DIGITAL KONTROLLIERTE ANALOGE SCHALTUNGEN vorgelegt von Diplom-Ingenieur Rüdiger Arnold aus Berlin von der Fakultät IV - Elektrotechnik und Informatik der Technischen Univerität Berlin zur Erlangung des akademischen Grades Doktor-Ingenieur Dr. - Ing. genehmigte Disseration Berlin, Januar 2002 D83 Promotionsausschuss: Vorsitzender: Prof. Dr. D. Filbert 1. Berichter: Prof. Dr. O. Manck 2. Berichter: Prof. Dr. H. U. Post Tag der wissenschaftlichen Aussprache: 4. Juli 2002 . Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Kurzfassung 3 1. Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1. 1.2. 1.3. 1.4. 1.5. Motivation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 Stand der Technik . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 Erweiterung gegenüber dem Stand der Technik. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Implementierung anhand eines Chips . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 Kapitelübersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 2. Geschaltete Größen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14 2.1. 2.2. 2.3. 2.4. 2.5. Geschaltete Ströme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Geschaltete Spannungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Geschaltete Widerstände . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Geschaltete Kapazitäten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Geschaltete Operationsverstärker . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14 17 17 19 23 3. Digital-analoge Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 3.1. Simulationsmethoden. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.2. Komponenten der Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.2.1. Digital nach Analog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.2.2. Analog nach Digital . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.2.3. Einheitliche Mixed-Signal-Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.3. Schalter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.3.1. Idealer Schalter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.3.2. Nicht-idealer Schalter in verschiedenen CMOS-Technologien . . . . 3.4. Statische und dynamische Schalter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.4.1. Statische Schalter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.4.2. Dynamische Schalter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.4.3. Ladungsinjektion und Taktdurchgriff . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Ladungsinjektion beim Öffnen eines Schalters . . . . . . . . . . . . . . . Taktdurchgriff . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Ladungsinjektion und Taktdurchgriff beim Schließen von Schaltern 3.4.4. Konzepte für dynamische Schalter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.4.5. Zusammenfassung: Entwurfsregeln für dynamische Schalter . . . . 26 27 28 29 30 30 31 31 47 47 48 49 50 55 61 64 70 4. Störeinflüsse aus dem Digitalteil im Analogteil . . . . . . . . . . . . . . . 73 1 2 Inhaltsverzeichnis Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik 5. Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren. . . . . . . . 75 5.1. Matching zur Kodierung einer Sinus-Funktion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75 5.1.1. Matching - Allgemein . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76 5.1.2. Matching mit vielen Nachkommastellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76 5.2. Nichtlinearität stückweise linearer und stufenförmiger Sinus-Funktionen . . 81 5.3. Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion . . . . . . . . . . . 84 5.3.1. Stromausgangsstufe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84 5.3.2. Spannungsstromwandler . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92 gm-Stufe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93 Nichtlinearität der gm-Stufe - THD und IIP3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96 Signalpfad und Erzeugung der Grenzspannungen . . . . . . . . . . . . . 97 5.3.3. Dreiecksgenerator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99 5.3.4. Digital kontrollierter exponentieller Stromspiegel . . . . . . . . . . . . . 103 5.4. Schaltungsentwurf für die stufenförmige Sinus-Funktion. . . . . . . . . . . . . . 106 6. Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109 6.1. 6.2. 6.3. 6.4. Messaufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109 Messergebnisse für den stückweise linearen Sinus . . . . . . . . . . . . . . . . . 111 Messergebnisse für den stufenförmigen Sinus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117 Vergleich der Messergebnisse und Bewertung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123 7. Zusammenfassung und Ausblick . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128 8. Literaturverzeichnis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131 9. ASIC-Verzeichnis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 139 10. Lebenslauf . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142 11. Danksagung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143 12. Abkürzungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 144 13. Anmerkungen zur Dissertation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153 Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Kurzfassung Übliche Mixed-Signal-Schaltungen beinhalten zwar digitale und analoge Schaltungselemente, aber trotzdem bleiben die Schaltungen meist entweder in der digitalen oder der analogen Welt. Es überwiegt der digitale oder der analoge Schaltungsteil oder es findet eine Trennung durch D/A- und A/D-Umsetzer statt. Diese Arbeit führt Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen als Untergruppe von Mixed-Signal-Schaltungen ein. Bei Digital Kontrollierten Analogen Schaltungen kommt es zur Gleichstellung zwischen dem Analog-, und Digitalteil. Der Digitalteil übernimmt die Aufgabe, in Kernbereiche des Analogteils einzugreifen und dort komplexe Abläufe zu steuern. Beide Teile werden gemeinsam entworfen und sie funktionieren nur in enger Verbindung miteinander. Dazu ist es nötig, die Entwurfsmethoden der digitalen und analogen Schaltungen zu kennen. Es wird eine Systematik in die Komponenten und Größen eingeführt, die im Analogteil geschaltet werden, also von einem Digitalteil beeinflusst werden können. Es wird der Fehler durch Ladungsinjektion und Taktdurchgriff bei verschiedenen Schaltertypen dargestellt. Die Anforderungen an einen Digitalteil zur Steuerung eines Analogteils werden bestimmt. Die enge Verbindung zwischen Digital- und Analogteil bei Digital Kontrollierten Analogen Schaltungen erlaubt neue Schaltungstechniken. Mit dieser Schaltungsart lassen sich Schaltungen zur automatischen Beseitigung von prozessbedingten Einschränkungen im Analogteil oder Schaltungen mit komplexen zu kontrollierenden Abläufen im Analogteil realisieren. Der Entwurf von Low-Voltage-Schaltungen ist leichter möglich, weil Funktionen des Analogteils, der insbesondere für niedrige Versorgungsspannungen schwieriger zu entwickeln ist, in den Digitalteil verlagert werden können. Der Entwurf des Digitalteils ist für niedrige Spannungen weniger schwierig. Die Implementierung einer Digital Kontrollierten Analogen Schaltung wird erfolgreich anhand eines Chips in einer 0.8µm CMOS Technologie zur telemetrischen Messung des frequenzabhängigen Gewebewiderstandes von transplantierten Nieren vorgestellt. Es werden eine Schaltung zur Erzeugung einer stückweise linearen Sinus-Funktion mit nur vier Ausgangstransistoren und eine Schaltung zur Erzeugung einer stufenförmigen SinusFunktion mit sechzehn Ausgangstransistoren entworfen, vermessen und qualifiziert. Beide Schaltungen sind in Low-Voltage- (2V) und Low-PowerSchaltungen (62 µA bzw. 31 µA) einsetzbar, wie dies bei einer Telemetrie nötig ist. Ihre Nichtlinearität (1.6%) ist ausreichend für die Gewebewiderstandsmessung. 3 4 1 Einleitung 1.1 Motivation Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 1 Einleitung 1.1 Motivation Zu Beginn dieser Arbeit bestand das Problem, eine Schaltung in einer 0.8 µm CMOS-Technologie zu entwerfen, die zur Telemetrie (Fernmessung) des frequenzabhängigen elektrischen Gewebewiderstandes von transplantierten Nieren geeignet ist. Diese Schaltung ist dazu gedacht, zum ersten Mal eine mögliche Korrelation zwischen Gewebewiderstand und Abstoßungsreaktion durch Messung in vivo zu belegen und damit ein neues diagnostisches Mittel zu erhalten, mit dem Patienten fernüberwacht werden können. Insbesondere muss dazu eine Schaltungen entworfen werden, die einen sinusförmigen Strom zur Einprägung in das Gewebe erzeugt. Über die Phasenlage und die Amplitude der abfallenden Spannung am Gewebe kann der komplexe Widerstand ermittelt werden. Technisches Problem Aufgrund der Verwendung einer Batterie als Energiequelle bei der Telemetrie sind hohe Anforderungen an den Stromverbrauch (<2 µ A StandBy Strom, <200 µ A Stromverbrauch bei Messung) und an die Funktionalität bei niedriger Versorgungsspannung zu stellen. Ein großer Stromwirkungsgrad muss erzielt werden, d. h. der Ausgangsstrom zur Stimulation muss der Hauptverbraucher der Schaltung sein, und die dazu notwendigen internen Schaltungskomponenten dürfen nur wenig Strom verbrauchen. Aufgrund der langen Lebensdauer und der damit kontinuierlich sinkenden Betriebsspannung der Batterie muss die Schaltung bei einer Versorgungsspannung von 2 V bis 3 V funktionieren. Für die Telemetrie muss ein großer Messbereich erzielt werden. Es sollte ein großer Frequenzbereich von 100 Hz bis 1 MHz abgedeckt werden. Der Gewebewiderstand soll von 10 Ω bis 20 kΩ messbar sein. Offset-Kalibrierung im Messverstärker muss aufgrund der kleinen Signale vorgenommen werden können. Um möglichst wenige Daten für eine Messung übertragen zu müssen und damit Energie zu sparen, soll die Telemetrie-Schaltung nach einer Initialisierung die Messung alleine durchführen und das Messergebnis zurückliefern. Dazu muss sie vollständig und selbstständig die Steuerung der Messung übernehmen. Nach Analyse der technischen Probleme ergibt sich, dass der Analogteil möglichst einfach zu halten ist, weil dieser in seiner Funktion stärker von der Versorgungsspannung abhängt als der Digitalteil. Der Digitalteil arbeitet hingegen bei nicht zu hoher Taktfrequenz ohne Schwierigkeiten bis 2.0 V und kann daher komplexer sein. Für die Erzeugung der sinusförmigen Stimuli-Signale soll der Analogteil aus möglichst versorgungspannungsunabhängigen Komponenten aufgebaut sein und von einem Digitalteil angesteuert werden. Das erste Ziel ist es, die Sinus-Funktion mit nur vier analogen Ausgangstransistoren und einer digitalen Ansteuerung der Transistoren zu erzeugen. Der große Messbereich macht digitale Umschaltmöglichkeiten im Analogteil nötig. Des weiteren ist es nötig, den Gesamtablauf der Messung und die Aufnahme der Kommunikation über Sender und Empfänger der Telemetrieeinheit durch ein digitales Steuerwerk zu kontrollieren. Bei Analyse der Lösung der obigen Probleme und der Schaltungsrealisation dieser Anwendung [A-11] 1 und der Analyse verschiedener entworfener Schaltungen [A-7][A-8][A-15] stellt sich eine Gemeinsamkeit heraus: Es wurden jeweils (einfache) analoge Schaltungen realisiert, die sehr stark von digitalen Schaltungen kontrolliert werden. Der Digitalteil greift in Kernbereiche der Schaltungen ein. Diese Schaltungen wurden bisher noch nicht oder nur rudimentär so entworfen. Es handelt sich um eine neue Untergruppe von Mixed-Signal-Schaltungen: Digital Kontrol1 für Zitate wie [A-xx] siehe im ASIC-Verzeichnis auf Seite 139 Lösung Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 1 Einleitung 1.1 Motivation lierte Analoge Schaltungen. Die Untergruppe wird untersucht und Möglichkeiten zu ihrem Einsatz werden aufgezeigt. Dass diese Untergruppe bisher nicht oder nur im Ansatz so entworfen wurde, hat insbesondere folgende Ursachen: Zwei Welten Die Welt der Mikroelektronik ist gespalten in zwei Welten: in die digitale Welt und in die analoge Welt. Beide Welten erreichen unabhängig voneinander Erfolge in immer höherer Integration von Funktionen. In Unternehmen der Mikroelektronik werden die Digital-Designer und die Analog-Designer in getrennten Abteilungen organisiert. Institute für Mikroelektronik an Universitäten sind meist auf entweder analoge oder digitale Schaltungen spezialisiert. Semi-Custom-Digital-Schaltungen werden mit ganz anderen Methoden entworfen als Full-Custom-Analog-Schaltungen. Im Digitalen beschreibt man die Schaltung mit Hardware-Beschreibungssprachen und erzeugt daraus mittels Logiksynthese die Schaltungen mit Hundertausend en v on Tr a n s i s t o r e n. M an „ f ü r ch t e t“ s i c h v or d e m e i nz e ln e n Tr a n s i s to r. I m Analogen erzeugt man Schaltungen durch Schaltplaneingabe. Hunderttausende von Transistoren „zu beherrschen“, scheint unmöglich. Abstrakte Beschreibungsformen werden nur nebenbei verwendet. Da der Satz „The world is going digital“ sich bewahrheitet hat, fühlen sich Analog-Designer oft im Rechtfertigungszwang: „Wieso denn immer noch analog?“ Im Digitalen wird mit Verzögerungszeiten simuliert, während im analogen Bereich Arbeitspunkte, Spannungen und Ströme optimiert werden. Erfordert ein Chip-Design die Verwendung eines analogen Blocks im digitalen Teil oder eines digitalen Blocks im analogen Teil, handelt es sich also um eine MixedSignal-Schaltung, so wird dieser andere Block jeweils als Fremdkörper angesehen, als Black-Box, als etwas nicht „Verstehbares“. Dies liegt schon daran, dass man jeweils nicht die Programme kennt, mit denen man die Black-Boxen simulieren könnte. Das „Nicht-Verständnis“ ist verheerend, aber es ist nicht so verheerend, wie die Erwartungen, die die Designer an die jeweilige Black-Box haben. Designer denken oft, dass die Black-Box selbstverständlich Signale mit bestimmten den Designern genehmen Eigenschalten liefert oder dass die Black-Box die Signale, die an sie angelegt werden, natürlich verarbeiten kann. Nichtverständnis und falsche Erwartungen führen zu fehlerhaften Chip-Designs und nicht funktionierenden Schaltungen. In Abb. 1.1 ist die Aufteilung in die beiden Welten dargestellt. Bei der bisherigen Denkweise erfolgt die Kommunikation zwischen Analogteil und Digitalteil entweder klar getrennt über synchrone Schnittstellen von Analog-Digital-Umsetzern und Digi- 5 1 Einleitung 1.2 Stand der Technik Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen tal-Analog-Umsetzern oder der Digitalteil ist so klein, dass er im Analogteil mit entworfen wird und es daher eigentlich nur einen Analogteil gibt. Digitale Welt klassischer Digitalteil Digitale Denkweise Blackbox-Analogteil hohe Anfordergungen an Analogteil der Transistor etwas "magisches" Analoge Schaltungen seien wie synchrone Logik ADC DAC Stand der Technik klassischer Analogteil Analoge Welt Analoge Denkweise: Blackbox-Digitalteil Probleme mit Prozess-Parameterschwankung Schematic Entry Denken Erweiterung Digitale Welt klassischer Digitalteil ADC DAC 6 trimm- und steuerbarer Analogteil Analoge Welt Spezieller Digitalteil Abb. 1.1: Trennlinie und Aufhebung der Trennlinie zwischen Digitalteil und Analogteil 1.2 Stand der Technik Betrachtet man Veröffentlichungen der letzten zehn Jahre über Realisierungen von Mixed-Signal-Schaltungen [1-1] bis [1-27], so fällt auf, dass diese Mixed-Signal Schaltungen tatsächlich digitale und analoge Funktionen enthalten, jedoch die Entwicklung dieser Schaltungen nur mit Werkzeugen des jeweils einen Schaltungstyps durchgeführt werden. Das bedeutet, entweder überwiegt vollkommen der analoge oder vollkommen der digitale Schaltungsteil, oder der Analogteil und Digitalteil sind über A/D- oder D/A-Umsetzer (synchron) voneinander getrennt. In den Veröffentlichungen [1-28] bis [1-37] sind werden verschiedene Schaltungen zur Erzeugung von Sinus-Signalen vorgestellt. Ihnen allen gemeinsam ist, daß sie relativ aufwendig aufgebaut sind, dafür aber auch teilweise sehr geringe Nichtlinearitäten erzeugen. Sie verbrauchen viel Energie und brauchen relative hohe Versorgungspannungen, können dafür bei sehr hohen Frequnzen erzeugen. Treiberschaltungen für Festplattenleseköpfe und Decision-Feedback-Equalizer (DFE) [1-13][1-16][1-19][1-21] bezeichnen sich als Mixed-Signal-Schaltung. In [113] ist der Digitalteil vom Analogteil über synchrone DACs und ADCs getrennt, wobei die Funktion des Analogteils schon eng mit dem Digitalteil verknüpft ist. Der Equalizer aber kann über Register in seinen Frequenzeigenschaften verändert werden. Auch in [1-16] ist der Digitalteil vom Analogteil getrennt. [1-19][1-21] stellen ein Mixed-Signal DFE dar, wobei der Hauptteil der digitalen Logik wie die digitale Update-Logik und der Kontroller chipextern realisiert werden. Die geringe digitale Logik auf dem Chip kann mit dem Analogteil zusammen simuliert und analysiert werden. Festplattenleseköpfe Die Switched-Current-Schaltungen (SI) [1-1][1-5][1-6][1-17][1-26] und SwitchedCapacitor-Schaltungen (SC) [1-9][1-23] nennen sich Mixed-Signal-Schaltung, weil SI- und SC-Schaltungen Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 1 Einleitung 1.2 Stand der Technik sie digitale Taktsignale haben. Die Erzeugung der digitalen Taktsignale ist zum einen nicht sehr komplex, zum anderen ist die Entwicklung der Taktgeneratoren in der analogen Welt möglich. Switched-Current-Signalverzögerer werden in [1-26] verwendet, um Ultraschallsignale aus verschiedenen linear nebeneinander angeordneten Ultraschallsensoren so zu verzögern und dann zu addieren, dass die Sensoren einen gemeinsamen Fokus-Punkt besitzen. Zwei einfache Schieberegister pro Ultraschallsensor steuern den Ablauf jeweils der Speicherung der Signale und der verzögerten Wiedergabe. 72 Verzögerungsstromspeicherelemente pro Ultraschallsensor sind realisiert. Dieser Entwurf kommt der Idee von Digital Kontrollierten Analogen Schaltungen am nächsten von allen SI- und SC-Schaltungen. Sensorschaltungen Es gibt verschiedene Mixed-Signal-Schaltungen für die Ansteuerung von Sensoren oder integrierten Sensoren [1-4][1-10][1-11][1-15][1-18]. In [1-4] werden Daten eines beliebigen Sensors mit Spannungsausgang mit einem Σ∆-Umsetzer in einen 1 Bit breiten Datenstrom gewandelt, anschließend mit einem Transversal-Filter in Datenwörter gewandelt. Durch eine folgende ROM-Tabelle werden Nichtlinearitäten des Sensors herausgerechnet. Anschließend erfolgt eine Dezimierung und Filt er u ng . E s g ib t ei n e k la r e Tr e nn u ng z w i s c he n An a lo g- u n d D i gi t al t ei l , k ei n e Rückwirkung vom Digital- auf den Analogteil. [1-10] stellt einen Mixed-Signal-Chip mit integriertem Photo-Sensor vor. Es können chipspezifische Kalibrierungsdaten in einem EEPROM gespeichert werden. Über ein digitales Interface können die Messwerte und Kalibrierungsdaten ausgelesen werden. Die Berechnung der Kalibrierung erfolgt dann extern durch einen Mikroprozessor. Eine kleine Digitaleinheit steuert die Multiplexer zum Auslesen der Signale der Photo-Sensoren und den A/D-Umsetzer an. Ein Radio-Frequenz-Identifikation-Schaltkreis (RFID) [1-11] wird mittels Induktion in einen LC-Schwingkreis mit Energie versorgt. Ein Identifikations-Datenwort kann dadurch zurückübertragen werden, dass der LC-Schwingkreis durch dazuschaltbare Kapazitäten verstimmt, also eine Frequenz-Modulation durchgeführt wird (FSK). Das Datenwort wird aus einem EEPROM ausgelesen. Der Digitalteil ist sehr einfach und besteht aus nur einem Schieberegister. Geschaltet werden zwei Trimmkapazitäten und eine Schwingkreiskapazität. Ein Temperatursensor mit digitalem Ausgang wird in [1-15] beschrieben, der eine Temperatur zwischen -40°C und 120°C mit einer Genauigkeit von 1°C bei einer chip-extern durchgeführten Kalibrierung messen kann. Digitalteil und Analogteil sind deutlich voneinander getrennt den Σ∆-Umsetzer getrennt. Eine Ansteuereinheit für einen Ultraschallempfänger und -sender zur Hindernisdetektierung wird in [1-18] vorgestellt. Es kann detektiert werden, ob sich ein Hindernis zwischen die Sensor- und die Empfängermembrane schiebt. Die Resonanzfrequenz der chip-externen Membrane kann durch Temperaturveränderung mittels einer Heizspule verändert werden, so dass sich die Empfindlichkeit des Systems erhöht. Ebenso erfolgt die Erregung zum Senden über die Membrane auf thermischem Wege. Auf dem Ansteuer-Chip selbst findet eine klare Trennung zwischen Digitalteil und Analogteil über Komparatoren und einen D/AUmsetzer statt. Pipeline-A/DUmsetzer Pipeline-A/D-Umsetzer [1-2][1-8][1-22] benötigen eine digitale Steuerung, um die m-fach hintereinandergeschalteten N-Bit-Umsetzerstufen mit Restberechnung anzusteuern. Insgesamt entsteht daraus ein m ⋅ N-Bit-Umsetzer. In [1-2] wird eine einzelne 3-Bit-Umsetzerstufe vorgestellt, die auf dem Prinzip geschalteter Kapazit äte n ba sie rt (S w it ched Ca pac it or ). Au ßer de m kan n ein Ka pazi tä tst r imm mit 1 pF ± 6 fF zur Korrektur eines Verstärkungsfehlers durchgeführt werden. Eine digitale Kontrollschaltung wird nicht realisiert. [1-8] beschreibt einen 12-Bit-A/D-Umsetzer, realisiert mit dem 1.5-Bit/Stufe-Algorithmus von, wo nur Kapazitäts-Mismatch eine Rolle spielt. Die vorgestellte Kalibrierung wird ausschließlich auf der Digitalseite vorgenommen. Der vorgestellte Chip enthält keine wesentliche digitale Steuerlogik, die in den Analogteil eingreift. [1-22] stellt einen 10-Bit-Pipeline-ADC mit 1.5-Bit/Stufe-Architektur in einer Switched-Capacitor-Implementierung vor. Der 7 8 1 Einleitung 1.2 Stand der Technik Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Digitalteil beschränkt sich auf die Takterzeugung und die Zusammenstellung des 10-Bit-Datenwortes aus den einzelnen Stufen. Bei der Offset-Kompensation für Operationsverstärker in [1-7] werden die Arbeitstransistoren einer Differenzstufe durch im Triodenbereich arbeitende MOS-Transistoren source-degeneriert. Die Gate-Spannung einer der Arbeitstransistoren kann digital justiert werden, so dass der Offset sich verändert. Durch Hin- und Herschalten zwischen zwei Operationsverstärkern (Ping-Pong) kann ein Operationsverstärker arbeiten, während der andere kalibriert wird. Man kann hier erste Ansätze Digital Kontrollierter Analoger Schaltungen erkennen. Allerdings ist der Digitalteil noch sehr klein, und es erfolgt eine klare Trennung über D/A-Umsetzer. Offset-Kompensation Ein analoger Signalgenerator als Mixed-Signal-Schaltung wird in [1-20] zum Zwecke einer analogen Selbst-Test-Möglichkeit vorgestellt. Ein 1-Bit-PseudoZufalls-Datenstrom, erzeugt durch ein linear rückgekoppeltes Schieberegister, wird über ein analoges Tiefpassfilter geschickt. Das tiefpassgefilterte Signal kann in einen analogen Schaltkreis eingespeist werden. Das Schieberegister kann bei geeigneter Initialisierung und geeigneter Rückkopplung dafür verwendet werden, Sinus-Test-Signale zu erzeugen. Allerdings werden dafür Bit-Stromlängen von einigen 1000 Bits verwendet. Dies benötigt einen 10-Bit-Counter und ein RAM (128x8). Es ist eine interessante Idee für Signalerzeugung. Man kann hier aber nicht von einem Eingriff in einen Analogteil sprechen. Der Digitalteil wurde mit VHDL entworfen. Signalgenerator Das GSM-Sende-Empfangssystem in [1-23] ist eine sehr große Mixed-SignalSchaltung. Ein DSP bewerkstelligt die Umsetzung des Sprachsignals über ein Sprach-Codec ins Sendeband über ein Basisband-Interface. Dabei interagiert der DSP über A/D- und D/A-Umsetzer mit der analogen Welt. Es gibt SC-Filter und SCUmsetzer. Ein Eingriff in die Analogteile wird nicht beschrieben. Eine klare Trennung findet über D/A- und A/D-Umsetzer statt. GSM-Sende-Empfangssystem In der Mixed-Signal-Schaltung in [1-25] wird ein Verstärker mit digital programmierbarer Verstärkung vorgestellt. Die Verstärkung verhält sich linear in Dezibel. Durch Stromumschalter-Netzwerke, die etwa R2R-Netzwerken entsprechen, kann ein Digitalteil wirksam werden. Realisiert wurde die Schaltung ohne Digitalteil und die Kontrolle erfolgt über digitale Eingangspads. Programmierbarer Verstärker Schaltungen für Anwendungen in der Medizin werden in [1-12][1-14][1-24] präsentiert. [1-12] beschreibt eine Mixed-Signal-Schaltung zur Erkennung von Kammerflimmern mittels analoger neuronaler Netze. Die Wichtungen der Synapsen werden in digitalen Registern gespeichert. Darauf beschränkt sich auch schon die Aufgabe des Digitalteils. Bei der programmierbaren Schaltung als Hörhilfe [1-14] wird über eine Registerbank die Verstärkung (4 Bit), die Filterauswahl (15 Bit) und der Ausgangsverstärker (3 Bit) eingestellt. Die Register werden für einen Patienten ausgewählt und eingestellt. Die Übertragung der Parameter erfolgt akustisch mittels Doppelton-Multifrequenz-Verfahrens. Hier spielt der Digitalteil eine untergeordnete Rolle, was die Funktion der analogen Schaltung betrifft. Diese funktioniert selbstständig. Ein integriertes audiometrisches System wird in [1-24] gezeigt. Es können akustische Testsignale erzeugt werden, wie reiner Sinus, Schmalband- oder Breitbandrauschen. Zwischen Analog- und Digitalteil ist eine Trennung durch D/AUmsetzer vorgenommen. Die analogen Filter arbeiten auf einer festen Frequenz, was durch die übliche Bandbreite akustischer Signale zwischen 100 Hz und 15 kHz möglich ist. Medizinmikroelektronik Zwei Filter-Schaltungen zur Signalverarbeitung werden in [1-3][1-27] vorgestellt. [1-3] beschreibt ein HF-Filter mit programmierbarer Transferfunktion. Der Bezeichnung „programmierbar“ ist ein wenig hochgegriffen. Durch eine analoge Steuerspannung kann das Übertragungsverhalten beeinflusst werden, und zwar ohne Digitalteil. In [1-27] wird eine Quadratur-Amplituden-Demodulation für das Farbsignal (Chrominanz) von Fernsehsignalen mittels einer digitalen PLL durchgeführt. Die orthogonalen Funktionen Sinus und Cosinus für die Demodulation werden aus Filterschaltungen Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 1 Einleitung 1.3 Erweiterung gegenüber dem Stand der Technik Look-Up-ROM-Tabellen gewonnen und auf multiplizierende D/A-Umsetzer gegeben. Es gibt hier eine klare Trennlinie zwischen Digital- und Analogteil über Umsetzer. Dieser Entwurf kommt der Idee von Digital Kontrollierten Analogen Schaltungen besonders nahe. Sinus-Generatoren Ein wichtiger Aspekt dieser Arbeit ist der Entwurf von Sinus-Generatoren mit großem Frequenzbereich. In [1-28] bis [1-37] sind Schaltungen zur Erzeugung von Sinus-Signalen zu finden. Analoge Schaltungen für Sinus- und Funktions-Generatoren sind in [1-28], [1-29] zu finden. Hier werden aus einer dreiecksförmigen Spannung mit Hilfe der nichtlinear en quad ratischen Char akterist ik der MOS-Transistor en u nd verschied en gewichteter D ifferenzstufen eine Sinus-Funktion bzw. allgemeine Funktionen erzeugt. Digitale Schaltungselemente gibt es nicht. Die Aussteuerung der Differenzstufen muß einen genauen Betrag aufweisen. Ist die Aussteuerung zu niedrig, bleibt der Ausgang wie der Eingang dreiecksförmig. Ist die Aussteuerung zu hoch, kommt es zu Begrenzungserscheinungen der Sinus-Funktion am Ausgang. Eine Schaltung, die eine genaue Grenze für die Aussteuerung liefert, gibt es nicht. Eine weitere rein analoge Schaltung in [1-31] arbeitet mit Transconductance-Verstärkern (OTA). OTAs mit verschiedenen Referenz-Spannungen schicken ihre Ströme über Dioden und es entstehen stückweise lineare Funktionen. Notwendig ist hier Dioden mit niedriger Durchlassspannung zu verwenden. Es können ersteinmal nur stückweise lineare Funktionen realisiert werden, bei denen die Steigungen der linearen Stücke ganzzahlige Vielfache voneinander sein müssen. Referenzspannungen müssen erzeugt werden, so dass die OTAs nicht ihren linearen Bereich verlassen. Der erlaubte Aussteuerbereich hängt vom stark vom Prozess ab. In [1-30] wird ein voll bidirektionaler Ton-Sender und -Empfänger in SC Technik vorgestellt. Frequenz (1-10 kHz) und Q-Faktor (10-230) sind über einen großen Bereich einstellbar. Der Stromverbrauch beträgt 3 mA. In bestimmten Mixed-Signal-Schaltungen zur Sinus-Signal-Erzeugung werden die Funktionswerte der Sinus-Funktion in ROM-Tabellen abgelegt und über einen Kontroller auf einen D/A-Umsetzer gegeben Dies ist der Fall für [1-20][1-24][1-32]. Der Aufwand für diese Schaltungen ist sehr hoch, insbesondere die ROM-Tabellen müssen erzeugt werden und ein nicht auf Sinus-Signale optimierter D/A-Umsetzer wird benötigt. Auch ein digitaler Chirp-Synthesizer mit I- und Q-Signalerzeugung [1-34] ist sehr aufwendig und arbeitet mit ROM-Tabellen und D/A-Umsetzern. Der Frequenzsynthesizer mit speziell optimierten Lock-Up-Tabellen [1-33], der sehr saubere Sinus-Funktionen (Nichtlinearität<-80dB) erzeugt, ist sehr komplex. Die Schaltung besteht aus 35000 Transistoren. Um ROM-Tabellen zur Erzeugung der Digitalwerte einzusparen wurden in [1-35] rückgekoppelte Schieberegister verwendet. Der Frequenzsynthesizer in [1-36] benutzt für die digitale Sinus-SignalErzeugung Phasenakkumulation und er benötigt einen D/A-Umsetzer. In [1-37] wird die Sinus-Funktion über einen nichtlinearen D/A-Umsetzer realisiert, in dem die Sinus-Funktion über die Wichtung von Widerständen kodiert wird. Dies ist mit dem Entwurf dieser Arbeit vergleichbar, weil hier eine Sinus-Funktion in der Größe der Bauelemente kodiert ist. Dies spart Energie und Aufwand. Die Technologie ist hier 0.5 µm und der Flächenbedarf beträgt 1.6 mm 2 . Der Energieaufwand ist 4 mW @ 3.3V bei einer Ausgangsfrequenz von 30 kHz. 1.3 Erweiterung gegenüber dem Stand der Technik Digital Kontrollierte Analoge Schaltung In dieser Arbeit soll die klare Trennungslinie zwischen Analogteil und Digitalteil aufgehoben werden (vgl. Abb. 1.1). Beherrscht man beide Entwurfsverfahren, die der digitalen Welt und die der analogen Welt, so besteht die Möglichkeit ganz neue Schaltungstechniken zu verwenden. Der Analogteil unterliegt Einschränkungen 9 10 1 Einleitung 1.4 Implementierung anhand eines Chips Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen durch Prozess-Parameter-Schwankungen. Es ergeben sich insbesondere OffsetSpannungen in Differenzstufen, Bandbreitenschwankungen in Filtern, Temperaturabhängigkeiten, Stabilitätsschwierigkeiten, Nichtlinearitäten. Diese Einschränkungen ergeben geringere Yield-Ausbeuten. Die Einschränkungen versucht man im analogen Schaltungsteil bisher durch Rückkopplungen auszugleichen. Der Digitalteil ist langzeitstabil, viel geringer abhängig von Prozess-Parameter-Schwankungen, kann aber nicht direkt mit der analogen Umwelt kommunizieren. Zum einen sollte versucht werden, die Vorteile beider Schaltungen zu kombinieren, um die Schwächen des Analogteils zum Zwecke der Yield-Erhöhung auszugleichen. Zum anderen ist zu überprüfen, ob eine enge Verbindung von Digitalteil und Analogteil neue Schaltungsarten möglich macht. Vorstellbar ist, dass jedem Analogteil ein spezieller Digitalteil zugeordnet werden kann. Es sind Digitalteile, die direkt in Analogteile eingreifen und dort komplizierte Abläufe steuern. Trimmungen können automatisch vorgenommen werden, Prozessschwankungen im Analogteil können im Digitalteil erkannt und wegkalibriert, Testfunktionen können durchgeführt und Mismatch kann ausgeglichen werd en. Techno logie -P rob leme, die an aloge S c halt ungen ei nschrä nken, k ön nen behoben werden. Die Analogteile lassen sich in ihren Eigenschaften verbessern. Signifikante Yield-Verbesserungen sind möglich. Störungen über das Substrat, die nach Demodulation über Nichtlinearitäten große Offset-Spannungen bei Mischern in HF-Empfangsstrecken erzeugen, können über den Digitalteil weggeregelt werden. Automatisches Trimmen von Bandgap-Spannungen kann höhere Genauigkeiten erzielen. Analoge Schaltungen mit einer komplizierten Steuerung können entworfen werden. Der Digitalteil wird prinzipiell nach den Richtlinien des Entwurfs digitaler Steuerwerke entworfen. Allerdings wird der digitale Datenpfad wird durch den analogen Datenpfad ersetzt und das bedingt besondere Anforderungen an das digitale Steuerwerk. „Eine Schaltung soll Digital Kontrollierte Analoge Schaltung genannt werden, wenn eine analoge Schaltung von einer eigens für sie entworfenen ausreichend komplexen digitalen Schaltung kontrolliert wird. Die Digitalteil greift in die Kernbereiche des Analogteils ein. Nur beide Teile zusammen erfüllen die gewünschte Funktion.“ Begriffsdefinition Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen sind eine Untergruppe von MixedSignal-Schaltungen. Des weiteren sollen in dieser Arbeit zwei Sinus-Generatoren vorgestellt werden, die den Erfordernissen eines Telemetrie-Chips genügen. Die Leistungsaufnahme muß äußert klein sein, da eine Energieversorgung 10 Jahre mit einer Batterie (800mAh) ausreichen muß. Die analoge Teilschaltung muß sehr einfach gehalten werden, um die Funktion bis 2V zu gewährleisten und Strom zu sparen. Die Kodierung der Sinus-Funktion erfolgt in Transistorweiten von Stromspiegeln. Die SinusTransistor-Kodierung läßt über die Widerstandskodierung aus [1-37] hinaus weitere Vereinfachungen der Schaltung zu, insbesondere weil die direkte digitale Ansteuerung der Transistoren die Schaltung vereinfacht. 1.4 Implementierung anhand eines Chips Anhand eines implantierbaren Chips zur telemetrischen Messung des frequenzabhängigen elektrischen Gewebe-Widerstandes von transplantierten Nieren wird die Einsatzfähigkeit von Digital Kontrollierten Analogen Schaltungen untersucht [510][5-11][A-11]. Die Lebensdauer einer transplantierten Niere ist z. Z. maximal 10 Jahre. Es wird dargestellt, wie sich mittels der Schaltungstechnik von Digital Kontrollierten Analogen Schaltungen Sinusgeneratoren mit geringem Energiever- Sinus-Generator 1 Einleitung 1.4 Implementierung anhand eines Chips Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen b r a u c h u n d n i e d r i g e r S p a n n u n g s v e r s o r g u n g ( L o w - P o w e r - L o w - Vo l t a g e ) f ü r batteriebetriebene implantierbare Systeme entwickeln lassen. Ebenso denkbar ist der Einsatz des Chips zur Untersuchung von Knochenheilungsprozessen. Während der Reaktion des Körpers zur Abstoßung einer transplantierten Niere bzw. des Knochenheilungsprozesses verändert sich das Gewebe durch Zellwachstum, Zellaustausch oder Zelltod. Damit ändern sich auch die elektrischen Eigenschaften des Gewebes. Ließe sich eine Korrelation herstellen zwischen Gewebewide rst and un d Ab stoß ung sre akti on bzw. H eil ungs pro zess, so w är e ei ne neu e diagnostische Methode denkbar. Mit diesem Chip können zum ersten Mal Organimpedanzen in vivo in Langzeituntersuchungen gemessen werden, d. h. Langzeitmessungen am lebenden Gewerbe mit Telemetrie (Fernmessung). Der Chip zur telemetrischen Messung wurde im Rahmen dieser Arbeit entwickelt, entworfen und vermessen. In Abb. 1.2 ist das Block-Diagramm des TelemetrieChips dargestellt. Chip Digital Watchdog - Timer 6 Clock Switches Register-Block Transmitter Interpreter Receiver TXENB Frontend RF-Transmitter 402MHz FM TXDAT Analog Control Analog RXENB Zener Diode - ROM Current Controlled Triangle generator Reference (Current, Bandgap) ADC 8 Bit Piecewise Linear Sine Generator (analog+digital) Stepwise Sine Generator (analog+digital) Electrode-MUX Low Pass, Mixer Multifunctional Sample & Hold Frontend LF-Receiver 132kHz 100% AM RXDAT ADRDAT External CPU MP68HC05 optional VDD Electrodes VSS Battery 2.2V-3V max. 200µA RREF E0 Abb. 1.2: E1 E2 E3 Crystal 32kHz VSS Nieren-Impedanz-Telemetrie-Chip Schematisch ist der Chip in einen Digitalteil und einen Analogteil gegliedert, wobei der Digitalteil ein spezielles digitales Modul enthält, welches eigens für den Analogteil entworfen wurde „Analog-Kontroll“. Der Digitalteil übernimmt die Steuerung des Chips, die Kommunikation mit der Außenwelt („Transmitter“, „Receiver“), die Zeitkontrolle („Watchdog und Timer“), die Speicherung von Status- und Kontrollinformation („Registerblock“), die Interpretation externer Befehle und deren Ausführung („Interpreter“) und die Energieeinspar ung mit Hi lfe vo n Takts chalt er n („ C l ock S wi tch“ ) . Zus ätzl ich kon tr olli er t der Digitalteil durch das Steuerwerk „Analog Control“ die Funktion des Analogteils, des analogen Datenpfades. Der Analogteil enthält zahlreiche Funktionen: ein Zener-Dioden-Array zum Speichern des Chip-Identifikations-Codes, eine Spannungsreferenz, einen 8-Bit-A/D- 11 12 1 Einleitung 1.5 Kapitelübersicht Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Umsetzer, einen Elektroden-Multiplexer, einen stromkontrollierten Dreiecksgenerator, eine multifunktionale Sample&Hold-Stufe, einen Generator stückweise linearer Sinus-Funktionen und einen Generator stufenförmiger Sinus-Funktionen. Die multifunktionale Sample&Hold-Stufe und die beiden geschalteten Sinus-Funktionsgeneratoren für Low-Power- und Low-Voltage-Anwendung werden als Prototypen Digital Kontrollierter Analoger Schaltungen vorgestellt, verglichen und in ihren Eigenschalten analysiert. Externe Komponenten sind ein RF-Transmitter zum Senden der Messergebnisse, ein LF-Receiver zum Empfangen der Messaufträge, evtl. eine CPU, die später mit integriert werden kann, eine Batterie, vier Mess-Elektroden zum Vierspitzen-Messen des Organ-Widerstandes, ein 32-kHz-Quarz und ein Referenzwiderstand. Durch die Digital Kontrollierte Analoge Schaltung können Widerstände im Bereich von 10 Ω bis 20 kΩ im Frequenzbereich von 100 Hz bis 1 MHz gemessen werden. Durch die Sinusgeneratoren sind keine Ausgangsfilter nötig, die höheren harmonischen Frequenzen wegfiltern. Analoge Ausgangsfilter für diesen Frequenzbereich sind nur schwer zu realisieren. Der in lebendes Gewebe maximal injizierbare Strom ist durch Normen gesetzlich auf nicht mehr als 25 µA festgelegt [5-13]. Dies ist durch die Ausgangsstufen der Sinusgeneratoren gewährleistet. Die Vielzahl von Funktionen im Analogteil kann nur durch ein komplexes digitales Steuerwerk realisiert werden und macht eine Digital Kontrollierte Analoge Schaltung notwendig: 1. Power Down; 2. Abwarten einer Inititial-Zeit und andere Wartezeiten; 3. Offset-Kompensation; 4. Real- und Imaginärteil-Messung; 5. Messung des Batterieladungszustandes; 6. Kontrolle der Verstärkung; 7. einfache oder zweifache Messung; 8. Frequenzmessung; 9. kontinuierliche Messung für Offset-Bestimmung im Testmodus; 10. Register-Mess-Bit-Rücksetzung im Digitalteil für einzelne Messung. 1.5 Kapitelübersicht Am linken Rand der Seiten gibt es des öfteren Stichwörter. Die Stichwörter dienen der leichteren Orientation. Das Stichwort „Verwendung beim Entwurf in Kapitel 5“ dient dazu anzuzeigen, wofür entsprechende Abschnitte beim Schaltungsentwurf verwendet werden. In Kapitel 2 wird dargelegt, welche Komponenten und Größen in Analogschaltungen geschaltet werden, wo also überall ein Digitalteil E influss nehmen kann. Ströme, Spannungen, Widerstände, Kapazitäten und Operationsverstärker werden mit Hilfe von analogen Schaltern geschaltet. In Kapitel 3 wird die Schnittstelle zwischen Analog- und Digitalteil untersucht. Hier wird auf die Arbeitsmethoden von Digital-Designer und Analog-Designer eingegangen, die für die jeweils anderen von Bedeutung sind. Welche speziellen Anforderungen gibt es für den Digitalteil, damit er einen Analogteil kontrollieren kann? Die analogen Schaltungen werden über Analog-Schalter beeinflusst. Es wird geklärt, wie diese Schalter realisiert werden, welche Eigenschaften sie haben und Realisierung Digital Kontrollierter Analoger Schaltungen Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 1 Einleitung 1.5 Kapitelübersicht welche Schalter für welchen Einsatz geeignet sind. Dabei werden verschiedene Technologien miteinander verglichen: CMOS 0.8 µm, 0.6 µm, 0.35 µm, 0.25 µm und 0.12 µm. Genormte Vergleichskriterien müssen dazu erstellt werden. Wie entwirft man statische Schalter, wie entwirft man dynamische Schalter? Es wird eine Unterscheidung eingeführt zwischen Ladungsinjektion und Taktdurchgriff. Wie kann ein Analog-Designer seine Schaltung für unerläßliche digitale System-Simulationen modellieren (VHDL-AMS)? In K a pi t el 4 w er d en d ie S ig na l st ö ru n ge n au s d em D ig i ta l te i l i m A n al o gt e il beschrieben. Insbesondere digitale CMOS-Schaltungen stören wegen ihrer Stromspitzen beim Schalten analoge Schaltungen. Die drei Kopplungsmechanismen Signaleinkopplung, Einkopplung durch die Versorgungsspannung und Einkopplung über das Substrat werden anhand der Literatur beschrieben. Der „blockende Inverter“ und der „dezentrale Taktschalter“ zur Energieeinsparung und damit zur Reduzierung des Störpotentials des Digitalteils werden vorgestellt. In Kapitel 5 werden zwei Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen anhand von zwei Sinus-Signal-Generatoren des Telemetrie-Chips zur Messung der GewebeImpedanz entworfen. Es wird vorgestellt, wie Matching mit vielen Nachkommastellen zur Kodierung des Sinus-Signals realisiert werden kann. Welche üblichen Standardmethoden gibt es, um Verhältnisse mit vielen Nachkommastellen auf einem Chip zu realisieren? Wie kann man die Werte einer Sinus-Funktion auf viele Stellen nach dem Komma genau darstellen? Welche Abtastraten erreichen welche Nichtlinearität? In Kapitel 6 werden die Messergebnisse der Schaltungen dargestellt und die Schaltungen bewertet. In Kapitel 7 wird eine Zusammenfassung der Ergebnisse gegeben. Eine Bewertung der Arbeit gegenüber dem Stand der Technik wird vorgenommen. 13 14 2 Geschaltete Größen 2.1 Geschaltete Ströme Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 2 Geschaltete Größen In diesem Kapitel werden die Elemente (Komponenten oder Größen) vorgestellt, die in analogen Schaltungen geschaltet werden können und bei denen eine digitale Schaltung Einfluss nehmen kann. Geschaltete Ströme, geschaltete Spannungen und geschaltete Kapazitäten werden als Grundkomponenten bei der Implementierung in Kapitel 5 verwendet. Verwendung beim Entwurf in Kapitel 5 Fünf Größen kristallisieren sich heraus, die in integrierten Schaltungen geschaltet werden: Ströme, Spannungen, Kapazitäten, Widerstände und Operationsverstärker. 2.1 Geschaltete Ströme In integrierten Schaltungen können Ström e sehr einfach geschaltet werden. Ströme lassen sich außerdem leicht quer über den Chip schicken. Sie können unterwegs nicht verschwinden. Sie lassen sich einfach an- und abschalten und sie sind durc h Stromspiegel reproduzierbar. Mit Strömen lassen sich leichter Leistungsschalter realisieren. Ein Spannungsabfall für die Schalter trägt zwar zu einem Spannungsabfall bei, verfälscht aber nicht das Signal. In Abb. 2.1 sind die vier Möglichkeiten dargestellt, wie der Strom in einem Stromspiegel geschaltet werden kann. An den drei Anschlüssen eines MOS-Transistors Drain, Source und Gate kann geschaltet werden. Mit einer Speicherkapazität C GM am Gate lassen Switched-Current-Schaltungen realisieren (SI). (1) Drain Switch IR E F (2) Source Switch IO U T IR E F IO U T swi swi (3) Gate Switch IR E F (4) Gate Switch with Memory (SI) IO U T IR E F swi IO U T swi nswi CGM Abb. 2.1: (1-4) Vier Möglichkeiten, in einer Stromspiegelschaltung den Strom zu schalten: an Drain, an Source, an Gate und an Gate mit Speicherfunktion (SI) Stromschalter 2 Geschaltete Größen 2.1 Geschaltete Ströme Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Verwendung beim Entwurf in Kapitel 5 Die Stromschalter sind Grundelemente bei der Implementierung der Schaltung in Kapit el 5. Mit dem Drain- Schalter wer den die Str ö me des D reiecksgener ator geschaltet (vgl. Abb. 2.1 (1) mit Abb. 5.16 auf Seite 100). Mit dem Source-Schalter werden die Ausgangströme in den Sinusgeneratoren ein- und ausgeschaltet (vgl. Abb. 2.1 (2) mit Abb. 5.8 auf Seite 86). Mit dem Gate-Schalter werden verschied en e B i as - S p an n un g en b e im S t r om s p i eg e l ge s c h al t e t ( v g l . A bb . 2 . 1 ( 3 ) m i t Abb. 5.19 auf Seite 104). Drain-Schalter Der Schalter beim Drain (Abb. 2.1 (1), Drain Switch) ist der einfachste und geeignet für statische Schalter (vgl. Abschnitt 3.4.1), die ihren Zustand selten ändern, z. B. bei Kalibierungen, die einmal durchgeführt werden. Schalten an Drain durch das Signal ’swi’ produziert relativ viel Ladungsinjektion und Taktdurchgriff direkt am Signal. Für Schaltungen mit niedriger Versorgungsspannung ist Schalten an Drain weniger gut geeignet, weil für hohe Ausgangsspannungen an Pin ’I OUT ’ der Schalter nicht richtig leitet. Es entsteht ein Lücke in der Leitfähigkeit (Gap in Conduc tance), wodurch eine beträchtliche Spannung am Schalter abfallen kann (vgl. Abb. 3.9 (b)). Die Weite und die Länge des Schalttransistors im Drain-Zweig unterliegen kaum Matching-Anforderungen. Wesentlich ist, dass der Spannungsabfall am Schalter nicht die Größe der Signalamplitude beeinträchtigt. Dieser Schalter wird eingesetzt im IC zur Überwachung des plötzlichen Kindstods zur Kalibrierung einer Bandgapschaltung [2-4][A-7] (CMOS 0,8 µm). Das PrinzipSchaltbild ist in Abb. 2.2 dargestellt. Es handelt sich um einen Spannungs-StromUmsetzer (Transconductance). Der Ausgangsstrom ’I OUT ’ wird aus der Bandgapspannung und dem Widerstand ’R REF ’ erzeugt. Leitet man diesen Strom ’I OUT ’ über einen Lastwiderstand R LOAD gleichen Typs und gleicher Bauform wie ’R REF ’, d. h. gibt es Matching, dann fällt an diesem Lastwiderstand eine Spannung ab, die proportional zur Bandgapspannung und zum Verhältnis von Lastwiderstand zu Referenzwiderstand ist. Low Voltage Cascoded Current Mirror (very high output impetance) VDDA 6/20 12/20 24/20 48/20 T2 T6 T9 100/20 10/5 100/5 T5 sp<3:0> T7 10/5 I BIAS VBG= 1 . 2 6 V IC A L I B R A T I O N IBLSB = 0 . 1 2 µ A T8 T10 100/5 IB1 = 2 µ A sn<3:0> T11 100/5 M IR E F = 2 0 µ A + OP - 100/5 IO U T T1 10/0.8 Transconductance IBMSB = 0 . 9 6 µ A 6/20 12/20 24/20 48/20 T3 T4 100/20 100/20 R R E F = 6 3 kΩ R LOAD VSSA Calibration is done by adding current at M Abb. 2.2: Kalibrierung einer Bandgapspannung mit einem Operationsverstärker und gewichteten geschalteten Strömen Der Operationsverstärker regelt über den Transistor T1 die Spannung über den Widerstand R REF auf genau V BG . Zusätzlich wird am Knoten M ein Kalibrierungsstrom abgezogen oder dazugefügt, einstellbar in binären Stufen über die acht digi- 15 16 2 Geschaltete Größen 2.1 Geschaltete Ströme Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen talen Signalleitungen ’sp<3:0>’ und ’sn<3:0>’ an den Drain-Schaltern. Die binären Ströme werden über die Stromspiegeltransistoren T2, T3, T4, T5, und T6 (große Längen L=20 µm) aus dem Referenzstrom I REF abgeleitet, den sie selbst trimmen. Die Rückkopplung ist stabil, weil die Verstärkung kleiner als eins ist. Die Stromspiegeltransistoren verkleinern den Referenzstrom von 20 µA erst auf I B1 =2 µA und dann auf den LSB Strom I BLSB = 0.12 µA. Für die Erzeugung von I OUT und I B1 wird mit den Transistoren T7, T8, T9, T10 und T11 ein kaskadierter Low-Voltage Stromspiegel ([2-12] S.137) verwendet. Das besondere hier ist, dass der Stromspiegelreferenztransistor T9 sein Gate-Potential am Drain von T8 abgreift. T8 bekommt sein Gate-Potential von der MOS Diode T7 mittels eines Biasstroms I BIAS . Das Ausgangspotential bei I OUT kann nun bis auf VDDA minus zweimal der Sättigungsspannung (Overdrive) ansteigen, ohne dass der Stromspiegel den Sättigungsbereich verlässt und damit seine Spiegeleigenschaften verliert. Beim Schalten am Gate (Abb. 2.1 (3), Gate Switch) durch das Signal ’swi’ wird die Verbindung zum Gate vom Ausgangstransistor getrennt. Das Gate muss danach durch das Signal ’nswi’ mit VSSA verbunden werden, damit der Ausgangstransistor wirklich ausgeschaltet ist und vor allem bei Power-Down-Schaltern kein Reststrom mehr fließen kann. Man braucht daher das komplementäre Schaltsignal ’ns’. Der „exponentielle“ Stromspiegel in Abb. 5.19 auf Seite 104 ist eine Anwendung eines Stromspiegels mit Schalter am Gate. Die Transistoren TAA können nur am Gate geschaltet werden, da sie in der Stromreferenzseite des Stromspiegels sitzen. Jeder zusätzliche Spannungsabfall an einem etwaigen Stromschalter in Source oder Drain würde das Stromspiegelverhältnis verfälschen. Der Gate-Schalter ist als statischer Schalter bei niedrigen Versorgungsspannungen einsetzbar (Kap. 3.4.1). Gate-Schalter Der Stromspiegel mit Schalter am Gate und Speicherkapazität ist das Grundelement für die Schaltungsklasse „Schaltungen mit geschalteten Strömen“ (Switched Current, SI) [1-1][1-5]. Sie beruht auf einfachen Stromspiegeln, die ihren Strom dadurch halten, dass die Spannung in den Gate-Kapazitäten gespeichert wird. In Abb. 2.1 (4) (Gate Switch with Memory) ist die Grundzelle eines SI Stromspiegels zu sehen. In der Kapazität C GM wird die Gate-Spannung gespeichert und damit der Strom I OUT gehalten, wenn der Schalter S öffnet. Gate-Schalter mit Speicher Das Rauschen bei SI-Schaltungen ist das gleiche wie bei Switched-CapacitorSchaltungen (SC) und beträgt kT/C. SI-Schaltungen sind ungenauer, weil es keine Gegenkopplung wie bei SC-Schaltungen durch Operationsverstärker gibt und Matching für Stromspiegel ungenauer ist als für Kapazitäten. Differentielle SISchaltungen sind nicht möglich, weil es in diesem Schaltungsprinzip keine Differenzstufen gibt. Pseudo-differentielle Schaltungen sind denkbar, bei denen man die Schaltung zweimal aufbaut, einmal mit dem Signal und einmal mit dem komplementären Signal. Dafür ist das Schaltungsprinzip sehr einfach und schnell realisierbar. Eine Vielzahl von verschiedenen Funktionen werden mit Switched-Current Schaltungen realisiert: ein 10-Bit ADC [2-1], ein programmierbares analoges SI-Wellenfilter [1-6], ein Abtast-Halteglied [1-17], ein Ultraschallstrahlformer mit SIVerzögerungsschaltung [1-26]. Ein analoger Rausch-Zufalls-Generator auf Grundlage einer mathematischen rekursiven Formel ist in [2-2] und [2-3] dargestellt. Dieses Schaltungstechnik wurde in [A-15] realisiert. Der Schalter im Source-Zweig (Abb. 2.1 (2), Source Switch) ist eine sehr elegante Methode, Ströme zu schalten. Im Stromspiegel-Referenzzweig muss ein immer geschlossener Schalttransistor eingebaut sein, damit die Stromspiegelverhältnisse gleich bleiben. Da nicht am Gate geschaltet wird, bleibt die Gate-Spannung konstant, d. h. die Ladungen verbleiben auf dem Gate. Der Spannungshub am Source des Stromspiegeltransistors zwischen ein- und ausgeschaltetem Zustand entspricht der meist kleinen Sättigungsspannung (Overdrive). Daher kann der Transistor schnell ein- und ausgeschaltet werden. Insbesondere in einer Strombank können alle Stromausgangstransistoren das gleiche Gate-Potential besitzen und trotzdem einige ausgeschaltet werden. Störungen durch Ladungsinjektion oder Source-Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 2 Geschaltete Größen 2.2 Geschaltete Spannungen Taktdurchgriff sind gering, weil das Source nicht direkt mit dem Signal verbunden ist. Der Source-Schalter ist daher gut als dynamischer Stromschalter geeignet (Kap. 3.4.2). Die Schalttransistoren im Source-Zweig unterliegen allerdings strengen Anforderungen an das Matching, d. h. alle Strompfade im Stromspiel müssen die Schalttransistoren haben, und ebenso müssen sie in ihrer Weite an die Weite ihres S t r o m s p i e g e l t r a n s i s t o r s a n g e p a s s t s e i n . Ve r w e n d e t w i r d d i e s e A r t v o n Schalttransis toren bei den Sinusgeneratoren im Chip zur Messung der Gewebeimpedanz von transplantierten Nieren in Kapitel 5. Ein PMOS Stromspiegel dazu ist in Abb. 5.8 Seite 86 dargestellt. Der Transistor Tswin wird mit dem Signal ’swoff’ anund ausgeschaltet. In den drei Stromreferenzweigen sitzen aus Matching-Gründen jeweils ein Source-Schalttransistor. Sie sind immer eingeschaltet. 2.2 Geschaltete Spannungen In integrierten Schaltungen werden Spannungen leistungslos geschaltet, damit vom Eingangspin zum Ausgangspin über den Schalter keine Spannung abfällt. Daher ist der Ausgangspin des Schalters hochohmig beschaltet. Spannungsschalten kommt u. a. in analogen Multiplexern, in Abtaststufen, in analogen Teststrukturen, Referenzspannungsselektion oder in Abgriffen von Widerstandsreferenzketten vor. Besonders schwierig ist das Schalten von Spannungen bei niedriger Versorgungsspannung, weil dann die Schalter nicht richtig funktionieren. Wie man Schalter für extrem niedrige Versorgungsspannungen realisiert, ist in [2-5] bis [2-8] beschrieben. Dort sind Clock Booster und Bootstrapped Taktschalter vorgestellt. Eine Zusammenfassung findet sich in [3-1] Kapitel B. Verwendung beim Entwurf in Kapitel 5 Als Beispiel für geschaltete Spannungen kann das Schalten im Gate-Zweig eines Stromspiegels genannt werden. Dies ist in Schaltung Abb. 5.8 auf Seite 86 zu sehen. Drei verschiedene Gate-Spannungen ’Von ’, ’V rise ’ und ’V fall ’ von drei Referenzzweigen eines Stromspiegels können auf den Ausgangstransistor T n über die Schalter ’swon’ ’swrise’ und ’swfall’ leistungslos geschaltet werden. 2.3 Geschaltete Widerstände Widerstände zu schalten ist relativ schwierig, weil der Schalter selbst einen nicht unerheblichen Widerstand darstellt. Dies kann u. U. mit Dummy-Schaltern ausgeglichen werden. Verwendung beim Entwurf Geschaltete Widerstände werden verwendet bei der Digital Kontrollierten Analogen Schaltung in [2-4],[A-7], um den Offset eines Operationsverstärkers automatisch zu kalibrieren. R-2R Umsetzer Ein klassisches Beispiel dazu sind die R-2R-Digital-Analog-Umsetzer, die aus einem speziellen Widerstandsnetzwerk bestehen. Hier wird über ein Leiternetzwerk mit ausschließlich gleichen Elem enten einem Widerstände R und einem Widerstand 2R, die leicht „matchend“ realisiert werden können, binär jede Teilspannung erzeugt ([2-11], S. 798). In Abb. 2.3 ist ein 4-Bit-R-2R-Umsetzer gezeigt. Zwischen der Referenzspannung VREF und analoger Masse VGNDA ist das Leiternetzwerk aus R und 2R aufgespannt. Zwei Vorteile sind offensichtlich. Zum einen halbiert sich im Leiternetzwerk an jedem weiteren Knoten die Referenzspannung V REF. Man kann durch Erhöhung der Knoten die Auflösung des Umsetzers verbessern. Über die Schalter ’d0’ bis ’d3’ können die gewünschten Spannungsanteile neutral auf V GNDA oder auf den negativen Summationseingang des Operationsvers tär k ers gel egt w erden. Zum anderen ist de r E ingangswid erstand des Leiternetzwerks von V REF aus gesehen immer gleich, und zwar 2R, unabhängig davon, wie viele Stufen der Umsetzer besitzt, und unabhängig von der Schalterstel- 17 2 Geschaltete Größen 2.3 Geschaltete Widerstände Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen d3 R d2 V REF 24 d1 d0 2R 23 2R R V REF dummy 22 2R R V REF 2R 21 2R R V REF dummy V REF dummy lung. Über die Dummy-Schalter ’dummy’, die immer geschlossen sind, wird der Spannungsabfall über die Schalter ’d0’ bis ’d3’ berücksichtigt. dummy 18 du + Vout OP - V GNDA RF Abb. 2.3: Strukturbild eines 4-Bit R-2R Umsetzers Ist Matching nicht gefordert, so sind kann das Schalten von Widerständen auch nützlich sein, wie z. B. bei einer Offset-Kalibrierung aus dem Chip [2-4],[A-7] für die Überwachung und Schutz vor dem plötzlichen Kindtod. Drei Herzkanäle und ein Atemkanal haben dort sehr kleine Eingangssignale, die im schlimmsten Falle eine Verstärkung von 3 000 bzw. 100 000 benötigen. Eine Offset-Kalibrierung ist nötig und wurde mit der Schaltung aus Abb. 2.4 realisiert. Mittels zweier hintereinandergeschalteter getrimmter Operationsverstärker konnte die gewünschte Verstärkung erreicht werden. Die Offset-Kalibrierung funktionierte so gut, dass bei der größten Verstärkung das Eigenrauschen der Schaltung zwar schon dominierte, aber trotzdem der Mittelwer t des Rauschen, d. h. der Offset, auf null kalibriert werden konnte. Die Offsetkalibrierung kann durch eine digitale Logik selbstständig gesteuert werden. VP sp<7:0> sn<7:0> VN VDD II 12.9 k Ω 40/1 <7> <7> 40/1 12.9 k Ω 6.5 k Ω 40/1 <6> <6> 40/1 6.5 k Ω 3.3 k Ω 40/1 <5> <5> 40/1 3.3 k Ω 1.7 k Ω 40/1 <4> <4> 40/1 1.7 k Ω 0.89 k Ω 40/1 <3> <3> 40/1 0.89 k Ω 0.48 k Ω 40/1 <2> <2> 40/1 0.48 k Ω 0.27 k Ω 40/1 <1> <1> 40/1 0.27 k Ω 0.16 k Ω 40/1 <0> <0> 40/1 0.16 k Ω TI W/L=10/10 V bias Vinn TN W/L=10/24 IP W/L=10/36 TM p VP R Ptune R P = 1 . 6 kΩ Vinp TP IN TMn VN R Ntune R N = 1 . 6 kΩ VSS Abb. 2.4: Voutn output stage Vout VSS Offset-Kalibrierung mit geschalteten Widerständen in einem Schaltkreis für die Überwachung des plötzlichen Kindstodes Offset-Kalibrierung 2 Geschaltete Größen 2.4 Geschaltete Kapazitäten Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Die Funktionsweise der Schaltung ist wie folgt. Eine PMOS-Differenz-Stufe arbeitet gegen einen S tromspiegel aus NM OS -Transistoren, die mit ihren S our ceAnschlüssen die zwei Widerstände R P und R N besitzen. Parallel zu diesen Widerständen sind zwei schaltbare Widerstandsketten geschaltet worden, die rechts in der Abbildung zu sehen sind. Über die Schalter sp<7:0> und sn<7:0> können die Widerstände dazu- oder abgeschaltet werden. Somit kann leicht das Stromspiegelverhältnis beeinflusst und damit der Offset abgeglichen werden. 2.4 Geschaltete Kapazitäten Verwendung beim Entwurf in Kapitel 5 Um einen ausreichend großen Frequenzbereich zu erreichen, müssen im Dreieckgenerator in Abb. 5.16 auf Seite 100 binärgewichtete Kapazitäten C slave und C master dazu oder weggeschaltet werden. Geschaltete Kapazitäten werden intensiv eingesetzt bei der multifunktionalen Sample&Hold-Stufe in Abb. 2.9 für Verstärkungseinstellung, Offsetkompensation und Messung des komplexen Gewebewiderstandes. Sie benötigen eine komplexe digitale Ansteuerung. SC-Filter Kapazitäten sind wohl die am häufigsten geschalteten Bauelemente. Mit sogenannten „Switched-Capacitor-“ oder „SC“-Schaltungen lassen sich vielfältige Funktionen realisieren, insbesondere zeitdiskrete Filter. Die Idee von SC-Schaltungen im Vergleich zu zeitkontinuierlichen Schaltungen, ist die, dass die Widerstände einer zeitkontinuierlichen Schaltung durch geschaltete Kapazitäten ersetzt werden. CF CF RS + - Vout OP Vin Vin Vout OP fS + CS VREF Abb. 2.5: VREF VREF VREF VREF Zeitkontinuierlicher Integrator mit einem Widerstand R S und einer Rückkoppelkapazität C F und der äquivalente Schaltkreis in SC Technik mit der mit einer Frequenz f S geschalteten Kapazität C S und der Rückkoppelkapazität C F In Abb. 2.5 ist gezeigt, wie der Eingangswiderstand R S eines Standard-Integrators durch die geschaltete Kapazität C S mit einer Schaltfrequenz f S ersetzt wird. Widerstand, Schaltfrequenz und Kapazität hängen durch Gl. (2.1) zusammen. 1 RS = ------------CS fS (2.1) Ein Vorteil von SC-Schaltung ist der, dass ausschließlich ein Bauelement, nämlich die Kapazität, verwendet wird und daher ein sehr gutes Matching für verschiedene Schaltungen erreicht wird. Die Knickfrequenzen hängen von der Taktfrequenz und von Kapazitätsverhältsnissen ab. Durch die Frequenz kann die Schaltung in ihrer Bandbreite getrimmt werden. In Abb. 2.6 ist eine günstige Realisierung der geschalteten Kapazität bei zwei hintereinander geschalteten Integratoren zu sehen. Mittels vier Schalter, die durch die Taktsignale φ1 und φ2 angesteuert werden, und querliegender Kapazität C S wird der Widerstand R S realisiert. Diese Schaltung ist für niedrige Versorgungsspannungen gedacht, weil fast alle Schalter bis auf S1 und S5 gegen V REF (=VSS, z. B.) schalten und somit immer im Leitfähigkeitsbereich bleiben. Schwierig wird es für 19 20 2 Geschaltete Größen 2.4 Geschaltete Kapazitäten Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen die Schalter am Eingang jeder Abtaststufe, die bei niedrigen Spannungen Leitfähigkeitsprobleme bekommen. Ein Lösung dafür können die geschaltete Operationsverstärker aus Abschnitt 2.5 sein. CF Difficult To Realise @ Low Voltage S1, φ1 Cs Difficult To Realise @ Low Voltage S4, φ2 + OP1 Vin S2, φ2 Input Stage VREF S3, φ1 Vout S5, φ2 Abb. 2.6: VREF Difficult To Realise @ Low Voltage S8, φ1 Cs + OP2 S6, φ1 Next Stage VREF CF VREF S7, φ2 S9, φ1 Next Stage VREF VREF VREF Zwei Standard Switched Capacitor Integratoren hintereinandergeschaltet Die Takte φ1 und φ2 sind zwei nichtüberlappende Takte. Diese Takte können mit folgender Schaltung in Abb. 2.7 erzeugt werden; das ist dann auch schon der gesamte Digitalteil, der für SC-Schaltungen benötigt wird: Zwei NOR-Gatter, die über Laufzeit-Inverter rückgekoppelt werden. Mittels der Laufzeit-Inverter kann die Überlappungsfreiheit definiert werden. TNONOVERLAP T DELAY clk nφ1 φ1 nφ2 φ2 clk φ1 φ2 T DELAY + T NONOVERLAP Abb. 2.7: TNONOVERLAP Erzeugung der nicht überlappenden Takte für einen Switched Capacitor Filter Das Design erfolgt wegen des einfachen Digitalteils direkt durch Schaltplaneingabe (Schematic Entry). SC-Schaltungen können leicht voll differentiell aufgebaut werden, was insbesondere für niedrige Versorgungsspannung notwendig ist. Weitergehende Literatur zu SC-Filtern ist zu finden unter [2-11] S. 728 ff., [2-12] S. 389 ff. oder [2-13] S. 394 ff.. Eine wichtige Anwendung für SC-Schaltungen sind Σ∆-Umsetzer ([2-11] S. 838 ff., [2-14]), hochgenaue Analog-Digital-Umsetzer. Bei diesen Schaltungen wird die Ladung auf einer Abtastkapazität im Gleichwicht gehalten, wobei das Eingangssignal die Ladungen aus dem Gleichgewicht bringt. Durch trickreiche Zählalgorithmen der negativen und positiven Ladungspakete, die zur Erhaltung des Gleichgewichts nötig sind, kann der gewandelte digitale Wert ermittelt werden. In Σ∆-Modulator 2 Geschaltete Größen 2.4 Geschaltete Kapazitäten Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Sigma-Delta-Umsetzern sind Analogteil (Σ∆-Modulator) und Digitalteil (digitales Filter) vollkommen voneinander getrennt und können jeder für sich entworfen werden. Es ist hier das erfolgreiche Prinzip verwirklicht, möglichst viele analoge Funktionen in den Digitalteil zu verlagern. Charge Scaling DAC Ladungsskalierende Digital-Analog-Umsetzer sind eine beliebte Architektur für Umsetzer ([2-11] S. 805 ff.). In Abb. 2.8 (1) ist die prinzipielle Struktur eines 3 Bit Charge Scaling Digital-Analog-Umsetzers dargestellt. (1) (3) (2) Vout + 2 pF 1 pF 0.5pF 0.5pF VDD OP - reset d2 d1 VDD 1 pF V o u t 2.5 pF 3 pF 1.5 pF Vout d0 VDD VSS Abb. 2.8: VSS Code: "010" VSS Code: "101" (1-3) Struktur eines 3 Bit Charge Scaling DACs (1) mit den kapazitiven Teilerverhältnissen für den Digital-Code „010“ (2) und den Code „101“ (3) Bei Charge Scaling DACs werden binär gewichtete Kapazitäten verwendet. Die Schalter ’d0’ bis ’d2’ können die Kapazitäten 0.5 pF, 1 pF und 2 pF einmal gegen VDD oder VSS schalten. Dadurch stellt sich ein variabler kapazitiver Spannungsteiler am positiven Eingang des als Spannungsfolger geschalteten Operationsverstärkers ein. In Abb. 2.8 (2) und (3) sind zwei mögliche Spannungsteilerverhältnisse gezeigt. Multifunktionale Sample&Hold Stufe Durch Kombination von SC-Schaltungen und einem komplexeren Digitalteil können multifunktionale Schaltungen entstehen. In Abb. 2.9 ist die multifunktionale Sample&Hold-Stufe (S&H), des Chips zur telemetrischen Messung der Nierenimpedanz zu sehen (vgl. Abschnitt Abb. 1.4, [A-11]). Mit dem entsprechenden dazu entw i c ke l t e n D i g i t a lt e i l w i r d s i e z u r D i g it a l K o n t r o l l i er t en A na l o g e n S c h a l t u n g. Geschickte Ansteuerung der Schalter durch den Digitalteil kann fünf verschiedene Funktionen in dieser S&H-Stufe bewirken, die in Funktionsblöcken zusammengefaßt sind. Dies ist möglich mit nur einem Operationsverstärker. Bei den Funktionen handelt es sich um 1. die Abtastung, die Verstärkung und Summation der differentiellen Eingangssignale ’Vinp’ und ’Vinn’ mit Wandlung von differentiell nach single-ended, 2. die Inaktivitäts- und Lösch-Funktion, 3. die Offset-Kompensation erster und zweiter Ordnung, 4. die Offset-Messung und 5. die Batteriespannungsmessung. 21 2 Geschaltete Größen 2.4 Geschaltete Kapazitäten Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen clear gain0.5 reduced parasitic R at M gain1 1xC C parasitic (gain8) sample_vdd Cp= 8xC M sample 1xC - hold Vout OP + set_gnda disch 2xC gain4 VDD BATTERY CHECK Cn= 8xC Vinn bottom plate towards Vout! 4xC gain2 sensitive point M Vinp S A M P L E 8xC GAIN switches toward M, C toward Vout!! os2 os4 sample C OS1 sample_vbg VBANDGAP Abb. 2.9: os1 V GNDA OFFSET 22 VGNDA C parasitic C OS2 os3 VGNDA os5 V GNDA Multifunktionale Sample&Hold-Stufe Zu 1.) Bei der Grundbeschaltung des OPs handelt es sich um einen Integrator. Im Rückkopplungszweig sitzen fünf Kapazitäten, 1xC, 1xC, 2xC, 4xC und 8xC. In ihnen wird die Ladung des Integrators aufsummiert. Durch die Schalter ’gain8’ bis ’gain0.5’ können die Kapazitäten dazu- oder weggeschaltet werden, wodurch die Verstärkung der S&H-Stufe in binären Stufen eingestellt wird. Die Schalter ’gain4’ bis ’gain0.5’ sind in Serie angeordnet. Dies reduziert zum einen die parasitären Kapazitäten der Schalter, die sich besonders bei größter Verstärkung mit kleinster Rückkoppelkapazität 1xC auswirken. Ebenso werden die Leckströme durch die Source- und Draingebiete reduziert, die bei hohen Temperaturen sehr groß werden und dann bei großen Abtastzeiten ins Gewicht fallen. D a s E i n g a n g s s i g n a l w i r d m i t b e i g e s c h l o s s e n e n S c h a l t e r n ’s a m p l e ’ u n d ’set_gnda’ differentiell als Ladungen gegenüber dem Bezugpotential V GNDA mit den Kapazitäten C P und C N abgetastet. Öffnen nun die Schalter ’sample’ und ’gnda’ und schließen die Schalter ’disch’ und ’hold’, so werden die Differenzladungen auf den Knoten M gebracht und erscheinen durch die Rückkopplung des Operationsverstärkers bei den Speicherkapazitäten. Mehrmaliges Wiederholen dieses Vorgangs ohne zwischenzeitliches Schließen des Schalters ’clear’ ’führt zur Summation und Mittelung des Eingangssignals. Zu 2.) Über den Schalter ’clear ’ können alle Kapazitäten entladen werden. Der Operationsverstärker wird dann als Spannungsfolger betrieben. Diese Löschfunktion kann während der Ablaufsteuerung mehrmals betätigt werden, z. B. zwischen Offsetkompensation und Batteriemessung. Zu 3.) Die Offset-Kompensation wird über die Schalter ’os1’ bis ’os5’ realisiert. Während der Clear-Funktion stellt sich als Ausgangsspannung Vout der Offset des Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 2 Geschaltete Größen 2.5 Geschaltete Operationsverstärker Operationsverstärkers ein. Schalter ’os1’ dabei ist geschlossen. Schließt nun der Schalter ’os2’, während ’os3’ bis ’os4’ geöffnet sind, so wird der Offset in der Kapazität C OS1 gespeichert. Öffnen nun die Schalter ’os1’ und ’os2’ und schließt ’os3’, so wird der positive Eingang des Operationsverstärkers um die Offsetspannung korrigiert, so dass der Offset am Ausgang verschwindet (Offsetkompensation 1. Ordnung). In einer zweiten Stufe kann mit den Schaltern ’os4’ und ’os5’ eine weitere Offset-Kompensation nach dem gleichen Prinzip durchgeführt werden, um einen eventuellen Rest-Offset zu kompensieren (Offset-Kompensation 2. Ordnung). Zu 4.) Mit dieser Funktion kann die Messung des Offsets der Schaltung durchgeführt werden. Es handelt sich dabei um einen Testmodus, um die Güte und Qualität der neuartigen Offset-Kompensationsschaltung zu prüfen. Bei einem Eingangssignal von 0 V, d. h. bei geöffneten Schaltern ’sample’ und geschlossenem Schalter ’disch’, wird die Verstärkungs- und Summationsfunktion benutzt und der Offset aufsummiert. Dies ermöglicht den Offset zu messen und zu qualifizieren ohne OffsetKompensation, mit Offsetkompensation 1. Ordnung und mit Offsetkompensation 2. Ordnung. Zu 5.) Die letzte Funktion ist das Messen der Versorgungsspannung mit geringem Stromverbrauch. Das Problem des Messens der Versorgungsspannung im Allg e m e i ne n i s t , da s s di e Ve r s or gu n g s s p an n u n g s e l bs t z u g r oß is t f ü r ü b li c h e Eingangsstufen einfacher Operationsverstärker. Die Versorgungsspannung muss also heruntergeteilt werden in den Eingangsbereich von Operationsverstärkern. Widerstandsteiler haben den Nachteil, einen Querstrom fließen zu lassen. Besser sind kapazitive Teiler. Die Schaltung in Abb. 2.9 benötigt nur die zwei zusätzlichen Schalter ’sample_vdd’ und ’sample_vbg’, um die Versorgungsspannung VDD herunterzuteilen. Eine zweifache Mittelwertbildung kann durchgeführt werden: erst eine Mittelwertbildung V MW1 zwischen VDD und V BANDGAP und danach eine weitere Mittelwertbildung V MW2 zwsichen V MW1 und aberfalls V BANDGAP. Dies ist nötig, um die Ausgangsspannung V OUT in den Eingangsbereich des folgenden A/D-Umsetzers zu bringen. Erreicht wird dies wie folgt: Die Versorgungsspannung ’V DD ’ und der Bandgap-Referenzspannung ’V BANDGAP ’ wird bei geschlossenen Schaltern ’sample_vdd’ und ’sample_vbg’ in den Kapazitäten C P bzw. C N gespeichert. Durch Öffnen der Schalter ’sample_vdd’ und ’sample_vgb’ und Schließen von ’disch’ wird der erste Mittelwert von ’V DD ’ und ’V BANDGAP ’ auf CN und CP gebildet. Öffnen von ’disch’, Schließen von ’sample_vbg’, wieder öffnen von ’sample_vbg’ und nochmaliges Schließen von ’disch’ führt zur zweiten Mittelwertbildung V MW2 . Die Verstärkung der Schaltung, einstellbar freie Auswahl der Schalter ’gain0.5’ bis ’gain4’ muss beim Messen der Versorgungsspannung auf einen festen Wert gebracht werden, damit V OUT nicht übersteuert, eine weitere kleine Aufgabe für den Digitalteil. Zur Ansteuerung dieser multifunktionalen Sample&Hold-Stufe ist ein komplexes digitales Steuerwerk nötig Zusammen ergibt das eine Digital Kontrollierte Analoge Schaltung. Das dazugehörige Steuerwerk ist in [3.1] Kap. A beschrieben. 2.5 Geschaltete Operationsverstärker Verwendung beim Entwurf in Kapitel 5 Geschaltete Operationsverstärker sind die letzten geschalteten Komponenten. Operationsverstärker werden beim Entwurf in erster Linie verwendet, um in den Power-Down-Modus zu schalten, so z. B. die Treiber-Operationsverstärker ’buf’ des Dreiecksgenerators in Abb. 5.16 auf Seite 100. Bei kurzen Power-Down-Zeiten können die Operationsverstärker schneller wieder einschalten. Wie es bei SC-Schaltungen deutlich geworden ist, gibt es Probleme mit den Schaltern bei niedrigen Versorgungsspannungen. Der Eingangsschalter jeder SCFilterstufe hat Probleme, nicht in die Leitfähigkeitslücke zu geraten (vgl. Abb. 2.6 und Abb. 3.9b auf Seite 38). Daher gibt es die Idee, diesen Schalter in den vorgela- 23 24 2 Geschaltete Größen 2.5 Geschaltete Operationsverstärker Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen gerten Operationsverstärker zu verlagern. Oder anders ausgedrückt: auf den Schalter zu verzichten und den Operationsverstärker zwischen den Zuständen hochohmig und leitend am Ausgang hin und her zu schalten [2-15],[2-16]. In Abb. 2.10 ist die verbesserte Schaltung aus Abb. 2.6 zu sehen. Die Eingangsschalter sind in die schaltbaren Operationsverstärker gewandert. Durch geschickte Wahl der Referenzen in der Eingangsstufe kann hier eine Verstärkung von 2 realisiert werden. Auf einen allerersten abtastenden Eingangsschalter, der das Problem der Leitfähigkeitslücke hat, kann leider nicht verzichtet werden. In [3-1] Kap. B werden Schaltungsmöglichkeiten für diese Low-Voltage-Schalter aufgezeigt. CF A sampling switch cannot be avoided S1, φ1 Cs + CF Switch replaced by high output impedance of OP1 S4, φ2 Cs Vout S8, φ1 OP1 Vin Input Stage S2, φ2 V REF OP2 S O P 1 , φ2 low dynamic input voltage Vin V REF /2 V REF /2 different reference voltages in input stage get a gain of 2 + - S3, φ1 Next Stage S6, φ1 S7, φ2 S O P 2 , φ1 V REF V REF V REF Next Stage V REF Abb. 2.10: Geschaltete Operationsverstärker integrieren den Eingangsschalter der nächsten Stufe. Nur der allererste Abtastschalter bleibt weiterhin schwierig. Der Schaltplan eines schaltbaren Operationsverstärkers ist in Abb. 2.11 dargestellt. Es handelt sich hier um einen einfachen Operationsverstärker mit PMOS-Differenzeingangstufe, mit aktiver Stromlast am Ausgang (Transistor T8) und mit einer Kompensationskapazität C COMP. Die Transistoren T8 und T9 müssen hochohmig geschaltet werden. Damit ist dann der Ausgang hochohmig. Ist das Schaltsignal φ auf logisch null, so öffnet der Schalter T10. T9 wird ausgeschaltet und es schließt der Schalter T5, so dass die Transistoren T6, T7 und T8 ausgeschaltet werden. Die Transistoren T8 und T9 arbeiten mit ihrer Source-Spannung niemals im Bereich der Leitfähigkeitslücke und können damit am Ausgang Vout den gesamten Spannungsbereich von VDD bis VSS weniger zweier Sättigungsspannungen abdekken. Im hochohmigen Zustand sollte die Spannung der Kompensationskapazität 2 Geschaltete Größen 2.5 Geschaltete Operationsverstärker Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen C CO M P erhalten bleiben, um beim Einschalten ein schnelles Einschwingen zu ermöglichen. VDD φ T5 T7 T6 T8 Vin Vip T1 T2 C COMP Charge in CC O M P should be held stable in tristate for fast setting time! Vout T9 I BIAS T3 T4 φ T10 VSS = T8 and T9 have source never in the forbitten range and can therefore operate the whole range Abb. 2.11: Schaltplan eines geschalteten Operationsverstärkers mit dem Taktsignal φ Die Schaltung ist single-ended gezeigt. Sie muss unbedingt bei niedrigen Versorgungsspannungen voll differentiell aufgebaut werden. 25 26 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.1 Simulationsmethoden Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 3 Digital-analoge Schnittstelle In diesem Kapitel wird die Schnittstelle zwischen Analog- und Digitalteil genauer betrachtet. Aus verschiedenen Gründen ist diese genaue Betrachtung sinnvoll. Zum einen werden Analog- und Digitalteil mit völlig verschiedenen Programmen (Tools) entworfen und unterliegen einem unterschiedlichen Design-Flow, insbesondere wenn man Semi-Custom-Digital-Schaltungen betrachtet. Es wird der Entwurf von digitalen Steuerwerken behandelt, Eigenschaften von analogen MOS-Schaltern betrachtet und Qualitätskriterien für analoge Schalter vorgestellt. Digitale Steuerwerke werden in den beiden Sinusgeneratoren (vgl. Abb. 5.6 auf Seite 84) und zur Ansteuerung des sonstigen analogen Teils verwendet ( vgl. Abb. 6.14 auf Seite 125). Analoge Schalter werden durch den ganzen Entwurf hinweg für die Einflussnahmen des Digitalteils im Analogteil verwendet. Verwendung beim Entwurf in Kapitel 5 3.1 Simulationsmethoden Es besteht die Möglichkeit, analoge Schaltungsteile durch Verhaltensmodelle in den Hardwarebeschreibungssprachen VHDL [3-2][3-3] oder Verilog [3-4] zu modellieren. Es gibt eine Vielzahl von frei zugänglichen VHDL-Paketen, z. B. mathematische Pakete oder VHDL-AMS (VHDL für Analog und Mixed-Signal) ([3-10][3-11][312]) mit denen die Schaltungen sogar bis auf Bauelementeebene herunter beschrieben werden können. Mit digitalen Simulationsprogrammen wie Modelsim [3-5], Verilog-XL [3-6], Summit [3-7], HDL-Designer [3-8] ließen sich diese Modelle des Analogteils zusammen mit dem Digitalteil simulieren. Digital-Simulatoren für analoge Schaltungen Schwierigkeiten bestehen im zeitlichen Aufwand der Modellierung und in der Genauigkeit des Modells. Für prinzipielle Systemsimulationen bei großen digitalen Schaltungen ist ein Modell des Analogteils in einer Hardwarebeschreibungssprache unerläßlich. Diese Modelle sind zu grob, als dass sie wirklich die Funktion des Analogteils überprüfen können. Es wird die Zusammenarbeit des Analogteil mit dem Digitalteil getestet. Die detaillierte Modellierung mit VHDL-AMS ist zu aufwändig, weil es noch keine automatischen Umsetzer gibt, die Spice-Netzlisten in VHDLAMS-Netzlisten umsetzen, und die Halbleiterhersteller keine Transistor-ModellParameter für VHDL-AMS zur Verfügung stellen. Des weiteren besteht die Möglichkeit digitale Schaltungsteile analog oder bessergesagt transient zu simulieren, d. h. mit analogen Simulatoren wie Spice [3-13],[314],[3-16] Spectre [3-17], Saber [3-18], Eldo [3-19] oder Titan [3-20]. Dies ist nur für sehr kleine digitale Schaltungen möglich. Andernfalls sprengen zu hohe Simulationszeiten den Rahmen des Handhabbaren. Die Simulationszeiten sind u. a. deshalb so hoch, weil die Kennlinien der Transistoren in den digitalen Gattern immer vollständig durchfahren werden und die Konvergenz der Simulation schwierig ist. Analog-Simulatoren für digitale Schaltungen Die Lösung besteht in sogenannten „Mixed-Mode“-Simulationen, d. h. gemischt digitalen und analogen Simulationen. Die analogen und die digitalen Schaltungsteile werden mit ihrem Analog- bzw. Digital-Simulator simuliert. Beide Simulatoren tauschen dabei Simulationsdaten und -ergebnisse aus. Ein Analog-Simulator und ein Digital-Simulator, die gemeinsam von einem Interface angesteuert werden, simulieren im Hintergrund. In der Praxis sieht dies so aus, dass meist das grafische Interface eines Analog-Simulators (Analog-Artist-Simulation bei Cadence) wie Spectre, Titan oder Eldo die Ansteuerung für eines Digitalsimulator wie Verilog, Verilog XL oder Modelsim übernimmt. Man spricht dann von z. B. einer SpectreVerilog XL Simulation [3-21]. Das Austauschen von Simulationsdaten zwischen dem analogen und dem digitalen Simulator benötigt viel Rechenzeit. Neueste Entwicklungen führen zu echten Mixed-Signal-Simulatoren, wo ein Simulator, d. h. ein Mixed-SignalSimulatoren 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.2 Komponenten der Schnittstelle Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Kernel, sowohl analoge als auch digitale Schaltungen gleichzeitig simulieren kann. Das Programm-Paket AMS-Designer [3-22] der Firma Cadence stellt einen solchen Simulator zur Verfügung. Die Simulationszeiten sind etwa die Summe aus der Simulationszeit für den Analogteil und für den Digitalteil. Schnittstellenelemente Für Mixed-Signal-Simulationen müssen Schnittstellenelemente (Mixed-SignalInterface) definiert werden, die die Simulationsdaten und -ergebnisse des analogen Simulators in die des digitalen Simulators übersetzen, bzw. umgekehrt. Für eine Spectre-VerilogXL-Simulation besitzen die Schnittstellenelemente wenige einstellbare Parameter, wie Schwellen und Anstiegszeiten, die aber für jedes Signal zwischen Analog- und Digitalteil mühsam einzeln per Hand ermittelt werden müssen. Dies legt die Notwendigkeit nahe, dass alle Signale, die zwischen Analog- und Digitalteil verlaufen, gleichartig entworfen werden müssen. Ist dies der Fall, braucht nur eine einheitliche Schnittstelle (Unit-Mixed-Interfaces) definiert zu werden. 3.2 Komponenten der Schnittstelle Die eigentliche Problematik mit gemischt analogen und digitalen Simulationen liegt aber nicht in der Frage des richtigen Simulators, sondern in der Frage der Schnittstelle zwischen Digitalteil und Analogteil. In Abb. 3.1 ist die digital-analoge Schnittstelle in beide Richtungen dargestellt. Die entsprechenden Komponenten werden in den Abschnitten 3.3 und 3.4 und Kapitel 4 näher erläutert. no feedback !! D-A Direction (asynchronous) State Machine VDD data b no output logic !! VDD VDDA VSS VSSA Analog Switch q d c clk rn Unit-MixedSignal Interface VSS nra Digital Part O U T IN Synchronisation D-FlipFlops VDD State Machine d Analog Part A-D Direction (asynchronous) VDD q VDDA q c clk Vsignal - Vref c rn VSS + comp d VSSA c a rn VSS Unit-MixedSignal Interface nra Abb. 3.1: Digital-analoge Schnittstelle (Interface). Im oberen Teil die Richtung von Digital nach Analog, im unteren Teil von Analog nach Digital. Digitale Steuerwerke dürfen keine internen Rückkopplungen und keine Ausgangslogik besitzen. Analoge Signale müssen im Digitalteil einsynchronisiert werden. In der linken Hälfte sind die Strukturen für den Digitalteil dargestellt, in der rechten für den Analogteil. Die Übertragungsrichtung vom Digitalteil in den Analogteil liegt in der oberen Hälfte, die andere Richtung in der unteren Hälfte. 27 28 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.2 Komponenten der Schnittstelle Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 3.2.1 Digital nach Analog Zwei mögliche Schnittstellen gibt es vom Digitalteil zum Analogteil: die synchrone und asynchrone Schnittstelle. Beim Entwurf der Sinusgeneratoren wird die asynchrone Schnittstelle vom Digitalteil zum Analogteil verwendet. Die asynchron arbeitenden Schalter der Stromausg an gs tr an s i s t or en we r de n du r c h e in St e uer w e rk m it syn ch ro ne n A us gä nge n angesteuert. Verwendung beim Entwurf in Kapitel 5 Stand der Technik ist es, dass der Digitalteil den Analogteil über eine synchrone Schnittstelle ansteuert. Dies geschieht z. B. bei getakteten Digital-Analog-Umsetzern. In den D/A-Umsetzern sind dann selbst noch wenige digitale Gatter enthalten mit ihrem eigenen Taktsignal. Diese wenigen digitalen Gatter werden vom Analogdesigner beim Entwurf der D/A-Umsetzer per Hand eingefügt. Schwierigkeiten ergeben sich bei Kontrolle des Timings bei der Erzeugung des Taktbaumes. Die digitalen Gatter im Analogteil sind dem Zugriff der Synthese und dem Layout-Tool für den Digitalteil entzogen. Die Lasten und die Verzögerungen dieser Gatter muss der Analog-Designer aufwändig ermitteln und dem Digital-Designer mitteilen. Es ergibt sich das Digitalteil und Analogteil sauber durch den D/A-Umsetzer voneinander getrennt sind. Die zweite Möglichkeit ist die, dass der Designer für digitale Schaltungen den Analogteil als vollkommen asynchrone Schaltung (Abb. 3.1 oben) betrachtet. Dies ist neu, weil des jetzt genaue Anforderungen an den Digitalteil gibt. Im Laufe dieser Arbeit haben sich folgende Design-Regeln für diese Schnittstelle herauskristallisiert: 1. keine Hazards: Kurze Einbrüche oder Spitzen in den digitalen Signalen können schon drastische Auswirkungen im Analogteil haben, z. B. Hazards in Power-Down-Leitungen würden zum kurzzeitigen Ausschalten des Analogteils führen. 2. kontrollierte Laufzeiten: In Hochgeschwindigkeits-Analog-Schaltungen können unterschiedliche Laufzeiten zu Jitter-Effekten führen. Daher müssen die Lasten gut kontrolliert werden. Daraus folgt, dass die letzten Gatter im Digitalteil vor dem Übergang zum Analogteil aus ausschließlich zwei Elementen bestehen müssen: einem D-Flipflop und einem treibenden Inverter, beide mit den digitalen Versorgungsspannungen VDD und VSS betrieben. Eventuell reicht schon die Treiberleistung des D-Flipflops, und es kann auf den Inverter verzichtet werden. Die beiden Elemente müssen für alle Signale vorgesehen werden, die vom Digitalteil in den Analogteil führen. Ausgangslogik (Hazard-Gefahr) und Rückkopplungen in den Digitalteil hinter dem Flipflop (nicht kontrollierbare Last) sind unter allen Umständen zu vermeiden. Anforderung an digitales Steuerwerk Das Steuerwerk zur Kontrolle des Analogteils wird nach den Prinzipien für den Entwurf digitaler Schalten entworfen [3-1]. Als erstes wird der Datenpfad definiert, welcher hier die analoge Schaltung mit ihren Schaltern ist. Danach wird über ein Timing-Diagramm der zeitliche Ablauf des Steuerwerkes festgelegt. Das TimingDiagramm wird in ein Zustandsdiagramm umgesetzt, wo zeitliche Zustände in einem Ablaufplan festgehalten werden. Das Zustandsdiagramm wird in eine Register-Transfer-Beschreibung eingegliedert, in der alle Register der Schaltung beschrieben werden. Danach erfolgt die Kodierung der digitalen Schaltung mit einer Hardware-Beschreibungssprache (VHDL oder Verilog). Dabei muss unbedingt darauf geachtet werden, das Steuerwerk ohne Ausgangslogik und ohne interne Rückkopplungen der Ausgangssignale zu beschreiben, d. h. alle Ausgänge zum Analogteil müssen direkt synchron aus Ausgangsflipflops kommen. Das Steuerwerk aus [3-2] S. 285 ff. ist entsprechend anzupassen. Der Entwurf eines Steuerwerkes mit VHDL für die multifunktionale Sample&Hold-Stufe aus Abb. 2.9 ist in [31] Kapitel A zu finden. Entwurf des digitalen Steuerwerkes Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.2 Komponenten der Schnittstelle Der Übergang zum Analogschalter erfolgt über einen dazwischen geschalteten immer gleichartigen Inverter, der mit den analogen Versorgungsspannungen VDDA und VSSA betrieben werden muss. Er dient zum einen dazu, die Eingangslast des Analogteils eindeutig zu definieren, und zum anderen dazu, die Störungen der Spannungsversorgungen des Digitalteils VDD und VSS abzublocken. Verfährt man identisch für alle Signalleitungen vom Digitalteil zum Analogteil, so führt dies zur oben erwähnten einheitlichen Schnittstelle (Unit-Mixed-Signal-Interface). Der Analogschalter erzeugt, beeinflusst durch das digitale Steuersignal, eine niederohmige oder hochohmige Verbindung zwischen den Signalen ’a’ und ’b’ und stellt damit die Eingriffsmöglichkeit des Digitalteils im Analogteil dar. 3.2.2 Analog nach Digital Die Weg in die andere Richtung kann ebenso über eine synchrone oder asynchrone Schnittstelle erfolgen. Verwendung beim Entwurf in Kapitel 5 Beim Entwurf der Sinusgeneratoren wird die asynchrone Schnittstelle vom Analogteil zum Digitalteil verwendet. Die Steuerlogik des Dreiecksgenerators arbeitet kan n d ie asynch ron en Si gnal e aus den K ompar at ore n K0 bis K 1 vera rbe ite n Abb. 5.16, Seite 100). Stand der Technik ist der synchrone Pfad. Er tritt vor allen bei Analog-DigitalUmsetzern auf. In diesen Umsetzern sind wenige digitale Zellen enthalten, die mit dem Takt des Digitalteils betrieben werden. Diese Zellen sind dem Zugriff der digitalen Synthese- und Layoutprogramme entzogen, wodurch Laufzeiten durch die Taktbäume durch analoge Simulationen ermittelt werden müssen. Die Laufzeiten müssen bei Erzeugung des Taktbaumes berücksichtigt werden. Der asynchrone Pfad (Abb. 3.1 unten) beginnt mit dem analogen Signal V signal , das beliebige Spannungspegel einnehmen kann und üblicherweise in Bezug auf ein Spannungspotential Vref definiert ist. Über den Komparator (oder auch Pegelwandler) muss eine Entscheidung getroffen werden, ob das Signal high oder low sein soll. Danach folgt ein stark treibender Inverter noch im Analogteil, der vor allem die Zuleitung zum Digitalteil und die Leitung im Digitalteil und die Eingangskapazität des dortigen Einheits-Gatters treiben muss. Das Einheits-Gatter sollte bei synchronen Schaltungen immer das gleiche D-Flipflop sein. Während der Synthese muss darauf geachtet werden, dass nur ein Typ von D-Flipflop an der Schnittstelle zugelassen ist. Folgt dem Komparator eine asynchrone Logik, muss diese nach den Anforderungen für asynchrone Logik entworfen werden. Folgt ein synchrones Steuerwerk muss eine Einsynchronisierung durchgeführt werden. Zwei in Serie geschaltete D-FlipFlops sorgen dafür, dass die asynchronen Signale aus dem Analogteil auf den Takt ’clk’ einsynchronisiert werden. Bei Setup- und Hold-Zeit-Verletzungen können Flipflops in metastabile Zustände fallen, d. h. eine Zeit lang auf Signalwerten zwischen dem Low- und dem High-Pegel verweilen [3-23],[3-24],[3-25]. Es ist eine Frage der Wahrscheinlichkeit (abhängig u. a. vom Rauschen und der Verstärkung der D-FlipFlops), wann ein FlipFlop diesen Zustand verlässt. Nach zwei hintereinander geschalteten Flipflops liegen mit an Sicherheit grenzender Wahrscheinlichkeit keine metastabilen Zustände mehr vor. Metastabile Zustände sind für einzelne Flipflops nur lästig. Für eine Zustandsmaschine sind sie nicht tolerabel. Zustandsmaschinen können in falsche oder ungültige Zustände geraten, wodurch sie funktionsunfähig werden. 29 30 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 3.2.3 Einheitliche Mixed-Signal-Schnittstelle Beim Entwurf der Digital Kontrollierten Analogen Schaltung in Kapitel 5 wird darauf geachtet, dass alle Übergänge zwischen Digitalteil und Analogteil vereinheitlicht sind, d. h. nur gleiche Schaltungskomponenten verwendet werden. Verwendung beim Entwurf in Kapitel 5 Das Zusammenspiel zwischen dem digitalen Steuerwerk und dem Analogteil muss unbedingt durch eine Mixed-Signal-Simulation überprüft werden. In MixedSignal-Simulationen wird die gemeinsame Funktionsweise von Digitalteil und Analogteil überprüft. Dafür werden zwischen Analogteil und Digitalteil Mixed-SignalSchnittstellenelemente geschaltet, die die Signalpegel des Digitalsimulators in die Signalpegel des Analogsimulators umsetzen und umgekehrt. Die Umsetzung wird im Sprectre-Verilog-Simulator [3-21] etwas einfach modelliert. Es ist darauf zu achten, dass alle Schnittstellen zwischen Analogteil und Digitalteil mit identischen Komponenten aufgebaut werden. Es k ann dann mit einer einheitlichen MixedSignal-Schnittstelle simuliert werden. Für weitere Details siehe [3-1] Kapitel C. 3.3 Schalter Der analoge MOS-Schalter wird als das Grundelement für die Einflussnahme des Digitalteils im Analogteil vielfach verwendet (vgl. Abb. 5.16 auf Seite 100 und Abb. 5.22 auf Seite 106). Eigenschaften des MOS-Schalters werden berücksichtigt. Verwendung beim Entwurf in Kapitel 5 Die analogen Schalter sind die Hauptmöglichkeit des Digitalteils zum Eingriff in den Analogteil. Es ist das zentrale Element in Digital Kontrollierten Analogen Schaltungen. Aufgrund dieser herausgehobenen Stellung des Analogschalter wird ihm dieser Abschnitt 3.3 gewidmet, der dessen Eigenschaften untersucht und darstellt. Es werden verschiedene Schalter untersucht. Die Definitionen eines idealen Schalters wird gegeben, und wichtige Parameter verschiedener Typen von realen Schaltern werden untersucht und dargestellt. Diese Untersuchung führt von statischen Schaltern bis zu dynamischen Schaltern mit geringem Taktdurchgriff. Folgende Definition soll in dieser Arbeit für offene und geschlossene Schalter gelten: Ein Schalter heißt geschlossen 2 , an- oder eingeschaltet, wenn sein Widerstand sehr niedrig ist und viel Strom durch ihn fließen kann. Ein Schalter heißt offen 3 , aus oder ausgeschaltet, wenn sein Widerstand sehr hoch ist und nur noch sehr wenig Strom durch ihn fließen kann. Liegt an einem Schalter ein Steuersignal mit logisch ’1’, dann sei der Schalter geschlossen. Liegt an einem Schalter ein Steuersignal mit logisch ’0’, dann sei der Schalter offen. Definition: Schalter offen/ geschlossen Schalter werden in erster Linie durch MOS-Transistoren realisiert. Aufgrund der immer weiter sinkenden Versorgungsspannungen und der Verkleinerung der Strukturbreiten (Länge des Gates im Submikrometer-Bereich) ist das Verständnis des MOS-Transistors in einem integrierten Modell aller seiner Arbeitbereiche, des Sättigungsbereichs, des Triodenbereichs und des Unterschwellbereichs (SubthresholdRegion), nötig. Ein geeignetes Großsignal-Simulationsmodell ist das EKV-Modell ([3-26], [3-27]). Es handelt sich um ein gemischt empirisch-physikalisches Modell mit sehr wenigen einzustellenden Parametern (nur 18 im Vergleich z. B. zu den 80 Parametern des BSIM3v3-Modells). Das Modell deckt die gesamten Arbeitsbereiche eines Transistors ab und ist für verschiedene Simulatoren erhältlich. Großsignal-Modell des MOS-Transistors Bei der Untersuchung der Schalter werden die dazu verwendeten Transistoren in den verschiedenen Arbeitsbereichen untersucht. Verschiedene Arbeitsbereiche der Transistoren gibt es in [3-28] und eine Zusammenfassung in [3-1] Kapitel D. Zur 2 3 nach „geschlossener Stromkreis“ oder nach „geschlossenem Schalthebel“ nach „offener Stromkreis“ oder nach „offenem Schalthebel“ 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Festlegung und Definition der Spannungen am NMOS-Transistor dient Abb. 3.2. Für den PMOS-Transistor werden die Spannungen und Ströme invertiert. bulk gate source VG drain ID VS VG VD VD ID source drain gate bulk n-channel MOS Abb. 3.2: VS p-channel MOS Festlegung und Konvention der Größen und Bezeichnungen am MOSTransistor 3.3.1 Idealer Schalter Ein Schalter im hier verwendeten Sinne ist ein elektrisches Bauteil, welches zwei Signale ’a’ und ’b’ miteinander verbinden oder voneinander trennen soll. Gesteuert wird dies durch ein Schaltsignal ’c’ (Takt), welches den Schalter schließen lässt (An-Zustand), wenn ’c’ oberhalb einer Schwellspannung liegt, bzw. öffnet wenn es unterhalb einer Schwellspannung liegt (Aus-Zustand). Die Eigenschaften eines idealen Schalters sind folgende: 1. ein unendlich großer Widerstand R OFF im Aus-Zustand, 2. ein Widerstand R ON =0 im An-Zustand, 3. keine kapazitive oder ohmsche Kopplung zwischen Schaltsignal ’c’ und Signalen ’a’ und ’b’, 4. keine Schaltverzögerung zwischen den beiden Zuständen, 5. keine Offsetspannung im An-Zustand und 6. keine Leckströme von ’a’ oder ’b’ gegen Masse. Das Schaltbild eines idealen Schalters ist in folgender Abbildung dargestellt. a c='0' a c='1' open = off b Abb. 3.3: close = on b Schaltbild eines idealen Schalters Die genannten idealen Größen geben die Ziel-Größen vor, nach denen die Schalter integrierter Schaltungen (MOS-Schalter) untersucht und dimensioniert werden sollen. Im nächsten Abschnitt werden verschiedene MOS-Schalter untersucht und es wird dargestellt, welche Maßnahmen man ergreifen kann, um Verbesserungen der Schaltereigenschaften zu erreichen. 3.3.2 Nicht-idealer Schalter in verschiedenen CMOSTechnologien Es ist denkbar, nicht-ideale Schalter mit verschiedenen elektronischen integrierb ar en B a u el e m e n t e n z u r e a li s ie r e n , z . B . m i t e i ne m M O S - Tr a ns i s t o r, e in e m 31 32 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Junction Feld-Effekt Transistor oder einem Bipolar-Transistor. Die beiden ersteren sind als Schalter für Ströme und Spannungen geeignet, der letztere ist nur als Schalter für Ströme geeignet. Junction-Feld-Effekt-Transistoren und Bipolar-Transistoren sind normalerweise nicht in Technologien für digitale Schaltung vorhanden. Jede Technologie, die jedoch in größerem Maße digitale Funktionen integrieren will, besitzt MOS-Transistoren. Daher sollen die Untersuchungen zu den nicht-idealen Schalter-Eigenschaften ausschließlich für MOS-Transistoren durchgeführt werden. In [3-30] ist dargestellt, wie Ladungsspeicherung in MOS-Transistoren in SPICEModellen erfolgt. Eine einführende Darstellung von Nicht-Idealitäten von Schaltern, Ladungsinjektion und Taktdurchgriff wird in [3-31] Abschnitt IV gegeben. Einige Schaltereigenschaften oder Transistoreigenschaften werden für verschiedene Technologie-Generationen, von Standard-Technologien mit der Strukturbreite 0,8 µm bis zu hochmodernen Technologien mit der Strukturbreite 0,12 µm dargestellt unter Berücksichtung des Blickwinkels eines Chip-Designers. Es kann daran ersehen werden, ob sich das Schalterdesign bei modernen Prozessen verändern wird. Zum Vergleich der Simulationen verschiedener Technologien und um normierte Darstellungen zu erhalten, werden nach Möglichkeit für Schalter Minimaltransistoren oder Vielfache davon verwendet. Gütekriterien, wie Leitwert im An- und Aus-Zustand, Leckströme, Kopplungskapazitäten, Ladungsinjektion (statisch) und Taktdurchgriff (dynamisch) sind Gegenstand der Untersuchung. In Abb. 3.4 sind die drei Grundarten von MOS-Schaltern dargestellt. NMOS PMOS b=Drain c=Gate Bulk nc a=Source Abb. 3.4: CMOS b b c a nc a Verschiedene Typen eines Schalters mit MOS-Transistoren. Der CMOS-Schalter besteht aus einem NMOS- und einem PMOS-Transistor und wird auch als Transmissiongate bezeichnet. Der NMOS-Schalter is t geeignet, niedrige Spannungspegel zu schalten, der PMOS-Schalter, hohe Spannungspegel zu schalten, und der CMOS-Schalter kann Spannungspegel im gesamten Spannungsbereich schalten. Der NMOS-Schalter arbeitet so wie in Abb. 3.4 gezeigt mit dem Schaltsignal ’c’ und den beiden Signalen ’a’ und ’b’. Beim PMOS-Schalter ist das Schaltsignal ’nc’ invers in seiner Wertigkeit. Der CMOS-Schalter ist zusammengesetzt aus einem PMOS und NMOSTransistor und besitzt daher zwei Schaltsignale ’c’ und ’nc’, die invers angesteuert werden müssen. Der CMOS-Schalter heisst auch Transmissiongate. Kapazität en am Transistor sin d besonders w ichtig bei der Betr acht ung von Ladungsinjektion und Taktdurchgriff. Diese Kapazitäten sind in die Spice-Modelle der Transistoren eingebunden. Mit Hilfe der Kapazitäten werden die im Transistor gespeicherten Ladungen beschrieben, die beim Schalten an die Signalleitungen ’a’ oder ’b’ abgegeben werden. Daher werden sie im Folgenden ausführlich betrachtet. In Abb. 3.5 wird ein vereinfachtes Ersatzschaltbild für einen NMOS-Transistor im An- und Aus-Zustand gezeigt. Es verdeutlicht die kapazitiven und resistiven Verhältnisse an Schaltern. Drei Kapazitäten sind von Bedeutung: die Gate-Bulk-Kapazität C GB , die Gate-Source-Kapazität C GS und die Gate-Drain-Kapazität C GD . Die Kapazitäten zum Source und Drain setzten sich aus zwei Anteilen zusammen: einer Kapazitäten 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Überlappkapazität C GSov bzw. C GDov, die durch die Unterdiffusion der Source- und Drain-n + -Diffusionsgebiete unter das Polysilizium Gate zustandekommt, und der Kanalkapazität C GSch bzw. C GDch , die sich zwischen dem Ladungsträgerkanal unter dem Gate-Oxid und dem Gate-Anschluss bildet. Die Überlappkapazitäten ergeben sich aus der längenspezifischen Kapazität C OV und der Weite des Transistors W: C GSov =C GDov =WC OV und sind unabhängig vom Arbeitszustand. Die Kanalkapazitäten C GSch und C GDch hängen vom Arbeitszustand des Transistors und dem Produkt aus flächenspezifischer Gate-Oxid-Kapazität C OX , der Länge L und Weite W des Transistors ab. Weak Inversion OFF a=Drain R leakage CDB CGDov CGB Strong Inversion a ON R Bulk R off /2 CDB CGDov c=Gate='0' CGDch c='1' CGSch Bulk CGSov R off /2 CGSov αR o n γR o n βR o n R leakage C SB b=Source Abb. 3.5: Bulk leakage R leakage b CDB Einfache Modellierung eines NMOS-Schalters in Aus- und An-Zustand Im Aus-Zustand (Off) gibt es vom Schaltsignal ’c’ aus gesehen zwei Arten von Kapazitäten. Als erstes die beiden Überlappkapazitäten C GSov und C GDov. Als zweites ist unter dem Gate kein Kanal ausgebildet, und es gibt eine Gate-Bulk-Kapazität C GB vom Gate zum Bulk. Zwei Widerstände sind zu betrachten: der Auswiderstand R off zwischen ’a’ und ’b’ und die beiden Leckwiderstände R leakage an Source und Drain. An Drain und Source gibt es außerdem die parasitären Sperrschicht-Kapazitäten C DB und C SB zum Bulk, der in Sperrrichtung geschalteten pn-Übergänge. Im An-Zustand (On) haben die Überlappkapazitäten den gleichen Wert. Es gibt eine Verlagerung der Gate-Bulk-Kapazität C GB zur Gate-Source- und Gate-DrainKanalkapazitäten C GSch und C GDch . Die Kapazitäten C GSch und C GD ch können unterschiedlich groß sein in Abhängigkeit vom Arbeitszustand (vgl. [3-1] Abb. D.2) des MOS-Transistors. Der Widerstand R on teilt sich auf in drei Teile α,β,γ (mit α+β+γ =1) auf. Das Verhältnis von α,β,γ hängt vom Arbeitsbereich des Transistors ab. Im An-Zustand (Triodenbereich) wird γ=1 angenommen. Die Abhängigkeit der Kapazitäten C GB , C GS und C GD von der Gate-Spannung V G ist in Abb. 3.6 dargestellt. Es handelt sich hier um das Simulationsergebnis eines Minimal-NMOS-Transistors einer 0.8 µm-CMOS-Technologie. Am Gate wird eine ansteigende Spannung V G angelegt, während der einfließende Strom ins Gate und die abfließenden Ströme in Source, Drain und Bulk aufgezeichnet werden. Aus dem 33 34 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Stromverlauf ergeben sich die Kapazitäten. Source und Bulk liegen hierbei auf 0 V, Drain auf festem Potential von 1 V Off Saturation On / Triode WLCOX + 2WCOV C Gtotal 2/3 WLCOX + 2WCOV increase of COXGS, not COXGD C GB C GS+CGD 2WC OV depletion of holes in the bulk VTH Abb. 3.6: VD+VTH Kapazitäten an einem NMOS-Transistor mit Minimalweite und -länge (2,0 µm / 0,8 µm) in Abhängigkeit von der Gate-Spannung im Bereich 4 V bis 4 V. Die Drain-Spannung V D ist 1 V, die Bulk- und SourceSpannung sind V B =V S =0 V. Verschiedene Arbeitsbereiche sind am Verlauf zu erkennen: Off, Saturation, On. (Simulation mit BSIM3v3) Es sind drei Verläufe dargestellt: die totale Gate-Kapazität C Gtotal , welches die Summe aus den beiden anderen Verläufen, der Summe aus Drain- und SourceKapazität und der Bulk-Kapazität ist. Man erkennt, dass sich die Gate-Source- und die Gate-Drain-Kapazität im Aus-Zustand aus den Überlappkapazitäten C GSov +C G Dov = 2WC O V zusammensetzen. Die Bulk-Kapazität C GB besteht aus einer Serienschaltung der Gate-Oxid-Kapazität WLC OX und der Verarmungsregionskapazität C d . Die Reihenschaltung ergibt C GB = ( WLCOX )C d ⁄ ( WLC OX + Cd ) mit Cd = WL ( qε SI N SUB ) ⁄ ( 2φ F ) und q der Elementarladung, ε SI der dielektrischen Konstante für Silizium, N SUB der Dotierungsatomkonzentration des Substrats und φ F dem Fermi-Potential. Bei steigender Gate-Spannung werden die Substrat-Ladungsträger (Löcher) im p-Substrat verdrängt, welches zur Verminderung der Bulk-Kapazität führt. Sobald die Schwellspannung V TH überschritten wird, bildet sich ein Kanal unter dem Gate aus. Der Transistor befindet sich sofort im Sättigungsbereich, d. h. es besteht eine leitende Verbindung vom Kanal zum Source. Über den Abschnürpunkt (Pinch-Off-Point) ist das Drain vom Kanal getrennt. Die Gate-BulkKapazität C GB fällt stark ab. Demzufolge steigt die Gate-Source Kapazität C GS um den Anteil der Gate-Source-Kanalkapazität C GSch = 2/3 WLC OX an. Der Faktor 2/3 ergibt sich aus der sinkenden Feldstärke entlang des Kanals [3-32]. Die Gate-Drain Kapazität C DS bleibt konstant und besteht aus der Überlappkapazität C GDov. Mit einer Simulation ist es schwierig, die Einzelkapazitäten von Gate zu Source und Drain zu ermitteln. Dies liegt daran, dass, sobald die Gate-Spannung V G die Schwellspannung V TH überschreitet, ein Arbeitsstrom von Drain nach Source zu fließen beginnt. Jedenfalls genügt es nicht, die Gate-Spannung V G einfach ansteigen und sich die Einzelströme in Gate, Drain, Source und Bulk anzeigen zu lassen. Überlagert man der gleichmäßig ansteigenden Gate-Spannung eine kleine Dreieckspannung, so ist an den Umschlagpunkten simulationstechnisch eine Unterscheidung zwischen Source- und Drain-Kapazität möglich. 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen St ei gt d ie Ga te -S p ann ung übe r d ie S ch we ll span nu ng u nd D r ain - Sp ann un g (V G >V TH +V D ), dann erreicht der Transistor den Triodenbereich. Der Kanal ist voll ausgebildet und die Gate-Oxid-Kapazität WLC OX wird zur Hälfte dem Drain und zur anderen Hälfte dem Source zugeordnet. Die Kapazität von Gate zu Source und Drain steigt im Triodenbereich auf die Summe der Gate-Kanal-Kapazität WLC OX und der beiden Überlappkapazitäten jeweils zu Drain und Source 2WC OV. Die GateB u l k - K a p a z i t ä t s i n k t i m Tr i o d e n b e r e i c h , w e i l d e r K a n a l d a s B u l k v o m G a t e abschirmt. In Abb. 3.7 sind die kapazitiven Verhältnisse an Minimal-NMOS-Transistoren mit verschiedenden minimalen Strukturbreiten 0.6 µm, 0.35 µm, 0.25 µm und 0.12 µm dargestellt. a) c) Abb. 3.7: b) d) (a-d) Kapazitäten an einem NMOS-Transistor in verschiedenen CMOS-Technologien: a) 0.6 µm, b) 0.35 µm c) 0.25 µm, d) 0.12 µm in Abhängigkeit der Gate-Spannung im Bereich oberhalb 0 V. (Simulation mit BSIM3v3) Das prinzipielle Verhalten der Kapazitäten ist ähnlich wie bei 0.8 µm. Es kann zwischen den verschiedenen Arbeitsbereichen (An, Sättigung, Aus) des Transistors unterschieden werden. Ein zusätzlicher Kapazitätsverlauf ist in Abb. 3.7 (a-d) dargestellt und zwar der Verlauf, in dem die Transistoren nur in Sättigung bleiben (’only saturation’). Hier ist die Drain-Spannung V D gleich der Versorgungsspannung: V D =V DD . Die Transistoren bleiben immer in Sättigung und die Kapazitätsk ur v e v er l ä u f t w a ag e r e c h t w ei t e r u n d g e h t n ic h t i n de n Tr i o d en b e r e ic h . E i n Modellierungsfehler ist bei 0.25 µm in c) zu sehen. Der Übergang vom Aus- in den Sättigungszustand ist zu steil. Dies führt leicht zu Konvergenzschwierigkeiten des Simulators vom Übergang des einen in den anderen Zustand. Für Strukturbreiten 35 36 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen mit 0 .12 µ m in d) sind die Ka pazit äten C G S u nd C D S auch im nicht le iten den Zustand abhängig von der Drain-Spannung V D . Dies ist erkennbar beim Vergleich der Verläufe der Gesamt-Gate-Kapazität mit einer Drain-Spannung V D =0.6 V (Gate (total)) und der Gesamt-Gate-Kapazität mit V D =1.6 V, also nur im Sättigungsbereich (Gate (total, only Sat.)). Dies ist ein Unterschied zu den Technologien größerer Strukturbreite. Die Kapazitäten sinken vom Prozess 0.8 µm zu 0.12 µm um etwa eine Größenordnung. Die Kapazitäten tragen beim Schalten zu Ladungsinjektion und Taktdurchgriff bei. Weitere relevante Kapazitäten am Transistor sind die Sperrschicht-Kapazitäten C PN der pn-Übergänge in Source und Drain zum Bulk C SB bzw. C DB . Diese sind nichtlinear und hängen von der angelegten Sperrspannung (reverse) V RPN ab. Je größer die Sperrspannung V PN , desto weiter wird die raumladungsfreie Zone und desto kleiner werden die Kapazitäten C SB und C DB . In Abb. 3.8 ist für einen ausgeschalteten NMOS-Transistor in 0.8 µm-CMOS-Technologie die Sperrschicht-Kapazität C DB von Drain zum Bulk (pn-Junction Capacity to Bulk) im Vergleich zur der Gate-Drain-Überlappkapazität C GDov (Capacity to Gate) dargestellt. Während die Überlappkapazität C GDov einen konstanten Wert besitzt, fällt C DB kontinuierlich. Abb. 3.8: Sperrschicht-Kapazität des pn-Übergangs von Drain nach Bulk im Vergleich zur Gate-Überlappkapazität bei einem Minimal NMOSTransistor in 0.8 µm CMOS in schwacher Inversion. Die SperrschichtKapazität fällt mit steigender Sperrspannung (Drain Voltage) wegen Ausweitung der raumladungsfreien Zone. (Simulation mit BSIM3v3) Die Sperrschicht-Kapazität wird unterteilt in zwei Anteile: einen Umrandungsanteil C JSW (sidewall) und einen Bodenflächen-Anteil C J . Die Unterteilung ist sinnvoll, weil Transistoren mit gleicher geometrischen Form des Gates durchaus verschiedene Source- und Drain-Umrandungen oder -Bodenflächen haben können. Einschließlich der Nichtlinearität beschreibt die empirische Gleichung Gl. (3.1) diese Kapazität am Besten. WL SD ⋅ C J 2 ( W + L SD ) ⋅ C JSW - + -----------------------------------------------------C PN = ------------------------------------------------m m ( 1 + V RPN ⁄ ( 2φ F ) ) J ( 1 + V RPN ⁄ ( 2φ F ) ) JSW (3.1) Sperrschichtkapazität des pn-Übergang Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Mit der Länge L SD des Source- bzw. Drain-Gebietes ist der Abstand gemeint, wie weit das Diffusionsgebiet seitlich das Polysilizium-Gate übersteht. φ F ist das Fermipotential. Die Potenzen m J und m JSW liegen typischerweise zwischen 0.3 und 0.5 ([2-12] S. 30). Physikalisch abgeleitete Gleichungen der Sperrschichtkapazität eines einseitig abrupten pn-Übergangs in führen hier nicht weiter ([3-15] S. 79). Für de n D r ain - u nd S o ur ce- p n- Ü ber ga ng des N M O S- Tra nsi st or s ( 0. 8 µ m CM OS) beträgt: C J =0.29 fF/µm 2 , m J =0.46, C JSW = 0.23 fF/µm, m JSW =0.33 und die minimale seitliche Länge L SD =2.3 µm. Die Sperrschicht-Kapazität spielt weniger beim Taktdurchgriff eine Rolle, als bei Ausgleichsvorgängen, wenn MOS-Schalter eingeschaltet werden. On-Leitwerte Die MOS-Schalter haben einen endlichen Leitwert G ON bzw. einen minimalen Widerstand R ON , wenn sie eingeschaltet sind. Dieser hängt von der Gate-Spannung, dem zu schaltenden Potential, den Weiten und Längen der Transistoren und dem Schaltertyp (vgl. Abb. 3.4) ab. In Abb. 3.9 (a-f) ist die Leitfähigkeit der Schalter für verschiedene Technologien über den identischen Spannungspegeln (V S =V D ) an Source und Drain dargestellt. Jeweils ein Graph ist für einen NMOS-, einen PMOS- und einen CMOS-Schalter (TGATE) dargestellt. 37 38 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter a) Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen b) P 4.8µm/0.8µm N 2.0µm/0.8µm P 4.8µm/0.8µm N 2.0µm/0.8µm Conductance Gap d) c) P 2.8µm/0.6µm N 0.8µm/0.6µm e) f) P 1.3µm/0.25µm N 0.3µm/0.25µm Abb. 3.9: P 2.0µm/0.35µm N 0.6µm/0.35µm P 0.72µm/0.12µm N 0.16µm/0.12µm (a-f) Leitwerte von MOS-Schaltern in verschiedenen Technologien über dem Gleichanteil (Common Mode Input) des zu schaltenden Signals an Source und Drain: a) 0.8 µm, b) 0.8 µm mit niedriger Versorgungsspannung und Lücke in der Leitfähigkeit im mittleren Spannungsbereich, c) 0.6 µm, d) 0.35 µm, e) 0.25 µm, f) 0.12 µm. Die Leitwerte sind für PMOS-Schalter, NMOS-Schalter und CMOS-Schalter (TGATE) dargestellt. (Simulation mit BSIM3v3) Beim CMOS-Schalter addieren sich die Leitwerte der PMOS- und NMOS-Schalter. Der NMOS-Transistor ist als Minimal-Transistor ausgelegt worden, d. h. W und L sind so klein wie möglich gewählt worden. Die Länge des PMOS-Transistors ist ebenfalls minimal. Die Weite des PMOS-Transistors muss größer sein um den schlechteren Stromkennwert β P von PMOS-Transistoren im Vergleich zu β N auszu- 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen gleichen. Die Weite wird so gewählt, dass der maximale Leitwert des PMOS-Transistor etwa dem maximal möglichen Leitwert des NMOS-Transistors entspricht. In den Kurven (a-f) kann man deutlich die Arbeitsbereiche der Schalter ablesen. Die PMOS-Schalter leiten für hohe Spannungspegel, die NMOS-Schalter leiten für niedrige Spannungspegel. CMOS-Schalter (TGATE) leiten im gesamten Spannungsbereich. Sinkt die Versorgungsspannung unter einen gewissen Wert (b), so bildet sic h eine Leitwert-Lücke im mittleren Spannungsbereich aus. Dies liegt daran, dass in diesem Bereich weder für Drain noch für Source die Schwellspannung V TH überschritten ist, sich kein Kanal ausgebildet hat und der Transistor im Aus-Zustand (Weak Inversion) bleibt. Der Spannungsbereich der Leitwert-Lücke ist die verbotene Zone, in der sich niemals sowohl Drain als auch Source gleichzeitig befinden dürfen. Eine mögliche Abhilfe diesen Bereich zu verlassen ist die, dass eine Schaltungstechnik verwendet wird, bei denen Pin ’a’ oder Pin ’b’ (Drain oder Source) gegen VDD oder VSS geschaltet sind. Dies ermöglicht dem Schalter über den Sättigungsbereich eine leitende Verbindung herzustellen. Darauf wird bei den Low-Voltage-Schaltern in [3-1] Kapitel B eingegangen. Bei der Entwicklung der Leitwerte bei verschiedenen Technologien ist zu verzeichnen, dass die Leitwerte für die NMOS-Transistoren nicht wesentlich schlechter werden, obwohl die Transistoren deutlich kleiner werden. Sie bleiben im Bereich von etwa 200 µS. Für die PMOS-Transistoren gilt dies nicht. Sie werden im Vergleich zu den NMOS-Transistoren schlechter. Um bei PMOS-Transistoren einen ähnlichen Leitwert wie bei NMOS-Transistoren zu realisieren, müssen die Weiten der PMOS-Transistoren für neueste Technologien immer größer im Vergleich zu den NMOS-Transistoren werden. Off-Leitwerte und Leckströme Ist der MOS-Schalter abgeschaltet, so gibt es verschiedene Leckströme: den OffStrom und den Diodensperrstrom. Die Betrachtung der Leckströme ist notwendig, um abschätzen zu können, w ie lange Ladungen mit Schaltern in Kapazitäten gespeichert werden können. Ebenso bekom mt man einen Eindr uck, wie klein Ströme sein dürfen, die noch geschaltet werden sollen, ohne dass sie direkt im Schalter „verschwinden“. Bei schwacher Inversion gibt es zwischen Source und Drain einen Strom, der durch wenige vorhandene Ladungsträger unter dem Gate verursacht wird. Von Drain und Source gibt es immer einen Dioden-Sperrstrom in das Substrat (Bulk). Diese Ströme hängen stark von der Temperatur ab, insbesondere der DiodenSperrstrom. Um die Leckströme zu bestimmen, wurde folgende Messanordnung gewählt: VDD IP G IP S V Source IP D V Drain IP B IN B IN S IN D IN G I P D = PMOS Drain Current I PS = PMOS Source Current I PB = PMOS Bulk Current I P G = PMOS Gate Current IN D IN S IN B IN G = = = = NMOS NMOS NMOS NMOS Drain Current Source Current Bulk Current Gate Current VSS Abb. 3.10: Messanordnung für die Leckströme an einem CMOS-Schalter. Die Source-Spannung V Source wird kontinuierlich erhöht bis VDD, während die Drain-Spannung V Drain auf Masse liegt. Die verschiedene Ströme werden simuliert. 39 40 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Die Stromrichtung in die Anschlüsse Source, Drain, Gate und Bulk hinein zählt positiv. Als Dimensionierung für die Weiten und Längen der Transistoren sind die NMOS-Transistoren minimal gewählt worden. Die PMOS-Transistoren sind auf die gleichen Weiten gesetzt worden, wie bei der Bestimmung der On-Leitwerte. Der CMOS-Schalter ist ausgeschaltet (V G =0 V). Drain liegt auf Masse (V D =0 V). Die Spannung an Source V S wird kontinuierlich erhöht, bis die obere Versorgungsspannung VDD erreicht ist. Alle Einzelströme werden aufgezeichnet. In Abb. 3.11 (a-b) sind die Simulationsergebnisse dargestellt. Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter a) b) Abb. 3.11: (a-b) Leckströme am ausgeschalteten CMOS-Schalter in 0.8 µm (a) bei 27°C mit typischen und (b) bei 120°C mit ’worst power’ TransistorModellen. Alle Ströme sind über der ansteigenden Source-Spannung dargestellt. Für die Definition der Stromrichtung siehe Abb. 3.10. (Simulation mit BSIM3v3) 41 42 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Die Leckströme sind für den CMOS-Schalter in 0.8 µm (a) bei 27°C mit „typischen“ und (b) bei 120°C mit „worst power“ Transistor-Modellen über der ansteigenden Source-Spannung dargestellt. Für den NMOS-Transistor zeigt (a1) den linear wachsenden Source-Strom, der vollständig über den negativ wachsenden Strom des Drains abfließt, für den PMOSTransistor wird es in (a2) gezeigt . Der NMOS- und der PMOS-Transistor werden bei schwacher Inversion als Widerstände modelliert. Der Diodensperrstrom von Source in den Bulk (Substrat) in (a3) ist vernachlässigbar klein. Über das Gate (a4) fließt überhaupt kein Strom. Bei Erhöhung der Temperatur von 27°C auf 120°C steigt beim NMOS-Transistor der Source-Bulk-Strom, d. h. der Diodensperrstrom von Source nach Bulk, betragsmäßig von -50 aA auf -7 pA (vgl. (a3) NMOS mit (b3) NMOS). Beim PMOS-Transistor fließt der Bulk-Strom als Diodensperrstrom nach Source und Drain, da hier nach der Beschaltung aus Abb. 3.10 Drain und Bulk nicht auf dem gleichen Potential liegen. Bei einer Temperaturerhöhung von 27°C auf 120°C steigt er von 800 aA auf 120 pA. Bei V Source =VSS teilt sich der Bulkstrom gleichmäßig auf Source und Drain auf (vgl. (a3) PMOS mit (b3) PMOS). Die Diodensperrströme erreichen nun die Größenordnung des Leckströme von Source nach Drain durch den nicht ausgebildeten Kanal. Ab einer gewissen Source Spannung stellt sich ein konstanter Sperrstrom ein. Zu beachten ist das entgegengesetzte Vorzeichen von NMOS- und PMOS-Sperrstrom, d. h. der NMOS Bulk-Strom führt zu einem Entladen von Source, der PMOS Bulk-Strom führt zu einem Aufladen von Source. 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen a) b) c) d) e) f) Abb. 3.12: (a-f) Leckströme (Off-Ströme und Dioden-Sperrströme) bei weiteren Technologien: (a) 0.6 µm, T=120°C, Worst-Power-Modelle; (b) 0.35 µm, T=120°C, Worst-Power-Modelle; (c) 0.25 µm, T=27°C, Typische Modelle; (d) 0.25 µm, T=120°C, Worst-Power-Modelle; (e) 0.12 µm, T=27°C, Typische Modelle; (f) 0.12 µm, T=120°C, Worst-Power-Modelle. Die Modellierung ist bei den verschiedenen Prozessen nicht wesentlich unterschiedlich und verhält sich so wie bei 0.8 µm in Abb. 3.11. (Simulation mit BSIM3v3) 43 44 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Bei hohen Temperaturen setzt sich der Source-Strom für den NMOS-Transistor in Abb. 3.11 (b1) aus zwei Anteilen zusammen: 1. Der Bulk-Strom (Dioden-Sperrstrom) wird beim steilen Anstieg des Source-Stromes bei niedrigen Source-Spannungen sichtbar. 2. Der Strom von Source nach zum Drain steigt überproportional mit steigender Source-Spannung. Der Source-Strom für den PMOS-Transistor in (b2) setzt sich ebenfalls aus diesen zwei Anteilen zusammen: Beginnend mit einem Diodensperrstrom von -60 pA bei niedriger Source-Spannung, d. h. der gesamte Strom fließt vom Bulk zum Source, kommt es langsam zu einem ansteigenden Leckstrom von Source nach Drain. Erreicht die Source-Spannung V Source nahezu die Versorgungsspannung VDD=5 V hört der Diodensperrstrom Bulk zum Source auf zu fließen und es bleibt nur noch der positive Source-Drain-Strom von 20 pA übrig. Für weitere Technologien sind die Leckströme simuliert worden. In Abb. 3.12 sind die Ergebnisse dargestellt. Die Ergebnisse der Leckströme der verschiedenen Technologien sind in Tab. 3.1 zusammengefaßt. Die Bandbreite eines abtastenden Systems bestimmt sich aus dem Widerstand R ON des Schalters und der Abtastkapazität C ([2-11] S.145 ff). Ein abtastendes System ist in Abb. 3.13 zu sehen. Sampling System Equivalent Noise System VDD R ON R ON V IN C V OUT C V Ron 2 VSS V OUT VSS Abb. 3.13: Bandbreite und Rauschen des abgetasteten Systems Im eingeschalteten Zustand, stellt der Schalter einen Tiefpass erster Ordnung da. Die Übertragungsfunktion von V IN nach V OUT im Laplace-Bereich ergibt sich zu V OUT 1 ------------- ( f ) = ---------------------VIN 1 + j2πfτ (3.2) mit der Zeitkonstanten τ = C ⁄ G ON = CR ON (3.3) welche die charakteristische Zeit zum Einschwingen des Systems darstellt. Die Z eitkonstante τ st ellt die 1/e- Zeit da, na ch der die S pannung V O U T bei ei ner Sprungfunktion am Eingang V IN bis auf 1/e vom Endwert herangekommen ist. Die Bandbreite f 3dB des Systems, bei der das Signal V IN über den Schalter auf 1 ⁄ 2 seiner Amplitude gedämpft wird, berechnet sich mit 1 f3dB = --------(3.4) 2πτ Wie in Abb. 3.9 zu erkennen ist, hängt der On-Widerstand R ON bzw. der On-Leitwert G ON vom Signal-Pegel ab. Insbesondere bei CMOS-Schaltern mit mittlerer Signalspannung ist der Leitwert geringer, wodurch sich eine größere Signaldämpfung ergibt. Diese von der Signalspannung abhängige Dämpfung führt zu einer Nichtlinearität der Schaltung. Um sie zu vermeiden, sollte die Bandbreite des abtastenden Systems bei minimalem On-Leitwert G ON des Schalters deutlich oberhalb der Bandbreite des Signals liegen. Um eine Abtastgenauigkeit von N Bit für einen A/D-Umsetzer zu erreichen, muss man die Zeit t N abwarten, bis sich V OUT richtig eingestellt hat. Die Zeit t N ergibt sich aus der Auflösung des niederwertigsten Bits des Umsetzers (LSB) mit 1/(2 N ) und mit der Zeittransformierten von (3.2) zu Bandbreite und Rauschen 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen tN = τ ⋅ N ⋅ ln 2 (3.5) Man kann den realen On-Widerstand des Schalters auftrennen in einen idealen Widerstand und seine weiße spektrale Rauschleistungsdichte S Ron , die seiner weißen Rauschspannung entspricht 2 S Ron ( f ) = V Ron = 4kTRON mit der Einheit V 2 /Hz. Die weiße Rauschleistungsdichte wird durch den Tiefpass gefiltert. Es ergibt sich die folgende spektrale Leistungsdichte S OUT an der AbtastKapazität C VOUT 2 S OUT ( f ) = S Ron ( f ) ⋅ ------------- ( f ) V IN (3.6) Das Integral der spektralen Leistungsdichte S OUT (f) über den gesamten Fre2 quenzbereich ergibt das mittlere Rausch-Spannungsquadrat V OUT an der Kapazität ∞ 2 1 V OUT = 4kTR ON ∫ ------------------------------------------df 2 2 2 2 0 1 + 4π R ON C f (3.7) Mit 1 - dx ∫ ------------2 1+x = atan x (3.8) ergibt sich nach Lösen des Integrals für die Rauschspannung 2 kT V OUT = -----C mit der Einheit V 2 . Um die äquivalente effektive Rauschspannung zu erhalten, berechnet man kT ⁄ C . Bemerkenswert ist hier, dass die Rauschspannung nicht mehr vom Widerstand R ON des Schalters abhängt, sondern nur von der AbtastKapazität C. Je größer die Kapazität, desto kleiner das Rauschen. Anschaulich wird die Unabhängigkeit von R ON dadurch, dass ein kleiner Widerstand zwar ein kleineres Rauschen, jedoch das Abtastsystem eine höhere Bandbreite besitzt und damit wieder mehr Rauschen hat. Für die Schaltungsrealisierung muss ein Kompromiß zwischen Bandbreite, Rauschen und Größe des Schalters gefunden werden. Ein geringes Rauschen erfordert ein großes C. Ein großes C erfordert bei gleichbleibender Bandbreite (Zeitkonstante τ) einen kleinen On-Widerstand R ON , also große Schalttransistoren. Große Schalttransistoren verursachen jedoch, wie im folgenden untersucht wird, große Signalstörungen durch Ladungsinjektion und Taktdurchgriff. Zusammenfassung In Tab. 3.1 sind die charakteristischen Eigenschaften der verschiedenen Technologien zusammengefaßt. Um die Technologien miteinander vergleichen zu können, wurden folgende Normierungen bei den Simulationen vorgenommen: 1. Die Schalter werden mit Minimal-NMOS-Transistoren entworfen, d. h. mit minimaler Länge und minimaler Weite. Dies verspricht die geringsten Störungen durch Ladungsinjektionen. 2. Die PMOS-Transistoren werden für zwei Fälle betrachtet. Entweder werden sie so groß gewählt (Big-PMOS), dass sie einen vergleichbaren Leitwert bei einer Signalspannung um VDD haben, wie die NMOS-Transistoren bei einer Signalspannung um VSS, oder sie werden ebenfalls als Minimal-Transistoren entworfen. 3. Die Abtastkapazitäten oder Lasten für einen Schalter werden relativ zu der Größe der Schalt-Transistoren entworfen. Es wird festgelegt, dass die Last für jeden Schalttransistor aus den Gate-Kapazitäten von genau fünf identischen Transistoren aufgebaut ist. Die fünf Transistoren haben jeweils die gleiche Weite und Länge wie der Schalttransistor. Das bedeutet, dass ein NMOS-Schalter als Last die Gates von fünf NMOS-Transistoren, ein Big- 45 46 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.3 Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen PMOS-Schalter als Last die Gates von fünf Big-PMOS-Transistoren und ein CMOS-Schalter als Last sowohl fünf NMOS als auch fünf PMOS-Transistoren als Last erhält. Die Last fünfach so groß so wählen, wie die Schalter erscheint erst einmal willkürlich. Sie stellt aber eine in der Praxis minimal sinnvolle Last da. Mit dieser Last wird die maximaler Bandbreite abgeschätzt. Keine Last zu Verwenden macht keinen Sinn. In Abb. 3.14 auf Seite 48 ist die Simulationsschaltung dargestellt: ein CMOS-Schalter mit zwei Minimal-NMOS-Transisoren (T SN ) und zwei Minmal-PMOS-Transistoren (T SP ) dargestellt, als Last an den Knoten ’a’ und ’b’ wird die fünffache Last, also jeweils die Gates von zehn Minimal-NMOS-Transistoren (T CNA , T CNB ) und von zehn Minimal-PMOS-Transistoren (T CPA , T CPB ) gewählt. Tabelle 3.1: Charakteristische Eigenschaften von Schaltern in verschiedenen Technologien Charakteristik \ Technologie Unit 0.8 µm 0.6 µm 0.35 µm 0.25 µm 0.12 µm minimale Länge µm 0.8 0.6 0.35 0.25 0.12 minimale Weite µm 2.0 0.8 0.6 0.3 0.16 Weite Big-PMOS µm 4.8 2.8 2 1.3 0.72 Stromkennwert -Verhältnis PMOS:NMOS βN/βP - 2.4 3.5 3.3 4.3 4.5 Überlappkapazität NMOS WCOV fF 0.43 0.28 0.12 0.09 0.04 Gate-Oxid-Kapazität NMOS WLCOX fF 0.98 0.68 0.92 0.38 0.074 typische Versorgungsspannung V 5.0 3.0 3.0 2.5 1.5 minimaler ON-Leitwert µS 330 200 180 200 120 maximaler ON-Leitwert µS 420 250 280 320 400 maximaler ON-Widerstand kΩ 3.0 5.0 5.5 5.0 8.3 minimaler ON-Widerstand kΩ 2.4 4.0 3.6 3.1 2.5 NMOS OFF-Widerstand T=27°C GΩ 1000 - - 120 187 NMOS OFF-Widerstand T=120°C GΩ 60 300 125 0.48 6.2 PMOS OFF-Widerstand T=27°C GΩ 1000 - - 800 750 PMOS OFF-Widerstand T=120°C GΩ 1000 1000 600 - 6 NMOS Diodensperrstrom T=27°C fA 0.05 - - 1 10 NMOS Diodensperrstrom T=120°C pA 6.0 1.7 2.5 700 0.5 PMOS Diodensperrstrom T=27°C fA 0.9 - - 1.8 11 PMOS Diodensperrstrom T=120°C pA 120 46 23 250 0.19 Gate-Kapazität von fünf MinimalNMOS-Transistoren fF 9.2 6.2 5.8 2.8 0.77 3dB Bandbreite bei fünffach Last NMOS-Switch GHz 5.6 5.1 4.9 11 25 mV 0.66 0.8 0.83 1.2 2.3 Effektive Rauschspannung NMOS-Switch, T=25°C kT ⁄ C Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Zur Berechnung der Gate-Kapazität von fünf Minimal-NMOS-Transistoren in Tab. 3.1, wird hier die Summe von zehnmal der Überlappkapazität (jeweils für Drain und Source) und fünfmal der Gate-Oxid-Kapazität im Triodenbereich (bei ausgebildetem Kanal) angenommen. Die Bandbreite wird nach Gl. (3.4) berechnet, wobei der minimale ON-Leitwert angenommen wird. Für die effektive Rauschspannung wird für C die Gate-Kapazität von 5 Minimal-NMOS-Transistoren angenommen. Die Bandbreite steigt mit neueren Technologien, weil die Leitwerte der Transistoren etwa gleich bleiben und sich die Kapazitäten deutlich verkleinern. Die effektiven Rauschspannungen bei neueren Technologien sind beträchtlich aufgrund der großen Bandbreite bzw. der kleineren Lastkapazität. 3.4 Statische und dynamische Schalter Zwischen zwei Schalterklassen muss unterschieden werden: den statischen und den dynamischen Schaltern. 3.4.1 Statische Schalter Verwendung im Entwurf in Kapitel 5 Statische Schalter werden beim Entwurf in der exponentiellen Stromquelle benötigt, um den konstanten Strom für die Frequenz einzustellen (vgl. Abb. 5.19 auf Seite 104). Nachdem im vorherigen Abschnitt die grundlegenden Eigenschaften von MOSSchaltern geklärt wurden, werden hier nun diese Eigenschaften unter dem Aspekt von verschiedenen Anwendungen von Schaltern untersucht. Statische Schalter sind eine solche Anwendung. Statische Schalter sind Schalter, die sehr selten geschaltet werden. Leitwert, Bandbreite, Rauschen und Matching sind entscheidend. Timing, Ladungsinjektion und Taktdurchgriff haben hier keine Bedeutung. Nun könnte man fragen, wieso man Schalter benötigt, die fast nie schalten. Vier Beispiele verdeutlichen auch deren Zweck. Power-Down-Schalter s ind sehr hilfreich für Energieers parnis in Low-Power Anwendungen. Des weiteren ermöglichen sie, beim Testen des ICs die Ruhestromaufnahme genau zu definieren und damit einen einfachen ersten Parametertest durchzuführen, bevor weitere Test nötig sind. Um Ströme statisch zu schalten, verwendet man am besten Drain-Schalter oder Gate-Schalter (Kap. 2.1). Trimmschaltungen von Referenzen können den Yield einer analogen Schaltung deutlich erhöhen. Mit der trimmbaren Bandgap-Schaltung in Abb. 2.2 auf Seite 15, die in einem IC für Chip-Geldkarten-Anwendungen eingesetzt wird, kann der Yield von 60% auf 90% erhöht werden. Das IC soll zwei geregelte Versorgungsspannungen von 3V ±5% und 5V ±5% zur Verfügung stellen. Die ungetrimmte zur Verfügung stehende Bandgap-Spannungs-Referenz schwankte deutlich mehr. Das Trimmen erfolgt beim Testen über das Durchbrennen von Zener-Dioden. Diese Zener-Dioden werden beim Anlegen der Versorgungsspannung an den IC automatisch digital gesteuert ausgelesen und die entsprechenden Schalter in der Trimmschalter richtig gesetzt. Bei einer weiteren Anwendung im Messtechnikbereich mit Drucksensoren werden die erheblichen Nichtlinearitäten eines kapazitiven Drucksensors in einem auf dem gleichen Hybrid untergebrachten Mixed-Signal-Messchip mit Polynom-Berechnung kompensiert. Die Koeffizienten der Polynome werden durch programmierbare Zener-Dioden eingestellt [3-33],[A-10]. 47 48 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Der I 2 C-Bus, ein serieller Datenbus mit einem Takt und einer Datenleitung, definiert und genormt von der Firma Philips [3-34], kann interne Register in einem Chip ansprechen. Diese Register können analoge Funktionen über Schalter beeinflussen. Diese Einflussnahme erfolgt in erster Linie statisch, z. B. einmal zum Einstellen von analogen Eigenschaften. 3.4.2 Dynamische Schalter Dynamische Schalter werden beim Entwurf z. B. im Dreieckgenerator bei den Stromschaltern (vgl. Abb. 5.16, Seite 100) oder in der multifunktionalen Sample&Hold-Stufe (vgl. Abb. 2.9, Seite 22) verwendet. Ladungsinjektion und Taktdurchgriff müssen hier sehr klein gehalten werden. Dynamis che Schalter sind Schalter, deren Zweck es ist, kontinuierlich ihren Zustand zu ändern, ohne dabei das Signal wesentlich zu beeinflussen oder den Schaltvorgang zu verzögern. Um das zu erreichen, müssen geeignete Schalter verwendet werden. Drei Eigenschalten treten bei dynamisc hen Schalter zus ätzlich zu denen des statischen Schalters auf: Ladungsinjektion, Taktdurchgriff und Geschwindigkeit. Mit den Begriffen Ladungsinjektion und Taktdurchgriff wird der Einfluss des Schaltsignals auf das zu schaltende Signal geschrieben. Mit Geschwindigkeit wird ausgedrückt, wie schnell ein Schalter schalten kann. Der Source-Strom-Schalter aus Abschnitt 2.1 stellt einen guten dynamischen Stromschalter dar, insbesondere in Bezug auf Geschwindigkeit. Ansonsten ist Geschwindigkeit eine Frage der Treiber der Schaltsignale und der Größe der Schalter. Im Folgenden werden Ladungsinjektion und Taktdurchgriff definiert und untersucht. In Abb. 3.14 ist die Schaltung dargestellt, mit der Ladungsinjektion und Taktdurchgriff untersucht werden. Sie ist abgeleitet aus [3-31] Fig. 19. Die Schaltsignale ’c’ und ’nc’ wirken sich über die Schalttransistoren (Switch) T SP und T SN auf die Signale ’a’ und ’b’ aus. Die Schalttransistoren bestehen aus zwei parallel geschalteten Minimal-Transistoren (2x). Es sind deshalb zwei, weil ihnen später zur Ladungskompensation Transistoren einfacher Größe (1x) zur Seite gestellt werden. Ihnen ist als Last (Load) an den Anschlüssen ’a’ und ’b’ ihre fünffache Last (10x) mit den Transistoren T CNA , T CPA , T CPB und T CNB zugeordnet. Diese Last, welche relativ zur Größe der Schalttransistoren gewählt ist, erlaubt einen Vergleich zwischen den einzelnen Schaltertypen und Technologien. Der Innenwiderstand R IN der Eingangsquelle V IN wird variiert zwischen den zwei Extremen: einem unendlich hohen Widerstand R IN = ∞ und einem Widerstand R IN =0. VDD VDD nc 10xP 10xP T CPA V IN R IN a T SP 2xP T CPB b 2xN T CNA T SN 10xN VSS Input Signal Load T CNB 10xN c Switch VSS Load Abb. 3.14: Schaltung zur Untersuchung der Ladungsinjektion und des Taktdurchgriffs bei NMOS-, PMOS- oder CMOS-Schaltern. Verwendung im Entwurf in Kapitel 5 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Simulationen für NMOS-Schalter werden nur mit den Transistoren T SN , T CNA und T CNB durchgeführt, für PMOS-Schalter nur mit den Transistoren T SP, T CA und T PB und für CMOS-Schalter mit allen Transistoren. 3.4.3 Ladungsinjektion und Taktdurchgriff Ladungsinjektion (Charge Injection) und Taktdurchgriff (Clock Feed Through) sollen im Folgenden definiert werden. Diese Definitionen orientieren sich an dem Ergebnis der Störung für die Signale bei ’a’ und ’b’. Ladungsinjektion - Charge Injection Definition: „Die Ladungsinjektion ist eine durch injizierte Ladungen verursachte Spannungsabweichung ∆V INJ in den Signalen ’a’ und ’b’. Diese Ladungen werden beim Übergang des Schaltzustandes eines Schalter in die Anschlüsse ’a’ und ’b’ injiziert und verbleiben dort. ∆V INJ ist die Differenz zwischen dem erhaltenen IstSpannungswert des realen Schalter und dem erwarteten Soll-Spannungswert bei der Verwendung eines idealen Schalters nach Abschluss des Schaltvorgangs.“ Bei MOS-Schaltern kommen diese Ladungen aus dem Kanal und aus den Überlappkapazitäten (vgl. Abb. 3.5 C GSch , C GSov ). (In der Literatur wird manchmal nur die Ladung aus dem Kanal zur Ladungsinjektion zugehörig angesehen.) Diese Ladungen führen in den Abtastkapazitäten an den Anschlüssen ’a’ und ’b’ zu einer evtl. erheblichen konstanten Spannungsdifferenz ∆V INJ . Der Fehler (Error) durch Ladungsinjektion E INJ wird als Quotient der Spannungsdifferenz ∆V INJ zur Versorgungsspannung VDD definiert. ∆VINJ E INJ = --------------VDD (3.9) Sei z. B. bei einem NMOS-Schalter die Kanal- und Überlappkapazität des Transistor T SN von ’c’ nach ’b’ 20 fF, die Lastkapazität des Transistors T CNB C=1 pF, so ergibt sich bei einem Taktsignal ’c’ von 5 V fallend auf 0 V eine beachtliche Spannungsdifferenz von ∆V INJ = -100 mV also E INJ=-2%. Noch während des Abschaltens können über Pin ’a’ und über einen kleinem R IN injizierte Ladungen zur treibenden Spannung V IN abfließen. Dies verkleinert ggf. den möglichen Fehler. Taktdurchgriff Clock Feedthrough Definition: „Der Taktdurchgriff ist eine Störung in den Signalen ’a’ und ’b’, die während der Änderung des Taktsignals auftritt, also nur während der fallenden oder steigenden Flanke der Schaltsignale. Die Spannungsstörung ∆V CFT ist die Differenz zwischen dem Ist-Wert und Soll-Wert der Signale ’a’ und ’b’.“ Der Fehler (Error) durch den Taktdurchgriff E CFT wird als Quotient von mittlerer Effektiv-Spannung der Störung ∆V CFT zur Versorgungsspannung VDD definiert. tf95 1 1 tr95 2 2 ∆V CFT dt + ∫ ∆V CFT dt E CFT = ------------- ------- ∫ VDD T rf tr05 tf05 (3.10) Dabei ist ∆V CFT im Zeitraum vom Beginn bis zum Ende der ansteigenden und fallenden Flanke der Taktsignale definiert. Den idealen Beginn und das ideale Ende zu bestimmen, ist schwierig, besonders wenn die Schaltsignale einschwingen. Sinnvoll ist die Festlegung auf Integralgrenzen, also auf Zeitpunkte, wo das Integral über das Fehler-Spannungsquadrat 5% bzw. 95% vom jeweiligen Endwert erreicht hat. Für die steigende (rising) Flanke sind dies die Zeiten t r05 und t r95 , für die fallende (falling) Flanke sind dies die Zeiten t f05 und t f95 . Als Gesamtzeit für die steigende und fallende Flanke zur Normierung ergibt sich Trf =t r95 -t r05 +t f95 -t r05 . Der Taktdurchgriff spielt nicht in allen Systemen eine Rolle. In abgetasteten Systemen, in Switched-Capacitor-Schaltung spielt der Taktdurchgriff ein untergeordnete Rolle, weil die Signale nach dem Schalten Zeit haben einzuschwingen. In 49 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen zeitkontinuierlichen Systemen, wo z. B. zwischen Signalpfaden möglichst störungsfrei hin- und hergeschaltet werden muss, ist die Betrachtung des Taktdurchgriffs unerläßlich. Unter den Begriff Taktdurchgriff fallen auch Phänomene, wenn mehrere Taktleitungen durch unterschiedliche Zeitverzögerungen zu Störungen im analogen Signal führen. Z. B. kann bei Digital-Analog-Umsetzern beim Umschalten von einem Digital-Wert „0111“ auf „1000“ ein erheblicher Taktdurc hgriff entstehen, wenn das höchstwertige Bit eine andere Verzögerung besitzt als die niederwertigen. Verschiedene Schalterkonzepte werden im Folgenden im Hinblick auf die beiden Gütekriterien Ladungsinjektion und Taktdurchgriff untersucht. Die Untersuchung erfolgt durch Simulation im Prozess CMOS 0.8 µm. Beim Vergleich von Ladungsinjektion und Taktdurchgriff muss man sich immer der Tatsache bewusst sein, dass die Ladungsinjektion während der gesamten Periode auftritt und damit schwerwiegender ist und der Taktdurchgriff nur während der Veränderung der Schaltsignale auftritt. Beim Schaltungsentwurf muss zuerst die Ladungsinjektion optimiert werden, danach der Taktdurchgriff. Gewichtung von Ladungsinjektion und Taktdurchgriff Ladungsinjektion beim Öffnen eines Schalters In Abb. 3.15 wird Ladungsinjektion verschiedener Schalter beim Wechseln vom An-Zustand in den Aus-Zustand dargestellt. Charge Injection at Different Switches when Switching to "Off"-State Charge Injection Error EINJ at Pin 'b' 50 12,00% 10,00% 8,00% 6,00% 4,00% 2,00% 0,00% -2,00% 0,00% -4,00% -6,00% -8,00% -10,00% 20,00% 40,00% 60,00% 80,00% 100,00% Input Voltage normalized to PowerSupply (5V) NMOS switch PMOS switch CMOS switch Big-PMOS switch CMOS dummy switch CMOS dummy switch, RIN=0 Abb. 3.15: Ladungsinjektionsfehler E INJ verschiedener Schaltertypen beim Wechseln vom An-Zustand in den Aus-Zustand, aufgetragen über der Spannung des Eingangssignals V IN . Es ist R IN = ∞ nur für CMOSSchalter mit Dummy-Transistoren ist R IN =0. Ein Fehler von 1% entspricht 50 mV. Für die Simulation wird die Schaltung aus Abb. 3.14 in verschiedenen Ausführunge n genommen. D er Eingangsw iderst and R I N wir d zuer st sehr gr oß gewählt . Dadurch wird gewährleistet, dass sich die injizierten Ladungen aus den Schalttran- Simulationsbedingungen 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen sitoren T SP und T SN gleichmäßig in die Lasttransistoren T Cxx an Pin ’a’ und Pin ’b’ aufteilen. Für alle untersuchten Schalter werden Minimalweiten und -längen verwendet. Für einen NMOS-Schalter (NMOS switch) werden alle PMOS-Transistoren einschließlich der Last entfernt (T SP, T CPA , T CPB ). Für einen PMOS-Schalter (PMOS switch) werden alle NMOS-Schalter einschließlich der Last entfernt (T SN , T CNA , T CNB ). Für CMOS-Schalter (CMOS switch) werden die Weiten der PMOS-und NMOSTransistoren identisch minimal gewählt. Der Big-PMOS-Schalter (Big-PMOS-switch) ist ein CMOS-Schalter in dem für die PMOS-Transistoren keine Minimal-Transistoren verwendet werden. Der PMOSSchalt-Transistor T SP und die PMOS-Last-Transistoren T CPA und T CPB werden so groß gewählt, dass im eingeschalteten Zustand bei mittlerer Eingangsspannung V IN der Leitwert der PMOS-Transistoren genauso groß ist, wie der Leitwert der NMOSTransistoren. Beim CMOS-Schalter mit Dummy-Schalttransistoren (CMOS dummy switch), werden den eigentlichen Schalttransistoren noch Transistoren mit halber Weite und Kurzschluss zwischen Drain und Source ohne Schaltfunktion zur Seite gestellt. Diese Dummy-Transistoren werden mit inversem Taktsignal angesteuert und können so die injizierte Ladung der Schalttransistoren wieder aufnehmen [3-29]. Ein Schalter mit Dummy-Schalttransistoren ist in Abb. 3.16 dargestellt. nc c c PMOS 1 x W P /L 2 x W P /L 1 x W P /L dummy transistors CMOS a b 1 x W N /L 2 x W N /L 1 x W N /L NMOS nc c nc Abb. 3.16: Ladungskompensation durch zwei parallel geschaltete Schalttransistoren (2x) und einfache Dummy-MOS-Transistoren (1x) mit inverser Taktansteuerung Für den CMOS-Schalter mit Dummy-Transistoren wird bei einer weiteren Simulation der Eingangswiderstand R IN auf null gesetzt (CMOS dummy switch, R IN =0). Dies verhindert die gleichmäßige Aufteilung der injizierten Ladungen auf die Pins ’a’ und ’b’, so dass sich die Kompensationswirkung der Dummy-Transistoren verschlechtert ([3-31] Fig. 19). Ergebnis-Interpretation Die Ergebnisse in Abb. 3.15 zeigen eine starke Abhängigkeit des Injektionsfehlers E INJ (Y-Achse) von der Spannung des Eingangssignals V IN (X-Achse). Für den NMOS-Schalter ergibt sich ein negativer Fehler E INJ , weil das Taktsignal beim Ausschalten fällt und dadurch Ladungen aus den Knoten ’a’ und ’b’ abgesaugt werden. Für PMOS-Schalter ergibt sich ein positiver Fehler, weil das Taktsignal beim Ausschalten steigt und dadurch Ladungen auf den Knoten ’a’ und ’b’ gebracht werden. 51 52 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Beim CMOS-Schalter ergibt sich bei 40% Eingangspegel V IN gerade eine Kompensation der NMOS- mit der PMOS-Injektion. Bei 0% Eingangspegel ergibt sich E INJ von -2% und bei 100% Eingangspegel ergibt sich E INJ von +3%. Beim Big-PMOS-Schalter, bestehend aus großen PMOS- und kleineren NMOSTransistoren, ist der Fehler positiv, aber kleiner als beim reinen PMOS-Schalter. Es überwiegt die positive Injektion aus den PMOS-Transistoren die negative Injektion der NMOS-Transistoren. Erst bei einem CMOS-Schalter mit Dummy-Transistoren hebt sich die Ladungsinjektion vollständig auf unter der Bedingung, dass der Eingangswiderstand R IN unendlich ist. Das gleiche gilt für NMOS- und PMOS-Schalter, was hier nicht dargestellt ist. Die vollständige Aufhebung, wird dadurch erreicht, dass die Ladungen der Schalttransistoren T SP und T SN sich jeweils zur Hälfte in die gleichartigen Lastkapazitäten an Pin ’a’ und ’b’ verteilen. Dort können sie wieder vollständig von den ladungskompensierenden Dummy-Transistoren aufgenommen werden. Sind Impedanzen an Pin ’a’ und Pin ’b’ nicht gleichartig, d. h. sind die Lastkapazitäten unterschiedlich groß oder ist der Treiberwiderstand R IN an Pin ’a’ sehr klein, so verteilen sich die Ladungen aus den Schalttransistoren nicht mehr gleichmäßig nach Pin ’a’ und ’b’ (CMOS dummy switch, R IN =0). Für R IN =0 können die injizierten Ladungen in Pin ’b’ über den Schalttransistor und über R IN abfließen, bevor sie von den ladungskompensierenden Dummy-Transistoren aufgenommen werden können. Daraus ergibt sich ein Injektionsfehler E INJ . Der ansteigende Verlauf von E INJ für NMOS-Schalter über V IN , liegt daran, dass der NMOS-Schalt-Transistor, wenn er ausgeschaltet wird, mit steigender Spannung V IN früher vom Triodenarbeitsbereich in den Sperrbereich übergeht und damit insgesamt weniger Ladungen injizieren kann (vgl. Abb. 3.6). Für den PMOS-Transistor gilt entsprechendes. Das plötzliche Erhöhen des Fehlers E INJ für NMOS-Schalter unterhalb von Eingangspegeln V IN mit 20%, bzw. bei PMOS-Schaltern mit Eingangspegeln V IN oberhalb von 80% liegt daran, dass die aus MOS-Transistoren aufgebauten Lasten die Schwellspannung unterschreiten und daher die Kapazität sinkt, was einen höheren Spannungsfehler E INJ zur Folge hat. Die Ladungskompensation mit Dummy-Schaltern funktioniert nur bei idealem Matching zwischen Schalt- und Dummy-Transistor. Gutes Matching kann erreicht w e r de n, w en n m an fü r di e S c h al tt r an si st or e n zw ei gl ei c h e e in z e ln e p ar al le l geschaltete Transistoren und für die Dummy-Transistoren einen Transistor gleicher Art nimmt. Die Qualität des Matchings und damit der Ladungskompensation kann durch Abschätzungen oder durch Monte-Carlo-Simulation ermittelt werden. Für die Mismatch bei Dummy-Schaltern Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter CMOS-Schalter in 0.8 µm CMOS mit Minimal-Transistoren ist das Ergebnis einer Monte-Carlo-Simulation in Abb. 3.17 dargestellt. Abb. 3.17: (1-6) Ladungsinjektionsfehler E INJ bei Mismatch von Schalt- und Dummy-Transistoren. Der Mittelwert wird mit ’mu’, die Standabweichung mit ’sd’ bezeichnet. Schlechtes Matching, d. h. die Verwendung von Dummytransistoren mit halber Weite der Schalttransistoren (keine Einheitselemente) verschlechter das EINJ um etwas den Faktor vier (5),(6). Bei Monte-Carlos-Simulationen wird N-mal mit der gleichen Schaltung simuliert, wobei die Parameter (z. B. Länge, Weite, Oxiddicke) der Transistoren einzeln automatisch und zufällig bei jeder Simulation neu verändert werden, entsprechend der Streuwerte der Technologie. Das Ergebnis wird in Histogrammen dargestellt, in denen auf der X-Achse die zu untersuchende Größe, unterteilt in M Intervalle, dargestellt und auf der Y-Achse die Anzahl der Simulationen, die jeweils in eines der M Intervalle gefallen ist, aufgetragen wird. Die zu untersuchende Größe ist hier der Fehler der Ladungsinjektion E INJ . Gleichzeitig werden noch die Gesamtanzahl N der Simulationen, der Mittelwert mu und die Standard-Abweichung sd im Histogramm angegeben. 53 54 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen In Abb. 3.17 (1,3,5) ist E INJ für Pin ’a’ und in (2,4,6) ist E INJ für Pin ’b’ dargestellt. In (1,2) sind die Ergebnisse für eine CMOS-Schalter gezeigt. Der Mittelwert von E INJ ist sehr klein (ca. 10 -6 ). Es gibt also keinen systematischen Fehler. Die Stand ar d ab w ei c h un g vo n E I N J b et r äg t in be id en Fä ll en ca . 0 . 06 5 Å 'XUFK 0LV PDWFKLQJ JLEW HV NHLQHQ QHQQHQVZHUWHQ )HKOHU (EHQVR LVW HV LQ EHLP %LJ 30266FKDOWHUV Der Mittelwert von E INJ ist sehr klein (ca. 10 -6 ). Die Standardabweichung von E INJ beträgt in beiden Fällen ca. 0.058 Å ZDV NOHLQHU LVW XQG DXI GLH JU|HUHP 30267UDQVLVWRUHQ ]XUFN]XIKUHQ LVW *U|HUH 7UDQVLVWRUHQ XQWHU OLHJHQ NOHLQHUHQ UHODWLYHQ 6WUHXXQJHQ (LQHQ VLJQLILNDQWHUHQ 8QWHUVFKLHG JLEW HV EHL 1LFKWEHDFKWXQJ GHU 0DWFKLQJ5HJHOQ LQ LQGHP PDQ GLH 6FKDOWWUDQVLVWR UHQ ZLUNOLFK PLW GRSSHOWHU :HLWH SODW]LHUW DOV GLH 'XPP\7UDQVLVWRUHQ DQVWDWW ]ZHLPDO ]X SDUDOOHO ]X SOD]LHUHQ PLW HLQIDFKHU :HLWH (V HUJLEW VLFK KLHU HLQ V\VWH PDWLVFKHU 2IIVHW LP 0LWWHOZHUW PX ]X 0.4 Å 'LH 6WDQGDUGDEZHLFKXQJ VG GHV ,QMHNWLRQVIHKOHUV (,1- EHWUlJW Å ,QVJHVDPW VSLHOHQ VROFKH 0DWFKLQJ$EZHL FKXQJ HLQH XQWHUJHRUGQHWH 5ROOH Verschiebt man die Schaltsignale ’c’ und ’nc’ bei Schaltern mit Dummy-Transistoren (Abb. 3.16) zeitlich gegeneinander bei einen Eingangswiderstand R IN =0, so führt dies zu unterschiedlic hen Ladungsinjektionen beim Schalten in den OffZustand. In Abb. 3.18 sind die Ergebnisse dargestellt, wobei die x-Achse die Verzögerung t del zwischen ’c’ und ’nc,’ normiert auf die Anstiegszeit von 1 ns, und die YAchse den Ladungsinjektionsfehler E INJ zeigt. Für den NMOS-Schalter ist es günstiger, wenn ’c’ etwas vor ’nc’ kommt. Der maximale Fehler E INJ ist dann 0.8%. Für den PMOS-Schalter sollte ’nc’ vor ’c’ kommen und der Fehler beträgt dann maximal 0.32%. Dies liegt daran, dass nach Möglichkeit zuerst der Schalt-Transistor schließen soll, damit die dadurch injizierten Ladungen danach durch die Dummy-Transistoren wieder aufnommen werden können. Eine umgekehrte Reihenfolge macht keinen Sinn und führt zu einem betragsmäßig hohen Fehler E INJ von jeweils 3%, weil die durch die Dummy-Transistoren aufgenommenen Ladungen durch den noch offenen Schalttransistor wieder nachfließen. Auch der CMOS-Schalter hat eine Vorzugseite. Die Steigung von E INJ für t del <0 ist etwa doppelt so groß wie für t del >0, d. h. es ist günstiger, wenn ’c’ vor ’nc’ kommt, weil dann der Fehler kleiner bleibt. Dies lässt sich damit erklären, dass durch den PMOS-Schalttransistor aufgrund seiner etwa halb so großen Leitfähigkeit nur die Hälfte der Ladungen vor dem vollständigen Schließen abfließen kann, als die durch den NMOS-Schalttransistor. Der NMOS-Schalttransistor sollte also, wenn es einen Zeitunterschied zwischen ’c’ und ’nc’ gibt, zuerst schließen. Dieser höhere Abfluss durch den NMOS-Transistor wird auch dadurch deutlich, dass E INJ für den Verzögerung von ’c’ und ’nc’ 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen NMOS-Schalter mit t del >0 betragsmäßig größer ist (0.8%) als für den PMOS-Schalter mit t del <0 (0.32%). Normalized Effective Value of EINJ in % Effektive Charge Injection over Relative Delay 'c' Before 'nc' with Rin=0 4,00% 3,00% 2,00% 1,00% -200,0% -100,0% 0,00% -1,00%0,0% 100,0% 200,0% -2,00% -3,00% -4,00% Relative Delay 'c' before 'nc' tdel/1ns in % NMOS PMOS CMOS Abb. 3.18: Ladungsinjektion bei NMOS-, PMOS- und CMOS-Schaltern mit Dummy-Transistoren und R IN =0 bei verschiedene Verzögerungen zwischen den Schaltsignalen ’c’ und ’nc’ Für sehr große Innenwiderstände R IN und unter Verwendung von Dummy-Transistoren ist die Ladungsinjektion E INJ null. Die Dummy-Transistoren können die Ladungsinjektion vollständig kompensieren. E INJ ist unabhängig von der Verzögerung t del zwischen ’c’ und ’nc’ Verzögerung. Eine entsprechende Kurve in Abb. 3.18 verliefe auf der X-Achse. Betrachtungen zur Abhängigkeit E INJ von der Anstiegszeit der Schaltsignale ’c’ und ’nc’ erfolgen im nächsten Abschnitt. Taktdurchgriff Im diesem Abschnitt werden Untersuchungen zum Taktdurchgriff durchgeführt. Zusätzlich w ird eine B etrachtung der Ladungsinjektion zu Anstiegszeiten der Schaltsignale ’c’ und ’nc’ im Vergleich mit dem Taktdurchgriff angeführt. Verzögerung von ’c’ und ’nc’ In folgender Betrachtung werden die Schaltsignale ’c’ und ’nc’ gegeneinander verschoben, um deren Einfluss auf den Taktdurchgriff zu bestimmen. Die Schaltung in Abb. 3.14 wird mit ideal linear ansteigendem und abfallendem Takt ’c’ und NichtTakt ’nc’ ´betrieben. Die Flanken von ’c’ und ’nc’ werden gegeneinander um die Zeit 55 56 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen t del verschoben, wie es in Abb. 3.19 (1) dargestellt ist. Die Anstiegszeit beträgt 1 ns. Das Signal ’nc’ wird verzögert um t del gleich 0 ns, 1 ns und 2 ns. Triode Region OFF Region Abb. 3.19: (1-4) Abhängigkeit des Taktdurchgriffs von der Verzögerung zwischen den Schaltsignalen ’c’ und ’nc’ bei sehr hohem Eingangswiderstand R IN und immer der gleichen CMOS-Last für einen NMOS-, PMOS- und CMOS-Schalter mit Dummy-Transistoren. Als Ergebnis stellen sich verschiedene Taktdurchgriffe an Pin ’b’ ein. Der Eingangspegel V IN wurde auf mittlere Versorgungsspannung von 2.5 V gelegt. Der Eingangswiderstand R IN wird sehr groß gewählt. Es kommt zu keiner Ladungsinjektion, sondern nur zu einem Taktdurchgriff. In (2) ist der Taktdurchgriff für 2 ns, in (3) für 1 ns und in (4) für 0 ns Verzögerung von ’nc’ gezeigt und zwar jeweils für einen NMOS-, PMOS-, und CMOS-Schalter mit jeweils Dummy-Transistoren. Durch den linearen Anstieg wird der Mechanismus des Taktdurchgriffs in (2) mit 2 ns Verzögerung von ’nc’ deutlich. Der Durchgriff bei PMOS- und NMOS-Schalter steigt bei steigenden ’c’ jeweils in zwei linearen Stücken, beginnend bei t=5 ns, an und endet dann in einem Plateau. Beim PMOS-Schalter steigt der Taktdurchgriff schneller an, als beim NMOS-Transistor. Dieser Anstieg wird verursacht durch das steigende Taktsignal ’c’ am NMOS-Schalttransistor, bzw. an den PMOS-Dummy-Transistoren. Die zwei linearen Stücke werden durch die Kapazitäten der verschiedenen Arbeitsbereiche verursacht. Der NMOS-Schalttransistor durchläuft einen Bereich vom AusZustand in den An-Zustand, die PMOS-Dummy-Transistoren genau umgekehrt vom An-Zustand in den Aus-Zustand. Daher ergeben sich die unterschiedlich steilen Anstiege, weil die Transistoren den Triodenbereich und den Sperrbereich mit ihren jeweils unterschiedlichen Gate-Kapazitäten in verschiedener Reihenfolge durchlaufen. Schließlich erfolgt durch die fallende Taktflanke von ’nc’ ab dem Zeitpunkt 7 ns Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter der umgekehrte Prozess und die Ladungen werden wieder von Pin ’b’ entfernt durch die NMOS-Dummy-Transistoren und den PMOS-Schalttransistor. Ab 10 ns geschieht das gleiche mit umgekehrtem Vorzeichen. Bei genauem Hinsehen stellt man fest, dass der Taktdurchgriff des CMOS-Schalters in drei linearen Stücken verläuft. Dies ergibt sich aus der Überlagerung von PMOS-Anteil und NMOS-Anteil. Der Tak tdurchgriff fällt bei einer Verzögerung t del =2 ns für CMOS größer aus als bei PMOS und NMOS. Dies liegt daran, dass anders als üblich in dieser Simulation für NMOS-, PMOS- und CMOS-Schalter immer die gleiche CMOS-Last (zehn NMOS- und zehn PMOS-Transistoren) verwendet wurde. Ve r ri ng er t s i c h n un di e Ver z ög er un gs z ei t de s N ic h t -Tak te s ’n c’ au f 1 n s i n Abb. 3.19 (3), so schieben sich steigender und fallender Taktdurchgriff ineinander. Schließlich bei 0 ns Verzögerung in (4) heben sich steigender und fallender Taktdurchgriff weitgehend auf. In (4) ist der Taktdurchgriff vom CMOS-Schalter kleiner als von NMOS und PMOS. Dies liegt daran, dass sich beim CMOS-Schalter der steigende und der fallende Taktdurchgriff, bestehend aus drei linearen Stücken, besser gegeneinander aufheben, als bei nur zwei linearen Stücken, wie beim NMOS- oder PMOS-Schalter. Eine vollständige Kompensation des Taktdurchgriffs ist aber auch bei drei linearen Stücken nicht möglich. Damit wären die Mechanismen und das Zustandekommen des Taktdurchgriffs geklärt. In Abb. 3.20 werden die Taktdurchgriffe der NMOS-, PMOS- und CMOS-Schalter bei hohem R I N und der Taktdurchgriff eines CMOS-Sc halter bei niedrigem R I N (CMOS with R in =0) miteinander verglichen. Auf der X-Achse in Abb. 3.20 ist die Verzögerung t del des Taktes ’c’ vor dem Nicht-Takt ’nc’ bezogen auf die Anstiegs- und Abfallszeit von 1 ns dargestellt. Auf der Y-Achse ist der Taktdurchgriff-Fehler E CFT bzw. der Ladungsinjektionsfehler E INJ dargestellt. Für betragsmäßig hohe Verzögerungen zwischen ’c’ und ’nc’ haben E CFT für NMOS-, PMOS- und CMOS-Schalter einem vergleichbaren Verlauf. Für eine relative Verzögerung t del von 0% zwischen ’c’ und ’nc’ verursacht der CMOS-Schalter 57 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen den geringsten Taktdurchgriff von E CFT =0.4%. PMOS- und NMOS-Schalter sind vergleichbar bei etwa 1%. Effektive Clock Feedthrough over Relative Delay 'c' Before 'nc' 4.00% Normalized Effective Value EINJ in % 58 3.50% 3.00% 2.50% 2.00% 1.50% 1.00% 0.50% -200% -150% -100% 0.00% -50% 0% 50% 100% 150% 200% Relative Delay 'c' before 'nc' tdel/1ns in % NMOS PMOS CMOS CMOS with Rin=0 Abb. 3.20: Taktdurchgriff bei verschiedenen Verzögerungen t del der Schaltsignale ’c’ und ’nc’ mit hohen und niedrigem R IN und bei an den Schaltertyp angepasster Last und einem Eingangspegel V IN von 2.5 V. Ein Fehler E CFT von 1% entspricht 50 mV. Besonders interessant sind die Ergebnisse für geringe Eingangswiderstände R IN =0. Der CMOS-Taktdurchgriff fällt geringer aus vor allem für betragsmäßig hohe relative Verzögerungen t del , weil dort Ladungen des Taktdurchgriffs noch über den jeweils offenen PMOS- bzw. NMOS-Schalttransistor zum Treiber an Pin ’a’ (V IN ) abfliessen können. Für die Amplitude des Taktdurchgriffs E CFT spielt die Anstiegs- und Abfallszeit t r bzw. t f nur insofern eine Rolle, als das t r und t f etwa der Dauer des Taktdurchgriffs entspricht, nicht jedoch die Amplitude des Taktdurchgriffs E CFT beeinflusst. Für die Ladungsinjektion E INJ spielt die Dauer der Flankenzeiten t r und t f eine entscheidende Rolle. In Abb. 3.21 ist dies zu sehen. Während sich der Taktdurchgriff fast überhaupt nicht ändert und eher gleich bleibt, steigt die Ladungsinjektion kontinuierlich an. Die relative Anstieg- und Abfallszeit t r und t f sind genormt auf die minimale Anstiegs- und Abfallszeit t sw_rf_min . Die Zeit t sw_rf_min , die Schalter-Kennzeit für einen Prozess, sei definiert als die Zeit, die zwei parallel geschaltete Minimal-Inverter, bestehend aus einem minimalen NMOS-Transistor und einen gm-angepassten PMOS-Transistor (Big-PMOS), brauchen, um die Schaltsignale ’c’ und ’nc’ an einen CMOS-Schalter mit DummyTransistoren (Abb. 3.16) von 10% auf 90% zu treiben (zwei Minimal-Inverter deshalb, weil die Schalttransistoren im CMOS-Schalter aus zwei Minimal-Transistoren aufgebaut sind). Für den CMOS-Prozess 0.8 µm beträgt die Zeit t sw_rf_min 0.13 ns. Die beiden parallelen Minimal-Inverter müssen mit einer definierten Anstiegszeit t inv_rf_min angesteuert werden. Die Zeit t inv_rf_min , die Inverter-Kennzeit für einen Prozess, sei definiert als die 10%-90%-Anstiegszeit, die sich am Ende einer langen Kette von Minimalinvertern Anstiegszeit von ’c’ und ’nc’ 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen einstellt, unabhängig von der Anstiegs- oder Abfallzeit am Eingang des ersten Inverters der Kette. Die Zeit t inv_rf_min beträgt für diesen Prozess 0,21 ns und ist größer als t sw_rf_min . Bei Ring-Oszillatoren, aufgebaut aus Invertern, spielt diese Zeit eine Rolle für die maximale Frequenz. (Die Kapazitäten der Inverter-Transistoren sind kleiner als die Kapazitäten der Schalter-Transistoren. Durch den Miller-Effekt bei Inverter-Ketten ist trotzdem t sw_rf_min < t inv_rf_min ). Die Zeiten t sw_rf_min und t inv_rf_min sind für den Schaltereinsatz wichtige prozessspezifische Zeitkonstanten, an denen maximale Anstiegszeiten abgeschätzt werden können. Für neuere und schnelle Prozesse wirkt sich die Verkleinerung von t sw_r f_m in und t inv_r f_m in günstig auf geringere Ladungsinjektion und Taktdurchgriff aus. Ziel ist es, die Zeiten t r und t f zu minimieren, um E INJ und E CFT klein zu halten. Effektive Clock Feedthrough and Charge Injection over Rise and Fall Time Normalized Effective Value of EINJ und E CFT in % 5,00% 4,50% 4,00% 3,50% 3,00% 2,50% 2,00% 1,50% 1,00% 0,50% 0,00% 0% 500% 1000% 1500% 2000% Relative Rise and Fall Time in % Clock Feed Through Charge Injection Abb. 3.21: Taktdurchgriff und Ladungsinjektion in Abhängigkeit von der auf die Schalterkennzeit t sw_rf_min genormten Anstiegs- und Abfallszeit der Schaltsignale ’c’ und ’nc’ für einen CMOS-Schalter mit Dummy-Transistoren, V IN =2.5V und R IN =0. Eingangspegel und Taktdurchgriff Der Taktdurchgriff hängt vom Eingangspegel des Signals an den Pins ’a’ und ’b’ ab. In Abb. 3.22 sind die zeitlichen Verläufe des Taktdurchgriffs für die Signalspannungen 3.5 V, 2.5 V, 1.5 V und 0.5 V bei sehr großem Eingangswiderstand R IN dargestellt. Es gibt keine zeitliche Verzögerung zwischen ’c’ und ’nc’, und daher ähneln die Verläufe hier den Verläufen in Abb. 3.19 (4). Ladungsinjektion tritt nicht auf, wegen des großen R IN . Mit sinkendem Eingangspegel V IN tendiert der Taktdurchgriff zu niedrigeren Spannungen, wobei der Taktdurchgriff bei PMOS-Schalters immer oberhalb des Eingangspegels bleibt, des NMOS-Schalter unterhalb und der CMOS-Schalter von oberhalb nach unterhalb wechselt. Für hohe Eingangspegel bleibt der NMOS-Schalter immer im Sperrbereich (Aus-Zustand), für niedrige Eingangspegel immer der PMOS-Schalter, wodurch in bei diesen Spannungspegeln ke in Ta ktd ur c hg r iff m ehr au ft ri tt . B ei d ie sen S pa nn ung spe gel n be st ehe n di e Anstiegsflanken in Abb. 3.19 (2) nur aus einem einzelnen linearem Stück, weil der Transistor in einem Arbeitsbereich bleibt. Anstieg- und Abfallflanke können sich 59 60 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen vollkommen kompensieren, wenn t del =0 ist, wie in (1) bei NMOS und in (4) bei PMOS. Abb. 3.22: (1-4) Taktdurchgriff bei NMOS-, PMOS- und CMOS-Schaltern mit Dummy-Transistoren bei verschiedenen Eingangspegeln (1) V IN =3.5 V, (2) V IN =2.5V, (3) V IN =1.5 V, (4) V IN =0.5 V und sehr großem R IN . E in e Zu sa m m en s t ell un g de s Ta k td ur c h gr iff s E C FT v o n N M O S -, P M O S - u nd CMOS-Schaltern für mehrere Eingangspegel ist in Abb. 3.23 zu sehen. Der Taktdurchgriff des NMOS- und PMOS-Schalters liegt etwa doppelt so hoch wie der des CMOS-Schalters. Bei den Eingangspegeln kleiner als 25% (PMOS) und größer 75% (NMOS), wo der PMOS-Schalter bzw. der NMOS-Schalter niemals leitet, gibt es beim PMOS-Schalter bzw. beim NMOS-Schalter keinen Taktdurchgriff. Bei einem Eingangspegel von 40% hat der Taktdurchgriff des CMOS-Schalters ein Minimum, wird jedoch nicht null. Hier wechselt der Taktdurchgriff von unterhalb zu oberhalb des Eingangspegels. Die Überhöhungen bei NMOS- und PMOS-Schaltern bei 15% bzw. 85% sind darauf zurückzuführen, dass die Lastkapazitäten, die mit MOS-Tran- 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen sistoren realisiert sind, hier in den Sperrbereich wechseln und deren Eingangskapazität deutlich kleiner wird und damit der Taktdurchgriff größer. Effective Clock Feedthrough over Input Voltage Clock Feed Through ECFT in % 2,00% 1,80% 1,60% 1,40% NMOS PMOS CMOS 1,20% 1,00% 0,80% 0,60% 0,40% 0,20% 0,00% 0,00% 20,00% 40,00% 60,00% 80,00% 100,00% Relative Input Voltage in % Abb. 3.23: Fehler des Taktdurchgriffs E CFT bei verschiedenen Eingangspegeln mit sehr großem Treiberwiderstand R IN Zusammenfassend lässt sich sagen, dass bei Verwendung eines CMOS-Schalters sich der Taktdurchgriff verkleinert, insbesondere für einen bestimmten Eingangspegel V IN . Ladungsinjektion und Taktdurchgriff beim Schließen von Schaltern Die Ladungsinjektion beim Öffnen und der Taktdurchgriff beim Schließen und Öffnen eines Schalters w urde in den vorherigen Abschnitten betrachtet. Welche Effekte beim Schließen eines Schalter auftreten, soll hier untersucht werden. Schließen heißt hier der Übergang vom hochohmigen Zustand in den niederohmigen Zustand eines Schalters. Von einer Ladungsinjektion beim Schließen eines Schalters soll nicht gesprochen werden. Entsprechend der Definition in Abschnitt 3.4.2 gibt es hier keine Ladungsinjektion. Vom Schalter injizierte Ladungen stören zwar das Signal, aber sie können sich durch den jetzt geschlossenen Schalter wieder ausgleichen. Es soll der Taktdurchgriff und der folgende Ladungsausgleich betrachtet werden. Das Schließen eines Schalters führt zu zwei Effekten: 1. Durch die Änderung der Schaltsignale komm t es zu einem Taktdur chgriff. Der Takt durchgriff st ört die Signale VA und V B an den Pins ’a’ und ’b’. 2. Es kommt zu einem Ladungsausgleich über den eingeschalteten Schalttransistor. Dies findet solange statt bis sich die Spannungspegel VA und V B auf beiden Seiten des Schalters angeglichen haben. Werden die Spannungspegel VA und V B auf einem festem Potential gehalten, so kommt es zu einem konstanten Ausgleichsstrom. Zur Untersuchung dieser beiden Effekte wird ein NMOS-Schalter mit DummyTransistoren aus Abb. 3.24 verwendet. Beide Pins ’a’ und ’b’ werden auf zwei ver- 61 62 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen schiedene Spannungen VA und V B vorgeladen (d. h. aber nicht an feste Spannungsquellen angeschlossen), die sehr weit auseinander liegen können und im Maximalfall die untere Versorgungsspannung VSS und die obere Versorgungsspannung VDD betragen. Lastkapazitäten werden in diesem Fall keine verwendet, um den nichtlinearen Einfluss der bisher verwendeten MOS-Lastkapazitäten auszuschließen. Danach schließt der Schalter, und es kommt zum Taktdurchgriff und zu Ausgleichsvorgängen. Es stellt sich eine Spannung V EQ im Gleichgewicht ein. Idealerweise sollte am Ende Veq die mittlere Spannung der Vorladespannungen VA und V B betragen, was aber nicht der Fall ist. Während der Ausgleichvorgänge durchläuft der Schalttransistor den Sättigungsarbeitsbereich, bis er schließlich den Triodenarbeitsbereich erreicht hat. Sei V EQ die Spannung, die sich nach dem Schließen eines Schalters real einstellt, und V M die erwartete mittlere Spannung der vorgeladenen Spannungen VA und V B an den Pins ’a’ und ’b’, so sei der Fehler beim Ladungsausgleich E EQ definiert durch VEQ – V M E EQ = ---------------------------------( VDD – VSS ) (3.11) In Abb. 3.24 sind die gespeicherten Ladungen entsprechend der Arbeitsbereiche von Schalt- und Dummy-Transistoren vor und nach dem Einschalten dargestellt werden. Vor dem Einschalten werden die Pins ’a’ und ’b’ auf die Spannungspotentiale VSS bzw. VDD vorgeladen, aber nicht leitend mit VDD und VSS verbunden. Ziel ist es zu überprüfen, ob und welche Ladungen durch die sich verändernden Schaltsignale ’c’ und ’nc’ in die Pins ’a’ und ’b’ injiziert werden. switch is off: V =VDD switch is on: stored charge nc VDD 1x OFF 2x OFF 1 x 2 W CO V * 0 b stored charge nc VSS 2 x 1 W C O V * (VDD-VSS) c VSS ideal: V E Q =(VDD+VSS)/2 b b 1x OFF 1 x 2WC O V * (VDD-VSS)/2 2x ON - 2 x 1C O N * (VDD-VSS)/2 c VDD 2 x 1 W CO V * 0 - 2 x 1C O N * (VDD-VSS)/2 nc VDD nc 1x ON - 1 x 2C O N * (VDD-VSS) VSS 1x OFF 1 x 2WC O V * (VDD-VSS)/2 with C O N = W L C O X /2 + WC O V V =VSS a Fehler beim Ladungsausgleich a a ideal: V E Q =(VDD+VSS)/2 Abb. 3.24: Schaltzustände und gespeicherte Ladungen der NMOS-Transistoren in einem Schalter beim Übergang vom Aus-Zustand in den An-Zustand unter Vernachlässigung der Sperrschichtkapazitäten In der linken Hälfte von Abb. 3.24 ist der NMOS-Schalter dargestellt, der ausgeschaltet ist, und in der rechten Hälfte der eingeschaltete NMOS-Schalter. Die Spannungspotentiale sind links an den Pins angetragen. Rechts der Transistoren ist der Schaltzustand der Transistoren gezeigt, und daneben sind die in den Überlappkapazitäten C GDov und C GSov und Gate-Kanalkapazitäten C GDch und C GSch gespeicherten Ladungen (stored charge) angegeben. Die gespeicherten Ladungen ergeben sich nach Kapitel 3.3.2 und Abb. 3.6. Ist ein Transistor ausgeschaltet, ergeben sich nur Ladungen der Überlappkapazitäten, jeweils bei Source und Drain. Ist ein Transistor eingeschaltet, so sammeln sich noch Ladungen unter dem Gate-Oxid. Die Kapazität zwischen Gate und Drain (ebenso Gate und Source) ergibt sich dann zu C ON =C GD =WLC OX /2 + WC OV. Mit den gespeicherten Ladungen wird nun die Ladungsbilanz vor und nach dem Einschalten des Schalters untersucht, unter der Annahme, dass sich nach dem Ein- Ladungsbilanz ideal 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen schalten genau das mittlere Potential V M =(VDD+VSS)/2 einstellt. Es zeigt sich nun, dass die Ladungsmengen genau gleich sind, d. h. die Dummy-Transistoren geben genau die Ladungen ab, die die Schalttransistoren aufnehmen. Für den ausgeschalteten Schalter (links) ergibt sich die Ladungsmenge 2x WC OV (VDD-VSS) - 2x C ON (VSS-VSS). Für den eingeschalteten Schalter (rechts) ergibt sich die Ladungsmenge 2x2WC OV (VDD-VSS)/2 - 2x2C ON (VDD-VSS)/2. Nach Umformung und Vereinfachung zeigt sich, dass die Ladungsmengen identisch sind. Die Ladungskompensation funktioniert optimal und ideal, d. h. V EQ =V M . Für den PMOSSchalter lässt sich eine identische Betrachtung durchführen. Zwei Fälle sollen bei der Simulation der Schaltung aus Abb. 3.24 berücksichtigt werden. Ladungsbilanz real Erstens soll der erwartete Mittelwert von VA und V B V M =(VDD-VSS)/2 betragen, also genau zwischen VDD und VSS liegen. Der Pin ’a’ und ’b’ wird auf die untere Spannung Va =VSS+α 1 (VDD-VSS)/2 bzw. die obere Spannung V b =VDD−α 1 (VDDVSS)/2 vorgeladen, und danach schließt der Schalter. Es stellt sich nicht genau als Ausgleichsspannung V EQ der erwartete Mittelw ert V M =(VDD +VSS)/2 ein. D ie Abweichung E EQ ist in Abb. 3.25 (a) zu sehen. Zweitens soll der erwartete Mittelwert von VA und V B V M =VSS+0.5*(VDD-α 2 (VDDVSS) sein mit α 2 ∈[0,1], also für α 2 →1 geht V M →0. Der Pin ’a’ wird auf die untere Spannung VSS vorgeladen und Pin ’b’ auf die Spannung VDD-α 2 (VDD-VSS), d. h. also eine mit α 2 sinkende Spannung. Schließt der Schalter, so gibt es ebenfalls eine andere Ausgleichsspannung V EQ vom erwarteten Wert V M . Die Abweichung E EQ bei Ladungsausgleich ist in Abb. 3.25 (b) zu sehen. Der Verlauf der Abweichung E EQ vom NMOS-Schalter in Abb. 3.25 ist invertiert dargestellt, um einen Vergleich mit dem PMOS- und CMOS-Schalter zu erlauben. (b) switching into on-state, medium common mode level switching into on-state, low common mode level 9,00% 9,00% 8,00% 8,00% 7,00% 7,00% normalized voltage offset normalized voltage offset (a) 6,00% 5,00% 4,00% 3,00% 2,00% 1,00% 6,00% 5,00% 4,00% 3,00% 2,00% 1,00% 0,00% -1,00% 0% 0,00% 0% 20% 40% 60% 80% normalized precharge amplitude NMOS * (-1) PMOS CMOS 100% 20% 40% 60% 80% 100% -2,00% normalized precharge amplitude NMOS * (-1) CMOS * (-1) Abb. 3.25: (a-b) Spannungsfehler E EQ des Ladungsausgleichs (normalized voltage offset to VDD) beim Schließen eines Schalters mit vorgeladenen Pins ’a’ und ’b’. Die NMOS-Abweichung ist negativ dargestellt, um einen Vergleich mit dem PMOS-Transistor zu ermöglichen. Bei (a) werden Pin ’a’ und Pin ’b’ symmetrisch um die mittlere Versorgungsspannung vorgeladen. Bei (b) bleibt Pin ’b’ auf VSS und Pin ’a’ wird mit variabler Spannung vorgeladen. Diese Abweichung E EQ wird durch die nichtlinearen Kapazitäten der pn-Übergänge bei Source und Drain zum Bulk verursacht (Gl. (3.1), Abb. 3.8.). In den Sperrschichtkapazitäten an Pin ’a’ des NMOS-Zweiges in Abb. 3.24 sind mehr negative Ladungen gespeichert als an Pin ’b’ positive, weil dort die höhere Sperr- 63 64 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen spannung eine niedrigere Kapazität bewirkt. Daher ergibt sich nach dem Schließen des Schalters eine negative Abweichung E EQ . Dies gilt für die erste und die zweite Betrachtung. Für einen CM OS-Schalter komm t es zu einer leichten Kompensation dieses Effekts. Die Nichtlinearitäten der Sperrschichtkapazitäten des NMOS- und PMOSZweigs wirken einander entgegen und heben sich zum Teil auf. Die Stärke der Aufhebung hängt von den Parametern der Sperrschichtkapazitäten für NMOS- und PMOS-Transistoren ab. Durch unterschiedliche seitliche Längen L SD der NMOS oder PMOS-Diffusionsgebiete können die Sperrschichtkapazitäten einander angeglichen werden. Ein Matching ist allerdings nicht denkbar. Fehlerhafte Ausgleichsvorgänge E EQ beim Einschalten von Schaltern treten oft auf, wenn man Ströme zu einem Knoten hinzuschalten will, also über Pins ’a’ ein Strom I in das Signal an Pin ’b’ eingespeist werden soll. Dann kommen allerdings nicht nur die eben behandelten nichtlinearen Sperrschicht-Kapazitäten zur Auswirkung, sondern auch die übrigen Kapazitäten des Signal an Pin ’a’, die sehr groß sein können, z. B. die Kapazitäten der dort angeschlossenen Strombank. Die Ladungen dieser Kapazitäten stören das Signal an Pin ’b’ beim Schließen. Eine Abhilfe hierfür ist das spannungsfreie Schalten des Schalters. Das Potential an Pin ’a’ muss vor dem Schließen des Schalters erst vorgeladen werden auf das Potential von Pin ’b’. Es findet dann kein störender Ladungsausgleich beim Schließen statt. Ein Buffer zieht Pin ’a’ vor dem Schalten auf das Potential von Pin ’b’ und deaktiviert sich nach dem Schließen. Im Dreieckgenerator in Abb. 5.16 Seite 100 ist spannungsfreies Schalten mit dem „Parking“-Schaltkreis realisiert. Spannungsfreies Schalten 3.4.4 Konzepte für dynamische Schalter In diesem Kapitel sollen reale Schalter-Konzepte untersucht und verglichen werden, die für dynamische Schalter verwendet werden können. Bisher wurden Ladungsinjektion, Taktdurchgriff und Ausgleichvorgänge mit ideal linear ansteigenden Schaltsignalen ’c’ und ’nc’ untersucht. Auch die Verschiebung idealer Schaltsignale ’c’ und ’nc’ gegeneinander wurde untersucht. In der Praxis gibt es aber das Problem, wie man in nicht differentiellen Systemen aus einem Referenztakt ’c ref ’ die Schaltsignale ’c’ und ’nc’ erzeugt. In Abb. 3.26 (a) ist die einfachste Lösung dafür dargestellt. Über zwei Inverter inv1 und inv2 werden ’c’ und ’nc’ aus ’c ref ’ erzeugt. Für Vergleichszwecke bei Simulationen sind die Inverter inv1 und inv2 aus Minimal-Invertern, d. h. minimalen NMOS-Transistoren und gm-angepassten PMOS-Transistoren, aufgebaut. Besteht der Schalttransistor aus zwei parallel geschalteten Transistoren, so werden auch inv1 und inv2 aus jeweils zwei parallel geschalteten Transistoren aufgebaut. Durch inv2 wird ’c’ etwas mehr verzögert als ’nc’, und die Flanken liegen nicht mehr übereinander. Dies führt zu Ladungsinjektion und Taktdurchgriff, wie in den vorherigen Kapiteln besprochen. Eine Kompensation der Verzögerung kann durch einen dazwis c h e n g e s c h a l t e t e n Ve r z ö g e r u n g s - I n v e r t e r ’ i n v _ d e l ’ n a c h g e b i l d e t w e r d e n . Delay Inverter 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen (Abb. 3.26 (b)). Die Nachbildung ist nicht ideal, aber verbessert das Verhalten von ’c’ und ’nc’. (a) inv2 (b) parasitic delay c ref c ref c inv1 parasitic delay inv2 c inv1 nc nc compensated delay inv_del Abb. 3.26: (a-b) Erzeugung von Takt ’c’ und Nicht-Takt ’nc’ aus dem Referenztakt ’c ref ’ mittels zweier Inverter inv1 und inv2 mit parasitärer Verzögerung von ’c’ (a). Kompensation der parasitären Verzögerung mit einem Verzögerungs-Inverter ’inv_del’ (b). Welches Schaltsignal ’c’ oder ’nc’ parasitär verzögert werden sollte, hängt vom Schaltertyp (NMOS, PMOS, CMOS) ab. Trotzdem wird es zu einer restlichen Zeitverzögerung zwischen ’c’ und ’nc’ kommen. In welches Schaltsignal ’c’ oder ’nc’ die parasitäre Verzögerung oder die restliche Zeitverzögerung eingebaut werden soll, hängt von Schaltertyp, ob NMOS, PMOS oder CMOS, ab. Aus Abb. 3.18 geht hervor, dass für den NMOS- und den CMOS-Schalter ’c’, für den PMOS-Schalter hingegen ’nc’ zuerst kommen sollte. Ein andere Möglichkeit, ’c’ und ’nc’ zu erzeugen, ist in Abb. 3.27 dargestellt. Diese Schaltung mit starken Invertern (x3) im Längspfad und mit mitgekoppelten Invertern (x1) im Querpfad dient in volldifferentiellen Systemen zur Taktregenerierung und Verstärkung. Sie kann hier verwendet werden, um aus einem „singleended“ Takt einen differentiellen Takt mit gleichförmigen ’c’ und ’nc’ zu erzeugen. Die Inverter im Längspfad (x3) müssen stärker als die quergekoppelten Inverter (x1) sein. Die Querkopplung sorgt dafür, dass Anstiegs- und Abfallflanken von ’c’ und ’nc’ sich immer mehr anpassen, d. h. eine höhere Anzahl von Querkoppel-Stufen verkleinert den Betrag der Zeitverzögerung t del zwischen den Signalen ’c’ und ’nc’. 1 st buffer stage c ref x3 c x1 x3 x1 x1 x1 x3 n th buffer stage x1 Takt Regenerator x3 nc regeneration of edges Abb. 3.27: Regenerierung und Erzeugung von differentiellen Taktsignalen mit voll differentiellen Treiberstufen aus starken Längs-Invertern (x3) mit gekoppelten Quer-Invertern (x1) Differentielle Signale Differentielles Schaltungsdesign ist eine sehr gute Möglichkeit, um vor allem Ladungsinjektion zu unterdrücken. Die Signalinformation wird als Spannungsdifferenz VA zwischen zwei komplementären Signalen ’a’ und ’na’ im Schaltkreis verarb ei t e t. D i e S ig n al i nf o r m a t i on b ez ie h t s i c h n ic h t au f d ie S p an n un g s d iff er e n z 65 66 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen gegenüber Masse. Dies hat den Vorteil, dass Störungen, die gleichartig sowohl auf das Signal VA als auch V NA wirken, nicht (oder nur geringfügig) zu einer Spannungsdifferenz V DA führen und damit die Signalinformation verändern. Sie veränd e r n n u r d e n G l e i c h t a k t a n t e i l ( M i t t e l w e r t v o n VA u n d V N A ) , d e r k e i n e Signalinformation beinhaltet. Invertierungen des Signals können einfach durch Vertauschung von VA und V NA bewerkstelligt werden. Der Nachteil liegt im doppelten Aufwand im Signalpfad. Es müssen alle Komponenten doppelt aufgebaut werden, und Operationsverstärker sind durch eine Gleichtaktregelung komplizierter. In Abb. 3.28 ist ein differentieller Schalter für die Signale VA und V B und deren komplementäre Signal V NA und V NB zu sehen. c VA nc VB VDA [V p,diff ] VDB VNA VNB [V p,diff ] Abb. 3.28: Differentieller Schalter für die Signale VA und V NA (bzw. V B und V NB ). Dieser Schalter weist eine hohe Störunterdrückung gegenüber Ladungsinjektion auf, weil jeweils in Signal VA (V B ) und komplementäres Signal V NA (V NB ) gleichzeitig injiziert wird und sich die signalinformationtragende differentielle Spannung V DA (V DB ) nur geringfügig ändert. Die differentiellen Spannungen V DA und V DB zwischen Signal VA (V B ) und seinem Komplement V NA (V NB ) tragen die Signalinformation. In [3-1] In Abb. 3.29 sind Taktdurchgriff E CFT und Ladungsinjektion E INJ eines differentiellen Schalters dargestellt. Der Schalter wird mit der Beschaltung in Abb. 3.14 Seite 48 untersucht, wobei R IN =0 gesetzt ist. Als Schalter ist ein CMOS-Schalter nach Abb. 3.16 Seite 51 gewählt worden. Die Schaltsignale ’c’ und ’nc’ werden nac h Abb. 3.26 (a) Seite 65 erzeugt. Die Inverter-Kennz eit t i nv_ r f_ m in wird als Anstiegszeit für den Referenz-takt ’c ref ’ verwendet. Auf der X-Achse ist das auf die Versorgungsspannung normierte differentielle Signal V DB /VDD in [V p,diff /V] vor dem Schließen des Schalters dargestellt. Für ein differentielles Signal V DA =V DB =0 gibt es keinen Fehler, weil sich VA und V NA identisch verhalten, d. h. für kleine Differenzsignale ist die Störung auch klein, was sich sehr günstig auf den Signal-Störabstand auswirkt. Der Signal-Störabstand sei hier mit definiert als V DA /(E CFT +E INJ ). Der Signal-Störabstand ist gering und unabhängig von der Signalamplitude. Wenn die Amplitude des Signals kleiner wird, wird auch die Störung kleiner. Dies ergibt sich aus dem annähernd geraden Verlauf von E INJ und E CFT für das normierte differentielle Signal V D A <40%. Die Fehler bei einem realistisch erreichbaren normierten differentiellen Eingangssignal V DA =50% 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen werden als maximale Fehler für den differentiellen Schalter betrachtet und zum Vergleich mit den anderen Schalterkonzepten herangezogen. normalized Effective Value of EINJ und ECFT in % Effektive Clock Feedthrough and Charge Injection of Differentiell Signals 2,50% 2,00% 1,50% 1,00% 0,50% 0,00% 0,0% 20,0% 40,0% 60,0% 80,0% 100,0% normalized differentiell amplitude VDB/VDD [in Vp,diff/V] Clock Feed Through Charge Injection Abb. 3.29: Ladungsinjektion E INJ und Taktdurchgriff E CFT bei einem differentiellen Schalter. Der differentielle Schalter ist aus zwei CMOS-Schaltern mit Dummy-Transistoren aufgebaut. ’c’ und ’nc’ werden nach Abb. 3.26 (a) erzeugt. Auf der X-Achse ist das normierte differentielle Signal V DB /VDD (in V p,diff /V) dargestellt (VDD=5 V). Der Treiberwiderstand ist R IN =0. Der Signalstörabstand V DB /(E INJ +E CFT ) ist gering und unabhängig vom Signalpegel von V DB für Signalpegel <40%. Vergleich unterschiedlicher Schalterkonzepte Die oben vorgestellten verschiedenen Schalterkonzepte werden im Folgenden miteinander verglichen. Ladungsinjektion und Taktdurchgriff bei niedrigem Treiberwiderstand R IN und Taktdurchgriff bei hohem R IN werden dargestellt. Ladungsinjekt i o n u n t e r Ve r w e n d u n g v o n D u m m y - Tr a n s i s t o r e n i s t b e i h o h e m R I N vernachlässigbar. In Abb. 3.30 sind die Ergebnisse für verschiedene dynamische Schalter dargestellt, sortiert nach abnehmender Ladungsinjektion. Ladungsinjektion 67 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen ist der schwerwiegendere Fehler bei Schaltern, weil er kontinuierlich während einer halben Taktperiode anliegt. Charge Injection and Clock Feed Through 2,00% 1,80% 1,60% 1,40% 1,20% 1,00% 0,80% 0,60% 0,40% 0,20% 0,00% (1 )C M O S 2 (2 In v. )B i (3 g )C PM M O O S S fu lly (4 di )N ff. M O (5 S )D id ea el ay l In (6 v er )R te eg r en er (7 at )P io n M O S (8 id )C ea l M O (9 S )C id ea M O l S cu rre nt Normalized Effective Value 68 Type of Circuit Charge Injection Clock Feedthrough Clock Feedt. with high Rin Abb. 3.30: Vergleich von Ladungsinjektion und Taktdurchgriff bei unterschiedlichen Schaltern. Sortiert von links nach rechts mit abnehmender Ladungsinjektion Folgende Schalter sind dargestellt, wobei in Klammern immer die Werte für Ladungsinjektion E INJ (R IN =0), für Taktdurchgriff E CFT (R IN =0) und für Taktdurchgriff E CFTHRin mit hohem Treiberwiderstand R IN stehen. Alle Schalter sind mit DummyTransistoren zur Ladungskompensation ausgestattet: (1) CMOS 2 Inv: Das Schalterelement ist ein CMOS-Schalter mit Dummy-Transistoren (Abb. 3.16). Als Ansteuerung für ’c’ und ’nc’ werden zwei Zweifach-MinimalInverter verwendet (Abb. 3.26 (a)). Die Anstiegszeit für ’c ref ’ ist auf die InverterKennzeit t inv_rf_min =0.21 ns festgelegt. Dieser Schaltertyp ist der einfachste Standard-Schalter. (E INJ = 0.34%, E CFT = 1.45%, E CFTHRin = 1.44%). (2) Big-PMOS: Die Ansteuerung für ’c’ und ’nc’ ist die gleichen wie davor (bei CMOS 2Inv). Das Schalterelement ist ein CMOS-Schalter. Um eine ausgewogene Leitfähigkeit gm im gesamten Spannungsbereich zu erhalten wurden die PMOSSchalttransistoren vergrößert und sie sind damit keine Minimaltransistoren mehr (Abb. 3.9 (a)). Der Big-PMOS-Schalter ist etwas ungünstiger beim Taktdurchgriff. (E INJ= 0.32%, E CFT = 1.53%, E CFTHRin = 1.84%). (3) CMOS fully diff.: Der CMOS-Schalter mit Dummy-Transistoren ist zweimal voll differentiell aufgebaut (Abb. 3.28). Die Ladungsinjektion E INJ sinkt hier auf ca. 2/3 im Vergleich zu ’(1) CMOS 2 Inv’. Der Signal-Störabstand ist gering und unabhängig von der Signalamplitude. Je kleiner die differentielle Amplitude, desto kleiner E INJ oder E CFT des differentiellen Signals, d.h. je kleiner das Nutzsignal, desto kleiner ist auch das Störsignal. Voll differentielle Schalter verringern deutlich den Einfluß von Ladungsinjektion und Taktdurchgriff. Die Angaben für E INJ , E CFT und E CFTRin werden für eine differentielle Signal Amplitude von 50% der Versorgungsspannung gemacht. (E INJ = 0.21%, E CFT = 1.43%, E CFTHRin = 1.04%). Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter (4) NMOS ideal: Der Schalter besteht nur aus dem NMOS-Zweig (Schalttransistoren und Dummytransistoren), wobei die Ansteuerung von ’c’ und ’nc’ ideal ist, d. h. rein linearer Anstieg und kein Versatz zwischen ’c’ und ’nc’. Die Anstiegszeit ist die Inverter-Kennzeit t inv_rf_min . Der NMOS-Schalter mit idealer Ansteuerung und die unter den Punkten (7), (8) und (9) folgenden anderen Schalter mit idealer Ansteuerung sind zum Vergleich aufgeführt. (E INJ = 0.17%, E CFT = 0.42%, E CFTHRin = 0.82%). (5) Delay Inverter: Beim Delay-Inverter wird der CMOS-Schalter aus (1) verwendet. Für die Takterzeugung wird der Verzögerungs-Inverter aus Abb. 3.26 (b) zur Angleichung von ’c’ und ’nc’ verwendet. Die Anstiegszeit für ’c ref ’ ist die InverterKennzeit t inv_rf_min . Im Vergleich zu (1) reduziert sich E INJ auf 50%. (E INJ = 0.17%, E CFT = 1.02%, E CFTHRin = 0.89%). (6) Regeneration: Beim Schalter mit regenerierten Taktsignalen ’c’ und ’nc’ wird der CMOS-Schalter aus (1) verwendet. Für die Takterzeugung wird die Taktregenerierungsschaltung aus Abb. 3.27 verwendet. Dies erlaubt eine optimale Gleichzeitigkeit von ’c’ und ’nc’. Die Anstiegszeit für ’c ref ’ ist die Inverter-Kennzeit t inv_rf_min . Es werden drei Treiberstufen verwendet. Die Ladungsinjektion wird im Vergleich zu (1) auf 38% gesenkt. Dieser Schaltertyp hat als Nachteil einen hohen Stromverbrauch in der Takterzeugung. (E INJ = 0.13%, E CFT = 1.08%, E CFTHRin = 0.39%). (7) PMOS ideal: Ähnlich wie bei (4) besteht der Schalter nur aus dem PMOSZweig, wobei die Ansteuerung von ’c’ und ’nc’ ideal ist, d. h. rein linearer Anstieg und kein Versatz zwischen ’c’ und ’nc’. Die Ladungsinjektion ist gering, weil beim Ausschalten weniger Ladungen durch den PMOS-Schalter abfließen können. (E INJ = 0.06%, E CFT = 0.61%, E CFTHRin = 1.10%). (8) CMOS ideal: Der Schalter besteht wie bei (1) aus einem CMOS-Schalter. Die Ansteuerung von ’c’ und ’nc’ erfolgt wie bei (4) ideal. Es kommt zu einer Reduzierung der Ladungsinjektion auf 10% im Vergleich zu (1). (E INJ = 0.031%, E CFT = 0.29%, E CFTHRin = 0.32%). (9) CMOS Constant Current: Hier wird der Idee nachgegangen, wie man den Taktdurchgriff reduzieren kann. Der Schalter besteht wie bei (1) aus einem CMOSSchalter. Da der Taktdurchgriff auf die unterschiedlichen Kapazitäten der Schalttransistoren in den verschiedenen Arbeitsbereichen zurückzuführen ist, werden hier für die Ansteuerung von ’c’ und ’nc’ ideale Stromquellen verwendet, die ’c’ und ’nc’ bei einem Konstant-Strom von 150 µA in 0.21ns umladen. Der konstante Strom verspricht, dass die zugeführten Ladungen gleich den abgeführten sind und damit kein Taktdurchgriff auftritt. Tatsächlich sinkt der Taktdurchgriff E CFT, verglichen mit dem CMOS-Schalter und idealer Ansteuerung von ’c’ und ’nc’ (8) auf 31%. Die Ladungsinjektion E I NJ sinkt verglic hen mit (8) auf 23%, verglichen mit (1) auf 2%. Die Schwierigkeit besteht hier in der Erzeugung der konstanten Ladeströme für ’c’ und ’nc’. (E INJ = 0.007%, E CFT = 0.09%, E CFTHRin = 0.39%). Die verschieden Schaltertypen werden vergleichenderweise aufgeführt. Es ist klargestellt, welcher Schaltungstyp welchen Vorteil bringt. Der Designer kann die notwendige Variante wählen. Durch Verwendung von differentiellen Schaltern kann die Ladungsinjektion auf 2/3 für 50% Amplituden gesenkt werden mit dem Vorteil eines signalunabhängigen Signal-Störabstandes. Der CMOS-Schalter mit „Delay-Inverter“ zur Angleichung von Takt ’c’ und NichtTakt ’nc’, mit Dummy-Transistoren zur Ladungskompensation und mit gleich großem PMOS- wie NMOS-Transistoren (s. o. Punkt 5 und Abb. 3.26) stellt sich bei vertretbarem Aufwand als am besten geeignet für dynamische Schalter heraus und wird bei der Implentierung der Sinusgeneratoren in Kapitel 5 verwendet. 69 70 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 3.4.5 Zusammenfassung: Entwurfsregeln für dynamische Schalter In diesen Kapitel werden die Design-Regeln für Schalter zusammengefaßt, die sich aus dem Kapitel 3.3 „Schalter“ ergeben. Dort sind alle notwendigen Auswirkungen der Taktsignale dargestellt, womit sich Aussagen über das Verhalten beliebiger Schaltungen treffen lassen. Die Modellierung der Transistor-Eigenschalten, bezogen auf das Schalterdesign, ist in verschiedenen Technologien sehr ähnlich, und damit lassen sich auch Aussagen für neue Technologien anwenden. Zuerst ist zu entscheiden, ob es sich bei dem gewünschten Schalter um einen statischer oder dynamischer Schalter handelt, d. h. ob der Schalter nur wenige male oder sehr selten schaltet, also ein statischer Schalter ist, oder ob sich der Schaltzustand ständig ändert und keine Einflüsse auf das zu schaltende Signal gewünscht werden, also ob der Schalter ein dynamischer Schalter ist. Beim statischen Schalter muss in erster Linie darauf geachtet werden, dass der Leitwert entsprechend der Anforderung ausreichend groß ist. Beim dynamischen Schalter können verschiedene Typen von Schaltern gewählt werden mit jeweils unterschiedlichen Einflüssen auf das Signal. Es gibt DesignRegeln für den Entwurf von Schalttransistoren, für die Erzeugung von ’c’ und ’nc’ und für die Beschaltung des Schalters: Schalter-Typ: In folgender Liste sind Schalter-Typen vom einfachen bis zum besten aufgeführt: ein einfacher Transistor NMOS oder PMOS, Big-PMOS, CMOS, zusätzlich Dummy-Transistoren, differentielles Design. • • • • • • kleine Schalter: Möglichst kleine Schalter-Transistoren verwenden, da dann auch nur wenig Ladungen injiziert werden können. Diese Schalter haben zwar einen niedrigeren Leitwert und die Bandbreite bei konstanter Last ist kleiner. Aber das kT/C-Rauschen wird nicht größer. Also kleine Schalter wählen und nach der Bandbreite des Systems die minimale Lastkapazität bestimmen. kleine Schalter gegen Leckströme: Bei hohen Temperaturen gibt es ein starkes Ansteigen der Leckströme durch den Schalter. Die Ströme können bis auf ein 100-faches steigen und es damit schwierig machen, Ladungen lange verlustfrei zu speichern (z. B. bei niedrigen Taktfrequenzen). Kleine Weiten oder Serienschaltung reduzieren die Leckströme (Tab. 3.1 Seite 46). differentielle Schaltungstechnik: Um Ladungsinjektion und Taktdurchgriff klein zu halten, soll differentielle Schaltungstechnik verwendet werden. Differentielle Schaltungstechnik hat den Vorteil, dass der maximale Fehler im Vergleich zur Single-Ended Technik um ca. 30% reduziert ist und die SignalStörabstand gering und unabhängig vom Signalpegel ist. (Abb. 3.29 Seite 67). CMOS besser als PMOS und NMOS: Einzelne NMOS- und PMOS-Transistoren als Schalter sind zu vermeiden. Durch Verwendung von NMOS- und PMOS-Transistor gemeinsam als CMOS-Schalter kann die maximale Ladungsinjektion E INJ bei 50% Signalamplitude auf 30% gesenkt werden, Big-PMOS-Schalter sind nicht vorteilhaft. (Abb. 3.15 Seite 50, Abb. 3.30 Seite 68). NMOS und PMOS nur mit Dummy-Transistoren: NMOS- und PMOS-Schalter nur in Verbindung mit Dummy-Transistoren verwenden. Big-PMOS meiden, besser CMOS: Der Big-PMOS-Schalter hat zwar eine ausgewogenere Leitwertcharakteristik für hohe Signal-Spannungen, aber Störungen für Taktdurchgriff und Ladungsinjektion können sich nicht so leicht aufheben wie beim CMOS-Schalter. Maximale Ladungsinjektion bei CMOS ist Entwurfsregeln für Schalttransistoren Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter bei 50% Signalamplitude ohne Dummy-Schalter 50% kleiner als bei BigPMOS (Abb. 3.15 Seite 50). • • Entwurfregeln für die Erzeugung der Schaltsignale ’c’ und ’nc’ Matching: Dummy-Transistoren und Schalttransistoren müssen matchen, d. h. Dummy-Transistoren bestehen aus einem Einheitstransistor und die Schalttransistoren aus zwei parallel geschalteten Einheitstransistoren. Nichtbeachtung der Matching-Regeln verschlechtert sich die Standardabweichung der Ladungsinjektion um den Faktor 4. (Abb. 3.17 Seite 53). Schaltsignalerzeugung: In folgender Liste sind Schaltungen zur Erzeugung von Schaltsignalen ’c’ und ’nc’ von der einfachen bis zur besten aufgeführt: Zwei Inverter -> Delay Inverter -> Taktregeneration -> Stromladung. In dieser Reihenfolge können Verbesserungen in der Takterzeugung vorgenommen werden (Abb. 3.30 Seite 68). • • • Entwurfregeln für die Beschaltung CMOS beim Einschalten: Ist es kritisch, einen Schalter zu schließen, z. B. bei Stromschaltern, so verwendet man besser CMOS-Schalter als NMOSoder PMOS-Schalter. Bei 50% Signal-Amplitude ergibt sich beim CMOSSchalter einer Verbesserung der Offsetspannung gegenüber NMOS und PMOS auf 12.5% (Abb. 3.25 Seite 63). Reihenfolge ’c’ und ’nc’ beachten: Wenn die Schaltsignale ’c’ und ’nc’ durch die Takterzeugung mit Sicherheit gegeneinander verzögert sind, ist darauf zu achten, welches Signal früher kommen soll. Wenn, wie es üblicherweise der Fall ist, in einem CMOS-Schalter der NMOS-Schalttransistor einen höheren Leitwert hat als der PMOS-Schalttransistor, sollte ’c’ sich zuerst ändern. Damit schließt der NMOS-Schalttransistor schneller und es können nicht so viele Ladung über die noch offenen Schalter abfließen. 50% Fehler können hiermit eingespart werden. Für NMOS-Schalter sollte sich ’c’ zuerst ändern, für PMOS-Schalter ’nc’ (Abb. 3.18 Seite 55). Gleichzeitigkeit ’c’ und ’nc’ beachten: Die Schaltsignale ’c’ und ’nc’ sollen sich möglichst gleichzeitig ändern, um sowohl Taktdurchgriff als auch Ladungsinjektion klein zuhalten. Für optimal abgeglichene Flanken von ’c’ und ’nc’ mit t del =0 verringert sich E CFT für CMOS-Schalter auf 15%, für NMOS- und PMOS-Schalter auf 30% im Vergleich zu einer Verzögerung t del / 1 ns von 100%. (Abb. 3.18 Seite 55, Abb. 3.20 Seite 58). schnelle Schaltflanken von ’c’ und ’nc’: Schnelle Schaltflanken für ’c’ und ’nc’ reduzieren die Störung durch das Schalten für einen CMOS-Schalter mit Dummy-Transistoren in zweierlei Hinsicht. Der Injektionsfehler E INJ sinkt, weil es nicht zu einem Rückfluss von Kompensationsladungen durch den noch offenen Schalttransistor kommt. Der Effektivwert des Taktdurchgriffs des Taktdurchgriffs E CFT bleibt gleich, aber da der Taktdurchgriff (per definitionem) nur während der Schalterflanken vorhanden ist, sinkt die GesamtStörenergie mit kleiner werdender Schaltzeit. Die Störung ist schneller beendet (Abb. 3.21 Seite 59). Beschaltung: Auch die Lasten an einem Schalter bestimmen die Ladungsinjektion und den Taktdurchgriff und können in Bezug darauf optimiert werden. • gleiche Impedanz bei Pin ’a’ und Pin ’b’: Um die Ladungsinjektion klein zu halten und die Kompensation der Dummy-Transistoren vollständig wirken zu lassen, müssen die Impedanzen an Pin ’a’ und Pin ’b’ gleich groß sein. Dadurch verteilen sich die injizierten Ladungen aus den Schalttransistoren gleichmäßig und können von den Dummy-Transistoren wieder aufgenommen werden. Die gleichgroßen Impedanzen können annähernd dadurch realisiert werden, dass die gleiche Last- oder Ladekapazitäten an Pin ’b’ und an Pin ’a’ realisiert werden. Allerdings schränkt der Innenwiderstand R IN der Treiberquelle die mögliche Gleichheit der Impetanzen ein. 71 72 3 Digital-analoge Schnittstelle 3.4 Statische und dynamische Schalter • • • Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen große Lastkapazität C: Als Last hinter einem Schalter eine möglichst große Last wählen. Die Fehler Ladungsinjektion E INJ , Taktdurchgriff E CFT und Rauschen kT/C verhalten sich etwa umgekehrt proportional zur Lastkapazität, werden also klein mit großer Kapazität. Die Kapazität ist jedoch nur so groß zu wählen, dass die Bandbreite des Schalters deutlich oberhalb der Bandbreite des Signals liegt (Gl. (3.3), Gl. (3.4) und Gl. (3.5)). spannungsfreies Einschalten: Das Einschaltverhalten bei Stromeinspeisung verbessert sich, wenn vor dem Schließen eines Schalters beide Eingänge des Schalters ’a’ und ’b’ auf gleiches Potential gebracht werden (vgl. Seite 64). GAP von gm bei niedriger Versorgung: Bei niedriger Versorgungsspannung (etwa bei VDD<2 V TH ) gibt es eine Leitwertlücke beim CMOS-Schalter bei mittlerer Eingangsspannung. In diesem Fall müssen Schalter für niedrige Versorgungsspannung verwendet werden (z. B. [3-1] Abb. B.1 und Abb. B.4). 4 Störeinflüsse aus dem Digitalteil im Analogteil Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 4 Störeinflüsse aus dem Digitalteil im Analogteil Verwendung beim Entwurf in Kapitel 5 Wie bei allen Mixed-Signal-Schaltungen und bei den Digital Kontrollierten Analogen Schaltung werden auch bei den Sinusgeneratoren in Kapitel 5 die notwendigen und möglichen Vorkehrungen, um Störeinflüsse aus dem Digitalteil im Analogteil zu vermeiden, getroffen. Insbesondere der blockende Inverter aus Abb. 4.2 wird für alle Schnittstellen-Signale verwendet. Dezentrale Taktschalter werden verwendet, um den Energieverbrauch des Digitalteils zu senken und damit seine Störeinwirkung zu reduzieren. Ein Hauptproblem bei Digital Kontrollierten Analogen Schaltungen und im Allgemeinen bei Mixed-Signal-Schaltungen liegt in den Signalstörungen, die vom Digitalteil in den Analogteil einkoppeln. Insbesondere tragen die Full-Swing-Signale von CMOS-Logik beim Schalten mit ihren Stromspitzen beim Umladen der Lastkapazitäten und durch kurzzeitige Kurzschlussströme beim Schalten zu Störungen bei [4-1]. Wie man die Störeinflüsse beschreibt und sie vermeidet, ist in [4-1] bis [4-24] zu finden. Eine Zusammenfassung von [4-1] bis [4-24] ist in [3-1] Kap. E gegeben. Zwei Methoden zur Verhinderung von Störeinflüssen sollen dargestellt werden, die nicht in der obigen Literatur zu finden sind. Blockender Inverter In Abb. 4.1 ist das Schema dargestellt, wie Störungen auf den digitalen Versorgungsspannungen VDD und VSS direkt auf den analogen Schalter einwirken. Eine Störung in VDD wirkt sich direkt aus über den Digital-Inverter auf die Signalleitung im Analogteil. Insondere, wenn die Signalleitung auf High getrieben wird, ist der PMOS-Transistor im Digital-Inverter voll geöffnet. Würde der Digital-Inverter direkt an den analogen Schalter angeschlossen sein, so würde über den PMOS-Transistor und über den Schalter eine Störung in VDD kapazitiv auf das analoge Signal VA und V B eingekoppeln. Um dies zu verhindern, muss unbedingt ein blockender Inverter zwischen DigitalInverter und analogem Schalter gesetzt werden. Dieser blockende Inverter muss mit analoger Versorgungsspannung betrieben werden. Die Störungen von der digitalen Versorgungsspannung können nicht direkt auf den Analogteil einkoppeln. Blocking Inverter is blocking VDD. VA VDD data clk VDD VDDA VSS VSSA q d c Digital Inverter rn VB VSS nra Digital Supply Abb. 4.1: Analog Supply Ein Inverter mit analoger Versorgungsspannung blockt die digitale Versorgungsspannung VDD zum Analogteil ab. In Abb. 4.2 ist die simulierte Versorgungsspannungsunterdrückung (PSRR) der digitalen Versorgungsspannung im analogen Signal dargestellt. Für die Simulation wird als Schalter ein Transmission-Gate in 0.8 µm CMOS mit minimalem PMOSund minimalem NMOS-Transistor als Schalter verwendet. An Pin VA wird eine 73 74 4 Störeinflüsse aus dem Digitalteil im Analogteil Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen ideale Spannungsquelle angeschlossen, an Pin V B eine Lastkapazität, bestehend aus den Gates von fünf minimalen PMOS- und fünf minimalen NMOS-Transistoren. Zwei Parameter wurden verändert und miteinander kombiniert: 1. Schalter geschlossen/offen, 2. mit und ohne blockenden Inverter mit analoger Versorgungsspannung. Abb. 4.2: Simulation des Durchgriffs der digitalen Versorgungsspannung am analogen Signal bei 0.8 µm CMOS mit Minimal-Inverter und -Schalter Der schlimmste Fall des Versorgungsspannungsdurchgriffs ist der mit offenem Schalter ohne blockenden Inverter (Dig. Inverter: Off State). Hier beträgt der Durchgriff 0.5, also -6 dB konstant über den gesamten Frequenzbereich. Schließt der Schalter und kann dann die ideale Spannungsquelle die Lastkapazität treiben (Dig. Inverter: On State), so hat das PSRR Hochpassverhalten 1. Ordnung. Die Knickfrequenz wird bestimmt aus Einkoppelkapazität zu Leitwert des Schalters im EinZustand. Wird der geforderte blockende Inverter eingebaut und ist der Schalter offen (Ana. Inverter: Off State), so gibt es eine signifikante Verbesserung. Das PSRR reduziert sich auf -70 dB bei sehr hohen Frequenzen (10 GHz). Für kleine Frequenzen wird das PSRR noch kleiner. Bei geschlossenem Schalter (Ana. Inverter: On State) sinkt das PSRR hin zu kleiner werdenen Frequenzen mit 40 dB/dec. In CMOS-Logik kann durch Abschalten der Takte von Teilen (Modulen) des Digitalteils Energie gespart und das Noise durch den Digitalteil reduziert werden. In [47] werden prinzipiell Taktschalter erklärt, die dafür sorgen, dass Takte geschaltet werden k önnen, ohne Hazards beim Schalten zu erzeugen. Durch geschickte Ansteuerung dieser Schalter mittels Petri-Netze kann eine dezentrale Ansteuerung der Taktschalter realisiert werden. Es konnten damit in bei der Realisierung des Telemetrie-Meßchips 75% des Stromverbrauchs im Digitalteil eingespart werden [59][A-11]. Es gibt keine zentrale Steuereinheit für die Takte, sondern eine dezentrale Taktverwaltung. Ein Modul kann ein anderes Modul starten, indem es ihm den Takt anschaltet. Das andere Modul hält sich nun solange den Takt selbst eingeschaltet, bis alle Aufgaben erfüllt sind. Ebenso kann der Analogteil, wenn eine empfindliche Messung stattfindet, den Digitalteil stoppen. dezentrale Taktschalter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.1 Matching zur Kodierung einer Sinus-Funktion 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren In Kapitel 2 werden verschiedene Grundgrößen dargestellt, die geschaltet werden können. In Kapitel 3 und 4 werden Grundlagen zum Entwerfen von Schaltern und zum Entwerfen von digitalen Steuerwerken unter Berücksichtigung von Störeinflüssen gelegt. In diesem Kapitel wird die Implementierung zweier Digital Kontrollierter Analoger Schaltungen durchgeführt. Es werden zwei Schaltungen vorgestellt, die eine Sinus-Funktion erzeugen können. Einmal wird ein Sinus stückweise linear angenähert und einmal stufenweise. In Kapitel 6 werden Messergebnisse und die Unterschiede dieser beiden Schaltungen in Anforderung und Entwicklungsaufwand dargestellt. Die Sinus-Generatoren sind ein Submodul im Chip zur telemetrischen Messung der frequenzabhängigen Bioimpedanz transplantierter Nieren. Sie dienen zur Messsignalerzeugung. Diese Messsignale sollen eine ausreichend geringe Nichtlinearität oder geringe Total Harmonic Distortion (THD) besitzen und das bei sehr kleiner Versorgungsspannung bei kleinen Ausgangsströmen und bei einfachen Analogschaltungen: Die Sinus-Funktion wird bei der stückweise linearen Annäherung nur durch vier Transistoren kodiert, bei der stufenförmigen Annäherung nur durch sechzehn Transistoren. Das System zur Bioimpedanzmessung ist in [5-6][5-7][58] und der Chip ist in [5-9] publiziert. Spezifikation und Datenblatt zum Analogteil und Digitalteil des Chips sind in [5-10] bzw. [5-11] zu finden. Durch die Kombination analoger und digitaler Schaltungsteile sind vier verschiedene Abtastraten für die Sinus-Funktionen auswählbar. Die Abtastraten erweitern den Messfrequenzbereich. Die Möglichkeit zur Kodierung der Sinus-Funktion in den Weiten von Transistoren wird in Abschnitt 5.1 untersucht. Die theoretische Nichtlinearität (THD) der beiden Sinusgeneratoren wird in [3-1] Kapitel H.2 berechnet und in Abschnitt 5.2 werden die Ergebnisse dargestellt. Die Nichtlinearität wirkt sich auf die Ergebnisse der Impedanzmessung aus und ist daher von wichtiger Bedeutung. 5.1 Matching zur Kodierung einer Sinus-Funktion Nominell identische Bauelemente sind aufgrund von zufälligen oder systematischen Schwankungen während jedes Prozessschritts der Fabrikation in der physikalischen Realisation nicht identisch. D er A usdruck Matching (engl. Passen, Spielen oder Identisch) beschreibt das Verhältnis der Parameter gleicher Bauelemente auf einem Chip. Gutes Matching heißt, daß die Unterschiede der Verhältn is se d e r Pa r am et e r z w i s c h en m e h re r en g le ic he n B a ue l em en te n k l ei n s in d, Mismatching heißt die Unterschiede sind groß. Bei der Chip-Herstellung ist es schwierig, absolute Parameter genau zu realisieren, Verhältnisse von Parametern sind leichter genau zu realisieren. Insbesondere vollkommen gleichartige Bauelemente (Einheitselemente, Einheitstransistoren) haben gutes Matching. Verwendung beim Entwurf in Kapitel 5 Matching ohne Einheitstransistoren mit vielen Nachkommastellen wird zur Kodierung der Sinus-Funktion in der Weite der Ausgangstransistoren verwendet (Kap. 5.3.1). 75 76 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.1 Matching zur Kodierung einer Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 5.1.1 Matching - Allgemein Um gutes Matching zu erreichen, gibt es vielfältige Methoden. Das Matching kann sowohl durch den Schaltungsentwurf als auch durch das Layout verbessert werden. Mismatching erzeugt u. a. Verstärkungsfehler, Offsets in Operationsverstärkern, Stromspiegel-Fehler. Gray et al. [2-10] S. 231 ff. und S. 327 ff. beschäftigen sich mit dem Matching von Bipolartransistoren in Differenzstufen und Stromspiegeln. Razavi [2-12] S. 448 ff. und Baker et al. [2-11] S. 594 ff beschreiben das Matching von MOS-Transistoren in Differenzstufen, [2-11] S. 446 ff. das Matching von MOS-Transistoren in Stromspiegeln. Mismatching wird verursacht durch 1. zufällige lokale Abweichungen durch z. B. Unterätzungen oder Unterdiffusion, 2. Prozess-Gradienten über den Chip-Die, 3. systematische Effekte durch benachbarte Strukturen und 4. Effekte, verursacht durch die Ausrichtung der Bauelemente zu anderen Bauelementen oder zur DieKante. Die meisten dieser Effekte können durch geeignete Layout-Techniken klein gehalten werden ([2-10] S. 439 ff., [2-11] S. 447 ff. und S. 594 ff., [2-12] S. 525 ff.). In [3-1] Kapitel G wird die mathematis che Beschreibung von Matching kurz erklärt, wird eine Zusammenfassung von Maßnahmen für gutes Matching vorgestellt und beschrieben, wie mit Monte-Carlo-Simulationen Matching untersucht wird. 5.1.2 Matching mit vielen Nachkommastellen Die bisherigen Matching-Maßnahmen, insbesondere die Maßnahmen mit Einheits-Komponenten, d. h. vollkommen gleichen Elementen, ermöglicht es in erster Linie rationale Verhältnisse mit wenig Nachkommastellen zu realisieren. Wie sieht es aus, wenn man rationale Verhältnisse mit mehreren Nachkommastellen realisieren will, z. B. die ersten Nachkommastellen der Zahl π ? Eine neuartige Möglichkeit wird für Stromspiegel vorgestellt und untersucht. Für Kapazitätsverhältnisse mit vielen Nachkommastellen ist die Frage gelöst und in [2-13] S. 108 ff. dargestellt. Mit der dort vorgestellten Methode können Verhältnisse r von 1 bis 2 realisiert werden. Für das Matching von Kapazitäten ist darauf zu achten, dass das Verhältnis der Umfänge und Flächen zueinander konstant ist. Dies ist nötig, weil sich jede Kapazität aus einer Umfangskapazität und einer Flächenkapazität zusammensetzt. Das Verhältnis der Anzahl der Ecken der Flächenkapazität konstant zu halten ist leider nicht möglich. Rechtecke haben eben vier Ecken. Sind P 1 und P 2 die Umfänge, A1 und A2 die Flächen, x 1 und x 2 die Weiten in X-Richtung und y 1 und y 2 die Weite in y-Richtung der Kapazitäten C 1 bzw. C 2 und ist r das gewünschte Verhältnis von C 2 zu C 1 , so gelten folgende Zusammenhänge. Das Ziel sei A2 P C ------ = -----2- = -----2- = r A1 P1 C1 (5.1) Es sei die Kapazität C 1 quadratisch mit x 1 =y 1 . Mit A =x ·y und P=2x+2y ergibt sich durch Umformen und Lösen einer quadratischen Gleichung für y 2 2 y2 = x1 ( r + r – r ) (5.2) und für x 2 2 r x1 x 2 = --------y2 (5.3) Kapazitäten 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.1 Matching zur Kodierung einer Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Mit Gl. (5.2) und Gl. (5.3) lassen sich die benötigten Abmessungen der Kapazitäten ermitteln. Für eine 1 pF Kapazität in CMOS 0.8 µm bei verschiedenen Verhältniss en r lass en sich mittels Monte-Carlo-Simulation folgende Matching Daten ermitteln. Es wurden 500 Monte-Carlo-Simulationsdurchläufe durchgeführt. Tabelle 5.1: Matching Daten für 1 pF Kapazität in CMOS 0.8 µm Nennkapazität C2 in pF Verhältnis r y2 in µm relative Abweichung vom Nennwert in % 1.05 1.0 24 24 0,0 0.045 1.15 1.1 34.4 18.4 -0.098 0.044 1.26 1.2 40.6 17.0 -0.14 0.044 1.57 1.5 56.8 15.2 -0.074 0.039 2.09 2.0 81.9 14.06 0.24 0.032 x2 in µm Standardabweichung in % Die quadratische Einheits-Nennkapazität von 1.05 pF wird mit den Verhältnissen r von 1.1, 1.2, 1.5 und 2.0 in verschiedene Kapazitäten umgesetzt. Es wird deutlich, dass, je größer r wird, desto größer die Weite in X-Richtung x 2 und desto kleiner die Weite y 2 in Y-Richtung wird, d. h. die Kapazität weicht immer mehr vom Quadrat ab. Der gewünschte mittlere relative Nennwert lässt sich mit einer Genauigkeit von besser als 0.24 % einstellen. Die Standardabweichung der Kapazitätswerte liegt im Bereich von 0.04%, d. h. Kapazitäten matchen sehr genau. Die Standardabweichung nimmt wie erwartet mit größerer Kapazität ab. MOS-Transistoren und Stromspiegel Für MOS-Transistoren sehen die erreichbaren Werte für das Matching schlechter aus. Dies liegt u. a. daran, dass mehr physikalische Parameter Streuungen unterworfen sind. Es wird hier ein Schema angegeben und untersucht, wie man bei Stromspiegeln mit MOS-Transistoren Verhältnisse mit mehreren Nachkommastellen realisieren kann, wo eine Realisierung mit Einheitstransistoren sinnlos erscheint. Drei Möglichkeiten sollen dazu untersucht werden, die in Abb. 5.1 dargestellt sind. Es soll bestimmt werden, welche Möglichkeit die beste ist. a) two transistors IREF W TR b) unit transistors, minus IOUT IREF c) unit transistors, plus IOUT IREF IOUT W TO WU W UM < W U W UP > W U unit transistors Abb. 5.1: Drei Stromspiegel, um Spiegelverhältnisse mit mehreren Nachkommastellen zu realisieren: a) zwei Transistoren mit unterschiedlicher Weite, b) Einheitstransistoren mit einem zusätzlichen Transistor, der etwas kleiner ist als der Einheitstransistor (Minus), c) Einheitstransistoren mit einem Transistor, der größer ist als der Einheitstransistor (Plus). Die Anzahl der Einheitstransistoren im Referenzzweig ist hier N=3. Die erste Stromspiegel besteht aus zwei Transistoren (Zwei-Transistor-Stromspiegel): einem Transistor im Referenzzweig der Weite W TR und ein Transistor im 77 78 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.1 Matching zur Kodierung einer Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Ausgangszweig der Weite WTO. Durch unterschiedliche Weiten kann das gewünschte Stromspiegelverhältnis realisiert werden. Der zweite und der dritte Stromspiegel ähneln sich insofern, als dass der Refer e n z z w e i g a u s N E i n h e i t s t r a n s i s t o r e n b e st e h t . I m A u s g a n g s z w e i g w i r d d a s gewünschte Stromspiegelverhältnis durch Einheitstransistoren mit wenigen Nachkommastellen angenähert und schließlich die Restweite durch einen besonderen Nicht-Einheitstransistor genau getroffen. Beim zweiten Stromspiegel ist die Weite dieses besonderen Transistors W UM kleiner als die Einheitsweite W U (Stromspiegel mit Einheitstransistoren-Minus). Beim dritten Stromspiegel ist die Weite dies e s Tr a n s i s t o r s W U P g r ö ß e r a l s d i e E i n h e i t s w e i t e W U ( S t r o m s p i e g e l m i t Einheitstransistoren-Plus). Bei guten Designumgebungen für analoge Schaltungen wird unterschieden zwischen gezeichneten Weiten W layout und effektiven Weiten W eff . Durch Unterätzungen und Unterdiffusionen ∆W sub weichen W layout und Weff voneinander ab. W eff = W layout – ∆W sub gezeichnete und effektive Weite (5.4) Für die Länge L eines Transistors gilt das gleiche. Üblicherweise werden die gezeichneten Weiten W layout , bzw. L layout im Schaltplan angegeben, um den späteren Vergleich mit Layout und Schematic durchzuführen (LVS). Die gezeichneten Weiten werden im Spice-Modell des Transistors auf effektive Weiten umgerechnet. Die Unterdiffusionsweite ∆W sub ist prozessabhängig und schwankt mit den Modellen für schnelle, typische und langsame Transistoren. Sie schwankt nicht mit der Temperatur. Für die gewünschten Stromspiegelverhältnisse sind die effektiven Weiten entscheidend. Im Schaltplan werden die gezeichneten Weiten angegeben. Daher muss e ine U m rech nung u nter Ber ücksi chtig ung von ∆ W s u b erf olge n, um bei ei nem bestimmten Stromspiegelverhältnis r die gezeichneten Weiten W TR , W TO , W UM und W UP zu erhalten. Eine Einschränkung in der Wahl einer Weite ist durch das Raster der Weiten gegeben. Die Genauigkeit der Maskenschreiber legt die minimale Auflösung, das minimale Raster der Weiten fest. Dies kann zu Rundungsfehlern führen. Bei CMOS0.8 µm-Technologie beträgt die minimale Auflösung 0.1 µm. Rundungsfehler Das Matching der drei verschiedenen Stromspiegel in Abb. 5.1 soll anhand einer Fallstudie untersucht werden. Es soll daran die Frage geklärt werden, ob es besser ist, den einfachen „Zwei-Transistor-Stromspiegel“ oder die komplexeren „Stromspiegel mit Einheitstransistoren“ zu verwenden. Fallstudie Die Fallstudie findet für 0.8 µm CMOS statt. Die Längen L aller Stromspiegeltransistoren seien 5.0 µm. Die Weite W U des Einheitstransistors sei 4.0 µm. Die typische Unterdiffusionslänge beträgt ∆Wsub=0.87 µ m (im Modell für schnelle Tr an s is t o re n: ∆Wsub= 1 . 2 µ m , i m Mo d e ll fü r la n g sa m e Tra n si st o r e n : ∆W s ub =0.39 µm). Die Anzahl N der Einheitstransistoren im Referenzzweig der „Stromspiegel mit Einheitstransistoren“ wird von N=1 bis 11 variiert. Die Weite W TR des Transistors im Referenzzweig des „Zwei-Transistor-Stromspiegels“ wird mit N*W U eingestellt. Die Stromspiegelverstärkung r wird mit den Werten r=0.55, r=1.1, r=2.2, und r=4.4 variiert. Es werden jeweils 500 Monte-Carlo-Simulationen mit Matching- und Prozess-Modell (siehe [3-1] Abschnitt G.2) durchgeführt. Aufgenommen werden die Differenz zwischen Mittelwert und Sollwert des Ausgangsstromes (mean value offset) und die Standardabweichung σ ∆Iout/Iout (sigma) des Ausgangsstromes. Diese sind dargestellt über der Anzahl N der Transistoren 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.1 Matching zur Kodierung einer Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen im Referenzzweig der „Stromspiegel mit Einheitstransistoren“. Das Ergebnis ist in Abb. 5.2 (a-i) dargestellt. a) b) Mean Value Offset with r =0,55 0,5 Sigma with r =0,55 3 0,4 2,5 0,2 0,1 0,0 -0,1 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 sigma in % mean value offset in % 0,3 2 1,5 1 -0,2 0,5 -0,3 -0,4 0 1 -0,5 2 3 4 number of transistors c) 5 6 7 8 9 10 11 8 9 10 11 8 9 10 11 8 9 10 11 number of transistors d) Mean Value Offset with r =1,1 Sigma with r =1,1 3 0,5 0,4 0,3 0,2 0,1 0,0 -0,1 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 sigma in % mean value offset in % 2,5 2 1,5 1 -0,2 0,5 -0,3 -0,4 0 -0,5 1 2 3 4 number of transistors e) f) Mean Value Offset with r =2.2 6 7 Sigma with r =2,2 3 0,5 0,4 2,5 0,3 0,2 0,1 0,0 -0,1 1 3 5 7 9 11 sigma in % mean value offset in % 5 number of transistors 2 1,5 1 -0,2 0,5 -0,3 -0,4 0 -0,5 1 2 3 4 number of transistors g) 5 6 7 number of transistors h) Mean Value Offset with r =4,4 0,5 Sigma with r =4,4 3 2,5 0,3 0,5 0,2 0,1 0,0 -0,1 1 2 3 4 5 6 7 8 9 -0,5 10 11 sigma in % mean value offset in % 0,4 2 1,5 111 1 -0,2 0,5 -0,3 -0,4 0 1 -0,5 2 number of transistors two transitors Abb. 5.2: 3 4 5 6 7 number of transistors unit tr., minus unit tr., plus (a-h) Matching bei Stromspiegeln mit dem Spiegelverhältnis r mit vielen Nachkommastellen: Differenz zwischen Mittelwert und Sollwert und Standardabweichung σ ∆Iout/Iout des gespiegelten Stromes über der Anzahl der Transistoren N im Eingangszweig sind dargestellt für die Stromspiegel „Zwei-Transistor-Stromspiegel“, „Stromspiegel mit Einheitstransistoren-Minus“ und „Stromspiegel mit Einheitstransistoren-Plus“. Die Kreise zeigen Fälle an, in denen Stromspiegel ausschließlich mit Einheitstransistoren möglich sind, ohne modifizierte Einheitstransistoren (PLUS, MINUS) 79 80 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.1 Matching zur Kodierung einer Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen verwenden zu müssen. Es gilt dort W U =W UP =W UM . So wird z. B. in (c) bei N=10 das Stromspiegelverhältnis r=1.1=11/10 durch zehn Einheitstransistoren im Referenzzweig und genau 11 Einheitstransistoren im Ausgangszweig realisiert. Beim Stromspiegel mit Einheitstransistoren-Minus kommt es gelegentlich zu einer Unterbrechung des Graphen, d. h. ein solcher Stromspiegel mit diesem bestimmten N ist nicht realisierbar, weil die Weite W UM unter die minimal zulässige Weite in dieser Technologie rutscht. Die mittlere Abweichung vom Sollwert in (a), (c), (e) und (g) beträgt maximal etwa 0.4%. Dabei ist der Zwei-Transistor-Stromspiegel besser oder vergleichbar mit den Stromspiegeln mit Einheitstransistoren. Sind Stromspiegel ausschließlich mit Einheitstransistoren möglich (Kreise), so wird der Mittelwert sehr genau getroffen mit schlechtestens 0.04%. Die Differenz zwischen Mittelwert und Sollwert wird kleiner mit steigendem N. Die Standardabweichung σ ∆Iout/Iout des Ausgangsstromes in (b), (d), (f) und (h) fällt erheblich stärker ins Gewicht. Sie kann im schlechten Fall 2 % und mehr betragen. Bestenfalls beträgt sie 0.5% bei N=11. Dieser Wert begrenzt die maximal mögliche Genauigkeit des Stromspiegelverhältnisses r. Dabei bewirkt die Verwendung von ausschließlich Einheitstransistoren (Kreise) keine sprunghafte Verbesserung des Matchings. In erster Linie kann durch Vergrößerung der Transistoren bzw. Erhöhung der Anzahl N der Einheitstransistoren eine Verbesserung im Matching erzielt werden. Für das Stromspiegelverhältnisse r=1.1 (d) unterscheidet sich der Zwei-Transistor-Stromspiegel im Matching kaum vom den Einheits-Stromspiegeln. Sie sind also gleichwertig. Für die Stromspiegelverhältnisse mit r=2.2 (f) und r=4.4 (i) wird der Zwei-Transistor-Stromspiegel deutlich schlechter, insbesondere für kleine N. Dass das Matching in (b) bei r=0.55 für den „Stromspiegel mit EinheitstransitorenPlus“ zickzackförmig verläuft, liegt daran, dass bei diesem Verhältnis die Weite W UP des zusätzlichen Transistors einmal sehr dicht an der Einheitsweite W U liegt und damit ein kleines σ ∆Iout/Iout erzielt wird und dann bei N+1 deutlich über W U liegt und σ ∆Iout/Iout schlechter wird (um ca. 0.5%-1%). Sonstige Schwankungen und Knicke in den Verläufen lassen sich auf die Rasterung der Weiten und Simulationsschwankungen zurückführen. Folgendes läßt sich zusammenfassend sagen: • • • • • • Möglichst größe Transistoren bzw. große N verwenden. Für Stromspiegelverhältnisse r ≈1 sind „Zwei-Transistor-Stromspiegel“ und „Stromspiegel mit Einheitstransistoren“ etwa gleichwertig. Für Stromspiegelverhältnisse von r>2 sind die Stromspiegel mit Einheitstransistoren dem „Zwei-Transistor-Stromspiegel“ vorzuziehen. Für r<1 verschlechtern sich die Verhältnisse am Zwei-Transistor-Stromspiegel und am Stromspiegel mit Einheitstransistoren etwa gleichermaßen. Standardabweichung fällt stärker ins Gewicht als die Differenz zwischen Mittelwert und Sollwert. Um eine Standardabweichung bei r=1.1 von kleiner als 1% zu erreichen müssen mindestens 5 Transistoren im Eingangszweig verwendet werden, also eine Gesamtweite von 5x 4 µm. Ausschließliche Verwendung von Einheitstransistoren hat starken Einfluss auf die Differenz zwischen Mittelwert und Sollwert, verbessert aber erstaunlicherweise nicht entscheidend die Standardabweichung. Dies gilt natürlich nur, solange alle Transistoren in ähnlicher Umgebung gehalten werden. Gutes Matching wird erreicht, wenn ähnlich weite Transistoren verwendet werden, sei es beim „Zwei-Transistor-Stromspiegel“ oder bei den „Stromspie- Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.2 Nichtlinearität stückweise linearer und stufenförmiger Sinus-Funktionen geln mit Einheitstransistoren“. Bei der Auswahl zwischen Stromspiegel mit Einheitstransistoren-Plus und Stromspiegel mit Einheitstransistoren-Minus ist der Stromspiegel zu wählen, dessen zusätzlicher Transistor mit der Weite W UP bzw. W UM näher an der Einheitsweite W U liegt. Diese Maßnahmen und Überlegungen werden im Abschnitt 5.3.1 bei der Implementierung der Stromausgangsstufe zur Kodierung der Sinus-Funktion angewendet. 5.2 Nichtlinearität stückweise linearer und stufenförmiger Sinus-Funktionen In Abb. 5.3 ist die Sinus-Funktionen mit verschiedenen stückweise linearen Approximationen zu sehen. In Abb. 5.4 ist Sinus-Funktion mit verschiedenen stufenförmigen Approximationen zu sehen. Die Stufen-Funktionen sind zur SinusFunktion so verschoben, dass immer der Mittelpunkt einer Stufe von der SinusFunktion durchkreuzt wird. t/T t/T Abb. 5.3: (1-2) Stückweise lineare Approximation der Sinus-Funktion bei verschiedenen Abtastraten (Abtastglied 1. Ordnung): 2-fache bis 16fache Abtastrate: 2xOversamp ... 16xOversamp (1). Differenz zwischen Sinus-Funktion und ihrer Approximationen (2). 81 82 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.2 Nichtlinearität stückweise linearer und stufenförmiger Sinus-Funktionen Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen t/T t/T Abb. 5.4: (1-2) Stufenweise Approximation der Sinus-Funktion bei verschiedenen Abtastraten (Abtastglied 0. Ordnung): 2-fache bis 64-fache Abtastrate: 2xOSR ... 64xOSR (1). Differenz zwischen Sinus-Funktion und ihrer Approximationen (2). Für die beiden Sinus-Funktionen, stückweise linear und stufenweise, wird die Nichtlinearität (Total Harmonic Distortion, THD) bei verschiedenen Abtastraten berechnet. Dies ist in [3-1] Kapitel F ausgeführt. Die Berechnung dient zur Abschätzung der Qualität des Signals. Daraus wird festgelegt, welche Abtastraten angestrebt werden sollen. In der grafischen Darstellung der Koeffizienten der Oberwellen in Abb. 5.5 wird deutlich, dass bei einer N-fachen Überabtastung die ersten relevanten Koeffizienten N-1 und N+1 sind, welche als Doppelspitzen sichtbar werden. Man hat durch Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.2 Nichtlinearität stückweise linearer und stufenförmiger Sinus-Funktionen die Wahl einer bestimmten Überabtastung die Möglichkeit, unerwünschte Spektrallinien auszublenden. Abb. 5.5: THD linear und stufenweise Grafische Darstellung der Koeffizienten für verschiedene Abtastraten und Abtast-Modi (nullter Ordnung - stepwise, erster Ordnung piecewise linear). Durch die Wahl der Abtastrate können bestimmte Oberwellen ausgeblendet werden. Mit Hilfe der Definition der THD ([3-1] Gl.(F.6)), der Gleichungen für die Koeffizienten a n für linearen und stufenweise Annäherung ([3-1] Gl.(F.11) bzw. Gl.(F.16)), der Nebenbedingung, dass die Koeffizienten b n =0 sind, kann man die Nichtlinearität berechnen. Die Ergebnisse sind in Tab. 5.2 dargestellt. Tabelle 5.2: THD bei verschiedenen Abtastraten Anzahl der Abtaststellen der Sinus-Funktion pro Periode THD stufenweise (Halteglied nullter Ordnung) THD stückweise linear (Halteglied erster Ordnung) 2 48.3% 12.1% 4 48.3% 12.1% 8 22.9% 2.4% 16 11.3% 0.59% 32 5.6% 0.14% 64 2.7% 0.04% Man kann deutlich erkennen, dass die THD bei Abtastgliedern erster Ordnung mit Anzahl der Stützstellen schneller abnimmt, als die THD bei Abtastgliedern nullter Ordnung. Für die Schaltungsrealisierung wurden 16 Abtaststellen bei stückweise 83 84 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen linearer Approximation und 64 Abtaststellen bei stufenweiser Approximation zum Vergleich gewählt. Diese Linearitäten sind ausreichend für die Bioimpedanzmessung. 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Da nun die Anzahl der Abtaststellen für eine Abtast erster Ordnung auf 16 festgelegt ist, soll in dem folgenden Abschnitten gezeigt werden, wie man bei diesen Anforderung eine Schaltung entwickeln kann. Dabei stehen stromsparende und Niedrigspannungskonzepte im Vordergrund. Die entwickelte Schaltung (Abb. 5.6) wird von der Stromausgangsstufe her gesehen erklärt. Diese Vorgehensweise lässt Funktion und Motivation leichter erklären. Die Stromausgangstufe (Current Output Stage), die den Sinus mit nur vier Ausgangstransistoren kodiert, wird von einem digitalen Steuerwerk (Digital Control) kontrolliert. Ein niedrigstrom Spannungsstromwandler (Transconductance Amplifier), ein Dreiecksgenerator (Triangle Generator) und ein digital kontrollierter Stromspiegel (Digital Controlled Current Mirror) erzeugen die analogen Stimulisignale für die Stromausgangsstufe. Ein Elektrodenmultiplexer (Electrode Multiplexer) wählt aus, welche von vier Messelektroden (E0, E1, E2, E3) der Vier-SpitzenMess-Methode Stromausgang oder Stromeingang sind. Ebenso sorgt der Multiplexer für die Polung des Stromes in den verschiedenen Sinushalbwellen und liefert die differentiellen Abfallspannungen am Meßwiderstand (Niere) V inp und V inn zur Auswertung des komplexen Widerstandes. Current Output Stage V 3/4 Digital Controlled Current Mirror Icharge Idischarge Triangle Generator V V 3/4 V 1/4 V 1/4 Vmaster VDD Voff Transconductance Amplifier gm Von Vrising T1 I Vslave 6µA T3 T2 Transmissiongate Multiplexer Vfalling T0 8 Iout 4x4 clk Digital Control Control Electrode Multiplexer Vinn Vinp VSS Pads E0 E1 E2 E3 Abb. 5.6: Blockschaltbild des Generators für die stückweise lineare Sinus-Funktion: In vier verschiedengroßen Transistoren T 0 bis T 3 ist die Sinus-Funktion kodiert. In den folgenden Abschnitten wird die Funktionsweise der einzelnen Module geklärt. 5.3.1 Stromausgangsstufe Die Position der Stromausgangsstufe (Current Output Stage) im Signalweg ist in Abb. 5.6 dargestellt. 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Wird eine Sinus-Funktion sechzehnfach (äquidistant bei α=0 beginnend) abgetastet, so ergeben sich nur vier verschiedene Abtastwerte, wenn man vom Vorzeichen absieht. Dies legt die Idee nahe, dass man diese vier Abtastwerte durch vier verschieden große Ausgangstransistoren realisiert, d. h. der Verlauf der SinusFunktion wird in nur vier MOS-Transistoren kodiert. In Abb. 5.7 ist das Blockschaltbild dieser Schaltung dargestellt. VDD off T2 on rising Multiplexer T3 T1 falling T 0 4x4 clk Abb. 5.7: Digital Control Iout Stromausgangsstufe: vier über Multiplexer angesteuerte Transistoren T 0 , T 1 , T 2 und T 3 erzeugen den Sinus. Die vier Transistoren T 0 bis T 3 stellen am Ausgang unterschiedlich gewichtete Ströme zu Verfügung. An die Transistoren können vier verschiedene Spannungswerte angelegt werden: On: Der Transistor hält seinen Ausgangsstrom konstant; Off: der Transistor lässt keinen Strom durch; Rising: der Ausgangstrom steigt linear mit der Zeit; Falling: der Ausgangsstrom sinkt linear mit der Zeit. Über eine digitale Steuerlogik werden die notwendigen Spannungen ausgewählt und an die Ausgangstransistoren gelegt. Nacheinander schalten sich in der ersten Viertelwelle des Sinus alle Transistoren T 0 bis T 3 ein. In der zweiten Viertelwelle schalten sich die Transistoren T 3 bis T 0 wieder nacheinander aus. Das bedeutet, dass die Summe der Weiten aller Transistoren W T mit den Amplitudenspitzenwert korrespondiert. In Tab. 5.3 sind die notwendigen Weiten-Verhältnisse W N /W T der Transistoren T n (T 0 , T 1 , T 2 , T 3 ) bezogen auf die totale Weite W T =W 0 +W 1 +W 2 +W 3 dargestellt. Um den negativen Strom der dritten und vierten Halbwelle (180°<α<360°) zu erzeugen, wird das externe Messobjekt (Niere) über zwei Elektroden-Umschalter umgepolt. Tabelle 5.3: Sinus-Funktion und Transistorweiten Zähler N Winkel αN in Grad WN/WT Verhältnis WT=(W0+W1+W2 +W3) Zuwachs sin(αN)-sin(αN-1) Sinus sin(αN) -1 0.0° 0.0 0 - 0 22.5° 0.3827 0.3827 W0/WT=0.3827 1 45.0° 0.7071 0.3244 W1/WT=0.3244 2 67.5° 0.9239 0.2168 W2/WT=0.2168 3 90.0° 1.0 0.0761 W3/WT=0.0761 85 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Dieses Prinzip hat drei Vorteile: Drei Vorteile 1. Die Stromeffizienz dieser Schaltung ist sehr hoch. Der am Ausgang erzeugte Strom wird vollständig für die Erzeugung des Sinus benutzt. 2. In nur vier Transistoren ist der Verlauf des Sinus kodiert. 3. Der Stromquellenausgang benötigt keine Rückkopplung im Gegensatz zu einem Operationsverstärker am Ausgang und hat daher eine hohe Bandbreite bei gleichem Stromverbrauch. Die Frage ist nun: Wie erfolgt die Ansteuerung der Ausgangstransistoren, dass sich vier Fälle pro Transistor möglich sind, a) konstante Ströme, b) linear ansteigende Ströme, c) linear abfallende Ströme und d) keine Ströme ergeben. Dazu sind erstens Schalter und eine digitale Ansteuerung dieser Schalter notwendig, und zweitens entsprechend interne ansteigende, abfallende oder konstante Referenzsignale. Realisiert man diese Referenzsignale mit Strömen, so besteht die Ausgangstufe aus einfachen Stromspiegeln mit Schaltern. In Abb. 5.8 ist das Prinzipbild der geschalteten Ausgangsstromspiegel zu sehen. VDD swoff swi T swi VSS T ref T swi VSS VSS Von T ref T ref IC Always On Current Rising Current T Mirror n Section swfall Vfall IR swon swrise Vrise IF Switch Off swin Section IO U T Output Current nthTransisor T nth Switching Section T Falling Current 86 IC 0 T/4 t Falling Current I F Rising Current I R Alway On Current I C Abb. 5.8: Prinzipschaltbild der geschalteten Ausgangstromspiegel. Der N-te Ausgangstransistor kann über Schalter mit drei verschiedenen Spannungen V fall , Vrise und Von verbunden werden. Ausgeschaltet wird der Strom über den Schaltransistor Tswin . Im unteren Teil der Abbildung sind die Stromverläufe der Referenzströme zu sehen. Es gibt einen ansteigenden Strom I R (Rising Current), einen abfallenden 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Strom I F (Falling Current) und einen konstant angeschalteten Strom I C (Always On Current). Die Ströme I F und I R weisen einen Dreiecksverlauf auf. Die Namen „Steigend“ und „Fallend“ beziehen sich auf die erste Rampe nach dem Zeitpunkt t=0, wo der Sinus beginnt. Die maximale Amplitude des Dreiecksverlauf entspricht dem Strom I C . Der Stromspiegel selbst besteht aus jeweils zwei in Serie geschalteten Transistoren. Der untere Transistor T ref ist der eigentliche Stromspiegeltransistor mit einer großen Länge (Mirror Section), um die Stromspiegeleigenschaften zu erfüllen. Der obere Transistor Tswi ist der Ein- und Ausschalter-Transistor mit einer kurzen Länge (Switch Off Section), um den Einschaltwiderstand klein zu halten. Source Schalter Bei den Ein- und Ausschalter-Transistoren Tswi handelt es sich um den SourceStromschalters aus Abschnitt 2.1. Man schaltet nicht die Bias-Spannung des Stromquellentransistors aus, weil dies starke Signalstörungen ergibt, sondern man schaltet den Strompfad im Source-Anschluss ab. Dadurch bleibt die Bias-Spannung immer auf einem konstanten Wert. Das digitale Steuerwerk aus Abb. 5.7 hat die Aufgabe, die richtige Referenzseite de r S tr omsp ieg el a uf d ie A usga ngs seit e de r S tr oms pie gel zu scha lte n. D ie s geschieht über die Schalter ’swon’, ’swoff’, ’swrise’, ’swfall’. Entworfen wurde das digitale Steuerwerk nach den Prinzipien für den Entwurf digitaler Schaltungen zur Kontrolle analoger Schaltungen ([3-1] Kap.A). Steuerung der Stromamplituden Die Amplitude des Ausgangsstroms muss eingestellt werden können. Die europäischen Normen [5-13] legen Obergrenzen für in den menschlichen Körper einprägbaren Ströme implantierter Geräte fest. Tab. 5.4 gibt eine Übersicht über die Obergrenzen. Größere Ströme, vor allem Gleichströme, führen zur Elektrolyse mit freiwerdenen Radikalen und damit zu toxischen Reaktionen im Gewebe. Tabelle 5.4: Maximale Ströme der Einprägung in das menschliche Gewebe Frequenz f in Hz maximaler Strom in µA 0 <0.1 20 50 1 000 50 400 000 20 000 5 000 000 20 000 In diesem Design wurde die Obergrenze auf 25 µA festgelegt, um Verletzungen des Gewebes zu verhindern und den Stromverbrauch klein zu halten. Es können verschiedene Amplituden eingestellt werden. Dies erfolgt durch Parallelschaltung von Transistoren in den Ausgangsstromquellen. Es können folgende Amplituden 87 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen ausgewählt werden: 25 µA, 12.5 µA, 6.25 µA und 3.125 µA. In Abb. 5.9 ist die Prinzipschaltung der parallelschaltbaren Ausgangstransistoren zu sehen. VDD sw8 swoff T swin /8 swrise sw4 T swin /8 sw8 swon T n /8 sw2 T swin /4 sw4 T n /8 T swin /2 Off Section T n /2 Mirror Section sw2 T n /4 swfall Abb. 5.9: Half Transistor Quater Transistor 8th Transistor 8th Transistor Output Current n th Transistor nth Switching Section 88 Ausgangstransistor T n ist aus vier parallelen Stromzweigen mit unterschiedlicher Wichtung (1/8, 1/8, 1/4, 1/2) zur Einstellung der Stromamplituden aufgebaut. Über die Schalter sw8 bis sw2 können die Transistoren T n /8 bis T n /2, bzw Tswin /8 bis Tswin /2 auf Gate-Potential eingeschaltet oder auf VDD ausgeschaltet werden. Dies erhöht den Ausgangsstrom jeweils um den Faktor 2. Deutlich zu erkennen ist hier, dass die Schalter in der Gate-Leitung liegen. Da es sich hier um statische Schalter (Abschnitt 3.4.1) handelt, ist dieses Schalterprinzip zulässig. Eine Schwierigkeit besteht darin, wie man die numerisch reelle Sinuswerte in numerisch rationale matchende Layoutelemente, also die Dimensionierung von Transistoren, umsetzt. Der Begriff „reelle Zahlen“ bedeutet in diesem Zusammenhang mathematisch reell, d. h. Zahlen die nicht als Brüche (Verhältnisse), also rationale Zahlen darstellbar sind. Ein technologisch gut kontrolliertes Layout lässt sich aber nur auf der Basis von rationalen Zahlen mit wenigen Nachkommastellen realisieren. Für mehrere Nachkommastellen ist in Abschnitt 5.1 eine prinzipielle Vorgehensweise gezeigt, die hier angewendet werden soll. Matching und Sinus Das Hauptproblem besteht in der Suche nach dem Einheitselement, dem Einheitstransistor, aus dem sich alle Layoutelemente zusammensetzen. Nur die Exis t e n z e in e s s o lc h e n E l e m e n t e s e r l a ub t e s, g u t m a t c h en d e C h i p - L a y ou t s z u erzeugen. Einheitselement Dieses Einheitselement muss zum einen die Sinus-Funktion mit minimalem Fehler beschreiben können, zum anderen die verschiedenen Verstärkungsfaktoren realisieren können. Bei der stückweise linearen Sinusausgangsstufe werden der Stromspiegeltransistor Tn aus dem Einheitstransistor TU mit dem Weiten- zu Längenverhältnis W U / L U = 4 µm / 5 µm und der Stromschaltertransistor Tswin aus dem Einheitstransistor T Uswi W U / L Uswi = 4 µm / 0.8 µm Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion zusammengesetzt. Die Länge L U =5 µm gewährleistet ausreichende Stromspiegeleigenschaften. Die Länge L Uswi =0.8 µm steht für einen niederohmigen Schalter. Der Anteil der Sinus-Funktion, der nicht mehr in das Raster der Einheitstransistoren passt, wird durch einen zusätzlichen Nicht-Einheitstransistor mit positiv modifizierter Wei te W U P oder ne gativ modifizie rte r Wei te W U M rea lisiert ( vgl. Abb . 5 .1 Seite 77). Die kleinste zu realisierende Einheit in der Ausgangstufe ist im Transistor T 3 (Abb. 5.7) zu finden. Dieser Transistor T 3 und ebenso T 0 . T 1 und T 2 setzen sich aus den vier Stromzweigen W N /8, W N /8, W N /4 und W N /2 in Abb. 5.9 für die Kontrolle der Ausgangsamplitude zusammen. Im Strompfad 1/8 für den Transistor T 3 befindet sich der kleinste verwendete Transistor, und dieser wird als Einheitstransistor T U definiert. Es ergibt sich Tab. 5.5 für die Dimensionierung der restlichen Ausgangstransistoren. Tabelle 5.5: Dimensionierung der effektiven Weiten der Ausgangstransistoren für die stückweise lineare Sinus-Funktion Weite WN/8 in µm Weite WN/8 in µm Weite WN/4 in µm Weite WN/2 in µm k ·W U +W UP/M k ·W U +W UP/M k ·W U +W UP/M k ·W U +W UP/M W0 / WT = 0.3827 4 · 4.0 + 4.1 =20.1 4 · 4.0 + 4.1 =20.1 9 · 4.0 + 4.2 =40.2 19 · 4.0 +4.4 =80.4 160.8 W1 / WT = 0.3244 3 · 4.0 + 5.0 =17.0 3 · 4.0 + 5.0 =17.0 7 · 4.0 + 6.1 =34.1 16 · 4.0 +4.2 =68.2 136.3 W2 / WT = 0.2168 2 · 4.0 + 3.4 = 11.4 2 · 4.0 + 3.4 =11.4 4 · 4.0 + 6.8 =22.8 10 · 4.0 +5.6 =45.6 91.2 W3 / WT = 0.0761204 1 · 4.0 + 0.0 =4.0 =: WU 1·4.0+0.0 =4.0 =: WU 2 · 4 + 0.0 =8.0 4 · 4.0 +0.0= 16.0 32.0 WN/WT Verhältnis aus Tab. 5.3 (W0+W1+ W2 +W3) /WT = 1.0 Weite WN in µm realisiertes WN/WT Verhältnis 0.3826 0.3250 0.2169 0.0714 WT = 420.3 1.0 Die Weiten sind angegeben als ganzzahliges Vielfaches k der Einheitsweite W U und einer Restweite W UP oder W UM . W UP wird benutzt, wenn die Restweite W UP größer (plus) als die Einheitsweite W U ist. W UM wird benutzt, wenn die Restweite W UM kleiner (minus) als W U ist. Die Erstellung der Tabelle geht wie folgt vor sich. Das Verhältnis W N /W T ergibt sich aus Tabelle Tab. 5.3. Die fettgedruckten Weiten bei Transistor T 3 mit W 3 /8 stellen die Festlegung auf den Einheitstransistor T U oder dessen Weite W U dar, d. h. ein Achtel des Transistors T 3 entspricht per definitionem dem Einheitstransistor T U . Aus W 3 /W T =0.07612 und W 3 /8=:W U =4.0 µm ergibt sich die Gesamtweite aller Ausgangstransistoren W T =420.3 µm. Über Proportionalitätsbeziehung ergeben sich die Gesamtweiten der Transistoren T 2 , T 1 und T 0 , die dann durch den Term k ·W U +W UP oder k ·W U +W UP als Summe von k Einheitsweiten W U und einer Restweite W UP bzw. W UM dargestellt werden. Man kann feststellen, dass durch die Festlegung auf ein technologiebedingtes Raster der Weite von 0.1 µm das realisierte Verhältnis W N /W T leicht von dem geforderten Verhältnis aus Tab. 5.3 abweicht. In Abb. 5.10 ist das Layout des Einheitselementes zu sehen. Das Einheitselement besteht aus zwei Einheitstransistoren T U und T Uswi . Sowohl der Schalttransistor T Uswi als auch der Spiegeltransistor T U sind in einem kompakten Layout zusammengefaßt. Dieses Einheitselement verhält sich wie eine Standard-Zelle, die geeig- 89 90 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen net ist, mehrmals nebeneinander platziert zu werden. Es gibt eine gemeinsame Versorgungsspannungsleitung (Power Line) und eine gemeinsame Stromausgangsleitung (Output Metal Line). Jedes Einheitselement hat seinen eigenen Wannenkontakt (Well Contact). TUswi TU Abb. 5.10: Einheitselement der Stromausgangsstufe mit Spiegeltransistor T U und Schaltereinheitstransistor T Uswi (PMOS) In Abb. 5.11 ist ein Ausschnitt des Layout der Transistor-Ausgangsmatrix zu sehen. Für dieses Layout wurden die Matching-Regeln aus Kapitel 5.1 und [3-1] Kapitel G verwendet. Man erkennt, wie die Einheitselemente aus T U und T Uswi in Form von Standardzellen in einer Matrix platziert sind. Diese Struktur erlaubt, neben den Einheitstransistoren T U die notwendigen Transistoren für die Restweite T UP und T UPswi bzw. T UM und T UMswi zu plazieren. Es gibt Dummy-Elemente (-Transistoren), die am Rand sitzen. Sie sind nötig für gutes Matching, d. h. sie stellen sicher, dass alle Nutz-Elemente (-Transistoren) das gleiche Umfeld haben, auf jeder Seite jeweils einen Transistor als Nachbarn. Außerdem müssen, wie aus Tab. 5.5 mit der Dimensionierung der Transistoren hervorgeht, noch Restweiten realis i e r t w e r d e n . I n d e r A b b i l d u n g 5 . 11 s i n d d i e d r e i R e s t w e i t e n W U P = 4 . 2 µ m , W UP =6.1 µm und W UP =4.1 µm der Transistoren, T 0 /4, T 1 /4 bzw. T 0 /8 zu sehen. Aufgrund der größerem Weite von W UP sind die Nachbartransistoren (dummy) zwangsläufig etwas kleiner, und sie werden daher nur als Dummy-Transistoren benutzt, um die gleiche Umgebung sicherzustellen. Z w is c h e n z w e i Tr a n si st o r -R ei he n ve r l au f en d ie Ve rd r a ht u ng s s c hi en e n a u f Metall1. Es gibt verschiedene Schienen und Strukturen: 1. Versorgungsspannungsschiene VDD mit N-Wannen-Anschlüssen (N-Well Contacts). 2. Ausgangsstrom ’Iout’, an der alle Draingebiete der Transistoren angeschlossen sind. 3. Kontrollsignal zum Ausschalten der Transistoren, z. B. ’swoff T0’. Dieses geht an die Abschalttransistoren. Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion 4. BIAS-Spannungen, z. B. ’Vbias T0’ um den Strom einzustellen. 5. Guard-Ring, der vor Störungen aus dem Substrat schützen soll. 6. N-Wanne (N-Well) in der die PMOS-Transistoren gut geschützt eingebettet liegen. VDD guard ring sw dummy VDD + contacts TUP sw sw VDD + contacts TUP TUP sw sw VDD Abb. 5.11: Ausschnitt aus PMOS-Transistor-Matrix der Ausgangstufe. Zu sehen sind drei verschiedene Transistoren: Einheitstransistoren (W=4 µm), „Restweiten-Transistoren“ (W<>4 µm), die etwas größer sind als die Einheitstransistoren (T UP ), und Dummy-Transistoren am Rand und in der Mitte ohne Drain-Contact an der Schiene I out . LVS Problem Eine besondere Schwierigkeit bei diesem Layout besteht in der Verifikation mit Hilfe des Vergleichs von Layout und Schematic, dem sogenannten LVS (Layout versus Schematic). Es wird für den LVS das Programmpaket DIVA LVS von der Firma Cadence verwendet. Der DIVA-LVS untersucht die Netzlisten von Layout und Schematic auf identische Subnetzlisten. Manchmal, so wie in diesem Layout gibt es Subnetzlisten, die in ihrer logischen Struktur und Beschaltung identisch sind, jedoch nicht identisch bei den Parametern der Bauelemente (z. B. Weite von Transistoren). Der DIVA LVS und andere LVS-Programme sind nicht in der Lage, aufgrund der Parameter der Bauelemente nun diese identischen Subnetzlisten in Layout und Schematic auseinander zu halten oder einander zuzuordnen. Diese Programme lösen dies durch zufällige Zuordnung der Subnetze, weshalb der LVS 91 92 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen (meist) zu dem Ergebnis kommt, dass die Netzlisten zwar logisch miteinander übereinstimmen aber die Parameter der Bauelemente voneinander abweichen. In Abb. 5.11 sind alle Dummy-Transistoren (-Schalter) solche identischen SubNetzwerke mit unterschiedlichen Parametern, d. h. Weiten. Die zur Unterscheidung der Subnetzlisten kritischen Knoten für den LVS sind in der Abb. 5.11 mit Kreisen markiert. Die richtige Zuordnung wird durch Platzierung zusätzlicher Pins auf diese Knoten im Layout und Schematic erzwungen. 5.3.2 Spannungsstromwandler Die Position des Spannungstromwandlers (Transconductance Amplifier gm) im Signalweg ist in Abb. 5.6 auf Seite 84 dargestellt. In Kapitel 5.3.1 wurden drei verschiedene Ströme für die Erzeugung einer Sinusfunktion vorausgesetzt: ein linear ansteigender, ein linear abfallender Strom und eine konstanter Maximalstrom. Linear ansteigende und abfallende Ströme lassen sich nicht so leicht erzeugen. Dagegen ist es viel leichter, über einen konstanten Strom, der eine Kapazität umlädt, eine lineare abfallende oder ansteigende Spannung zu erzeugen. Setzen wir die Existenz einer solchen Spannung voraus, dann benötigt man einen Spannungsstromwandler, einen Transconductance-Verstärker, der diese Spannung direkt in einen Strom umsetzt. Eine Vielzahl solcher Transconductance-Verstärker wurde veröffentlicht, insbesondere für die Realisierung von gmC-Filtern [5-14][5-15][5-16][5-17]. Ziel der Schaltungen dieser Veröffentlichungen ist es, den linearen Aussteuerbereich zu maximieren. Leider liefern dort die Schaltungen selbst keine Information, wie groß bei einer gewissen momentane Aussteuerung die resultierende Nichtlinearität ist. Die maximale Aussteuerbarkeit schwankt mit den Prozess-Parametern. In diesem Kapitel wird eine Schaltung vorgestellt, die zwei Grenzspannungen liefert, bis zu denen ein Transconductance-Verstärker prozessunabhängig bei gleicher Nichtlinearität ausgesteuert werden kann. D. h., bleibt man mit der Aussteuerung innerhalb der Grenzspannungen, so übersteigt die Nichtlinearität nie einen maximalen Wert, gleichgültig bei welchem Prozessausfall. Die Grenzspannungen stellen sich entsprechend dem Prozessausfall so ein, dass bei ihnen immer die gleiche Nichtlinearität herrscht. Konstante Nichtlinearität - prozessunabhängig Des weiteren wird eine sehr einfache Gleichtaktregelung für differentielle Transconductance-Verstärker vorgestellt, die auf der Messung der Source-Spannung V SRC der Eingangsstufe des folgenden Transconductance-Verstärkers beruht. Die Source-Spannung V SRC einer Differenzeingangsstufe korrespondiert im linearen Bereich des Transconductance-Verstärkers mit der Gleichtaktspannung der Eingangssignale dieser Differenzstufe. Die Spannung V SRC kann dann in der Ausgangsstufe des vorherigen Transconductance-Verstärkers zur Gleichtaktregelung benutzt werden. Dieses Prinzip kann die Gleichtakt-Regelungen der gmC-Filter aus [5-14][5-15][5-16][5-17] deutlich vereinfachen. Gleichtaktregelung durch Messen der SourceSpannung. Da es sich bei dieser Schaltung um eine Low-Power-Anwendung handelt, muss das gm des Transconductance-Verstärkers sehr klein sein. sehr kleines gm Folgende Merkmale soll die Gesamtschaltung des Spannungsstromreglers aufweisen: 1. Voll differentielles Design, um bei Low-Power Anwendungen die Störungen vom Digitalteil ausgehend zu minimieren. 2. Ausgangströme steigen von null auf einen maximalen Wert um einige µA und wieder zurück. Dies erfordert einen Strom-Levelshifter am Ausgang. 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 3. Gleichtakt-Regelung soll zeitkontinuierlich stattfinden und keinen zusätzlichen Strom benötigen. Dies findet über eine Gleichtakt-Source-Regelung statt. Ein Mittelwertbildung über Widerstände scheidet wegen des zu großen Stromverbrauchs oder andernfalls der zu großen Widerstände aus. 4. Eine sehr niedrige Transimpedanz gm von wenigen µA/V muss realisiert werden, weil mit einer großen Eingangsspannung nur wenige µA umgeschaltet werden dürfen. Große Spannungen sollen den Einfluss von Rauschen und Offset-Fehlern klein halten. Spannungsstromwandler mit Widerständen scheiden aus, weil deren realisierbare Transconductance gm viel zu groß ist. 5. Die 1/4-3/4-Grenzspannungen (linearer Bereich) sollen festgelegt werden, d. h. die Schaltung soll eine obere und untere Spannung liefern, in der eine ausreichende Linearität gewährleistet ist. gm-Stufe In Abb. 5.12 ist die Schaltung der gm-Stufe des Spannungsstromwandlers dargestellt. VDD II Current Bias Section T I W/L=50/8 V BIASI VSRC VN VOUTP T V N W/L=5/60 T VP IP T Mp W/L=7.5/5 IN T Mn Diffential Input VP VOUTN Active Load Transistors with Mirror Function VSS Abb. 5.12: gm-Stufe des Transconductance-Verstärkers: einfache PMOS-Differenzeingangsstufe mit aktiver Last mit Stromspiegelfunktion. Hier wird die eigentliche Wandlung der Spannung in Strom vorgenommen. Verschiedene Aspekte sind in dieser Schaltung berücksichtigt. Sie ist voll differen tiell. Der Bias-Transistor T I soll einen Strom als Konstant-Strom-Quelle I I = 2 µA fließen lassen. Er darf relativ weit (W=50 µ m) sein, da dessen dann gro ße parasitäre Drain-Kapazitäte die Geschwindigkeit der Schaltung nicht verschlechtert. Die große Weite erlaubt eine kleine Overdrive-Spannung, d. h. der Transistor benötigt nur eine kleine Arbeitsspannung, um im linearen Sättigungsbereich zu bleiben. Die relativ große Länge (L=8 µm) erlaubt einen hohen Ausgangswiderstand r i = 40 MΩ (bei einer Längen-Modulation-Spannung 1/λ = -90 V). Die PMOS-Differenzeingangsstufe hat die Eingangsignale V N und V P. Die von diesen Signale angesteuert e n Tr a n s i s t o r en T V N un d T V P m i t d em W / L - Ve r h äl t n i s 5 µ m / 6 0 µ m l ö se n d a s 93 94 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Problem, ein sehr kleines gm zu realisieren. Mit einer großen Eingangsspannung von etwa 500 mV soll der kleine Arbeitsstrom I I von einen Differenzzweig in den anderen umgelenkt werden. Deshalb ist die große Länge nötig. Die PMOS-Transistoren liegen in einer eigenen Wanne mit Anschluss am gemeinsamen Source, um sie vor Störungen aus dem Substrat zu schützen und um die notwendige GateSource-Spannung kleiner zu halten, da der Substrat-Effekt vermieden wird, wenn die Source-Spannung gleich der Substrat-Spannung ist. Die Source-Spannung V SRC wird abgegriffen und für die Regelung des Gleichtakta ntei ls ve rw ende t. D ie Ver we ndung d er So urce -S pannu ng zur R egelu ng des Gleichtaktanteils ist zulässig, da die Source-Spannung in erster Linie nur von dem Gleichtaktanteil V CM =(V P +V N )/2 abhängt und relativ unabhängig von der Eingangsspannungsdifferenz V P -V N ist. Wie man in Abb. 5.14 sieht, ist dies der Fall innerhalb des linearen Bereichs und innerhalb noch zu bestimmender Grenzen. Die Stromspiegeltransistoren T Mp und T Mn weisen mit ihrem W/L-Verhältnis von 7.5µm/5µm das Optimum für Ausgangssteilheit und Geschwindigkeit auf. Jeder Transistor ist aus drei Einheitstransistoren mit W/L=2.5µm/5µm zusammengesetzt. Diese Stufe hat eine typische Bandbreite von f 3dB = 19 MHz. In Abb. 5.13 ist die Bandbreiten-Simulation dargestellt. Der Arbeitstrom beträgt nur 2 uA. Abb. 5.13: Frequenzgang der gm-Stufe mit einer Bandbreite von 19 MHz. Die ausgangsseitig zusätzlich notwendigen Stromspiegeltransistoren sind ebenfalls mitsimuliert worden. Die gm-Stufe wird mehrmals für den Aufbau des gesamten Spannungsstromwandlers verwendet. In Abb. 5.14 ist die simulierte DC-Ausgangskennlinie der gmStufe zu sehen. In (1) sind die Spannungsverläufe der Spannung V SRC , V SRC_ref , V BIASI , V N und V P über der Differenz der Eingangsspannung V P -V N dargestellt. Die Spannung V src stellt die gemeinsame Source-Spannung der Differenzeingangstransistoren der gm-Stufe dar. Sie verläuft wie eine nach unten geöffnete Parabel. Ist die Aussteuerung der Differenzstufe V P -V N klein, so ist V SRC fast konstant und daher wie gewünscht unanhängig von der Aussteuerung V P -V N . Der Gleichtaktanteil der Eingangssignale liegt bei V CM = 540 mV. In (2) werden die Ausgangsströme I N und I P dargestellt. Bei Vollaussteuerung gehen die Ströme in die Begrenzung Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion von 2 µA. Im linearen Arbeitsbereich über ca. 500 mV differentieller Eingangsspannung stellt sich das sehr kleine differentielle gm d( I P – I N ) gm = --------------------------- = 1, 87 µA ⁄ V d( V P – V N ) (5.5) ein. Ein so kleines gm über einen großen Aussteuerbereich mit Widerständen und Operationsverstärkern zu realisieren, würde flächenmäßig zu große Widerstände im Bereich von MΩ benötigen und ist daher nicht mit Widerständen realisierbar (HighResistive-Poly steht in diesem Prozess nicht zur Verfügung). Abb. 5.14: (1-2) (1) Eingangsspannungen V N und V P erzeugen einen parabelförmigen Verlauf der Source-Spannung V SRC . (2) Die Ausgangsströme I P und I N sind innerhalb der 1/4-3/4-Grenze (von I N_lim bis I P_lim ) markiert durch die Buchstaben ’A’ und ’B’ gut linear. 1/4-3/4-Grenze Die weitere Betrachtung führt zur Suche nach den geeigneten Grenzen für die Signalamplitude, um eine bestimmte Nichtlinearität nicht zu überschreiten. Die oben erwähnten Veröffentlichungen über gm-Stufen behandeln die Frage, wie man für Transconductance-Verstärker bei gleicher Aussteuerung am Eingang die Linearität erhöhen kann. In dieser Schaltung wird die Nichtlinearität eines Transconduct a n c e - Ve r s t ä r k e r s v o r g e g e b e n , u n d d a n n w e r d e n d a r a u s z w e i a l l g e m e i n e Grenzspannungen V P_lim und V N_lim ermittelt. Bleibt die Aussteuerung innerhalb der Grenzspannungen V P_lim und V N_lim , so wird die geforderte Nichtlinearität nicht überschritten. Die Grenzspannungen können durch ein einfaches Schaltungskonzept gewonnen werden. Im ersten Ansatz werden zwei spezielle Grenzspannungen V P_lim = V 3/4 und V N_lim = V 1/4 festgelegt. Sie beschreiben die 1/4-3/4-Grenze. Wenn gilt V P =V 3/4 und V N =V 1/4 , dann fließen im Transconductance-Verstärker die Grenzströme I N_lim =1/4 ·I C bzw. I P_lim =3/4 ·I C , d. h. dass der Strom I N auf 1/4 des 95 96 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Differenzstufenstroms I I gesunken und I P auf 3/4 gestiegen ist. Die 1/4-3/4-Grenze ist in Abb. 5.14 (2) durch die beiden Markierungen A und B gezeigt. Der erste Eindruck vermittelt gute Linearität in diesem Bereich. Die Grenzspannungen V 1/4 und V 3/4 werden im Dreiecksgenerator (Abb. 5.6) benötigt. Nichtlinearität der gm-Stufe - THD und IIP3 Durch Simulation kann die Nichtlinearität (THD) der gm-Stufe bestimmt. Ein differentielles Sinus-Eingangssignal wird mit drei verschiedenen Amplituden an die Eingänge der gm-Stufe gelegt. Die spektralen Anteile der Ausgangsströme I P und I N werden jeweils durch FFT bestimmt. Bestimmt man die THD des differentiellen Signals I P -I N , so fallen alle Oberwellen mit geradem Vielfachen der Grundfrequenz weg. Die Grundfrequenz beträgt 20 kHz. Simulation In Tab. 5.6 sind die Oberwellen bis zur dritten ausgelistet und die THD wird angegeben. Mit der einfachen gm-Differenz-Stufe aus Abb. 5.12 kann innerhalb der 1/43/4-Grenze eine beachtlich geringe THD von 0.8% erreicht werden. Tabelle 5.6: Nichtlinearität der gm-Differenz-Stufe innerhalb der 1/4-3/4-Grenze Spektraler Anteil der Oberwellen im Ausgangsstrom Amplitude des Eingangssinussignals VP-VN DC=0 Hz Grundwelle 10 kHz 1. Oberwelle 20 kHz 2. Oberwelle 30 kHz 3.Oberwelle 50 kHz THD 0.54 Vp, diff (1/4-3/4 Limit) 1 µA 0.51 µA 0.001 µA 0.0044 µA 0,0000 µA 0.8 % 1 Vp,diff 1 µA 0.88 µA 0.0037 µA 0.032 µA 0.0014 µA 3.7 % 2 Vp,diff (völlig übersteuert) 1 µA 1.2 µA 0.0077 µA 0.228 µA 0.028 µA 19.2 % Die Nichtlinearität THD (Total Harmonic Distortion) und IIP3 (Input Interception Point Third Order) des Spannungsstromwandlers wird in [3-1] Abschnitt H.2 berechnet. Die THD ist eine Funktion der Aussteuerung (Aussteuerkonstanten M). Die Grenzspannungen V P_li m und V N_ lim werden durch die Schaltung in Abb. 5.15 erzeugt und lassen sich durch die Wahl der Stromspiegelverhältnisse m/n P und m/ n N festlegen. Bleibt die Eingangsdifferenzspannung innerhalb der Grenzspannungen, so wird eine maximale THD garantiert. Die THD ist prozessunabhängig. Allgemein können die Grenzspannungen zur Kontrolle der THD in zeitkontinuierlichen gm-C-Filtern verwendet werden. IIP3 ist ein aussteuerungsunabhängiges Maß für Nichtlinearität. Die Berechnung stützen die Simulation und es ergibt sich für die 1/ 4-3/4-Grenzspannungen: THD = 0.81 % IIP3 = 3.3 V. (bei V P_lim =V 3/4 und V N_lim =V 1/4 ) Berechnung THD und IIP3 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Signalpfad und Erzeugung der Grenzspannungen Die Schaltung zur Erzeugung der speziellen Grenzspannungen V 1/4 und V 3/4 und die Schaltung des Signal-Pfades für den Spannungsstromwandler sind in Abb. 5.15 zu sehen. Voltage Limit Generation VDD VDD I C = 1 µ A IC = 1 µ A TC + TC OP V P_lim= V 3/4 - CR CR V N_lim= V 1/4 V SRC_ref - V CM_ref + - gm No.1 - + + I P P = 1 µ A IN N = 1 µ A VSRC V BIAS_1/4 - gm No.2 + 2/3x TM 2/1x TM VSS VSS 1/4-Reference Signal Stage with Current Level Shifter Vmaster Ratio controls 1/4-3/4-Limit: 2 / 3 = m / nP 2 / 1 = m / nN V BIAS_3/4 TD Vslave VSRC VDD VDD 3µA I 1/4 = 0 . 5 µ A 1x TMS 6x TMS VDD VDD 3µA 1.5µA 6x TMS 3/4-Reference I BIAS VSRC_ref Subtrahtents 3x TMS I rise = 0...6µA I fall = 6...0µA I on = 6 µ A source 2x gm + no.3 + 3...9µA 9...3µA IC = 7 . 5 µ A 1x TM 6x TM 6x TM 5x TM VSS VSS VSS VSS Abb. 5.15: Blockschaltbild des Spannungsstromwandlers mit matchenden gm-Stufen Nr.1, Nr.2 und der verdoppelten Stufe Nr.3. Die Source-Spannung der Differenzeingangsstufe von gm-Stufe Nr. 2 wird zurückgekoppelt zur Erzeugung der Grenzspannungen V 3/4 und V 1/4 . Die Rückkopplung der Source-Spannung einer Differenzeingangsstufe kann allgemein für stromsparende Gleichtaktregelungen benutzt werden. Das Blockschaltbild untergliedert sich in den Grenzspannungsgenerator und den Signalpfad mit Strom-Levelshifter. Der Grenzspannungsgenerator bestimmt die 1/43/4-Grenzspannungen V 1/4 und V 3/4 . Der Signalpfad führt die Spannungsstromwandlung durch und verstärkt das Stromsignal. Um das Zusammenspiel von Referenzteil und Signalpfad zu gewährleisten, ist das Prinzip des Matchings angewendet worden. Im Referenzteil werden zwei einzelne gm-Stufen (Nr. 1 und Nr. 2) und im Signalpfad zwei parallelgeschaltete gleichartige gm-Stufen (Nr. 3) verwendet. Grenzspannungsgenerator Im Grenzspannungsgenerator liegt die Ermittlung des Gleichspannungsanteils im Aufgabenbereich der gm-Stufe Nr. 1. Über eine MOS-Diode wird ein Bias-Strom I BIAS geführt. Die sich einstellende Spannung ist die Gleichtaktreferenzspannung V CMref . Die Strom I BIAS und die Diode werden so dimensioniert, dass der Gleichspannungsanteil leicht unterhalb der mittleren Versorgungsspannung (VDD-VSS)/2 97 98 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen liegt. Dies ermöglicht eine gute Aussteuerbarkeit der PMOS-Differenz-Eingangsstufe. Die gm-Stufe Nr. 1 liefert nun die Soll-Source-Spannung V SRC_ref , die zum Regeln verwendet werden soll. Sie ergibt sich in erster Linie daraus, dass man die gm-Stufe Nr. 1 gleichspannungsmäßig als Source-Folger ansehen kann. Die SollSource-Spannung V SRC_ref wird mit der Ist-Source-Spannung V SRC der gm-Stufe Nr. 2 verglichen. An der gm-Stufe Nr. 2 liegen als Stellgrößen die 1/4-3/4-Grenzspannungen V 1/4 und V 3/4 an, aufgrund derer sich am Ausgang der gm-Differenzstufe (Abb. 5.12) die zwei Bias-Spannungen V OUTN =V BIAS_1/4 und V OUTP =V BIAS_3/4 einstellen. Liegen diese Bias-Spannungen an einem Einheits-Transistor T M an, so stellen sich die Ströme 1/4*I I =0.5 µA und 3/4*I I =1.5 µA ein. Statt an einem Einheitstransistor T M anzuliegen, werden die zwei Bias-Spannungen V BIAS_1/4 und V BIAS_3/ 4 auf modifizierte Transistoren 2/3xT M und 2/1xT M gegeben. Die Stromspiegelfaktoren 2/3 und 2/1 sollen allgemein als m/n P und m/n N bezeichnet werden. Die Faktoren 2/3 und 2/1 stellen die gewählten 1/4-3/4-Grenzspannungen4 ein. Die ge wählt en Fa kt oren 2/3 und 2/1 bewir ken, dass sich zwei identische St röm e I NN =I PP =1 µA einstellen, wenn die Eingangsspannungen V P und V N der gm-Stufe Nr. 2 auf den richtigen Grenzspannungen V 1/4 und V 3/4 liegen. Der Vergleich von V SRC_ref und V SRC geschieht im Operationsverstärker OP, wobei es sich beim OP um eine einfache Differenzstufe mit großem Aussteuerbereich am Ausgang handelt. Den Strömen I NN und I PP wird über die Transistoren T C der Regelstrom I C entgegengesetzt. Beträgt I C 1 µA, so heben sich I NN und I PP mit I C gerade auf und der Regelkreis ist in Ruhe. Die Kapazitäten C R stabilisieren den Regelkreis. Zwei Regelkreise greifen ineinander. Der Gleichspannungsregelkreis wird über den Operationsverstärker OP geschlossen. Sollten sich die Spannungen V 1/4 und V 3/4 im Gleichtakt erhöhen, dann erhöht sich der Source-Spannung V SRC . Damit erhöht sich der Operationsverstärkerausgang und reduziert den Strom I C , was der Erhöhung von V 1/4 und V 3/4 entgegenwirkt. Eine absoluter Unterschied zwischen V SRC_ref und V SRC von einigen 10 mV ist für die Funktion der Schaltung nicht wichtig. Der Grenzspannungsregelkreis erfolgt über die gm-Stufe Nr. 2 und die modifiz i e r t e n T r a n s i s t o r e n 2 / 3 x T M u n d 2 / 1 x T M . E r s o r g t d a f ü r, d a s s s i c h d i e Grenzspannungen V 1/4 und V 3/4 wirklich so einstellen, dass die internen Ströme I P und I N der gm-Stufe Nr. 2 im Verhältnis 3/4 zu 1/4 stehen. Wäre V 1/ 4 zu hoch, würde V OUTN =V BIAS_1/4 ansteigen, und damit der Strom I NN im Transistor 2/1xT M . Dies wirkt dem Anstieg von V 1/4 entgegen. Die Zentraleinheit im Signalpfad (Abb. 5.15) sind zwei parallel geschaltete gmStufen Nr. 3, die gemeinsam den doppelten Ausgangsstrom erzeugen. Die beiden Eingangssignale V master und V slave bewegen sich dreiecksförmig linear auf und ab zwischen den Grenzen V 1/4 und V 3/4 . Die Signale V master und V slave werden im Dreiecksgenerator erzeugt (Abschnitt 5.3.3). Die Dreiecksfunktionen V master und V slave erzeugen durch die gm-Stufen Nr.3 in den Transistoren 6xT M linear ansteigende und abfallende Ströme von 3 µA bis 9 µA bzw. in die andere Richtung. Der Transistor T M ist ein Einheitstransistor und in Weite und Länge identisch mit T Mp und T Mn aus Abb. 5.12. Hier wird im Signalpfad eine Verstärkung von 3 realisiert, damit eine optimale Geschwindigkeitsanpassung realisiert wird und der Strom der Ausgangsstufe von 25 µA schell getrieben werden kann. Die Ströme aus den Transistoren 6xT M haben einen Gleichanteil. Dieser Anteil muss für die Stromausgangsstufe entfernt werden. Dort werden die Ströme I rise und I fall im Bereich von 0 bis 6 µA bzw. 6 µA bis 0 benötigt. Es müssen also 3 µA abgezogen werden. Dies geschieht mit Hilfe der Stromspiegeltransistoren 6xT MS des Strom-Levelshifters. Der Subtrahend von 3 µ A wird aus der Referenz V BI AS1 /4 abgeleitet. Matching vermindert Subtraktionsfehler. Außerdem gilt es noch den kon4 Die Abhängigkeit zwischen den Grenzspannungen und den Stromspiegelfaktoren ist durch Gl.(H.22) in [3-1] beschrieben. Signal-Pfad und Strom-Levelshifter Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion stanten Strom I on zu erzeugen. Er soll konstant 6 µA betragen und wird aus beiden Referenzen V BIAS1/4 und V BIAS3/4 abgeleitet werden. Detailierte Betrachtung Die Regelschaltung zur Erzeugung der Grenzspannungen V 1/3 und V 3/4 wird in [31] Abschnitt H.1 ausführlich erklärt und berechnet. Diese Ausführungen würden hier zu weit führen. 5.3.3 Dreiecksgenerator Die Position des Dreieickgenerators (Triangle Generator) im Signalweg ist in Abb. 5.6 auf Seite 84 dargestellt. Der Dreiecksgenerator in Abb. 5.16 soll zwei gegenläufige dreiecksförmige Spannungen V master und V slave erzeugen. Diese werden direkt an die gm-Stufe Nr. 2 des Spannungsstromwandlers in Abb. 5.15 angeschlossen, wo sie in dreiecksförmige Ströme umgewandelt werden. Für den Anstieg und -Abfall der Dreiecksspannung nutzt man nach dem einfachen Zusammenhang zwischen Strom und Spannung am Kondensator C aus 1 t V ( t ) = ---- ∫ I ( τ ) dτ C τ=0 . (5.6) Ist der Ladestrom I(t) an einem Kondensator C konstant, so ergibt sich für die Kondensatorspannung V(t) als Integral über eine Konstante eine Gerade. Konstante Ströme lassen sich einfach realisieren. Über die Variation von Ladestrom und Kondensator kann die Anstiegszeit beeinflusst werden, und damit letztlich die Frequenz der Dreiecksspannung bzw. der Sinus-Funktion. Somit kann man den Dreiecksgenerator auch als einen strom-kondensator-gesteuerten Oszillator ansehen. Für die Umschaltpunkte von Anstieg auf Abfall benötigt man eine obere und eine untere Schwellspannung: V 1/4 und V 3/4 . Diese werden schon durch den Spannungsstromwandler zur Verfügung gestellt. Eine kleine digitale Schaltung steuert, ob es sich um einen Anstieg oder einen Abfall handelt. 99 100 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen In Abb. 5.16 ist das Blockschaltbild des Dreiecksgenerators zu sehen. Switched Currents VDD Charging Switched Capacities VDD VSS Icharge, M Icharge, S C Parking slave 1pF V 1/4 + - B 1/4 buf B 3/4 V 3/4 + - buf I 1/4 I 3/4 sPCS sCS sPCM sCM sPDS sDS 7pF sS8 V sDM Idischarge, S sS64 V sM8 sPDM 56pF 1pF 7pF master slave sM64 56pF Idischarge, M C master VSS Analog Part VSS VSS 2 Digital Part 4 4 sel_cap V 3/4 V master K0 + comp - Master_is_high V 1/4 V master K1 + comp - Master_is_low V 3/4 V slave K2 + comp - V 1/4 K3 + comp - V slave Asynchronous Digital Slave_is_high clk Control Slave_is_low Abb. 5.16: Blockschaltbild des Dreiecksgenerators. Die Indizes in den Schalternamen ’s ... ’ stehen für folgende Abkürzungen: P= Parking, C= Charge (Laden), D= Discharge (Entladen), M= Master, S= Slave Die Kernzelle sind die geschalteten Stromquellen (Switched Currents). Jeweils zwei identische Ladeströme I charge und Entladeströme I discharge können durch die Schalter s PCS , s PCM , s PDS , s PDM , s CS , s CM , s DS und s DM entweder auf die Parkplatz- oder Ladestellung gebracht werden. In der Ladestellung werden die Kapazitäten C master geladen und die Kapazitäten C slave entladen, oder umgekehrt. Der Digitalteil stellt die richtige Schalterstellung sicher. Bei den Schaltern handelt es sich um dynamische Schalter (vgl. Kapitel 3.4.2). Die dort vorgeschlagenen Maßnahmen zur Verminderung der Ladungsinjektion und des Taktdurchgriffs werden angewendet. Zu Beginn sorgt die richtige Schalterstellung dafür, dass die Kapazitäten C master über den Schalter s DM mit I discharge,M entladen werden, während die Kapazitäten C slave über den Schalter s CS mit I charge,S geladen werden. s DS und s CM sind in die- Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion sem Fall hochohmig. Der Digitalteil erkennt mit seinen vier Komparatoren K 0 bis K 3 , ob die Spannungen V slave und V master das Maximum V 3/4 bzw. das Minimum V 1/4 erreicht haben. Sind Minimum oder Maximum erreicht, wird umgeschaltet. Über die Schalter s DS und s CM wird dann C slave entladen bzw. C master geladen. Es kommen die Lade- und Entladeströme I char ge, M und I disch arg e,S zum Einsatz. Das findet solange statt, bis die Spannungen V slave und V master den anderen Umschaltpunkt erreicht haben. Danach beginnt alles von vorne. Über die Ströme I discharge und I charge in Verbindung mit den geschalteten Kapazitäten kann der Anstieg und damit die Sinusfr equenz beeinflusst wer den. D ie Ströme I discharge und I charge können durch die digital kontrollierten Stromspiegel (Kap. 5.3.4) im Bereich von 50 nA bis 12 µA, die Kapazitäten im Bereich von 1 pF bis 64 pF variiert werden, d. h. die Frequenz in dieser Stufe kann um den Faktor 1 bis 15000 variiert werden. Master-Slave Natürlich müssen die beiden Spannungen V slave und V master aufeinander synchronisiert werden. Obwohl durch geeignete Layoutmaßnahmen u. a. die Kapazitätswerte von Cmaster und Cslave sehr ähnlich sein werden (Einheitskapazität, gemeinsames Zentrum, etc. (Abschnitt 5.1)), kann es durch Mismatching in den Bauelementen passieren, dass die Spannung V slave oder V master schneller geladen als entladen wird und somit langsam nach oben driftet oder gegenüber der anderen Spannung aufholt und V slave oder V master nicht mehr gegenläufig sind. Wie die Namen-Indizes vermuten lassen, wird daher V slave auf V master synchronisiert und die Um sc haltpunkte von V sl av e richten sich nach dem Verlauf vom V m a s t e r. In Abb. 5.17 ist das Einschwingverhalten nach einem Power- Down-Modus zu sehen. Das Synchronisationsschema zwischen V slave und V master wird deutlich. Das Laden und Entladen von V slave beginnt, wenn V master die Grenzspannung V 1/4 unterschreitet bzw. die Grenzspannung V 3/4 überschreitet. Für V slave gibt es zwei Zustände: 1. V slave ist langsamer und hat den Umschaltpunkt noch nicht erreicht. Dann muss die Laderichtung sofort umgeschaltet werden (Early Return). 2. V slave ist schneller. Dann wartet V slave beim Umschaltpunkt solange, bis auch V master seinen Umschaltpunkt erreicht hat (Waiting). 101 102 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 6\QFKURQRXV 1 (DUO\ 5HWXUQ :DLWLQJ 2 :DLWLQJ 1RQ 2YHUODSSLQJ 3UHFKDUJH 7LPH Abb. 5.17: Simulationsergebnis des Dreiecksgenerators bei der Synchronisation (1) zwischen den Spannungen V master und V slave nach einem PowerDown. V slave ist erst etwas verzögert. Es wechselt (früh) seine Richtung, wenn V master die untere Grenzspannung V 1/4 erreicht hat. Etwas später wartet V slave an der unteren Grenzspannung, bis V master den obere Grenzspannung V 3/4 erreicht hat. Danach sind V master und V slave synchron und man erkennt den Dreiecksspannungsverlauf. In (2) sind die digitalen Ansteuersignale dargestellt. Beim Entwurf muss darauf geachtet werden, dass es zu keinem Überlappen der Vorladezeiten der beiden Parksignale kommt. Es stellt sich die Frage, wieso zwei Lade- und Entladeströme I charge,S,M und I discharge,S,M und zwei „Parkplatzverstärker“ verwendet werden. Diese sind zur Verbesserung des Schaltverhaltens nötig. Die Stromquellen werden immer im Wechsel betrieben und durch die Parkplatzverstärker B 1/4 und B 3/4 auf die richtigen Spannungspegel vorgeladen (Precharge Time). Ständen nur zwei Stromquellen zur Verfügung, so ergäbe sich folgende Situation: Am z. B. oberen Umschaltpunkt V 3/4 Parkplatz Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion von V master wird der Kondensator C master vom Laden mit dem Ladestrom I charge,M auf Entladen umgeschaltet. Der Spannungspegel der zweiten Stromquelle I discharge,S , die gerade noch Kondensator C slave entlädt, liegt zu diesem Zeitpunkt aber auf dem unteren Umschaltpegel V 1/4 . Ein sofortiges Benutzen dieser Stromquelle zum Entladen von C master würde wegen parasitärer Kapazitäten parallel zur Stromquelle zu einem Spannungssprung im Signal V master führen. Stattdessen wird für die folgende Entladung von C master die „auf Parkplatz stehende“ Stromquelle I discharge,M verwendet. Der Treiber B 3/4 hält den Knoten der Stromquelle I discharge,M schon vorgespannt auf dem oberen Umschaltpunkt V 3/4 . Diese zweite Entladestromquelle kann nun spannungsfrei an den Kondensator V master geschlossen werden. Die gerade noch ladende Stromquelle I charge,M wird jetzt durch den Treiber B 1/4 auf die Spannung V 1/4 gezogen und steht ihrerseits im nächsten Umschaltpunkt wieder zum Laden zur Verfügung. Digitalteil Der asynchrone Digitalteil übernimmt die Steuerung der oben beschriebenden Vorgänge und stellt das notwendige Timing (Abb. 5.17 (2)) zur Verfügung. Der Digitalteil stellt außerdem den Takt ’clk’ für den Digitalteil der Ausgangstufe (Abb. 5.7) zur Verfügung. Eine Schwierigkeit für den Digitalteil einschließlich der Komparatoren liegt in den hohen Zeitanforderungen. Damit die ansteigenden und abfallenden Rampen der Dreiecksfunktionen beim Erreichen der Schwelle ohne Verzögerung aneinander anschließen, darf die Durchlaufzeit durch die Komparatoren und den Digitalteil nur einen Bruchteil der Periodendauer der Sinusfunktion sein. Insbesondere für sehr hohe Frequenzen ist dies schwierig. Es stellen sich kleine Stufen ein, die in der Sinus-Funktion in den Messergebnissen (Abb. 6.2 (c),(g)) zu sehen sind. Messergebnis Im realisierten ASIC können die Spannungen V master und V slave über Testmultiplexer auf Testpads geschaltet und gemessen werden. In Abb. 5.18 ist eine solche Messung dargestellt. Die Spannungen verhalten sich gegenläufig und bilden den gewünschten dreiecksförmigen Verlauf. Sie steigen bis zu oberen Grenzspannung V 3/4 =800mV und fallen bis zur unteren Grenzspannung V 1/4 =300mV. Anstieg und Abfall sind symmetrisch. Das Rauschen ist messtechnisch verursacht. Abb. 5.18: gemessener Verlauf der Spannung V master und V slave zwischen den Grenzspannungen V 1/4 und V 3/4 . 5.3.4 Digital kontrollierter exponentieller Stromspiegel Die Position des digital kontrollierten Stromspiegels (Digital Controlled Current Mirror) im Signalweg ist in Abb. 5.6 auf Seite 84 dargestellt. Der digital kontrollierte 103 104 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Stromspiegel liefert Lade- und Entladeströme I charge und I discharge für den Dreiecksgenerator. Der Dreiecksgenerator benötigt für die Lade- und Entladeströme I charge und I discharge große Aussteuerbereiche, damit eine großer Frequenzbereich eingestellt werden kann. Große Aussteuerbereiche lassen sich am besten mit einer exponentiellen Funktion realisieren, die mit Hilfe eines digital kontrollierten Stromspiegels mit gewichteten Stromschaltern nachgebildet wird. Die Funktion muss deshalb exponentiell sein, da man für niedrige Messfrequenzen kleinere Schrittweiten benötigt, als für hohe Frequenzen. Standard-Digital-Analog-Umsetzer haben eine konstante Schrittweite über den Kontrollbereich. Für den exponentiellen Stromspiegel werden statische Stromschalter aus Kapitel 3.4.1 verwendet, da sich während einer Messung die Messfrequenz nicht ändert und die Schalter nicht geschaltet werden. Die exponentielle Funktion ist ein Spezialfall von allgemeinen Funktionen. Ein allgemeines Schema, wie man beliebige digital kontrollierte stückweise lineare Stromspiegel realisieren kann, ist in [3-1] Kapitel I zu finden. In Abb. 5.19 ist die Schaltung des exponentiellen Stromspiegels dargestellt. I A =I REF = switch 4x TU 2x TU T AA IX = inverted switch 1x TU 1x TU 32x TU VSS 16x TU 8x TU 1x TU 2x TU T AB s1 32x TU TX s2 s3 d0 d1 . . . d5 Abb. 5.19: Komplette Schaltung des exponentiellen Stromspiegels. Über nacheinanderfolgendes Einschalten der Steuerleitungen s1 bis s3 kann in verschiedene Abschnitte des exponentiellen Verlaufs gewechselt werden. Durch Abschalten oder Dazuschalten von Einheitstransistoren T U (W U =6 µm, L U =4 µm) bei TAA und TAB wird dafür gesorgt, dass der Verlauf der Stromspiegelfunktion stetig ist. TAA und T X bestimmen den Anstieg des Verlaufs. Die binär gewichteten Steuerleitungen d 0 bis d 5 wählen eine von 64 Stufen in jeweils einem Abschnitt aus durch Kontrolle von T X . Die Funktion der Schaltung ist aus dem Simulationsergebnis in Abb. 5.20 abzulesen. Die angenäherte exponentielle Funktion ist deutlich zu Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.3 Schaltungsentwurf für die stückweise lineare Sinus-Funktion erkennen. Für kleine Kontrollwörter ist die Schrittweite der Stromstufen deutlich kleiner höher als für große Kontrollwörter. Abb. 5.20: Simulierter Verlauf des exponentielle Stromspiegels mit vier Sektionen Es sind große Spitzen in der Kennlinie zu erkennen, die durch das Umschalten der Steuerleitung verursacht sind. Es ergibt sich damit deutlich der Anwendungsbereich dieser Realisierung für ausschließlich den statischen Gebrauch. Auf dem Chip moduliert der Strom die Frequenz des Dreiecksgenerators. Der wählbare Strombereich reicht von 0.52 µA bis 12.56 µA. Abb. 5.21: Gemessener Verlauf der Frequenz des stromkontrollierten Dreiecksgenerators in Abhängigkeit vom 8-Bit-Kontrollwort Die gemessene Frequenzkennlinie (Abb. 5.21) spiegelt den Verlauf des exponentiellen Stromspiegels wieder. Die vier Sektionen mit ihrem jeweils linearen Bereich sind zu erkennen. Zusammenfassung Mit Hilfe von statischen Stromschaltern lässt sich ein digital kontrollierbarer Stromspiegel aufbauen, der eine exponentielle Ausgangsfunktion besitzt. 105 106 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.4 Schaltungsentwurf für die stufenförmige Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 5.4 Schaltungsentwurf für die stufenförmige SinusFunktion Im vorherigen Abschnitt 5.3 wurde eine Schaltung vorgestellt, die eine stückweise lineare Sinus-Funktion erzeugt. Auf demselben Chip wurde zum Vergleich eine weitere Schaltung realisiert, die ebenfalls eine Sinus-Funktion erzeugt, allerdings eine stufenförmige Sinus-Funktion, wieder nach den Prinzipien Digital Kontrollierter Analoger Schaltungen. Bei den Betrachungen zur Nichtlinearität in Abschnitt 5.2 ist ausgeführt, dass eine 64-fache Überabtastung einer Sinus-Funktion eine Nichtlinearität von THD=2,7% ergibt. Der Verlauf der Sinus-Funktion wird wieder in der Größe der Ausgangstransistoren kodiert. Um die 64 Abtastpunkte zu realisieren, werden nur sechzehn verschieden große Transistoren benötigt, wenn man die Symmetrieeigenschaften der vier Viertelwellen der Sinus-Funktion beachtet. Die Transistoren arbeiten als Stromquellen. Stromausgangsstufe clk Digital Control pd s0 s1 s2 s3 s4 s5 s6 s7 s8 s9 s10 s11 s12 s13 s14 s15 VDD T swi0 T swi T swi1 T swi2 T swi3 T swi4 T swi5 T swi6 T swi7 T swi8 T swi9 T swi10 T swi11 T swi12 T swi13 T swi14 T swi15 T2 T3 T4 T5 T6 T7 T8 T9 T 15 Tcomp0 V REF T ref IR E F T0 T1 T 10 T 11 T 12 T 13 T 14 IO U T Abb. 5.22: Ausgangstufe des stufenförmigen Sinusgenerators. Sechzehn verschieden große Stromspiegeltransistoren mit Stromschaltertransistoren werden für die vier Viertel-Sinuswellen benötigt. Diese Schaltung besitzt einen einfachen Analogteil und einen aufwändigeren Digitalteil. Nacheinander werden in der ersten Sinusviertelwelle mit Hilfe der Steuerleitungen s0 bis s15 über die Schaltertransistoren Tswi0 bis Tswi15 die Stromspiegeltransistoren T 0 bis T 15 aktiviert. In der zweiten Sinusviertelwelle werden die Transistoren wieder deaktiviert. Dies wiederholt sich in der dritten und vierten Halbwelle, wobei der angeschlossene Elektrodenmultiplexer (Abb. 5.6, Seite 84) die Polung am Messobjekt (Organwiderstand) vertauscht. Die Schalter s0 bis s15 sind dynamische Strom-Schalter (Kap. 3.4.2), wo Strom am Source geschaltet wird. Es wird mit Ladungsträgerkompensation gearbeitet, die nur für den Schalttransistor Tswi0 dargestellt ist. Der Transistor Tcomp0 zusammen mit dem Inverter sorgen für die Kompensation der beim Schalten injizierten Ladungen. Die Dimensionierung der Weiten der Stromspiegeltransistoren wird nach dem Prinzip des Matchings mit vielen Nachkommastellen durchgeführt (Abschnitt 5.1). Die Weite W n des n-ten Stromspiegeltransistors T n ergibt sich nach dem Zuwachs der Sinus-Funktion von Abtaststelle zu Abtaststelle und ist in Tabelle 5.7 dargestellt. W T ist dabei die Summe der Weiten aller Stromspiegeltransistoren. W n ist die Summe von k · W U +W UP/UM . W U ist die Weite des Einheitstransistors von 6 µm. Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.4 Schaltungsentwurf für die stufenförmige Sinus-Funktion W UP bzw. W UM sind die Restweiten-Transistoren, um auf die extakte Weite W N in Entsprechung zur Sinusfunktion zu kommen, dabei steht W UP für Weiten größer als W U (Plus) und W UM für Weiten kleiner als W U (Minus). Die Weiten in Tabelle 5.7 sind in effektiven Weiten angegeben und müssen noch in gezeichnete Weiten umgerechnet werden (Gl.(5.4)). Um eine ausreichende Stromspiegeleigenschaft zu gewährleisten wurde eine Länge L U =4.0 µm gewählt. Für den Schaltertransistor wurde eine Weite L Uswi =0.8 µm gewählt. Tabelle 5.7: Dimensionierung der effektiven Weite WN der Ausgangstransistoren für die stufenförmige Sinus-Funktion geforderte relative Weite WN/WT entsprechend der Sinus-Funktion realisierte Transistor WN Weite in µm als k · WU+WUP/UM realisierte relative Weite WN/WT W0/WT =0.09801 6 · 6.0 + 4.7 = 40.7 0,0981 W1/WT = 0.09707 6 · 6.0 + 4.3 = 40.3 0,0971 W2/WT = 0.09519 6 · 6.0 + 3.5 = 39.5 0,0952 W3/WT = 0.09240 5 · 6.0 + 8.3 = 38.3 0,0923 W4/WT =0.08871 5 · 6.0 + 6.8 = 36.8 0,0887 W5/WT =0.0841 5 · 6.0 + 4.9 = 34.9 0,0841 W6/WT =0.07882 4 · 6.0 + 8.7 = 32.7 0,0788 W7/WT =0.07271 4 · 6.0 + 6.2 = 30.2 0,0728 W8/WT =0.06590 3 · 6.0 + 9.4 = 27.4 0,0660 W9/WT =0.05846 3 · 6.0 + 6.3 = 24.3 0,0586 W10/WT =0.05045 2 · 6.0 + 8.9 = 20.9 0,0504 W11/WT =0,04196 2 · 6.0 + 5.4 = 17.4 0,0419 W12/WT =0,03306 1 · 6.0 + 7.7 = 13.7 0,0330 W13/WT =0,02384 1 · 6.0 + 3.9 = 9.9 0,0239 W14/WT =0,01439 5.9 = 5.9 0,0142 W15/WT =0,004815 2.0 = 2.0 0,00482 (W0+W1+W2+W3+W4+ ...+W15) / WT = 1.0 W0+W1+...+W15 = 415.0 µm Summe = 1.0 Wref/WT = 1/5 ( => Verstärkung=5 ) 13x6.0+5.4 = 83.4 0,201 Aufgrund eines technologiebedingten Rasters der Weite auf 0.1 µm kommt es zu Abweichungen der realisierten Weite von der geforderten Weite. Die Stärke des Ausgangsstroms I OUT kann durch Verändern des Referenzstromes I REF eingestellt werden. Der Referenzstrom I REF kann durch eine vorhergehende Stromspiegel-Schaltung auf die Werte 0.625, 1.25, 2.5 und 5 µA eingestellt werden. Die Weite W ref des Referenzstromtransistors T ref beträgt 1/5 der Summe W T der 107 108 5 Implementierung am Beispiel zweier Sinusgeneratoren 5.4 Schaltungsentwurf für die stufenförmige Sinus-Funktion Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Weiten der Ausgangstransistoren, wodurch in der Ausgangsstufe eine Stromverstärkung von 5 realisiert ist. Somit wird der nach Norm [5-13] maximale und zulässige Ausgangsstrom I OUT =25 µA nicht überschritten. Der Digitalteil ist eine Zustandsmaschine mit 64 Zuständen. Jeder Zustand steht für einen Abtastpunkt der Sinus-Funktion. Die Zustandsmaschine hat die Möglichkeit die Abtastraten zu verändern. Durch zwei Steuersignale können die Abtastraten 64, 32, 16 oder 2 gewählt werden. Dies wird erreicht, indem in der Zustandsmaschine entsprechend viele Zustände ausgelassen werden. Durch unterschiedliche Abtastraten ist der einstellbare Frequenzbereich des Sinusgenerators größer. Alle Steuersignale ’s0’ bis ’s15’ sind direkt aus Flipflops abgeleitet, wodurch erstens sie vollkommen synchron schalten und zweitens in den Signalen mit Sicherheit keine Hazards auftreten. Hazards verschlechtern die Qualität des Signals. Für den veränderlichen Takt ’clk’ des Digitalteils wird der Takt aus dem Dreiecksgenerator verwendet (Abschnitt 5.3.3). Die Ausgangsstufe kann vollständig stromlos geschaltet werden, indem die Steuersignale ’s0’ bis ’s15’ und die Power-Down-Leitung ’pd’ auf VDD gelegt werden. Digitalteil Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.1 Messaufbau 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.1 Messaufbau Die Funktionsgeneratoren aus dem vorherigen Kapitel zur Erzeugung der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion wurde in einem Gesamtchip zur telemetrischen Messung der Gewebewiderstandes der Niere zur Abstoßungskontrolle nach einer Transplantation integriert, gefertigt und vermessen (vgl. Abb. 1.2, Seite 11). Zur eigentlichen Messung der Sinussignale wird ein externer Messwiderstand R= 4 k Ω als Last fü r die Sinusgener atoren verwendet . D ie vier Elektr odenanschlüsse E0, E1, E2 und E3 zur Messung der Gewebeimpedanz werden entsprechend konfiguriert. Die Amplitude des Ausgangsstroms wird auf 25µA eingestellt. Verschiedene Sinussignale, stückweise linear und stufenförmig, mit unterschiedlichen Abtastraten und Frequenzen, werden im Zeitbereich und im Spektrum aufgezeichnet. Erwartungsgemäß ergibt sich eine Spannungsamplitude am Messwiderstand von 100 mV. Anhand der Spektren wird die Nichtlinearität (THD) berechnet und grafisch mit der theoretischen Nichtlinearität verglichen. Die Ergebnisse werden in den nächsten Abschnitten dargestellt. 109 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.1 Messaufbau Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Abb. 6.1: Testpins Copper Foil Shield for Oscillator Testpins Chip in Ceramic Package Receiver Interface Clock=’0’ Button Clock=’1’ Button TXDat LED TXENB LED RXENB LED Clock LED Clockswitch: * continuous * single Analog Amplifier C Lo loc gi k S c w itc h E0 E1 E2 E3 Socket M Re eas sis ur to em r en t Testpins Testpins Reset Button Messkonzept des digital analogen Chips Powersupply Dip Switches Dip Switches Bussocket to Tester Dip Switches Transmitter Interface Auf der Testplatine in Abb. 6.1 ist der Chip in einem Sockel zu sehen. Anhand der Testplatine lässt sich das Testkonzept des Chips für Digital- und Analogteil erklären. Bussocket to Tester 110 Testplatine mit Wechselsockel für Chips Ein Kraftlos-Sockel erlaubt Wechseln der Chips. Alle Chipsignale sind über Pinstecker (Testpins) direkt am Chip für eine Messung zugänglich. Es muss gewährleistet sein, dass der Digitalteil und der Analogteil sowie das gesamte System testbar sind. Der Chip kann über drei auf der Platine vorgesehenen Schnittstellen für drei Testzwecke ansteuert werden: 1. Schnittstelle über DIP-Schalter für Einzelregisterzugriff: Analog-Test 2. Schnittstelle zum Digital-Tester: Digital-Test, Scan-Pfad-Test 3. Schnittstelle zu einer Receiver-Transmitter-Schaltung: System-Test zur Überprüfung des Kommunikationsaufbaus bei Telemetrie Die Platine in Abb. 6.1 verfügt über die Möglichkeit, mit Hilfe des Schalters ’Clock Switch’ auf einen Einzel-Takt-Modus umzuschalten. Im Einzel-Takt-Modus kann über die Taster Clock=’1’ und Clock=’0’ das Taktsignal Hazard-Frei von High auf Low und umgekehrt umgeschaltet werden. Durch diesen Einzel-Takt-Modus können über die Dip-Schalter die Adress- und Datenleitungen so eingestellt werden, dass Analog Test Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.2 Messergebnisse für den stückweise linearen Sinus bestimmte (analoge) Register beschrieben und somit Messungen konfiguriert und gestartet werden können. Über den ’Clock Switch’ kann dann während einer Messung der Takt wieder hinzugeschaltet werden, so dass man den Cross-Talk zwischen Digitalteil und Analogteil messen kann. Es ist unbedingt darauf zu achten, dass die digitale Taktleitung auf der Platine gut gegenüber den analogen Signalleitungen geschirmt wird. Gerade ein Quarzoszillator (32 kHz) verursacht möglicherweise so große Störungen auf der Platine, dass das Übersprechen auf der Platine größer ist, als das zu messende Übersprechen auf dem Chip. Eine Schirmung des Oszillators mit Kupfer-Folie kann durchaus angebracht sein. Der Nierenwiderstand kann über einen Messwiderstand (Measurement Resistor) emuliert werden. Ein analoger Verstärker (Analog Amplifier) verstärkt die Messsignale. Digital-Test Die komplexen Funktionen des Digitalteils sollen über einen Tester (HP82000) g e t e s t e t w e r d e n . F l a c h b a n d s t e c k e r ( B u s S o c k e t t o Te s t e r ) e r l a u b e n e i n e n Anschluss. Der Tester kann über Testvektoren die komplexen Funktionen des Digitalteils automatisch testen. Der Digitalteil des Chips ist mit einem Scan-Pfad ausgestat tet . Der Te ster emul iert di e ext ern en Baukomp onent en wie R eceiver un d Transmitter. Systemtest Der Chip wird in einem telemetrischen System eingesetzt. Der Test dafür erfolgt über die Steckverbinder „Transmitter- und Receiver Interface“. Über diese Steckverbinder können die externen Sende- und Empfangsschaltungen vom Chip kontrolliert werden. Mit Hilfe dieser Schaltungen ist der telemetrische Verbindungsaufbau zur externen Basisstation möglich. Der auf dem Chip integrierte Quarz-Oszillator und eine Batterie als Versorgungsspannung (Power Supply) gewährleisten die Unabhängigkeit des Systems. Über verschiedene LEDs kann die Funktionalität im Test laufend kontrolliert werden. 6.2 Messergebnisse für den stückweise linearen Sinus In diesem Kapitel sind die Messergebnisse für die stückweisestückweise linearen Sinus-Funktionen dargestellt. Der Generator für die stückweise lineare Sinus-Funktion ist im gesamten Frequenzbereich vermessen. 225 Sinus-Funktionen mit unterschiedlichen Fr equenzen und Abt ast raten sind im Z eitverlauf aufgezeichnet, spektral analysiert und in Bezug auf Nichtlinearität (THD) ausgewertet worden. Der Zeitverlauf und das zugehörige Spektrum von jeweils zwei verschiedenen Frequenzen (niedriger und mittlerer Bereich) bei verschiedenen Abtastraten (16-fach, 8fach, 4-fach und 2-fach (rechtecksförmig)) mit maximaler Signal-Amplitude sind in Abb. 6.2 und Abb. 6.3 angeführt. Die Messungen werden unter nominellen Bedingungen an einem aufgebauten Chip durchgeführt (VDD=2.7V, T=27°C). Über einen Operationsverstärker auf der Te s t p l a t i n e w i r d d a s S i g n a l v e r s t ä r k t u n d m i t e i n e m S p e i c h e r - O s z i l l o s k o p (HP54522) aufgenommen. Mit dem Oszilloskop wird das Spektrum berechnet (FFT mit Hanning-Fenster, 1024 Abtastwerte). Stückweise linearer Sinus mit 16facher Überabtastung In Abb. 6.2 a) und c) ist die Sinus-Funktion mit 16-facher Überabtastung mit deren z ugehörigen Spektren b) und d) dargestellt. Die Sinusfrequenz beträgt 1.6 kHz und 15.2 kHz. Bei der niedrigen Frequenz zeigt sich in sehr guter Näherung eine Sinus-Funktion. Ein wenig kann man den stückweise linearen Charakter der Sinus-Funktion erkennen. Die Qualität dieser Sinus-Funktion lässt sich am besten im Spektrum ablesen. Im Spektrum b) zeigt sich die Grundwelle bei 1.6 kHz. Eine Oberwelle zeigt sich bei der dreifachen Frequenz. Es handelt sich daher um die dritte Oberwelle mit einer Signalamplitude von 37.5 dB unterhalb der Grundschwingung. Nach den theoretischen Betrachtungen in Kapitel 5.2 dürften nur die 15.+17., 31.+33., 47.+49. usw. Oberwelle (vgl. Abb. 5.5 Seite 83) entstehen, weil 111 112 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.2 Messergebnisse für den stückweise linearen Sinus Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen alle anderen Oberwellen sich durch die Form des Signals per definitionem aufheben. Dass es hier zu einem Frequenzanteil bei der dritten Oberwelle kommt, liegt an nicht-idealen Anstiegen und Abfällen der stückweise linearen Stellen in der Sinus-Funktion. Die dritte Oberwelle trägt hier den Hauptenergieanteil der THD. In c) können die Auswirkungen von Schaltzeiten des Digitalteils betrachtet werden. Die kleinen Stufen u. a. beim Nulldurchgang beruhen darauf, dass der Digitalt e i l e i n sc h l i e ß l i c h d e r S p a n n u n g s ko m p a r a t o r e n e i n e g e w i s s e D u r c h l a u f z e i t besitzen, bis erkannt wird, dass die internen Spannungen V master und V slave die Grenzspannungen V 1/4 und V 3/4 unter- bzw überschritten haben (Kap. 5.3.3). Die großen Stufen beim Nulldurchgang ergeben sich aus der Umpolung des Elektrodenmultiplexers. In Abb. 6.2 e) und g) ist die Sinus-Funktion mit 8-facher Überabtastung mit deren zugehörigen Spektren b) und d) dargestellt. In e) (290 Hz) und g) (11 kHz) ist deutlich der stückweise lineare Sinus zu erkennen. Eine Periode besteht aus acht linearen Teilstücken. In g) wird die Schalterverzögerung des Digitalteils sichtbar, vor allem bei der Perioden-Umschaltung. Das Spektrum f) zeigt zwei Besonderheiten. Zum einen weist es wieder wegen nicht-idealer Bedingungen die dritte Oberwelle auf, die per definitionem ausgeschlossen sein müsste. Zum anderen zeigen sich aber die nach der Theorie erwarteten Nachbar-Oberwellen der 8. Oberwelle: die 7. und die 9. Oberwelle (vgl. Abb. 5.5 Seite 83). Das Spektrum in h) weist aufgrund der digitalen Schaltungsverzögerung weitere höhere Oberwellen auf. Die 3. und die 7. Oberwelle haben die größte Energie. Stückweise linearer Sinus mit 8facher Überabtastung Die vierfache Überabtastung führt in Abb. 6.3 a) und c) zu einer dreiecksförmigen Sinus-Funktion. Im Spektrum ergeben sich die 3., 5., 7. usw. Oberwellen, deren Amplitude mit 40 dB pro Frequenz-Dekade abnimmt. Das Spektrum in d) weist wegen der Schaltungsverzögerungen leichte Variationen in der Abnahme der Oberwellenamplituden auf. Stückweise linearer Sinus mit 4facher Überabtastung In der realisierten Schaltung wurde der Modus für die zweifache Überabtastung, der theoretisch wieder eine Dreieckfunktion ergibt, umgebaut in einen Modus mit stufenförmiger Abtastung. Dieser Modus wurde als Rückversicherungslösung vorgesehen, für den Fall, die Erzeugung des stückweise linearen Sinus funktionierte nicht. In diesem Modus sind maximal große Frequenzen möglich. Alle Transistoren werden gemeinsam eingeschaltet und dann wieder ausgeschaltet. Das digitale Steuerwerk springt in diesem Modus zwischen zwei Zuständen hin und her. Die Stufen der Sinus-Funktionen sind in Abb. 6.3 e) und g) erkennbar bei den Frequenzen 3.4 kHz und 80 kHz. Die Amplituden der Oberwellen im Spektrum f) und h) nehme n mi t 20 dB p ro Fr equ enzde kade ab . An ti- Al iasin g-E ffe kte de s S pekt ru m Analysator können in f) betrachtet werden. Die Oberwellen haben bei der maximal darstellbaren Frequenz nicht sehr abgenommen (Pfeil nach rechts). Noch höhere Oberwellen werden zurück ins Fenster gespiegelt (Pfeil nach links) und verursachen die kleinen Doppelspitzen. In g) sind leichte Überschwinger sichtbar, die auf Instabilitäten schließen lassen. Die Überschwinger werden durch den Messaufbau verursacht. Instabilitäten treten nicht auf dem Chip auf, weil es keine chip-internen Rückkopplungen auf dem Chip gibt. Das Prinzip der Stromquellenausgänge erlaubt, gerade ohne Rückkopplungen auszukommen. Auch Post-Layout Simulation zeigen keine Tendenz zur Instabilität auf dem ASIC. Stückweise linearer Sinus mit 2facher rechtecksförmiger Überabtastung Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Abb. 6.2: 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.2 Messergebnisse für den stückweise linearen Sinus Funktionsverlauf und Spektren der stückweise linearen SinusFunktionen mit 16-facher Überabtastung (a, b, c, d) und 8-facher Überabtastung (e, f, g, h) bei verschiedenen Frequenzen. In (e,f,g,h) ist das Signal um den Faktor 10 verstärkt. 113 114 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.2 Messergebnisse für den stückweise linearen Sinus Abb. 6.3: Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Funktionsverlauf und Spektren der stückweise linearen SinusFunktionen mit 4-facher Überabtastung (Dreiecksverlauf) (a, b, c, d) und 2-facher Überabtastung (Rechtecksverlauf) (e, f, g, h) bei verschiedenen Frequenzen. Alle Signale sind um dem Faktor 10 verstärkt. 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.2 Messergebnisse für den stückweise linearen Sinus Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Um einen Eindruck von der Qualität der Schaltung zu bekommen, wird in den folgenden vier Abbildungen die gemessene Nichtlinearität und die ideale Nichtlinearität über der Frequenz dargestellt. Die gemessene Nichtlinearität wird aus den Spektren ermittelt. Für jede Sinusfrequenz wird eine Sinus-Funktion und deren Spektrum aufgezeichnet. Die Amplituden der Oberwellen werden ermittelt, quadriert, addiert und in Relation zum Quadrat der Amplitude der Grundwelle gesetzt ([3-1] Gl.(F.6)). Daraus ergibt sich die THD für eine entsprechende Frequenz. Die Nichtlinearität THD wird über der Messfrequenz dargestellt (logarithmische Darstellung bezogen auf 1 kHz). Für die stückweise linearen Sinus-Funktionen mit 16-facher Überabtastung (Abb. 6.4) liegt die mittlere THD in unteren Frequenzen bei etwa 1.6%. Die ideale THD liegt bei 0.53% und wird nicht erreicht. Zu höheren Frequenzen übergehend nimmt die THD durch Verformungen der Sinus-Funktion zu. Verformungen treten durch Bandbegrenzungen der Ausgangsstufe und durch Verzögerungen im Digitalteil auf. Über etwa drei Frequenzdekaden kann ein Stimulus-Signal erzeugt werden. Total Harmonic Distortion of Piecewise Linear Sine with 16 Times Oversampling 20,00% 18,00% 16,00% 14,00% 12,00% 10,00% THD Nichtlinearität TDH über der Frequenz 8,00% 6,00% 4,00% 2,00% 0,00% -1,5 -1 -2,00% 0 -0,5 0,5 1 1,5 2 2,5 3 frequency f in LOG(f/1kHz) Cmaster=64pF Abb. 6.4: Cmaster=8pF Cmaster=1pF THD ideal Verlauf der Nichtlinearität THD bei stückweise linearem Sinus über der Messfrequenz (logarithmisch) bei 16-facher Überabtastung 115 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.2 Messergebnisse für den stückweise linearen Sinus Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Bei der stückweise linearen Funktion mit 8-facher Überabtastung (Abb. 6.5) liegt die THD der idealen Abtastung wieder unterhalb der gemessenen THD. SinusFunktionen lassen sich für einen höheren Frequenzbereich erzeugen. Total Harmonic Distortion of Piecewise Linear Sine with 8 Times Oversampling 45,00% 40,00% 35,00% THD 30,00% 25,00% 20,00% 15,00% 10,00% 5,00% 0,00% -1 -0,5 0 0,5 1 1,5 2 2,5 3 frequency f in LOG(f/1kHz) Cmaster=64pF Abb. 6.5: Cmaster=8pF Cmaster=1pF THD ideal Verlauf der Nichtlinearität THD bei stückweise linearem Sinus über der Messfrequenz (logarithmisch) bei 8-facher Überabtastung Bei der stückweise linearen Funktion mit 4-facher Überabtastung (Abb. 6.6) wird die ideale Nichtlinearität erreicht. Für höhere Frequenzen steigt diese kontinuierlich an. Der wählbare Frequenzbereich liegt nochmals höher. Es können Sinussignale bis 1 MHz erzeugt werden, allerdings mit sehr schlechter (großer) THD. Total Harmonic Distortion of Piecewise Linear Sine with 4 Times Oversampling (Triangle) 60,00% 50,00% 40,00% THD 116 30,00% 20,00% 10,00% 0,00% -1 -0,5 0 0,5 1 1,5 2 2,5 3 3,5 frequency f in LOG(f/1kHz) Cmaster=64pF Abb. 6.6: Cmaster=8pF Cmaster=1pF THD ideal Verlauf der Nichtlinearität THD bei stückweise linearem Sinus über der Messfrequenz (logarithmisch) bei 4-facher Überabtastung Im Generator für den stückweise linearen Sinus gibt es einen Stufen-Modus als Rückversicherung zur Erhöhung der Design-Sicherheit. In diesem Modus wird die Sinus-Funktion durch eine Rechteckfunktion angenähert. Dieser Modus ist für die maximalen Frequenzen geeignet. Das Messsignal liefert eine THD die niedriger ist, als die des idealen Rechteck von 48% ist (Abb. 6.7). Für hohe Frequenzen kommt 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.3 Messergebnisse für den stufenförmigen Sinus Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen es zur Verschleifung des Rechtecks und daher zur Verbesserungen der THD. Dies ist im Bereich über 100 kHz sichtbar. Total Harmonic Distortion of Piecewise Linear Sine with 2 Times Oversampling (Rectangle) 70,00% 60,00% 50,00% THD 40,00% 30,00% 20,00% 10,00% 0,00% -1 -0,5 0 0,5 1 1,5 2 2,5 3 3,5 frequency f in LOG(f/1kHz) Cmaster=64pF Abb. 6.7: Cmaster=8pF Cmaster=1pF THD ideal Verlauf der Nichtlinearität THD über der Messfrequenz (logarithmisch) bei 2-facher Überabtastung im Rechteckmodus 6.3 Messergebnisse für den stufenförmigen Sinus In diesem Kapitel sind die Messergebnisse für die stufenförmigen Sinus-Funktionen dargestellt. Der Generator für die stufenförmige Sinus-Funktion ist im gesamten Frequenzbereich vermessen worden. Etwa 80 Sinus-Funktionen bei verschiedenen Frequenzen und Abtastraten sind im Zeitverlauf aufgezeichnet, spektral analysiert und in Bezug auf Nichtlinearität (THD) ausgewertet worden. Der Zeitverlauf und das zugehörige Spektrum von jeweils zwei verschiedenen Frequenzen (niedriger und mittlerer Bereich) bei verschiedenen Abtastraten (64-fach, 32fach, 16-fach und 2-fach) mit maximaler Signal-Amplitude sind in Abb. 6.8 und Abb. 6.9 dargestellt. Die Messungen werden unter nominellen Bedingungen an einem aufgebauten Chip durchgeführt (VDD=2.7 V, T=27 °C). Über einen Operationsverstärker auf der Te s t p l a t i n e w i r d d a s S i g n a l v e r s t ä r k t u n d m i t e i n e m S p e i c h e r - O s z i l l o s k o p (HP54522) aufgenommen und mit diesem wird das Spektrum berechnet (FFT mit Hanning-Fenster). Stufenförmiger Sinus mit 64facher Überabtastung In Abb. 6.8 a) und c) ist die Sinus-Funktion mit 64-facher Überabtastung mit deren z ugehörigen Spektren b) und d) dargestellt. Die Sinusfrequenz beträgt 1.1 kHz bzw. 29 kHz. Bei der niedrigen Frequenz zeigt sich eine Sinus-Funktion mit 64 kleinen Stufen. Die Qualität dieser Sinus-Funktion lässt sich am besten im Spektrum ablesen. Im Spektrum b) zeigt sich die Grundwelle bei 1.1 kHz. Zwei Oberwellen zeigen sich bei der 63-fachen und 65-fachen Frequenz. Es handelt Oberwellen mit einer Signalamplitude von -41.8 dB unterhalb der Grundschwingung. Nach den theoretischen Betrachtungen in Kapitel 5.2 sind dies genau die erwarteten benachbarten Oberwellen der 64. Oberwelle (vgl. Abb. 5.5, Seite 83). Alle anderen Oberwellen heben sich durch die Form des Signals per definitionem auf. In c) können die Auswirkungen der Verschleifungen der Stufen betrachtet werden. Durch die endliche Bandbreite der Ausgangsstufe verschleifen sich die Stufen. Die Linearität wird besser. 117 118 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.3 Messergebnisse für den stufenförmigen Sinus Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen In Abb. 6.8 e) und g) ist die Sinus-Funktion mit 32-facher Überabtastung mit deren zugehörigen Spektren b) und d) dargestellt. In e) (3.6 kHz) und g) (39.3 kHz) sind deutlich die Stufen des Sinus zu erkennen. Eine Periode besteht aus 32 Stufen. In g) wird die Verrundung der Stufen und der Einfluss der Umpolung der Elektroden durch den Digitalteil wieder sichtbar. Das Spektrum f) zeigt nun weitere b ena chb ar te Obe rw e lle npa ar e der 32. 64. und 9 6. Ob er we lle ( vg l. A bb . 5. 5, Seite 83). In h) sind die Oberwellenpaare im Spektrum nicht mehr sichtbar, weil die Stufen verrundet sind. Durch Nicht-Idealitäten gibt es verschiedene andere Oberwellen wie die 2., 3., 5., 7. usw. Diese Oberwellen haben alle etwa die gleiche Energie. Stufenförmiger Sinus mit 32facher Überabtastung Die 16-fache Überabtastung führt zu großen Stufen im Sinus (Abb. 6.9 a und c). Es zeigt sich eine Vielzahl von benachbarten Oberwellenpaaren im Spektrum Abb. 6.9 b). Diese sind in d) im Spektrum aufgrund der Bandbegrenzung der Ausgangsstufe nicht mehr sichtbar. Aufgrund von Nicht-Idealitäten zeigen sich verschiedene andere Oberwellen. Stufenförmiger Sinus mit 16facher Überabtastung Die zweifache Überabtastung ergibt eine Rechteckfunktion. Alle Transistoren werden gemeinsam eingeschaltet und dann wieder ausgeschaltet. Das digitale Steuerw e r k w e c h s e l t i n d i e s e m M o d u s z w i s c h e n zw e i Z u s t ä n d e n h i n u n d h e r. D i e Rechteckfunktionen sind in Abb. 6.9 e) und g) erkennbar bei den Frequenzen 6.9 kHz und 161 kHz. Die Amplituden der Oberwellen im Spektrum f) und h) nehmen mit 20 dB pro Frequenzdekade ab. Aliasing-Effekte können in f) betrachtet werden (vgl. Abb. 6.3 f, Seite 114). In g) sind leichte Überschwinger sichtbar, die auf Instabilitäten schließen lassen (vgl. Abb. 6.3 g). Die Instabilitäten kommen nicht aus der Ausgangsstufe, da es hier kein Rückkopplung gibt. Auch Postlayoutsimulationen zeigten keine Tendenz zur Instabilität. Während der Messung zeigte es sich, dass es am Messaufbau und der Testplatine liegen könnte, weil bei der Schaltung für den stückweise linearen Sinus mit anderen Ausgangsstufe ähnliche Instabilitäten vorkommen. Stufenförmiger Sinus mit 2-facher Überabtastung Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Abb. 6.8: 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.3 Messergebnisse für den stufenförmigen Sinus Funktionsverlauf und Spektren der stufenförmigen Sinus-Funktionen mit 64-facher Überabtastung (a, b, c, d) und 32-facher Überabtastung (e, f, g, h) bei verschiedenen Frequenzen. Alle Signale sind um dem Faktor 11 verstärkt. 119 120 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.3 Messergebnisse für den stufenförmigen Sinus Abb. 6.9: Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Funktionsverlauf und Spektren der stufenförmigen Sinus-Funktionen mit 16-facher Überabtastung (a, b, c, d) und 2-facher Überabtastung (Rechtecksverlauf) (e, f, g, h) bei verschiedenen Frequenzen. Alle Signale sind um dem Faktor 11 verstärkt. 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.3 Messergebnisse für den stufenförmigen Sinus Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Um einen Eindruck von der Qualität der Schaltung zu bekommen, wird in den folgenden vier Abbildungen die gemessene Nichtlinearität und die ideale Nichtlinearität über der Frequenz dargestellt. Die gemessene Nichtlinearität wird aus den Spektren ermittelt. Für jede Sinusfrequenz wird eine Sinus-Funktion und deren Spektrum aufgezeichnet. Die Amplituden der Oberwellen werden ermittelt, quadriert, addiert und in Relation zum Quadrat der Amplitude der Grundwelle gesetzt ([3-1] Gl.(F.6)). Daraus ergibt sich die THD für eine entsprechende Frequenz. Die Nichtlinearität THD wird über der Messfrequenz dargestellt (logarithmische Darstellung bezogen auf 1 kHz). Für die stufenförmigen Sinus-Funktionen mit 64facher Überabtastung in Abb. 6.10 liegt die THD bei etwa 1.7%. Die ideale THD liegt bei 2.53% (vgl. Tab. 5.2, Seite 83) und wird hier unterboten. Zu höheren Frequenzen übergehend, nimmt die THD durch Verrundungen der Stufen ab. Ein Minimum erreicht sie etwa bei 12 kHz mit 1%. Über drei Frequenzdekaden kann ein Stimulus-Signal erzeugt werden. Der Frequenzbereich der 64-fachen Überabtastung des stufenförmigen Sinus liegt um den Faktor 4 niedriger als bei der 16fachen Überabtastung der stückweise linearen Sinus-Funktion (vgl. Abb. 6.3, Seite 114), da die Oszillatorfrequenz durch 64 geteilt wird. Total Harmonic Distortion of Stepwise Sine with 64 Times Oversampling 3,00% 2,50% 2,00% THD Nichtlinearität TDH über der Frequenz 1,50% 1,00% 0,50% 0,00% -2 -1,5 -1 -0,5 0 0,5 1 1,5 2 frequency f in LOG(f/1kHz) Cmaster=64pF Cmaster=1pF THD ideal Abb. 6.10: Verlauf der Nichtlinearität THD bei stufenförmigem Sinus über der Messfrequenz (logarithmisch) bei 64-facher Überabtastung Bei der stufenförmigen Funktion mit 32-facher Überabtastung (Abb. 6.11) liegt die gemessene THD unterhalb der idealen THD von 5,6% (vgl. Tab. 5.2, Seite 83). Es können Sinus-Funktionen in drei Frequenzdekaden erzeugt werden. Im Bereich 121 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.3 Messergebnisse für den stufenförmigen Sinus Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen oberhalb von 10 kHz nimmt die Nichtlinearität aufgrund von Stufenverrundungen ab. Total Harmonic Distortion of Stepwise Sine with 32 Times Oversampling 7,00% 6,00% 5,00% 4,00% THD 3,00% 2,00% 1,00% 0,00% -2 -1 0 1 2 3 frequency f in LOG(f/1kHz) Cmaster=64pF Cmaster=1pF THD ideal Abb. 6.11: Verlauf der Nichtlinearität THD bei stufenförmigem Sinus über der Messfrequenz (logarithmisch) bei 32-facher Überabtastung Bei der stufenförmigen Funktion mit 16-facher Überabtastung (Abb. 6.12) wird die ideale Nichtlinearität von 11.3% (vgl. Tab. 5.2, Seite 83) leicht unterboten. Es kommt zu einem Minimum der THD bei etwa 90 kHz durch Verschleifung der Stufen. Danach steigt die THD stark an. Total Harmonic Distortion of Stepwise Sine with 16 Times Oversampling 25,00% 20,00% THD 122 15,00% 10,00% 5,00% 0,00% 0 1 2 3 frequency f in LOG(f/1kHz) Cmaster=1pF Cmaster=1pF THD ideal Abb. 6.12: Verlauf der Nichtlinearität THD bei stufenförmigem Sinus über der Messfrequenz (logarithmisch) bei 16-facher Überabtastung Die bei zweifacher Überabtastung (Abb. 6.13) entstehenden Rechtecksignale weisen eine Nichtlinearität im Bereich der erwarteten THD von 48% (vgl. Tab. 5.2, 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.4 Vergleich der Messergebnisse und Bewertung Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Seite 83) auf. Für hohe Frequenzen kommt es zur Verschleifung des Rechtecks und daher zur Verbesserungen der THD. Dies ist im Bereich über 100 kHz sichtbar. Total Harmonic Distortion of Stepwise Sine with 2 Times Oversampling (Rectangle) 60,00% 50,00% THD 40,00% 30,00% 20,00% 10,00% 0,00% 0 0,5 1 1,5 2 2,5 3 3,5 frequency f in LOG(f/1kHz) Cmaster=64pF Cmaster=1pF THD ideal Abb. 6.13: Verlauf der Nichtlinearität THD bei stufenförmigem Sinus über der Messfrequenz (logarithmisch) bei 2-facher Überabtastung Beachtenswert ist die Tatsache, dass, wenn man die Verläufe der THD der stufenförmigen Sinus-Funktionen aus Abb. 6.10, Abb. 6.11, Abb. 6.12 und Abb. 6.13 in einem Diagramm darstellt, die ansteigenden Verläufe der THD im oberen Frequenzbereich alle direkt aufeinander liegen. Dieser gemeinsame Anstieg charakterisiert die Nichtlinearität der analogen Ausgangstufe für hohe Frequenzen. 6.4 Vergleich der Messergebnisse und Bewertung In Kapitel 5.3 und 5.4 wurden zwei Sinusgeneratoren entworfen, charakterisiert und in Kapitel 6.2 und 6.3 vermessen: ein Generator für eine stückweise lineare Sinus-Funktion und ein Generator für eine stufenförmige Sinus-Funktion. Es folgt ein Vergleich und eine Zusammenstellung der Vorzüge und Nachteile der beiden Typen und eine Einordnung als Digital Kontrollierte Analoge Schaltung. Nichtlinearität Die Nichtlinearität wurde berechnet und gemessen für beide Varianten. Die Messung wurden für verschiedene Frequenzpunkte gemacht. Für höhere Frequenzbereiche wird durch Verschleifung der Signale die Nichtlinearität günstiger. Stückweise linearer Sinus Strom und Spannungsbereich Stufenförmiger Sinus theoretische Nichtlinearität 0.59% 2.7% durchschnittliche gemessene Nichtlinearität 1.6% @ 0.15 - 3 kHz 2.0% @ 3 - 20 kHz 1.8% @ 0.2 - 3.8 kHz 1.47% @ 3.8 - 35 kHz Der Stromverbrauch wurde simulationstechnisch ermittelt. Eine direkte Messung ist nur für den gesamten Analogteil möglich. Beide Varianten benutzen den gleichen Oszillator. Der frequenzabhängige Verbrauch des Oszillators wird nicht hinzugerechnet. Der Verbrauch des Digitalt eils w ird mit einer kurzen TransientenSimulation bestimmt. Die Stromwirkungsgrad wird berechnet aus dem Verhältnis von maximalem Ausgangsstrom zum Gesamtstromverbrauch der analogen und der digitalen Schaltungsteile. 123 124 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.4 Vergleich der Messergebnisse und Bewertung Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Der Stromwirkungsgrad η als Verhältnis von Ausgangsstrom zu insgesamt benötigtem Strom ist für den stufenförmigen Sinus deutlich günstiger als beim stückweise linearem Sinus. Der insgesamt benötigte Strom setzt sich aus zwei Anteilen zusammen, dem Strom im Analogteil I ANA und dem Strom im Digitalteil I DIG . I OUT η = ----------------------------I ANA + I DIG . Stromwirkungsgrad (6.1) Stromverbrauch und Stromwirkungsgrad sind in folgender Tabelle aufgeführt. Stückweise linearer Sinus Stufenförmiger Sinus Spannungsversorgung 2.3 V ... 3 V 2.0 V ... 3 V Stromverbrauch (analog) 62 µA 31 µA Stromverbrauch (digital) 0,27 µA @ 32kHz, 2.7V; typ 0,30 µA @ 32kHz, 2.7V; typ Ausgangsstrom an den Elektroden 25 µA 25 µA Stromwirkungsgrad 40 % 78 % Der Strombedarf beider Schaltungen ist sehr gering. Der Stromverbrauch von [137] beträgt 1.1 mA bei 25 MHz. Aus dem Layout werden die Flächen für die beiden Versionen bestimmt. Jede Schaltung besitzt einen Digitalteil und einen Analogteil, die gesondert aufgeführt werden. Beim Generator für den stückweise linearen Sinus hat der Analogteil eine größere Fläche als der Digitalteil. Beim Stufen-Sinus ist es genau umgekehrt. Fläche Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.4 Vergleich der Messergebnisse und Bewertung In Abb. 6.14 ist das Layout des Gesamt-Chips dargestellt, aufgeschlüsselt nach seinen Komponenten. Abb. 6.14: Aufnahme des Gesamtchips, aufgeschlüsselt nach seinen Komponenten In folgender Tabelle sind die Abmaße dargestellt. Stückweise linearer Sinus Fläche (analog) 0.2 mm2 (0.92x0.22) Stufenförmiger Sinus 0.10 mm2 (0,52x0,2) Stromgesteuerter Dreiecksgenerator 0.26 mm2 125 126 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.4 Vergleich der Messergebnisse und Bewertung Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Stückweise linearer Sinus Stufenförmiger Sinus Stromgesteuerter Dreiecksgenerator Fläche (digital) 0.16 mm2 (0.71x0,23) 0.27 mm2 (0.52x0.52) 0.02 mm2 Fläche (gesamt) 0.36 mm2 0.37 µm2 0.28 mm2 (0.7x0.4) Der Flächenbedarf dieses Sinusgenerators beträgt insgesamt nur etwa 0.64 mm 2 bei 0.8 µm CMOS, im Vergleich zu 1.6 mm 2 bei 0.5 µm CMOS [1-37]. Durch den exponentiellen Stromgenerator (0.05 - 12.57 µ A => 1:250) (Kap. 5.3.4), durch Umschalten der Ladekapazität (1pF, 8pF, 64pF => 1:64) (C m as ter, C slave , Abb. 5.16) und durch unterschiedlich wählbare Überabtast-Raten (2...16fache Überabtastung - stückweise linear => 1:8; 2...64-fache Überabtastung - stufenförmig =>1:32) kann ein großer Frequenzbereich realisiert werden. Theoretisch lässt sich damit ein Frequenzbereich von 1:120.000 erzeugen. In der Realität fällt dieser jedoch kleiner aus. Dies kommt daher, dass beim stromgesteuerten Dreiecksgenerator die Durchlaufzeit durch den Digitalteil einschließlich analoger Komp ara tor en ( Abb . 5.1 6, Se ite 10 0) ni cht bel iebi g s chnel l i st. E s kann mit d em stufenförmigen Sinusgenerator ein größerer Frequenzbereich abgedeckt werden als mit dem stückweise linearen Sinusgenerator. Der Digitalteil für den stufenförmigen Sinusgenerator hat eine größere Variationsmöglichkeit der Überabtastrate von 64 bis 2. Frequenzbereich Stückweise linearer Sinus Stufenförmiger Sinus Cslave = Cmaster = 64 pF bei maximaler Abtastrate (16 bzw. 64) Strom wird variiert 96 Hz - 20 kHz 24 Hz - 5 kHz => 1 : 208 => 1 : 208 Cslave = Cmaster = 1 pF bei maximaler Abtastrate (16 bzw. 64) Strom wird variiert 2.23 kHz - 226 kHz 0.55 kHz - 56.2 kHz => 1 : 101 => 1 : 102 Cslave = Cmaster = 1 pF maximaler Abtastrate (2-fach) Strom wird variiert 8.9 kHz - 912 kHz 8.8 kHz - 917 kHz => 1 : 102 => 1 : 104 Gesamter abgedeckter Frequenzbereich 96 Hz - 912 kHz 24 Hz - 912 kHz => 1 : 9500 => 1 : 38000 Die Komplexität wird hier für die Digitalteile und die Analogteile betrachtet. Mit der Komplexität verhält es sich genau entgegengesetzt. Der Digitalteil beim stufenförmigen Sinus ist komplexer als beim stückweise linearen Sinus, während es beim Analogteil umgekehrt ist. Insbesondere die unterschiedliche Anzahl der Differenzstufen zeigt die größere Komplexität beim stückweise linearen Sinus (vgl. Abb. 5.12, Seite 93). Die Robustheit bezieht sich auf Design-Sicherheit und auf Unempfindlichkeit gegenüber Herstellungsprozessschwankungen. Stückweise linearer Sinus Frequenzberereich Stufenförmiger Sinus Digitalteil Anzahl der Zustände der Zustandsmaschine im Digitalteil 16+5 64 Anzahl der Transitionen in den Zustandsmaschinen 16+8 64+32+16+4 Komplexität Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 6 Analyse der stückweise linearen und stufenförmigen Sinus-Funktion 6.4 Vergleich der Messergebnisse und Bewertung Stückweise linearer Sinus Anzahl der Gatter Stufenförmiger Sinus 70 200 10 2 Anzahl der Bauelemente: NMOS-Transistoren PMOS-Transistoren Kapazitäten 545 174 0 70 350 0 Anzahl der Ausgangstransistoren 4 16 Robustheit gut sehr gut Analogteil Anzahl der Differenzstufen im Analogteil Entwicklungsaufwand Der Entwicklungsaufwand wäre am besten in Mann-Monaten auszudrücken. Dies scheint nachträglich etwas schwierig. Man kann natürlich die Zeit kalkulieren die bei der Entwicklung angefallen ist. Dies ist allerdings nicht ganz aussagekräftig, weil beim Schaltungsdesign Studenten unterschiedlichen Ausbildungsstandes mitgewirkt haben und es deutlich mehr Aufwand war, ein Konzept für den stückweisen linearen Sinus zu entwickeln als für den stufenförmigen Sinus. Daher soll der Entwicklungsaufwand in Mannmonaten (MM) für Mixed-Signal-Schaltungsdesigner angegeben werden, die dieses Schaltungskonzept in eine andere Technologie umsetzen wollen. Stückweise linearer Sinus Entwicklungsaufwand Resultat der Implementierung 2 MM Stufenförmiger Sinus 1 MM Abschließend kann festgestellt werden, dass die technischen Eigenschaften zwischen den Generatoren der stückweise linearen und der stufenförmigen SinusFunktion nicht sehr unterschiedlich sind. Der theoretische Vorteil in der geringeren Nicht linearität der st ufenweise linearen Sinus-Funkti on konnte nicht w irklich erreicht werden. Beide Schaltungsvarianten sind zum Messen der Gewebeimpedanz geeignet. Beide können Sinussignale mit geringer Nichtlinearität in einem weiten Frequenzbereich verwirklichen, wodurch keine frequenzverstellbaren Filter vonnöten sind. Der Vorteil von nur vier Ausgangstransistoren bei der stückweise linearen SinusFunktion wird durch den erhöhten Entwicklungsaufwand und Schaltungsauswand für die Signalerzeugung der Dreiecksfunktionen (Kap. 5.3.3) wieder aufgehoben. Ebenso schränkt die höhere Komplexität im Analogteil die Anwendung für sehr niedrige Versorgungsspannungen ein. Es ergibt sich ein Vorteil beim stufenförmigen Sinus, da dort mehr Funktionalität in den Digitalteil gelegt wurde. Zwar wird der Sinus in 16 Ausgangstransistoren kodiert und der Digitalteil ist komplizierter, jedoch ist der restliche Analogteil (nur Stromspiegel und ein Oszillator) viel sehr viel einfacher und macht keine Schwierigkeiten bei sehr niedrigen Versorgungsspannungen. Der Generator der stufenförmigen Sinus-Funktion ist schneller realisiert. 127 128 7 Zusammenfassung und Ausblick Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 7 Zusammenfassung und Ausblick In dieser Arbeit wird die Schaltungsklasse der Digital Kontrollierten Analogen Schaltungen als Untergruppe von Mixed-Signal-Schaltungen eingeführt. Mit dieser Schaltungsklasse konnte das gesetzte Ziel erreicht werden, eine analoge Schaltung zur telemetrischen Messung von Gewebeimpedanzen mit niedrigem Energieverbrauch und geringer Stromversorgung bei großen Messbereichen zu entwerfen. Dies konnte erfolgreich an zwei Schaltungen zur Erzeugung einer stückweise linearen bzw. stufenförmigen Sinus-Funktion gezeigt werden. Die Schaltungen, entwickelt in einem 0.8 µm CMOS Prozess mit einer Schwellspannung V TH =0.75 V, arbeiten von 2.3 V bzw. 2.0 V bis 3.0 V. Sie können durch digitales Umschalten von Kapazitäten und durch Verändern der Abtastraten der SinusFunktionen Frequenzen von 100 Hz bzw. 20 Hz bis 1 MHz erzeugen. Der messbare Widerstand beträgt 10 Ω bis 20 kΩ. Der Flächenbedarf ist gering mit 0.64 mm 2 . Die Entwicklungszeit ist gering, insbesondere für den stufenförmigen Sinus beträgt sie etwa einen Monat. Die Nichtlinearitäten der Sinus-Funktionen sind vergleichbar und erreichen bei Frequenzen bis 20 kHz etwa nur 1.8%. Der Stromwirkungsgrad ist bei der stufenförmigen Sinus-Funktion sehr hoch und beträgt 78% (Kap. 6.4). Der Stromverbrauch beträgt 31 µA für die stufenförmige Sinus-Funktion. Ingesamt benötigt der gesamte Analogteil des Telemetrie-Chips 93 µA @ f=1 kHz und 250 µA @ f=900 kHz. Die Eckwerte für den Sinus-Generator aus [1-37] (0.5 µm CMOS, VDD=3.3 V, f=20 Hz - 30 kHz, A=1.6 mm 2 , I=1.2 mA, THD=0.2%) konnten, bis auf die Nichtlinearität übertroffen werden. Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen sind geeignet, selbstständige Abläufe von Messungen zu steuern, wie dies insbesondere bei telemetrischen Schaltung nötig ist. Der Digitalteil greift hierbei in die Kernbereiche der analogen Schaltung ein. Digitalteil und Analogteil sind speziell für einander entwickelt worden und die Funktion ist nur gemeinsam denkbar. Die Messung der Gewebeimpedanz transplantierter Nieren kann damit erstmals in vivo erfolgen. Nach Aufnahme der Kommunikation und einer Initialisierung kann die Messung autark vom implantierten Chip vorgenommen werden. Das Ziel, eine selbstständige Telemetrieeinheit zu bauen, konnte erfüllt werden. Prozessspezifische Einschränkungen analoger Schaltungen können aufgehoben werden. So wurde mit der multifunktionalen Sample&Hold-Stufe (Abb. 2.9, Seite 22) als Digital Kontrollierte Analoge Schaltung die Möglichkeit aufgezeigt, die Offsetspannung eines Operationsverstärkers automatisch zu kompensieren. Alle notwendigen Grundlagen für den Entwurf von Digital Kontrollierten Analogen Schaltungen als Untergruppe von Mixed-Signal-Schaltungen werden gelegt und systematisiert, wie es in Abb. 7.1 dargestellt ist. Es wird dargelegt, weshalb an der digital-analogen Schnittstelle digitale Steuerwerke keine internen Rückkopplungen und keine asynchrone Ausgangslogik aufweisen dürfen (Kap. 3.2). Geschaltete Grössen Strom, Spannung, Widerstände, Kapazitäten und Operationsverstärker werden identifiziert (Kap. 2). Statische und dynamische Schalter werden vorgestellt und in ihren Anforderungen unterschieden. Bei dynamischen Schaltern muss Wert darauf gelegt werden, dass Ladungsinjektion und Taktdurchgriff sehr klein bleiben. Die Definition und ein Bewertungskriterium für Ladungsinjektion und Taktdurchgriff werden gegeben und verschiedene dynamische Schalter vorgestellt. Am besten geeignet für dynamische Schalter ist bei vertretbarem Aufwand der CMOS-Schalter (Transmission Gate) mit „Delay“-Inverter zur Angleichung von Takt und Nicht-Takt, mit Dummy-Transistoren zur Ladungskompensation und mit gleich großem PMOS- wie NMOS-Transistor (Kap. 3.4, Abb. 3.26).MOS-Transistoren werden in ihren Schaltereigenschaften (Rauschen, Leitwert, Leckstrom, Kapazitäten) für CMOS-Technologien 0.8 µm, 0.6 µm, 0.35 µm, 0.25 µm und 0.12 µm untersucht. 7 Zusammenfassung und Ausblick Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Im wesentlichen sind die Schaltereigenschaften für verschiedene Technologien nicht sehr unterschiedlich (Kap. 3.3.2). Mixed Signal Schaltung Schaltungen mit A/D - Umsetzer D/A - Umsetzer Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Einflussnahme über (einzelne) Schalter Digital - Analoge Schnittstelle Geschaltete Grössen: I, V, R, C, OP Statische Schalter Dynamische Schalter Ladungsinjektion + Taktdurchgriff Rauschen Abb. 7.1: Leckstrom Leitwert Kapazitäten Systematik der Digital Kontrollierten Analogen Schaltungen Um die Nichtlinearität der Sinusgeneratoren bewerten zu können, wird die ideale Nichtlinearität für den stückweise linearen Sinus und den stufenförmigen Sinus für verschiedene Abtastraten angegeben (Kap. 5.2). Matching ohne Einheitstransistoren zwischen 0.5 % und 1 % wird vorgestellt und untersucht. Damit werden Stromspiegel zur Kodierung des Verlaufs der SinusFunktion realisiert. Entwurfsregeln für Stromspiegel mit Matching ohne Einheitstransistoren werden vorgestellt (Kap. 5.1). Beim Entwurf des Generators für die stückweise lineare Sinus-Funktion sind zwei sehr interessante Schaltungen entworfen worden. Erstens wird eine Gleichtaktregelung für differentielle Operationsverstärker oder Transconductance-Verstärker (OTA) entwickelt. Diese arbeitet sehr stromsparend, da zum Regeln der Gleichtaktspannung die gemeinsame Source-Spannung der folgenden Differenzeingangsstufe des nächsten Operationsverstärkers verwendet wird und nicht eigens eine Mittelwertspannung gebildet werden muss. Die Regelung lässt sich für alle differentiellen Schaltungen einsetzen (Kap. 5.3.2, Abb. 5.15). Zweitens wird mit der gleichen Schaltung eine Nichtlinearitätskontroll-Schaltung vorgestellt, die für OTAs prozessunabhängig Grenzspannungen liefert. Bleibt die Aussteuerung innerhalb der Grenzspannungen, so ist garantiert, dass eine bestimmte Nichtlinearität des OTA nicht überschritten wird. Die gewünschten Grenzspannungen bzw. die gewünschte Nichtlinearität lassen sich durch Stromspiegelverhältnisse einstellen (Kap. 5.3.2, Seite 97). Hiermit kann die Ungewissheit in der erlaubten Aussteuerung wie in [128] überwunden werden. Probleme Die ideale Nichtlinearität (THD) des stückweise linearen Sinus von 0.59 % bei einer 16-fachen Überabtastung konnte nicht erreicht werden. Die realisierte THD beträgt nur 1.6 % (Abb. 6.4, Seite 115). Damit wird die Schaltung den Erwartungen nicht gerecht. Es werden nur vier Transistoren in der Ausgangsstufe zur Kodierung der Sinus-Funktion benötigt, jedoch ist die restliche analoge Schaltung zur Erzeugung der stückweise linearen Verläufe relativ komplex und aufwändig in der Entwicklung. Beim Generator für den stufenförmigen Sinus mit seinen 16 Ausgangstransistoren ist der restliche Analogteil sehr einfach. Beide Generatoren haben Schwierigkeiten für hohe Frequenzen die gewünschte Nichtlinearität zu erreichen. Dies ist allerdings nicht so schwerwiegend, weil die 129 130 7 Zusammenfassung und Ausblick Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen auftretenden hochfrequenten Mischprodukte beim Messen der Gewebeimpedanz leichter weggefiltert werden können, als dies für niedrige Messfrequenzen möglich ist. Die Entwicklung des Chips war Teil eines größeren Projektes verschiedener Institutionen (Kap. 11). Leider ließen die räumliche Trennung der Institutionen, die unzureichende Koordination, geringe Beiträge anderer Projektteilnehmer und der bedauerliche tödliche Flugzeugabsturz des Geschäftsführers der Firma Biotronik Herrn Rexhausen, der das Projekt initiiert hatte, nicht zu, das Endprodukt einer Patientenstation zur Fernüberwachung der Abstoßungsreaktion transplantierter Nieren zu realisieren. Eine straffe Projektleitung bei solchen ehrgeizigen, stark verteilten und umfangreichen Projekte ist sehr wichtig, jedoch schwierig zu realisieren. Diese Arbeit liefert einen Beitrag, die Kluft zwischen der analogen und der digitalen Schaltungswelt zu verringern. Die Veröffentlichungen in Kapitel 1.2 behandeln Schaltungen, die größtenteils entweder aus digitalen oder analogen Komponenten bestehen. Durch die Einführung Digital Kontrollierter Analoger Schaltungen können digitale und analoge Schaltungen entworfen werden, die eng miteinander verknüpft sind und dadurch besondere Lösungen möglich machen. So konnten damit u. a. Sinusgeneratoren, eine multifunktionale Sample&Hold-Stufe und digitale Kontrollschaltungen für den Messablauf in einem implantierbaren Chip entworfen werden. Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen erweitern die Welt der Mikroelektronik und schaffen vielfältige Möglichkeiten für neue Schaltungskonzepte. Einordnung der Arbeit Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 8 Literaturverzeichnis 8 Literaturverzeichnis Diese Arbeit findet man im Internet unter: http://mikro.ee.tu-berlin.de/ 1 Einleitung [1-1] Fiez T. S., Liang G., Allstot D. J., „Switched-Current Circuit Design Issues“, IEEE Journal of Solid State Circuits, vol. 26, no. 3, pp. 192-202, March, (1991) [1-2] Lin M.-Y., Kim B., Gray P. R.,“A 13-b 2.5 MHz Self-Calibrated Pipelined A/ D Converter in 3 µm CMOS“, IEEE Journal of Solid State Circuits, vol. 26, no. 4, pp. 628-636, April, (1991) [1-3] van der Zwan E. J., Klumperink A. M., Seevinck E., „IEEE Journal of Solid State Circuits“, vol. 26, no. 11, pp. 1720-1723, November, (1991) [1-4] Malcovati P., Leme C. 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[A-1] [A-2] [A-3] Schachuhr: Digitale Schachuhr Technologie: Designgröße: Komplexität: Tapeout: Designer: 5 µm CMOS Gate Array UMI UA4 5085 µm × 4455 µm = 22.7mm2 2.676 Transistoren (digital) 20.01.1991 Rüdiger Arnold, Lukas Bauer, Matthias Braun, Christian Piesnack ECL-Teiler: Frequenzteiler in ECL-Technik Technologie: Designgröße: Komplexität: Tapeout: Designer: Bipolar Array AEG B1000 5080 µm × 4320 µm = 22.0mm2 193 Transistoren (digital) 30.07.1991 Rüdiger Arnold, Lukas Bauer, Matthias Braun, Thuyen Le, Christian Piesnack TV-Chip: Single-Chip-Farbfernseher Technologie: Designgröße: Komplexität: 1.2 µm BiCMOS Samsung 5460 µm × 5300 µm = 28.9mm2 21.836 Transistoren+R+C (gesamt), davon 9.602 T digital, 12.234 T+R+C analog 24.06.1993 Rüdiger Arnold, Lukas Bauer (PLL-Audio-Demodulator), Hr. Janelli, Thomas Lorenz (Projektleiter), Martin Rose, Markus Schirmer, Stefan Wahl, Jens Werner Tapeout: Designer: [A-4] [A-5] Parity: Ultraschneller Parity Generator für Speichermodule Technologie: Designgröße: Komplexität: Tapeout: Designer: 0.8 µm CMOS 2m1p AMS CYB 1185 µm × 840 µm = 1.0 mm2 2.106 Transistoren (digital, überwiegend full custom) 01.09.1994 Rüdiger Arnold, Lukas Bauer (Projektleiter) ATMO: Transceiver Schaltung für ATM 33MBit/s (Phy) Technologie: Designgröße: Komplexität: 0.5 µm CMOS 3m1p Siemens C6NH-2 (shrink faktor 0.18) 4580 µm x 1380 µm = 6.3 mm2 (ohne Pads) Test-Chip für Analogteil; 100 MHz 6-Bit-Flash-ADC, 2 PLLs, 100 MHz 7-Bit-DAC, Leitungstreiber, tunebares gmC-Filter 01.11.1995 Rüdiger Arnold, Jörg Gleber (Projekt-Leiter), Andreas Rackow Tapeout: Designer: [A-6] [A-7] MIRI: Analoges Netzspannungs-Stabilisierungsgerät Technologie: Designgröße: Komplexität: Tapeout: Designer: 1.2 µm CMOS 50V 2m1p AMS CBZ 4615 µm × 4560 µm = 21.0 mm2 5.355 Transistoren (analog) 16.01.1998 Rüdiger Arnold, Lukas Bauer (beide Projektleiter), Hans Burgdorf, Marco Liem, Marius Tegethoff GETEMED: Chip zur Überwachung des plötzlichen Kindstods mit Kontrolle der drei Herzableitungen und der Atmung Technologie: Designgröße: 0.8 µm CMOS 2m2p AMS CYE 5985 µm x 4430 µm = 26.5 mm2 139 140 9 ASIC-Verzeichnis Komplexität: Tapeout: Designer: [A-8] 15kGatter Digitales Filter, 14 OPs zur Analogen Signalverstärkung, 768 Byte RAM, 10-Bit ADC 03.08.1998 Rüdiger Arnold (Projektleiter), Xiang Long Yin, Nour Eddine Bouguechal (Algerien), Lukas Bauer, Christian Feucht, Jens Voelkl HiS924A: Universelles Chipkarten-Interface mit Schaltnetzteil Technologie: Designgröße: Komplexität: 0.8 µm 2m2p AMS CYE 3215 µm × 4055 µm = 13.0mm2 47262 Transistoren+R+C (gesamt), davon 43444 T digital, 3303 T+R+C analog, 6 Bit ZPROM 24.12.1998 Christian Feucht, Lukas Bauer (Digitalteil), Rüdiger Arnold (Projektleiter) Tapeout: Designer: [A-9] Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen HiS924A1: Universelles Chipkarten-Interface mit Schaltnetzteil (Technologie Umsetzung) Technologie: Designgröße: Komplexität: 0.6 µm 2m2p XFAB 3215 µm × 2640 µm = 8.5mm2 47262 Transistoren+R+C (gesamt), davon 43444 T digital, 3303 T+R+C analog, 6 Bit ZPROM 24.12.1998 Rüdiger Arnold (Design-Flow), Lukas Bauer, Christian Feucht, Olaf Hänisch, Roman Koczy, Subjianto, Jens Völkl (Projektleiter), Xiang Long Yin (Digitalteil) Tapeout: Designer: [A-10] Smart Sensor: Sensor-Controller mit Linearisierung und Temperaturkompensation Technologie: Designgröße: Komplexität: Tapeout: Designer: [A-11] TELEMED: Technologie: Designgröße: Komplexität: Tapeout: Designer: 0.8 µm 2m2p AMS CYE 4550 µm × 3315 µm = 15.1 mm2 61188 Transistoren+R+C (gesamt), davon 27500 T digital, 33688 T+R+C analog, 368 Bit ZPROM 24.12.1998 Jens Völkl (Projektleiter), Rüdiger Arnold, Lukas Bauer, Thilo Mohr, Alfred Probst Chip zur telemetrischen Messung des Organwiderstandes transplantierter Nieren zur Kontrolle der Abstoßungsreaktion 0.8 µm 2m2p AMS CYE 3255 µm x 3185 µm = 10.4 mm2 6.5kGatter Digitales Kontrolleinheit, Mixed-Signal Sinusgeneratoren, 8-Bit-DAC, Elektrodenmulitplexer, Zener-PROM, Sample&HoldStufe 04.02.2000 Rüdiger Arnold (Projektleiter), Subjianto, Olaf Haenisch, Andreas Wiener, Nour Eddine Bouguechal (Algerien), Xiang Long Yin, Bernd Schwarz, Triton [A-12] PAROLI: 12 Kanal à 3 GBit/s Receiver für Glasfaserübertragung (Phy) Technologie: Designgröße: Komplexität: 0.5 µm Bipolar 4m1p Infineon B7HF 4470 µm x 2650 µm = 11.8 mm2 12 parallele Kanäle, Verstärker und Stromversorung für LEDSignale mit Gleichstromkompensation, 50Ω Leitungstreiber 07.07.2000 Jaafar Mejri (Schaltungsentwurf), Roman Koczy, Olaf Haenisch, Rüdiger Arnold (Projektleiter) Tapeout: Designer: [A-13] PHOTON: Technologie: Designgröße: Komplexität: Tapeout: 1.2 GHz Photon Zähler mit zeitlicher Histogrammerstellung 0.25 µm CMOS 5m1p TSMC 5040 µm x 5900 µm = 29.7 mm2 digitale Kontroll-Logik mit vier RAM Blöcken zusammen 128k Byte 24.11.2000 9 ASIC-Verzeichnis Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen Designer: [A-14] UNIPHY Technologie: Designgröße: Komplexität: Tapeout: Designer: [A-15] RNG Technologie: Designgröße: Komplexität: Tapeout: Designer: [A-16] TESLA XL Technologie: Designgröße: Komplexität: Tapeout: Designer: [A-17] HELENE: Technologie: Designgröße: Komplexität: Tapeout: Designer: Bertram Krüger, Sascha Hegwein, Florian Golz, Rüdiger Arnold (Projektleiter), Helmut Hickl 3 GBit/s Ethernet Transceiver 0.13 µm CMOS 6m1p Infineon CMOS8SF µm × µm = mm 2 Precscaler und 2 PLL, Mixed-Signal 01.05.2001 Carsten Leitner, Stephan Dittrich, Christoph Drews, Rüdiger Arnold (Projektleiter für Teilmodul Prescaler) Zufallszahlengenerator auf der Basis einer mit Switched-Current realisierten rekursiven Formel 0.8 µm 2m2p AMS CYE 1180 µm × 1460 µm = 1.7 mm2 900 Transistoren 30.07.2001 Felix Werth, Norman Wulf, Nour Eddine Bougechal, Roman Koczy, Rüdiger Arnold (Projektleiter) LC-Oszillator mit integrierterter Spule 0.8 µm 2m2p AMS CYE 1510 µm × 1560 µm = 2.4 mm2 2000 Transistoren, 900 MHz Oszillator 30.07.2001 Carsten Leitner, Stephan Dittrich, Sebastian Nitschke, Rüdiger Arnold (Projektleiter) Chip zur telemetrischen Messung von Kräften, Momenten und Temperaturen innerhalb von transplantieren Gelenksprothesen 0.8 µm BiCMOS 2m2p AMS BYQ 1995 µm x 2365 µm = 4.7 mm2 durch Zener-PROM trimmbare Widerstände auf Basis von MOSTransistoren im Triodenbereich, 2739 PMOS-Transistoren., 2303 NMOS-Transistoren, 80 Poly-Widerstände 30.11.2001 Florian Golz, Sebastian Nitschke, Mounir Djouimaa, Zitouni Messai, Rüdiger Arnold (Projektleiter), Fred Graichen 141 142 10 Lebenslauf Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 10 Lebenslauf Name: Rüdiger Arnold Geburtstag: 26. Januar 1969 Geburtsort: Berlin (Deutschland) Vater: Hans-Joachim Arnold (Richter) Mutter: Annelies Arnold (Lehrerin) Geschwister: zwei Brüder, zwei Schwestern Grundschule: Gustav-Dreyer-Grundschule in Berlin-Hermsdorf August 1975 - Juli 1981 Gymnasium: Georg-Herwegh-Oberschule in Berlin-Hermsdorf August 1981 - July 1988 Abitur (sehr gut) Leistungskurse: Physik, Mathematik Universität: ab 1988 Ingenieursstudium für Elektrotechnik an der Technischen Universität Berlin Januar 1990 Vordiplom (sehr gut) Dezember 1994 Diplom (sehr gut) 1996-1998 Studium der Medizin an der Medizinischen Hochschule in Hannover - Physikum (gut) Stipendium: Studienstiftung des Deutschen Volkes Berufstätigkeit: 1. Tutor in Mathematik für Elektrotechnikher an der TU Berlin von April 1991 bis April 1992 2. Tutor in Regelungstechnik von Juni 1992 bis Oktober 1994 3. Design-Ingenieur bei der SICAN GmbH in Hannover von November 1994 bis November 1997 4. Wissenschaftlicher Assistent am Institut für Mikroelektronik an der TU Berlin mit Promotionsabsicht in einem Fors c h u n g s p r o j e k t f ü r Te l e m e t r i s c h e E r f a s s u n g v o n Bioimpedanz-Signalen seit Dezember 1997 Veröffentlichungen: An folgenden Veröffentlichungen zum Thema der Dissertation aus dem Literaturverzeichnis hat der Author mitgewirkt : [2-4] Diplomarbeit, ASIC [3-1] Anmerkungen zur Dissertation [3-33] Diplomarbeit, ASIC [5-6] Workshop Biosignalverarbeitung, München [5-7] IPEM Edinburgh [5-9] IEEE Mixed-Signal Workshop, Dallas 2001, Best Poster Award [5-10] Diplomarbeit ASIC [5-11] Diplomarbeit ASIC Berlin, Dezember 2001 Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 11 Danksagung 11 Danksagung Die vorliegende Arbeit entstand in den Jahren 1998-2001 während meiner Tätigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Mikroelektronik der Technischen Universität Berlin. Die Entwicklung des Chips wurde unterstützt durch das Programm der Stadt Berlin „Informations- und Kommunikations-Technologie“ und war eingebettet in die Kooperation verschiedener Institute und Firmen: TU Berlin Institut für Mikroelektronik; TU-Berlin Institut für Elektronik; Humboldt-Universität Labor für Biofluidmechanik; Fraunhofer-Institut für Reliabilität und Mikrointegration; Biotronik GmbH, Berlin. Ziel war es, eine implantierbare Einheit zu entwickeln, mit der zum ersten Mal die Messung vom elektrischen Gewebewiderstand in vivo möglich ist. Die Einheit besitzt als eine Komponente den Chip. Meinem Doktorvater Herrn Prof. Dr. rer. nat. Otto Manck danke ich für die wissenschaftliche Betreuung, die Diskussion beim Erarbeiten eine Gliederung, Unterstützung während der Durchführung der Arbeit und für die Antragstellung des Drittmittelprojektes. Herrn Prof. Dr.-Ing. Hans-Ulrich Post danke ich für sein Interesse an der Arbeit, das Erstellen des Zweit-Gutachtens und für die Hinweise zum prinzipiellen Aufbau einer Doktorarbeit. Herrn Prof. Dr.Ing. Dieter Filbert danke ich für die Übernahme des Prüfungsvorsitzes. Herrn Prof. Dr.-Ing. Heinrich Klar danke ich für die Hilfestellungen bei Literatursuche beim MOS-Schaltungsdesign. Allen Kollegen, Mitarbeitern und Studenten des Instituts für Mikroelektronik danke ich für ihre Hilfe und Diskussionen. Olaf Hänisch, Subjianto, Xiang Long Yin, Andreas Wiener und Prof. Bouguechal von der Universität Batna in Algerien danke ich für die Mitwirkung bei der Chip-Entwicklung. Uwe Voss, Werner Eschenberg und Winfried Naumann danke ich dafür, die Infrastruktur an Rechnern, die Software und den Tester am Laufen gehalten zu haben. Meinem langjährigen Studienfreund Lukas Bauer danke ich für Tips und Tricks zur Erstellung der Promotion und freue mich, daß er seine Promotion zwei Monate vor mir eingereicht hat. Hartmut Schäfer vom Institut für Elektronik und Herrn Thomas Reichel von der Biotronik danke ich für die erfreuliche Zusammenarbeit. Julia von Hasselbach und Mickael Guihard danke ich für das Zuhören beim Probevortrag, Katharina Breitkreuz, meinem Bruder Ingmar und meinem Vater für orthographische und stilistische Verbesserungen. 143 144 12 Abkürzungen Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 12 Abkürzungen ’.’ Punkt in Zahlen mit der englischen Bedeutung Komma, anstelle des deutschen Kommas in Zahlen ’,’ α Winkel von 0° bis 360° als Argument der Sinus-Funktion αN Winkelwert am Beginn des n.-ten Abschnitts einer Sinus-Funktion β, β P , β N Stromkennwert der MOS-Transistoren (Einheit A / V 2 ), für PMOS- und NMOS-Transistoren ϕ 0 , ϕ 1 , ϕ 2 , ... ∆Ι Phasenlagen der Oberwellen der Fourier-Reihe ∆V ∆V CFT Spannungsdifferenz zwischen V P und V N Spannungsdifferenz bei Taktdurchgriff (clock feed through) ∆V INJ Spannungsdifferenz bei Ladungsinjektion ∆W sub Unterschied zwischen effektiver und gezeichneter Weite eines Transistors φ1, φ2 nichtüberlappende digitale Schaltsignale für z. B. Switched- Capacitor-Schaltungen, φ1 ist in der ersten Phase aktiv, φ2 in der zweiten Phase 1/λ Kanallängenmodulationsfaktor beschreibt die Veränderung des Drain-Stromes in Abhängigkeit von der Drain-Source-Spannung π 3.14159265..., Kreiszahl Stromdifferenz zwischen I P und I N ρ spezifischer Widerstand in Ωcm σ ∆β/β Standardabweichung der Stromverstärkung σ ∆ID/ID Standardabweichung des Drainstromes σ ∆Iout/Iout Standardabweichung des Ausgangsstrom eines Stromspiegels σ ∆VTH Standardabweichung der Schwellspannung Σ∆ Sigma Delta z. B. bei Σ∆−Modulatoren τ Abklingzeitkonstante eines RC-Tiefpasses ω Kreisfrequenz 2π f [A-12] Referenz auf einen Chip im ASIC-Verzeichnis a Signal auf Seite A eines Schalter a 0 , a 1 , a 2 , ..., a n Cosinus-Koeffizienten der Fourier-Reihe A a) Fläche eines Rechtecks, b) Amplitude einer Sinusschwingung A1, A2, ... Fläche eines Rechtecks Nr. 1 und Nr. 2 (area) A2D Umsetzer von analogen Signalen nach digitalen bei Mixed-Signal-Simulationen AA i Anzahl der Einheitstransistoren, die im Eingangstransistor TAA für die i.-te Sektion enthalten sind AB i Anzahl der Einheitstransistoren, die im Offset-Transistor TAB für die i.-te Sektion enthalten sind Abb. Abbildung abs Funktion des absoluten Betrags AC Wechselanteil ein einem Signal (alternating current) acos Arcus-Cosinus-Funktion (Umkehrfunktion) A/D-Umsetzer Umsetzer von Analog nach Digital ADC Analog to Digital Converter ADRDAT Adress-Daten A IIP3 fiktive Sinus-Eingangsamplitude an einer Schaltung, ab der beim Ausgangssignal die dritte harmonische Oberwelle so groß ist, wie die Amplitude der Grundwelle. Ein Maß für Nichtlinearität. an_... Steuerleitung vom Digitalteil in den Analogteil Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 12 Abkürzungen ASIC Application Specific Integrated Circuit asin Arcus-Sinus-Funktion (Umkehrfunktion) b Signal auf der Seite B eines Schalter b 0 , b 1 , b 2 , ..., b n B 1/4 , B 3/4 Sinus-Koeffizienten der Fourier-Reihe Big-PMOS Bezeichnung für ein Transmission-Gate, wo der PMOS-Transistor zum Zwecke der Leitwertsanpassung an den NMOS-Transistor eine entsprechend größere Weite besitzt. Treiber (buffer) für die Grenzspannungen V 1/4 bzw. V 3/4 BSIM3v3 MOS-Transistor-Modell der Version 3.3 für Subtresholdbereiche bzw. beziehungsweise c Schaltsignal eines Schalter C Kapazität c: Bedingung (condition) beim Übergang von einem Zustand zum anderen in einer Zustandsmaschine c 0 , c 1 , c 2 , ..., c n c1:, c2:, c3:, ... Amplituden der Oberwellen der Fourier-Reihe CB Kapazität die als Batterie dient Übergangsbedingungen mit Priorisierung (condition) C COMP Kompensationskapazität Cd Verarmungskapazität vom Kanal zum Bulk (depletion) C DB Drain Bulk Kapazität CF Rückkoppelkapazität (feedback capacitor) C GB Gate-Bulk-Kapazität (substrat) C GD Gate-Drain-Kapazität C GDch Gate-Drain-Kanalkapazität (channel) C GDov Gate-Drain-Überlappkapazität (overlap) C GM Gate-Memory Kapazität C GS Gate-Source-Kapazität C GSch Gate-Source-Kanalkapazität (channel) C GSov Gate-Source-Überlappkapazität (overlap) CJ flächenspezifische Sperrschichtkapazität (junction) C JSW umfangsspezifische Sperrschichtkapazität (side wall) CML Current Mode Logic, Logik mit MOS-Transistoren in denen die Stromaufnahme keine Schaltspitzen aufweist CN Abtastkapazität auf negativer Seite C Nenn Nennwert einer Kapazität comp Vergleicher (comparator) cos Cosinus-Funktion C OS1 , C OS2 C OX Kapazitäten für Offset-Kompensation 1. und 2. Ordnung C OV weitenspezifische Überlappungskapazität von Gate mit Source oder Drain CP Abtastkapazität auf positiver Seite C PN pn-Sperrschichtkapazität flächenspezifische Gate-Oxid-Kapazität zum Kanal C PS Poly-Substrat-Kapazität clk Taktsignal, Clock CMOS-Logic complementary metal-oxide semiconductor logic CPU Hauptrecheneinheit (central processing unit) CS eine geschaltete Kapazität C SB Source Bulk Kapazität 145 146 12 Abkürzungen Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen d0, d1, d2, d3, ... digitale binäre gewichtete Schaltsignale D2A Umsetzer von digitalen Signalen nach analogen für Mixed-Signal-Simulationen dB Dezibel dBc dB unterhalb des Trägersignals (below carrier) DC Gleichanteil in einem Signal (direct current) D/A-Umsetzer Umsetzer von Digital nach Analog DAC Digital to Analog Converter D-Flipflop Data Flipflop d. h. das heißt dP Dotierungskonzentration der P Atome im Halbleiter DRAM Dynamic Random Access Memory du Dummy-Schalter e 2.7182818284..., Basis der natürlichen Exponentialfunktion e x E0, E1, E2, E3 Elektroden E0 bis E3 E CFT Fehler bei Taktdurchgriff (error clock feed through)) E CFTHRin Fehler bei Taktdurchgriff, wenn die Seite A eines Schalters über einen hochohmigen Widerstand R IN getrieben wird ECL Emitter Coupled Logik, Bipolar Logik-Schaltungen mit Bipolar Transistoren E EQ Spannungsfehler (error) beim Ladungsausgleich nach Schließen eines Schalters E INJ Fehler bei Ladungsinjektion (error) EKV-Modell Enz-Krummenacher-Vittoz Modell für MOS Transistoren en_shcnt Enable für Zähler (counter) in S&H-Stufe ESCL Advanced Source Coupled Logic ESD elektrostatische Entladung (electrostatic discharge) evtl. eventuell f a) Frequenz in Hz (frequency); b) f Funktion z. B. f(x) f Λ (x,x0,x1,y0,y1) Trapezimpulsfunktion durch die Punkte (x0,y0) und (x1,y1) f Π (x, weite, mitte) Rechteckimpuls mit bestimmter Weite um einen Mittenwert f 3dB Frequenz, bei der die Verstärkung einer Stufe Signal um 3 dB gesunken ist ff. folgende FFT Fast Fourier Transformation finish_shcnt Zähler der S&H-Stufe ist fertig f L (t) Funktion zur stückweise linearen Annäherung an eine Cosinus-Funktion f R (t) Funktion zur rechteckförmigen oder stufenförmigen Annäherung an eine CosinusFunktion fS switching frequency FSCL Folded-Source-Coupled Logik g 0 , g 1 , g 2 , ..., g n ggf. Koeffizienten der Taylor-Reihe der Funktion V SRC =f(∆V) gegebenenfalls Gl. Gleichung gm Durchgangsleitwert einer Schaltung (transconductance) gm 0 , gm 1 , ...gm n gmC-Filter Koeffizienten der Taylor-Reihe der Funktion I P =f(∆V) zeitkontinuierliches Filter aufgebaut aus trimmbaren Durchgangsleitwerten gm (transconductance) und Kapazitäten C gm OP sehr hohe Transconductance zusammengesetzt aus der Verstärkung eines Operationsverstärker mit der Transconductance gm eines nachfolgend angeschlossenen Transistors G ON Leitwert eines Schalter, wenn er geschlossen ist GSM Global System for Mobile Communications Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen g sw Leitwert eines Schalt-Transistors i ganzzahlige Zählvariable z. B. für Summen Σ 12 Abkürzungen IC Steuerstrom (control) zur Erzeugung der Grenzspannungen V P_lim und V N_lim IC Integrated Circuit I charge,M digital steuerbare Ladestrom für die Master-Kapazität I charge,S digital steuerbare Ladestrom für die Slave-Kapazität ID Drain Strom I discharge,M digital steuerbare Entladestrom für die Master-Kapazität I discharge,S digital steuerbare Entladestrom für die Slave-Kapazität idle_sh Signal was anzeigt, das die Zustandsmaschine der S&H-Stufe in Ruhe ist II Gesamtstrom einer Differenzeingangsstufe IIP3 Maß für Nichtlinearität (input interception point third order) IN Strom im negativen Zweig einer Differenzstufe I N_lim Grenze (limit) für Strom I N einer Differenzstufe damit eine bestimmte Nichtlinearität dieser Stufe nicht überschritten wird. I NN Stromspiegelstrom (mirror) zur Erzeugung der Grenzspannungen V N_lim IP Strom im positiven Zweig einer Differenzstufe I P_lim Grenze (limit) für Strom I P einer Differenzstufe damit eine bestimmte Nichtlinearität dieser Stufe nicht überschritten wird. I PP I REF Stromspiegelstrom (mirror) zur Erzeugung der Grenzspannungen V P_lim Reference Current I OUT Output Current j imaginäre Einheit j 2 =-1 k a) Boltzmann-Konstante 1.38066 ⋅10 -23 J/K; b) Kopplungsfaktor zwischen benachbarten Spulen Kap. Kapitel KP KV Diagramm halber Stromkennwert β P für PMOS-Transistoren Karnaugh-Veitch-Diagramm zum Auslesen von Logikgleichungen l ganzzahlige Zählvariable L a) Länge eines MOS-Transistors (length); b) Induktivität LED Leuchtdiode (light emitting diode) LF-Receiver Low Frequency Receiver L layout gezeichnete Länge eines Transistors im Layout LSB Least Significant Bit LU Länge des Einheitstransistor (unit) L Uswi Länge des Einheitsschalttransistors (unit switch length) LVS Vergleich zwischen Schaltung und Layout auf gleiche Verbindung (layout versus schematic) m Stromspiegelfaktor für um ganzzahlige Stromverhältnisse zu erzeugen M a) Kopplungsinduktivität (zwischen Bonddrähten); b) Aussteuerkonstante, die die Aussteuerung einer gm-Differenzstufe beschreibt und damit die Nichtlinearität dieser Stufe festlegt. Je größer M desto kleiner die Aussteuerung. MA Anzahl der Sektionen in der allgemeinen Kennlinie des digital kontrollierten Stromspiegels ma i Verstärkungszuwachs von Sektion zu Sektion in der allgemeinen Kennlinie des digital kontrollierten Stromspiegels M(i,N) Steigung des i.-ten Teilstücks einer stückweise linearen Funktion bestehend aus N Teilstücken MOS Metal Oxid Semiconductor 147 148 12 Abkürzungen Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen m_res signal to start the measurement of a resistor m_gnd signal to start the measurement the offset with input signals connected to ground Mio. Million MSB Most Significant Bit MUX Multiplexer n a) Substrat-Effekt-Faktor zwischen 1.3 und 1.7; b) Zählvariable für Nummer der Oberwellen N natürliche Zahl einschließlich null (0, 1, 2, 3, 4, 5,...) na i y-Achsen-Abschnitt am Beginn jeder Sektion der allgemeinen Kennlinie des digital kontrollierten Stromspiegels nc Nicht-Schaltsignal eines Schalter nN Stromspiegelfaktor um negativen Strom des erlaubten Linearitätsbereich einer gmStufe festzulegen NMOS n-Channel MOS-Transistor n_out nächster Ausgangsvektor nach der steigenden Taktflanke einer Zustandsmaschine mit synchronen Ausgängen (next output) nra not reset asynchron nP Stromspiegelfaktor um positiven Strom des erlaubten Linearitätsbereich einer gmStufe festzulegen n_state nächster Zustand nach steigende Taktflanke (next state) nswi Not Switch Control Signal OTA Operational Transconductance Amplifier OVR Überabtastrate (oversampling rate) P, P 1 , P 2 , ... Umfang eines Rechtecks (perimeter) PCB Platine (printed circuit board) pd Signal zum Ausschalten des Stromverbrauchs (power down) PMOS p-Channel MOS-Transistor Poly Polykristallines Silizium, welches als Gate Anschluss verwendet wird p_state momentaner Zustand einer Zustandsmaschine (present state) PSRR power supply rejection ratio, Versorgungsspannungsunterdrückung PWL stückweise linear (piecewise linear) ocp10 ... ocp23 Zustände der S&H-Stufe in denen eine Offset-Kompensation durchgeführt wird os1 ... os4 Schalter für Offset Kompensation OP Operational Amplifier Q INV Inversion Ladungsträger im Kanal eines MOS-Transistors r Verhältnis Flächen oder Umfänge (ratio) R Widerstand (resistor) R2R spezielles Widerstandsnetzwerk RF Rückkoppelwiderstand (feedback resistor) RF-Transmitter Radio Frequency ri Kleinsignal Innenwiderstand eines Stromspiegels R IN Innenwiderstand einer Spannungsquelle RN Widerstand auf negativer Seite n R I Restfehler der Taylor-Reihenentwicklung der Funktion I P =f(∆V) mit Abbruch der Reihe nach dem n.-ten Glied R nV Restfehler der Taylor-Reihenentwicklung der Funktion V SRC =f(∆V) mit Abbruch der Reihe nach dem n.-ten Glied R Ntune steuerbarer Widerstand auf negativer Seite R ON Widerstand eines Schalter wenn er geschlossen ist Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen RP Widerstand auf positiver Seite R Ptune steuerbarer Widerstand auf positiver Seite R REF Referenzwiderstand RS Resistor to be replaced with a switched capacitor RS-Flipflop Flipflop mit Reset- und Set-Eingang rs_shcnt synchroner Reset für Zähler (Counter) in S&H-Stufe RTL Register Transfer Level RXDAT Datensignal vom Empfänger (receiver data) 12 Abkürzungen RXENB Signal zum Einschalten des externen Empfängers (receiver enable) S. Seite s0, s1, s2, ... a) digitale Steuerleitungen zum Kontrollieren von Schaltern, b) digitale Steuerleitungen zur Einstellung der Stromverstärkung im exponentiellen Stromspiegel S&H Sample and Hold sample_vbg Schalter um die Bandgap-Spannung abzutasten sample_vdd Schalter um die Versorgungsspannung abzutasten sbatt0 ... sbatt9 Zustände (states) in denen die Batteriespannung abgetastet wird SC Switched Capacitor s CM Schalter zum Laden (charge) der Master-Kapazität C master s CS Schalter zum Laden (charge) der Slave-Kapazität C slave Schalter zum Entladen (discharge) der Master-Kapazität C master s DM s DS sgnd Schalter zum Entladen (discharge) der Slave-Kapazität C slave Zustand in der Kontrollschaltung der S&H-Hold Stufe, indem der Eingangs auf Analog Masse (Ground) gelegt wird) SI Switched Current sin Sinus-Funktion s M8 ,s M64 Schalter um die Master-Kapazität C master auf den 8-fachen bzw. 64-fachen Wert zu erhöhen sn Schaltsignal für den negativen Trimm-Strom in Abb. 2.2 sp Schaltsignal für den positiven Trimm-Strom in Abb. 2.2 s PCM Schalter um das Potential an der Ladestromquelle I charge,M auf den Wert V 1/4 zu bringen und dort zu „parken“. s PCS Schalter um das Potential an der Ladestromquelle I charge,S auf den Wert V 1/4 zu bringen und dort zu „parken“. s PDM Schalter um das Potential an der Entladestromquelle I discharge,M auf den Wert V 3/4 zu bringen und dort zu „parken“. s PDS Schalter um das Potential an der Entladestromquelle I discharge,S auf den Wert V 3/4 zu bringen und dort zu „parken“. SOI Silicon on Isolator sres0 ... sres6 Zustände (states) in denen die Eingangsspannung der S&H-Stufe abgetastet wird. Diese steht für den gemessenen Widerstand ssig1 ... ssig9 Zustände (states) in denen interne Signalverarbeitung in der S&H-Stufe stattfindet s S8 ,s S64 Schalter um die Slave-Kapazität C slave auf den 8-fachen bzw. 64-fachen Wert zu erhöhen start_sh Kontrollsignal zum Starten der S&H Zustandsmaschine swi Switch Control Signal (Abb. 2.1) swoff Signal zum Ausschalten swon Signal zum Einschalten swrise Signal zum Einschalten der steigenden Flanke swfall Signal zum Ausschalten der fallenden Flanke 149 150 12 Abkürzungen Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen t Zeit in Sekunden T a) Temperatur; b) Periodendauer eines periodischen Signals (time) T 0 , T 1 , T 2 , T 3 , ... durchnumerierte Transistoren TA a) Schalttransistor der zum A-Eingang eines Schalters liegt, b) TAA Eingangstransistor des allgemeinen stückweise linearen digital kontrollierten Stromspiegels TAB Offset-Transistor des allgemeinen stückweise linearen digital kontrollierten Stromspiegels Tab. Tabelle TB Schalttransistor der zum B-Eingang eines Schalters liegt TC Transistor zum Regeln (control) der Grenzspannungen V 1/4 und V 3/4 (Abb. 5.15) TCMOS Tank CMOS, Schaltungen mit geregelter Versorgung für Digitalteil um Leistungsaufnahme zu minimieren T CNA , T CPA NMOS- und PMOS-Lasttransistor auf der A Seite eines Schalters (charge) T CNB , T CPB Tcomp0 ,Tcomp1, ... NMOS- und PMOS-Lasttransistor auf der A Seite eines Schalters (charge) durchnumerierte Transistoren zur Kompensation der Ladungsträger nach Ladungsinjektion beim Schalten eines Schalters t del Verzögerungszeit (delay) tf falling time TGATE transmission gate, consist of a NMOS and a PMOS transistor THD Nichtlinearität (total harmonic distortion) TI Stromquellentransistor zum Speisen einer Differenzeingangstufe t inv_rf_min Inverter-Kennwert: minimale Umladezeit Zeit am Ende einer langen Kette aus Minimalinvertern TM Einheits-Stromspiegel-Transistor des Spannungsstromwandlers, um matchende Strom-Levelshifter zu bauen. T Mn , T Mp Stromspiegel-Transistoren als aktive Last im negativen und positiven Signalzweig in einer Differenzstufe T MS Einheits-Stromspiegel-Transistor aus PMOS-Transistoren um Stromsubtrahenden auszubauen (Abb. 5.15) tN Einschwingzeit, die bei einem Abtastglied abzuwarten ist, damit eine N-Bit AnalogDigital-Wandlung ausreichend genau ist Tn der n.-te Ausgangstransistor in der Stromspiegel-Sektion für den n.-ten Abschnitt der stückweise lineare Funktion tr rising time Tref Referenztransistor im Stromspiegel mit Source-Schalter (Abb. 5.8) T SN NMOS Schalttransistor T SP PMOS-Schalttransistor Tswi Schalttransistor im Stromspiegel mit Source-Schalter Tswi0 , Tswi1 , ... durchnumerierter Schalttransistor im Stromspiegel mit Source-Schalter für die stufenförmige Sinus-Funktion Tswin der n.-te Transistors der Schalter-Sektion (Abb. 5.8) t sw_rf_min Schalter-Kennzeit: minimale Zeit in der die Gates eines Schalters mit Dummytransistoren von einem Minimalinverter umgeladen werden können TU Einheitstransistor (unit transistor) T UP Transistor mit größerer Weite als der des Einheitstransistor (plus) T Uswi Einheitsschalttransistor (unit switch transistor) T VN T VP TX negativer und positiver Eingangstransistor einer Differenzstufe Ausgangstransistor des allgemeinen stückweise linearen digital kontrollierten Stromspiegels Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 12 Abkürzungen TXDAT Datensignal zum Sender (transmitter data) TXENB Signal zum Einschalten des externen Senders (transmitter enable) u. a. unter anderem usw. und so weiter UT Thermospannung, mit dem Zeichen U zur deutlichen Unterscheidung der Schwellspannung V TH u. U. unter Umständen V a) Spannung (voltage), anstelle des deutschen Zeichens U für Spannung; b) die Einheit Volt V 1/4 ,V 3/4 Grenzspannungen am Differenzeingang einer gm-Stufe, bei der der Strom in einem Zweig auf 1/4 des Gesamtstroms gefallen bzw. im anderen Zweig auf 3/4 des Gesamtstroms gestiegen ist. VA Spannung auf der Seite A eines Schalters VB Spannung auf der Seite B eines Schalters V BG Bandgap Spannung V BIASI Spannung zum Beeinflussen (bias) des Gesamtstroms einer Differenzeingangsstufe V CB Spannung über die Batterie-Kapazität C B V CM V CM_ref Gleichtaktspannung von zwei differentiellen Signalen V N und V P (common mode) Gleichtaktreferenzspannung VD Drain Spannung V DA , V DB differentielle Spannung auf Seite A bzw. Seite B eines differentiellen Schalters VDD positive Versorgungsspannung (voltage drain drain) VDDA positve Versorgungsspannung für Analogteil VDDD positve Versorgungsspannung für Digitalteil V EQ Gleichgewichtsspannung, equilibrium V fall Bias Spannung für abfallenden Strom VG Gate Spannung V GNDA Analoge Ground Referenz Spannung vgl. vergleiche V in , V IN V inn Eingangsspannung V inp differentielle positive Eingangsspannung vivo in vivo, im Lebendem im Gegensatz zu in vitro im Reagenzglas VJ pn-Übergangsspannung (Junction) differentielle negative Eingangsspannung VHDL VHSIC Hardware Description Language VHDL-AMS VHDL für Analog Mixed Signal VHSIC Very High Scale Integrated Circuit V master Spannung mit dreiecksförmigem Verlauf, die das Timing des Dreiecksgenerators vorgibt V MW1 , V MW2 erster und zweiter Spannungsmittelwert in der multifunktionalen Sample&HoldStufe V NA , V NB differentielle negative Spannung auf Seite A bzw. Seite B eines differentiellen Schalters V N_lim Grenze (limit) für Strom V N am Eingang einer Differenzstufe damit eine bestimmte Nichtlinearität dieser Stufe nicht überschritten wird. Von Bias Spannung bei eingeschaltetem Transistor Vout Ausgangsspannung V OUTN differentielle positive Ausgangsspannung V OUTP differentielle positive Ausgangsspannung 151 152 12 Abkürzungen Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen VP a) differentielle positive Spannung, b) Abschnürspannung (Pinch Off) V p,diff voltage peak differentiel, Spannungseinheit für differentielle Signale ([3-1] Kap. D) V P_lim Grenze (limit) für Spannung V P am Eingang einer Differenzstufe damit eine bestimmte Nichtlinearität der Stufe nicht überschritten wird. Vrise Bias Spannung für ansteigenden Strom VS Source Spannung V slave Spannung mit dreiecksförmigem Verlauf, die sich im Timing nach der Spannung V master richtet V SRC Spannung am gemeinsamen Source einer Differenzeingangsstufe V SRC_err V SRC_ref angenommener Regelfehler bei der Source-Spannung V SRC Referenzspannung für die zu regelnde Source-Spannung V SRC VSS negative Versorgungsspannung (voltage source source) VSSA positve Versorgungsspannung für Analogteil VSSD positve Versorgungsspannung für Digitalteil VSS Negative Versorgungsspannung für CMOS-Schaltungen V TH , V TH0 Schwellspannung (Threshold) und Nenn-Schwellspannung, nicht zu verwechseln mit der Thermospannung U T W Weite eines MOS-Transistors (width) W eff effektive physikalische Weite eines MOS-Transistors W layout gezeichnete Weite eines Transistors im Layout Wn Weite des n.-ten Transistors W N, W P Weite eines NMOS- bzw. PMOS-Transistors WT Gesamtweite von N Transistoren (total width)) W TR Weite eines Stromspiegeltransistors im Referenzzweig W TO Weite eines Stromspiegeltransistors im Ausgangszweig (output) WU Weite eines Einheitstransistors (unit width) W UM Weite, die etwas kleiner (minus) ist als die Weite des Einheitstransistors W U Weite, die etwas größer (plus) ist als die Weite des Einheitstransistors W P W UP W UP/M x, x 1 , x 2, ... Kurzfassung von „W UP bzw. W UM “ Seitenlänge eines Rechtecks in X-Richtung Xl Anzahl der Einheitstransistoren die im Ausgangstransistor T X des stückweise linearen digital kontrollierten Stromspiegels y, y 1 , y 2 , ... Seitenlänge eines Rechtecks in y-Richtung z. B. zum Beispiel Technische Universität Berlin Institut für Mikroelektronik Digital Kontrollierte Analoge Schaltungen 13 Anmerkungen zur Dissertation 13 Anmerkungen zur Dissertation Es gibt Anmerkungen zur Dissertation, die bestimmte Aspekte der Digital Kontrollierten Analogen Schaltungen im Detail behandeln. Im Internet sind sie zu finden unter http://mikro.ee.tu-berlin.de/. Folgende Inhalte werden behandelt: A) Entwurfsprinzipien digitaler Steuerwerke für Analogschaltungen B) MOS-Transistor-Modell und differentielle Signalpegel C) Vermeidung der Störeinflüsse des Digitalteils im Analogteil D) THD für stückweise lineare und stufige Sinus-Funktion E) Matching-Allgemein F) Stromspannnungswandler G) Stromspiegel mit allgemeinem Funktionsverlauf H) Spice-Parameter 0.8 µm CMOS 153