädigt, sie haben einen beschränkten dynamischen Bereich, eine relativ niedrige Quanteneffizienz und benötiQuantenpunkte gen eine hohe Versorgungsspannung. Für manche Anwendungen ist daher das Ein Quantenpunkt ist eine Halbleiterbereich Photonenzählen mit APDs zweckmäßiger. mit Nanometer-Dimension, eingebettet in Sie sind quasi das Halbleiter-Analogon der ein anderes Material mit größerer BandlüPMTs, insofern als sie ebenfalls Lawinencke. Elektronen in einem großflächigen prozesse verwenden, um das Signal einzelHalbleiterbereich können eine breite Enerner photo-angeregter Ladungsträger zu gieverteilung einnehmen, je nachdem wie vervielfachen. APDs sind kompakte, robusschnell sie sich bewegen. Innerhalb eines te, monolithische Detektoren, obwohl sie Quantenpunktes wird die Bewegung von Photonik 3 OPTISCHE M ESSTECHNIK / OPTICAL M EASURING Abbildung 2: (a) Transmissionselektronenmikroskopische Aufsicht von InAs-Quantenpunkten innerhalb einer GaAs-Probe. Die Punkte sind wegen der von ihnen erzeugten Gitterspannung sichtbar. (b) Quantenpunkt-Querschnit in einer sehr dünnen Materialscheibe. Figure 2: (a) Plan view image of InAs quantum dots within a GaAs sample recording by Transmission Electron Microscopy (TEM). The dots are visible because of the strain they produce in the lattice. (b) Cross-sectional view of the quantum dot in a very thin slice of the material. Elektronen jedoch durch begrenzende Barrieren behindert. Folglich zeigen Elektronen dort viele seltsame Eigenschaften, die sie in großen Halbleiterbereichen nicht besitzen. Zum Beispiel haben die Elektronen keine kinetische Energie, wenn sie in einem Quantenpunkt eingesperrt sind, und besetzen deshalb wie in Atomen spektral scharfe Energieniveaus. Weil Quantenpunkte eine niedrigere Leitungsband-Energie als das umliegende Material besitzen, neigen sie dazu, Elektronen einzufangen. Jeder Quantenpunkt hat eine begrenzte Kapazität für Elektronen, die von seiner Größe abhängt und von der Tatsache, dass sich die Elektronen wegen ihrer negativen Ladung gegenseitig abstoßen. Eingefangen innerhalb der festen Begrenzung des Punkts, erfahren die Elektronen eine verstärkte Wechselwirkung nicht nur innerhalb des Punkts, sondern auch mit der unmittelbaren Umgebung. Im QuantenpunktEinzelphotonen-Detektor führt dies dazu, dass die negative Ladung innerhalb der Punkte das Fließen eines Stromes in einer nahegelegenen Sensorschicht hemmt, und zwar mittels der abstoßenden Wechselwirkung zwischen den Elektronen in der leitenden Schicht und jenen im Quantenpunkt. Folglich erzeugt die photonen-induzierte Freigabe eines Elektrons aus einem Quantenpunkt eine nachweisbare Änderung des Stroms in der benachbarten sensitiven Schicht. Herstellung von Quantenpunkten Viele der neuartigen Eigenschaften von Quantenpunkten sind attraktiv für Detektor-Anwendungen. Während diese Vorteile schon seit einiger Zeit geschätzt wurden, war es weniger bekannt, wie praktikabel Quantenpunkte hergestellt werden können. Anfangs beruhten die Techniken auf dem Strukturieren und Ätzen zweidimen4 Photonik sionaler Quantenmulden (quantum wells) mit Hilfe der Photo- oder ElektronenstrahlLithographie. Der Ätzprozess tendiert jedoch dazu, Schadstellen zu verursachen. Außerdem erwies es sich selbst mit modernsten lithographischen Strukturierungsverfahren als schwierig, Quantenpunkte herzustellen, die hinreichend klein für quantenmechanisches Verhalten bei Raumtemperatur sind. Wenn die Energieniveaus des Quantenpunkts durch weniger als die thermische Energie der Gitterphononen 25 meV bei Raumtemperatur) getrennt sind, können Ladungsträger zwischen mehreren Energieniveaus in den Quantenpunkten springen, und die neuartigen nulldimensionalen Eigenschaften sind verloren. Während der 1990er Jahre entwickelten mehrere Forschungsgruppen einen alternativen Ansatz zur Herstellung von Quantenpunkten, basierend auf einem natürlichen Wachstumsvorgang für Halbleiter auf Substraten mit abweichender Gitterkonstante. Das am intensivsten untersuchte System ist InAs auf GaAs, wenngleich ähnliche Methoden für ein breites Spektrum anderer verspannter Halbleitersysteme demonstriert worden sind. InAs wächst zunächst auf GaAs als sehr dünne, hochgradig verspannte Schicht auf, die sogenannte Benetzungsschicht. Jenseits einer kritischen Dicke von einigen Monolagen beginnen jedoch winzige Inseln, sich auf der Benetzungsschicht selbst zu formieren um die Oberflächenspannung zu reduzieren. Abbildung 1 zeigt ein mittels Atomkraftmikroskopie aufgenommenes Bild einer GaAs-Schicht, nachdem eine dünne Schicht von InAs deponiert worden ist und zufällig verteilte Inseln auf der Wachstumsoberfläche erzeugt hat. Durch Aufwachsen einer weiteren GaAs-Schicht über diesen Inseln werden die Quantenpunkte in das GaAs-Gitter eingebettet, wie in der TEM-Aufnahme in Abbildung 2 zu erkennen ist. In dem InAs/GaAs- light or voltage, they have a limited dynamic range, a relatively low quantum efficiency and require a high voltage supply. Some applications are therefore better suited to the photon counting APD, which is the semiconductor analogue of the PMT, in as much that it also uses an avalanche process to multiply the signal due to a single photo-excited carrier. APDs provide a compact, robust, monolithic detector, although they tend to be more prone to noise than PMTs, while still requiring high voltages and being very sensitive to temperature and excess bias. Particularly problematic for APDs used in SPC mode is the phenomenon of after-pulsing which is a by-product of the avalanche process and sometimes (at worst in ~20 % of the cases) causes another spurious pulse to be produced after a photon has been detected. After-pulsing is especially prevalent at high repetition rates, which unfortunately is the desired situation for some applications. Recently we, at Toshiba Research Europe Limited, have developed a new type of single photon detector, which works on an entirely different principle to conventional detectors and may therefore overcome some of their problems. Since the new device does not reply upon an avalanche process, it is not affected by the after-pulsing problem, while also being fast, sensitive, robust and cheap to manufacture. At the heart of the new device are tiny regions of semiconductor called quantum dots. Quantum Dots A quantum dot is a nanometer sized semiconductor region within another material of larger bandgap. The electrons in a bulk semiconductor can have a wide spread of energies depending on how fast they are moving. In a quantum dot, however, the motion of the electrons is prevented by the confining barriers. As a result, electrons in quantum dots show many peculiar properties not seen in bulk semiconductors. For instance, since the electrons in a quantum dot are confined, they have no kinetic energy and therefore occupy spectrally-sharp energy levels, like those found in atoms. Quantum dots tend to trap electrons due to the fact that they have a lower conduction band energy than their surrounding material. Each quantum dot has a finite capacity for electrons, which depends on the size of the dot and secondly, the fact that the electrons have a mutual repulsion due to their negative charge. Trapped within the tight confines of the dot, the electrons experience an enhanced interaction, not only within the dot, but also with the immediate surrounds. In the quantum dot single photon detector, the negative charge trapped within the dots limits the current flowing in a nearby thin sensing layer via the repulsion of the electrons in the conducting layer from those in the dot. Thus a photon-induced release of one electron from a dot produces a detectable change in the current through the adjacent sensing layer. Fabrication of Quantum Dots Many of the novel properties displayed by quantum dots are attractive for device applications. While these advantages have been appreciated for some time, it has been less obvious how useful quantum dots could be fabricated. Initial techniques relied upon the patterning and etching of two dimensional quantum wells using photo- or electron beam lithography. However, the etching process tends to introduce damage, and, furthermore, even with state-of-the-art lithographic patterning, it is difficult to produce quantum dots which are sufficiently small for quantum-like behaviour at room temperature. If the energy levels of the quantum dot are separated by less than the thermal energy of the lattice phonons (25 meV at room temperature), carriers are able to jump between several of the dot energy levels and the novel zero dimensional properties are lost. During the 1990’s several research groups developed an alternative approach to forming dots based upon a natural growth mode for semiconductors on a substrate with different lattice constant. The most intensively studied system is InAs on GaAs, although similar techniques have been demonstrated for a wide range of other strained semiconductor systems. InAs grows initially on GaAs as a very thin, highly-strained sheet, called the wetting layer. However, beyond a critical thickness of a few monolayers, tiny islands begin to form on top of the wetting layer in order to minimise the strain. Figure 1 shows an image taken in an atomic force microscope of a GaAs layer after a thin layer of InAs has been deposited, producing randomly distributed islands on the growth surface. By growing another layer of GaAs on top of these islands, quantum dots are encapsulated in the GaAs lattice, as shown in the transmission electron micrographs in Figure 2. For the InAs/GaAs system the quantum dots typically have a height of 8 nm and a lateral dimension of 30 nm: small enough to produce zero dimensional behaviour at room temperature. An important attribute of this fabrication method is that Abbildung 3: Schema des Quantenpunkt-Einzelphotonen-Detektors. Er besteht aus einem GaAs/AlGaAs Feldeffekt-Transistor (FET) mit einer eingefügten Schicht von InAs-Quantenpunkten nahe dem leitenden Kanal. Die Punkte füllen sich mit Elektronen, deren negative Ladung den Stromfluss im Kanal begrenzt. Figure 3: Schematic of the quantum dot single photon detector. It consists of a GaAs/AlGaAs field effect transistor (FET), where a layer of InAs quantum dots have been inserted close to the conducting channel. The dots fill with electrons and their negative charge limits the current flowing along the channel. System haben die Quantenpunkte typischerweise eine Höhe von 8 nm und eine seitliche Ausdehnung von 30 nm: klein genug um nulldimensionales Verhalten bei Raumtemperatur hervorzurufen. Ein wichtiges Attribut dieser Herstellungsmethode ist, dass sie eine hohe Punktedichte erzeugen kann, was für die meisten Anwendungen bedeutsam ist. Da sie keine Weiterverarbeitung erfordert, ist es auch eine relativ kostengünstige und praktische Methode. Größe und Dichte der Punkte können durch Ändern der Wachstumsparameter maßgeschneidert werden. Quantenpunkt-Transistor Mit Hilfe von selbstorganisiertem Wachstum hergestellte Quantenpunkte haben den Vorteil, dass sie ohne komplizierte Verarbeitungsschritte leicht in Strukturen integriert werden können. Bei TREL haben wir eine Quantenpunkt-Schicht in einen FET integriert um einen Einzelphotonen-Detektor zu erzeugen. Dieser Aufbau basiert auf einer Transistorstruktur mit einer Quantenpunkt-Schicht nahe benachbart zur Leitungskanal-Schicht. Wenn der Abstand zwischen den Quantenpunkten und dem Kanal nur wenige Nanometer beträgt, wird der Widerstand des Transistorkanals empfindlich für eine Besetzungs-Änderung eines einzelnen Quantenpunkts um ein einziges Elektron. Diese Eigenschaft erlaubt es der Struktur, als Einzelphotonen-Detektor zu fungieren, da die Absorption eines Photons im Halbleiter ein Elektronen-Loch-Paar erzeugt. Das Einfangen des positiv geladenen Lochs durch einen der negativ geladenen Punkte bewirkt eine nachweisbare Änderung des Kanalwiderstandes. Abbildung 3 zeigt ein Schema der Detektorstruktur. Er besteht aus einem mit GaAs/Al0.33Ga0.67As modulationsdotierten FET, der eine Schicht von InAs-Quantenpunkten enthält, die vom leitenden GaAsKanal durch eine dünne Al0.33Ga0.67As-Barriere getrennt ist. Da es in den Quantenpunkten Niveaus gibt, die bei niedrigeren Energien als die Leitungsbandkante des GaAs-Kanals liegen, fängt jeder Punkt mehrere Überschusselektronen ein. Diese negative Ladung induziert ein abstoßendes Potential, welches Elektronen aus dem direkt benachbarten Bereich des Kanals verdrängt, so dass dieser eine relativ niedrige Elektronenbeweglichkeit besitzt. Bei einer Elektronendichte, für die der Kanal eine niedrige aber finite Leitfähigkeit hat, ist der Kanalstrom äußerst empfindlich für die in den Punkten eingefangene Ladung. Von einfallendem Licht photo-induzierte Ladungsträger werden von den Punkten eingefangen und ändern dadurch die Leitfähigkeit des Kanals. Wenn also die aktive Fläche des Detektors eine hinreichend kleine Anzahl von Quantenpunkten enthält, dann ist es möglich, eine Änderung in der Kanal-Leitfähigkeit nachzuweisen, die durch das Einfangen eines einzelnen photo-angeregten Ladungsträgers in einem einzigen Quantenpunkt hervorgerufen wird. Abbildung 4 veranschaulicht den Nachweis von Einzelphotonen durch den Detektor. Die Kurve zeigt die Änderung der KanalLeitfähigkeit als Funktion der Zeit unter sehr Photonik 5 OPTISCHE M ESSTECHNIK / OPTICAL M EASURING dass eine Quanteneffizienz vergleichbar mit oder größer als bei APDs möglich wird. Zusammenfassung Abbildung 4: Leitfähigkeit des Einzelphotonen-Detektors, gemessen bei sehr schwacher Beleuchtung. Jede schrittweise Leitfähigkeitszunahme ist durch Absorption eines einzelnen Photons verursacht. Durch Differenzieren können diese photo-induzierten Ereignisse eindeutig vom Hintergrund unterschieden werden. Figure 4: Conductance of the single photon detector measured under very weak illumination. Each step-like increase in the conductance is due to absorption of a single photon. When differentiated, these photon-induced events can be clearly distinguished from the background noise. schwacher Beleuchtung durch eine LED, bei einem Strom von 2 µA. Vor der Beleuchtung wird zuerst ein Spannungspuls angelegt, um die Punkte unter der Gate-Region mit Elektronen aufzuladen, was zu einer anfangs niedrigen Source-Drain-Leitfähigkeit führt. Es fällt auf, dass unter Beleuchtung die Leitfähigkeit in einer Serie von abrupten Schritten zunimmt, von denen jeder durch das Entladen eines Quantenpunkts im Bereich der Gate-Elektrode durch ein einzelnes Photon verursacht wurde. Diese Daten wurden aufgezeichnet mit einem durch flüssiges Helium auf 4 K gekühlten Detektor, obgleich ähnliches Benehmen bei der Temperatur von flüssigem Stickstoff von 77 K zu beobachten ist. Prinzipiell könnte der Detektor auch mit lediglich thermoelektrischer Kühlung bei Temperaturen oberhalb 200 K betrieben werden. Die Nachweiseffizienz dieser Struktur wurde mit etwa 1 % abgeschätzt, vergleichbar mit dem Wert für PMTs, aber weniger als bei den besten Einzelphotonen-APDs. Allerdings wird die Effizienz dieses frühen Detektor-Prototyps noch von der Tatsache begrenzt, dass 75 % des einfallenden Lichts durch das metallische Gate an der Oberfläche reflektiert werden. Weiterhin wird von dem durchgelassenen Anteil des Lichts nur ein kleiner Bruchteil (etwa 5 %) in der Kanal- und Quantenpunkt-Schicht absorbiert. Durch Verwenden einer transmittierenden Gate-Elektrode und Umgestaltung der Schichtstruktur, so dass mehr Licht in der aktive Region absorbiert wird, ist zu erwarten, 6 Photonik Obwohl noch mehrere Herausforderungen zu lösen bleiben, sind wir überzeugt, dass sich Quantenpunktstrukturen als attraktiv für den Nachweis von Einzelphotonen erweisen werden. Ein Detektor mit kurzem Transistor-Gate sollte im sub-Nanosekunden-Bereich ansprechen. Es sollte auch möglich sein, die Quanteneffizienz durch Einsatz transparenter Kontakte und einer optimierten Schichtstruktur auf Werte deutlich über 10 % zu steigern. Der Quantenpunkt-Detektor bietet mehrere Vorteile gegenüber konventionellen Einzelphotonen-Detektortypen, die auf Lawinenprozessen basieren. Er wird robuster sein und eine höhere Quanteneffizienz besitzen als PMTs, zugleich aber auch rauschärmer sein als APDs. Tatsächlich deuten erste Messungen der Dunkelzählrate darauf hin, dass das Rauschen um Größenordnungen geringer ist, als normalerweise bei APDs. Da der Quantenpunktdetektor mittels Standard-Photolithographie produziert werden kann, sollte er sich auch als relativ preiswert herstellbar erweisen, so dass er vielleicht neue Anwendungen für den Einzelphotonennachweis erschließen kann. Danksagung Die Autoren möchten David Ritchie, Ian Farrer, Martin O’Sullivan, Beata Kardynal, Neil Beattie und Neil Curson für ihre Hilfe danken, sowie Jun Yuan für die TEM Abbildungen. Übersetzung: J. Kuppe Ansprechpartner / author contact: Dr. Andrew J. Shields / Prof. Michael Pepper Toshiba Research Europe Limited Cambridge Research Laboratory 260 Cambridge Science Park, Milton Road Cambridge CB4 0WE, United Kingdom Tel. +44 / (0)1223 / 436-900 Fax +44 / (0)1223 / 436-909 eMail: [email protected] Literatur / further reading: A. J. Shields et al., “Detection of single photons using a field effect transistor gated by a layer of self-organised quantum dots”, Appl. Phys. Lett. 76, 3673 (2000) D. Bimberg, M. Grundmann and N. N. Ledentsov, “Quantum dot heterostructures”, John Wiley and Sons Chichester, 1998 Hoi-Kwong Lo, Sandu Popescu, Tim Spiller, “Introduction to Quantum Computation and Information”, World Scientific Publishing it can produce a high density of dots, which is important for most applications. Since it does not involve processing, it is also relatively cheap and convenient. The size and density of the dots can be tailored by altering the growth parameters. Quantum Dot Transistor Quantum dots prepared using self-organised growth modes have the advantage that they can be easily incorporated into device structures without complicated processing. At TREL we have integrated a layer of quantum dots inside an FET in order to make a device for detecting single photons. The structure is based upon a transistor in which the conducting channel is closely spaced from a layer of quantum dots. If the separation of the quantum dots and the channel is just several nanometers, the resistance of the transistor channel is sensitive to a change in the occupancy of a single quantum dot by just a single electron. This attribute allows the device to act as a detector of single photons, since absorption of a photon creates an electron-hole pair in the semiconductor. The capture of the positively charged hole by one of the negatively charged dots produces a detectable change in the channel resistance. In Figure 3, a schematic of the device structure is shown. The device consists of a GaAs/Al0.33Ga0.67As modulation doped FET, containing a layer of InAs quantum dots separated from the conducting GaAs channel by a thin Al0.33Ga0.67As barrier. Since there are levels in the quantum dots lying at lower energies than the conduction band edge of the GaAs channel, each dot traps several excess electrons. This negative charge induces a repulsive potential, depleting the channel of electrons in regions adjacent to each quantum dot, which consequently has relatively low electron mobility. At the electron densities for which the channel has a low but finite conductivity, the channel current is extremely sensitive to the charge trapped in the dots. Carriers photo-excited by incident light are captured by the dots, thereby altering the conductivity of the channel. Thus if the active area of the device contains a sufficiently small number of quantum dots, it is possible to detect a change in the channel conductance due to capture of a single photo-excited carrier by a dot. Figure 4 demonstrates detection of single photons by the device. The curve plots the change in channel conductance with time under very weak illumination by a LED at a current of 2 mA. Prior to illumination, a voltage pulse is applied so as to charge the dots under the gate region with electrons, resulting in a low sourcedrain conductance initially. Notice that under illumination the conductance rises in a series of sharp steps, each of which is due to the discharging of a quantum dot under the gate area by a single photon. This data was recorded with the device cooled by liquid Helium at 4 K, although similar behaviour is observed at liquid nitrogen temperature of 77 K. In principle the device could operate at temperatures above 200 K, for which thermoelectric coolers can be used. The detection efficiency of this structure was estimated to be about 1 %, comparable to the value for PMTs, but less than that of the best photon counting APDs. However, in this early prototype of the device, the efficiency is limited by the fact that 75 % of the incident light is reflected by the metal gate on the surface. Furthermore, of the light that does penetrate the gate, only a small fraction (about 5 %) is absorbed in the channel and quantum dot layers. By using a transmitting gate contact and redesigning the layer structure to allow more of the light to be absorbed in the active region, we anticipate the quantum efficiency can be comparable to, or greater than, that of APDs. Summary Although several challenges remain, we believe quantum dot structures will prove attractive for detecting single photons. The device, which is based on a short-gate transistor, should show a sub-nanosecond instrument response. It should also be possible to enhance the quantum efficiency to values well in excess of 10 % by using transparent contacts and an optimised layer structure. The quantum dot detector will offer several advantages over conventional types of single photon detectors based on avalanche processes. It will be more robust and have higher quantum efficiency than PMTs, while also being less noisy than APDs. Indeed preliminary measurements of the dark count noise, suggest rates which are orders of magnitude lower than that typically displayed by APDs. Furthermore, since the quantum dot detector can be produced by standard photolithography, it should prove relatively cheap to manufacture, perhaps opening new applications for single photon detection. ANZEIGE(N) oder NProdukte Acknowledgements The authors wish to acknowledge the help of David Ritchie, Ian Farrer, Martin O’Sullivan, Beata Kardynal, Neil Beattie, Neil Curson and thank Jun Yuan for the TEM images. Photonik 7