Faserschalter
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piezosystem jena Anwendung von Miniaturgreifern in der Mikromontage Ing. S. Fabian piezosystem jena GmbH www.piezojena.com 10/2001 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die Mikrosystemtechnik S. Fabian piezosystem jena Faserschalter mit piezoelektrischen Biegewandlern Vorteile: • geringe Umschaltzeiten (1-3ms) • geringe Koppelverluste (0,7-2,5dB) • geringe Rückreflektion (> 55dB) Einsatzgebiete: • • • • optische Meßsysteme Spektroskopie Lasertechnik Telekommunikation 10/2001 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die Mikrosystemtechnik S. Fabian piezosystem jena Montagewerkzeuge für halbautomatische Fertigung von Faserschaltern Ziel: optimale Positionierung und Orientierung von optischen Bauteilen • Mikroprismen • Mikrospiegel • Mikrolinsen • Glasnuten zur Faserpositionierung 10/2001 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die Mikrosystemtechnik S. Fabian piezosystem jena Grundprinzip Faserschalter 1 auf n (SM) Aktuator passives Prisma Eingangsfaser Kollimationsoptik Ausgangsfaserarray aktives Prisma Fokussieroptik 10/2001 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die Mikrosystemtechnik S. Fabian piezosystem jena Prismenanordnung einer 4x4 Matrix (SM) Fasern Fokussierlinsen geschaltete Kanäle Fasern 10/2001 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die Mikrosystemtechnik S. Fabian piezosystem jena Justage der Mikroprismen Lagetoleranzen: Verkippung um x-Achse: Verdrehung um z-Achse: Versatz in x,y-Richtung: 0,3° 2,8° 150µm 10/2001 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die Mikrosystemtechnik S. Fabian piezosystem jena Schematischer Aufbau eines Sauggreifers für 1xn Schalter Keramikscheibe mit Aussparungen für Mikroprismen Keramikscheibe mit Bohrungen zur Ansaugung Aluminiumrahmen mit Deckel und Vakuumanschluss 10/2001 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die Mikrosystemtechnik S. Fabian piezosystem jena Montage der Prismen mit Matrix-Sauggreifer Aussparung mit Ansaugöffnung Nähnadel Mikroprismen 10/2001 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die Mikrosystemtechnik S. Fabian
