Inhaltsverzeichnis 1. Wellen- und Quantennatur des Lichtes 1.1 Modellvorstellungen 1.2 Lichtpulse, Wellenpakete und Photonenpakete 1.3 Energietransport und Intensität 5 5 7 10 2. Energiezustände in Halbleitern 2.1 Wellenfunktionen und Quantenzahlen 2.2 Energiebandstrukturen 2.3 Direkte und indirekte Halbleiter 2.4 Die Bandstrukturen der Halbleiter Si, Ge, GaAs und InP 2.5 Effektive Massen und parabolische Bandverläufe 2.6 Thermische Geschwindigkeit und "Kristallimpuls" eines Elektrons 12 12 14 18 18 19 20 3. Elektronische Eigenschaften undotierter und dotierter Halbleiter 3.1 Energieband-Ortsdiagramm und Löcherkonzept 3.2 Spektrale Zustandsdichten in den Bändern 3.3 Besetzungswahrscheinlichkeiten und Quasiferminiveaus 3.4 Verknüpfung der Konzentration der freien Ladungsträger in einem Band mit der energetischen Lage der zugeordneten Quasiferminiveaus 3.5 Thermodynamisches Gleichgewicht und Ferminiveau 3.6 Dotierte Halbleiter 22 22 24 26 4. pn-Übergänge und Halbleiterdioden 4.1 pn-Übergang im thermodynamischen Gleichgewicht 4.2 pn-Übergänge in Vorwärtspolung: physikalische Beschreibung 4.3 pn-Übergänge in Vorwärtspolung: elektrische Eigenschaften 4.4 pn-Übergänge in Rückwärtspolung 4.5 Übergänge in Hetero-Strukturen 40 40 45 52 55 57 5. Störung des Gleichgewichtes: Elektronenübergänge 5.1 Bilanzgleichungen 5.2 Energieerhaltung und k-Erhaltung bei elektronischen Übergängen 5.3 Bezeichnung der Übergänge 5.4 Generation und Rekombination im Nichtgleichgewicht 5.4.1 Rekombination ausschließlich über Band-Band-Übergänge 5.4.2 Rekombination ausschließlich über Band-Term-Übergänge 5.4.3 Rekombination bei parallelgeschalteten Rekombinationskanälen 63 63 66 68 70 71 74 76 6. Mit Strahlung gekoppelte Generation und Rekombination: Absorption und Emission von Licht in Halbleitern 6.1 Beer'sches Gesetz und Dämpfungskoeffizient alpha 6.2 Fundamentalabsorption 78 78 79 28 31 34 6.3 Weitere mit Strahlungsabsorption verbundene Übergänge; Einfluß der Dotierung 6.4 Emission optischer Strahlung 6.4.1 Strahlende Band-Band-Übergänge 6.4.2 Strahlende Übergänge unter Störstellenbeteiligung 6.4.3 Strahlende Rekombination von an isoelektronische Störstellen gebundenen Exzitonen 6.5 Spontane und stimulierte Emission 7. Lichtemittierende Dioden: LED und IRED 7.1 Spontane Lichtemission aus pn-Übergängen: die LED 7.2 Materialauswahl 7.3 Bauformen 7.4 Die verschiedenen Wirkungsgrade 7.5 Optisches Spektrum und Abstrahlcharakteristik 7.6 Elektrooptische Kennlinie, Modulationsverhalten 7.7 Strom-Spannungs-Kennlinie 8. Grundlagen der Lichtverstärkung in Halbleitern 8.1 Stimulierte Emission 8.2 Die Inversionsbedingung (1.Laserbedingung) 8.3 Halbleiterlaser als Verstärker für optische Strahlung 8.4 Abhängigkeit des Gewinnkoeffizienten von der Trägerdichte; Transparenzdichte 8.5 Berücksichtigung der intrinsischen Verluste; Schwellenbedingungen für den Laser im Verstärkerbetrieb 8.6 Stromanregung und Schwellenstromdichte 8.7 Eine mögliche technische Realisierung der Stromanregung 9. Halbleiterlaser als Oszillator für optische Strahlung 9.1 9.2 9.3 9.4 9.5 83 85 86 88 88 91 92 92 94 103 105 108 110 114 IIS 115 117 124 125 128 129 133 136 Rückkoppelung und Selbsterregung 136 Schwellenbedingung für den Laser im Oszillatorbetrieb; 2.Laserbedingung 137 Die Einmoden-Bilanzgleichungen 144 Stationäre Lösungen der Einmoden-Bilanzgleichungen 147 Mehrmoden-Bilanzgleichungen 149 10. Technischer Aufbau von Diodenlasern 10.1 Homostruktur-Diodenlaser, Schichtenfolge p + n + 10.2 Heterostruktur-Diodenlaser 10.2.1 Einfach-Heterostruktur-Diodenlaser; Schichtenfolge Ppn + 10.2.2 Doppel-Heterostruktur-Diodenlaser; Schichtenfolge PpN 10.3 Lichtführung in der aktiven Zone und transversale Eingrenzung 10.4 Laterale Eingrenzung: Gewinnführung und Indexführung. Streifenlaser 10.5 Materialauswahl für Heterostruktur-Streifenlaser 151 151 152 153 154 155 163 165 11. Kenngrößen und Eigenschaften von Diodenlasern 11.1 Elektro-optische Kennlinie, differentieller Wirkungsgrad 11.2 Optisches Spektrum und Kohärenz 11.3 Abstrahlcharakteristik und Polarisation 11.4 Temperaturverhalten 11.5 Modulationsverhalten 11.6 Strom-Spannungs-Kennlinie 166 166 168 170 172 174 179 12. Weiterführende Laserkonzepte 12.1 DBR-Laser und DFB-Laser 12.2 MQW-Laser und GRINSCH-Laser 12.3 Oberflächenemittierende Laser (VCSEL) 180 180 182 188 13. Nachweis optischer Strahlung mit dem Sperrschicht-Photoeffekt: pn-Photodiode 13.1 pn-Übergänge mit zusätzlicher Paargeneration in der RLZ 13.2 Der Sperrschicht-Photoeffekt: Photostrom und Photospannung 13.3 pn-Photodioden 13.4 Der externe Wirkungsgrad (Quantenausbeute) 13.5 Gütekriterien für Photodioden 190 190 195 197 199 206 14. Solarzelle und pin-Photodiode 14.1 Solarzelle (Photoelement) 14.2 pin-Photodiode 14.3 Demodulationsbandbreite (3-dB-Grenzfrequenz) von pin-Dioden 14.4 pin-Photodioden mit HeteroÜbergängen 14.5 Bauformen 209 209 210 212 217 219 15. Lawinen-Photodiode (Avalanche-Photodiode, A P D ) 15.1 Stoßionisation und Lawineneffekt 15.2 Wirkungsweise von Lawinen-Photodioden; Ersatzschaltbild 15.3 Berechnung der Stromverstärkung M; elektrischer Durchbruch 15.4 Grundkonzept zur Auslegung von Lawinenphotodioden 15.5 Zeitverhalten 15.6 Verbesserter APD-Aufbau: pin-Struktur, reach-through-Struktur 15.7 Heterostruktur-APD's mit SAM-Aufbau 15.8 Einige weitere Eigenschaften realer APD's 15.9 Bauformen 221 221 226 227 230 233 240 243 246 248 16. Rauschen in Photodioden und optischen Empfängern 16.1 Elektrische Leistung des Rauschns; Rauschersatzschaltung 16.2 Elementare Rauschprozesse 16.3 Innere Rauschursachen in nichtverstärkenden Photodioden 16.4 Zusatzrauschen durch die Lawinenmultiplikation in APD's 249 249 253 256 257 16.5 Vollständige Rauschersatzschaltung eines optischen Empfängers 16.6 Signal/Rausch-Verhältnis in optischen Empfängern 260 261 16.7 Rauschäquivalente optische Leistung und Nachweisvermögen 267 Anhang 270 Literaturverzeichnis 274 Sachverzeichnis 275