Gemeinsames Grundpraktikum MOSFET Ziel: Versuch-Nr.: ET3 Kennenlernen und Untersuchen der Funktionen und Anwendungsgebiete eines N-Kanal MOSFET(N-Channel Enhancement Mode FET). Für diesen Versuch ist der Lehrstuhl Nanoelektronik Prof. Dr. Hermann Kohlstedt verantwortlich. Sollten Sie Erweiterungs- oder Verbesserungsvorschläge für diesen Versuch haben, so melden Sie sich bitte bei diesem Lehrstuhl. Einige Versuchsteile sollen vor der Versuchsdurchführung d.h. während der Versuchsvorbereitung durchgeführt werden. Solche Versuchsteile sind im Text kursiv gesetzt und mit dem Wort (Vorbereitungsaufgabe) gekennzeichnet. Zu diesem Versuch ist ein Abschluss-Protokoll zu erstellen. Stand: 11. November 2016 Inhaltsverzeichnis Bezeichnungen 3 1 Grundlagen 4 1.1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.2 Feldeekttransistor (FET), MOSFET . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.2.1 5 1.2.2 Aufbau und Funktion eines n-Kanal MOSFET . . . . . . . . . . . . . . . Qualitative Erklärung der Arbeitsbereiche von MOSFETs (hier NMOSFET, enhancement Mode) anhand des Kanalmodells . . . . . . . . . . . . 2 3 1.2.3 Arbeitspunkt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1.2.4 MOSFET als Schalter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 10 11 Versuchsdurchführung 13 2.1 Aufnahme der Steuerkennlinie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14 2.2 MOSFET als Schalter 16 2.3 MOSFET als analoger Verstärker . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19 2.3.1 19 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Schaltungsaufbau und Wahl des Arbeitspunktes . . . . . . . . . . . . . . . Abschluss-Protokoll 23 Literaturverzeichnis 23 2 Bezeichnungen Bezeichnung Titel Einheit, ggf. Gröÿe UDS Drain-Source-Spannung [V] UGS Gate-Source-Spannung [V] ID Drain-Strom (Kanalstrom) [A] UTh Schwellenwertspannung [V] U1 Eingangsspannung [V] Ua Ausgangsspannung [V] µn Beweglichkeit der Elektronen [m /Vs] µp Beweglichkeit der Löcher [m /Vs] λ Kanallängenmodulationsparameter [1/V] r Dieelektrizitätszahl 0 Dielektrizitätskonstante 8, 85 · 10−12 K Kennlinienparameter [A/V] dSiO2 Gateoxiddicke [m] W Gate-Weite [m] L Gate-Länge [m] S , g , gDS Dierentieller Leitwert [S] Siemens oder [1/Ω] 3 2 2 As/(Vm) 1 Grundlagen 1.1 Einleitung Die Bezeichnung Transistor leitet sich aus den beiden englischen Wörtern transfer und resistor ab und bedeutet steuerbarer Widerstand. Dies liegt in der Funktion begründet, denn der Transistor wird als steuerbarer Widerstand (elektronischer Schalter) und als eine steuerbare elektronische Quelle (Verstärker) verwendet. Der Transistor stellt die Grundlage der modernen Mikroelektronik dar und ist das elementare Bauelement der Halbleitertechnologie. Kurz: moderne Unterhaltungselektronik und Informationstechnik wären ohne Transistoren gar nicht möglich. Weitere Anwendungsgebiete existieren darüber hinaus auch in der Leistungselektronik (z.B. Power-MOSFET). Man unterscheidet zwei grundlegende Typen von Transistoren: Den den Feldeekttransistor Bipolartransistor (BJT) und (FET). Das unterschiedliche Funktionsprinzip wird beim Ladungstrans- port deutlich, da beim BJT Ladungen beider Polaritäten (bipolar) an einem Stromuss beteiligt sind und beim FET hingegen nur unipolarer Ladungstransport stattndet. Dieser Versuch behandelt die FETs und hierbei exemplarisch den MOSFET (metal oxide semiconducter field eect transistor). 1.2 Feldeekttransistor (FET), MOSFET Integrierte Schaltkreise bestehen aus einer Vielzahl von Transistoren auf einem Chip. Recherchieren Sie die aktuellen Strukturbreiten von Transistoren und die ungefähre Anzahl von Transistoren auf einer modernen CPU! Vorbereitungsaufgabe 1 1 meldete der Physiker Julius Edgar Lilienfeld ein Patent mit der Bezeichnung Eine Bereits 1925 Methode und Vorrichtung zum Steuern vom elektrischen Strom an und begründete damit das Funktionsprinzip des Feldeekttransistors. Dieser basierte allerdings noch nicht auf Halbleitermaterial und konnte zur damaligen Zeit nicht zufriedenstellend hergestellt werden. Erst mit dem Durchbruch der Halbleitertechnologie und der Möglichkeit, hochreines Silizium und extrem saubere Grenzächen herzustellen und gezielt zu dotieren, konnte der FET Anfang der 1970er Jahre immer mehr zum Einsatz kommen und fand in den 1980er Jahren endgültig zum technologischen 2 Durchbruch . 1 2 Julius Edgar Lilienfeld, geb. 18. April 1882 in Lemberg, gest. 28. August 1963 in Charlotte Amalie (Virgin Islands), Physiker. Bipolar-Transistoren, sowie FETs auf Germaniumbasis statt Silizium, gab es schon früher. 4 ET3: MOSFET 1.2.1 Aufbau und Funktion eines n-Kanal MOSFET Die Herstellung eines MOSFET erfolgt in planarer Herstellungstechnologie basierend auf hochreinem Silizium, in welchem gezielt Fremdatome eingebracht werden (Dotieren, lat. dotare ausstatten). Häug werden hierbei in einem p-dotierten (mit Akzeptoren, z.B. Bor) Substrat zwei n-dotierte Bereiche (mit Donatoren, z.B. Phosphor), zwischen denen ein Stromuss stattnden soll, in einem bestimmten Abstand zueinander erzeugt (n-Kanal MOSFET, Abb. 1.1). Findet hingegen ein Stromuss zwischen zwei p-Gebieten in einem n-Substrat statt, so spricht man von einem p-Kanal MOSFET. Die abschlieÿende Erstellung der Kontaktächen für den MOSFET erfolgt über Fotolithographie und diverse Ätzprozesse. Abbildung 1.1: Für UGS = 0 (bzw. UGS ≤ MOSFET im Sperrbereich der Schwellenspannung UTh ) bendet sich der Transistor im Sperrzu- stand, da die Majoritätsladungsträger (Defektelektronen, bzw. Löcher) des p-Substrats einen Stromuss zwischen den Anschlüssen Source (S) und Drain (D) verhindern. Unabhängig von der Polarität der Source-Drain-Spannung Ziel ist es nun, über die Spannung UDS UGS ist immer eine pn-Diode in Sperrrichtung geschaltet. ein elektrisches Feld zwischen Gate (G) und Bulk in der Art zu erzeugen, dass die Minoritätsladungsträger (freie Elektronen) des p-Substrats in Richtung Gate und die Majoritätsladungsträger in Richtung Bulk beschleunigt werden. Dies bewirkt unter dem Gateoxid eine Kompensation der Löcher (Defektelektronen) und schlieÿlich eine zunehmende Abbildung 1.2: MOSFET im Widerstands- (links) und im Sättigungsbereich (rechts) 5 ET3: MOSFET Anreicherung an freien Elektronen. Es ndet eine Ladungsträgerinversion statt und ein Stromuss zwischen den n-Gebieten Source und Drain ist nun möglich. Aus einer Abfolge n-p-n ohne Gatespannung wurde ein Gebiet mit n-n-n Leitung. Die elektrische Verbindung zwischen Source und Drain ist damit realisiert. Zwischen Gate und Bulk muss sich also bei angelegter Spannung UGS eine Kapazität ausbilden, die eine Ladungstrennung im Silizium bewirkt. Die sich bildende Anreicherungsschicht an freien Elektronen wird als Kanal ( channel ) bezeichnet (vgl. Abb. 1.2, rechts). Dieser MOSFET-Typ, der auch Gegenstand des Versuches ist, wird daher vollständig als n-Kanal MOSFET (Anreicherungstyp)' bezeichnet (n-channel enhancement mode FET). 1.2.2 Qualitative Erklärung der Arbeitsbereiche von MOSFETs (hier NMOSFET, enhancement Mode) anhand des Kanalmodells Als Kanal wird hier die Inversionsschicht bezeichnet, die eine elektrisch leitende Verbindung zwischen den Diusionsbereichen Source und Drain aufgebaut werden kann. 1) Sperrbereich Bei ID [UGS ≤ UTh ] (und damit auch bei [UGS = 0 V ], Selbstsperrung) kann kein Drain-Strom ieÿen, da sich zwischen dem Source- und dem Drain-Kontakt zwei pn-Übergänge und kein Kanal benden. Das gilt grundsätzlich bei jeder möglichen Einstellung von UDS . 2) Linearer (Widerstands) Bereich Ein positives Gate-Source-Potential verursacht eine Inuenzwirkung. Dadurch nimmt die Löcherdichte ab und die Elektronendichte zu. Es kommt zur Ausbildung einer Raumladungszone (Löcherverarmung durch Elektronenüberschuss) direkt unter der GateElektrode. Wird UGS genügend groÿ (gröÿer als die Schwellspannung UTh ), so steigt in dem Raumsegment unter dem Gate und somit zwischen den n-dotierten Source- und DrainBereichen die Elektronenkonzentration, bis sich schlieÿlich das ursprüngliche p-dotierte Silizium im Kanalbereich wie n-dotiert verhält (Einsetzen der starken Inversion, keine pnDioden mehr!). Man interpretiert das sprachlich so, das man sagt: es bildet sich als Inversionsschicht ein n-leitender Kanal zwischen Source und Drain. Wird jetzt die Spannung [UDS > 0 V ] angelegt, so ieÿt ein Drain-Strom Solange sich die Spannung UDS ID . im Bereich bis UGS − UT h (also über Null, aber noch ID mit steigender Spannung UDS unterhalb der Schwellengrenze) bendet, steigt der Strom linear an (entsprechend steigt die Elektronendichte im Kanal proportional). Das entspricht dem Ohm'schen Gesetz und man darf den MOSFET in diesem Bereich als steuerbaren Widerstand betrachten. Das gilt aber nur, solange für die gesamte Ausdehnungslänge des Kanales die Spannung UGC (Gate-Kanal-Spannung) über UTh liegt. In diesem Bereich ändern sich die Dimensionen (Länge und Breite) des Kanales nicht (Kanallängenmodulationsfaktor = 0), Stromänderungen können nur durch Änderung der Ladungsträgerkonzentration im Kanal erklärt werden. Es ist oensichtlich, dass mit steigendem UGS die Anzahl der freien Elektronen im n-Kanal immer mehr zunimmt, der Kanal 6 ET3: MOSFET sich ausweitet und somit der Stromuss zwischen Source und Drain in Abhängigkeit von UGS steigt. Dieser Drainstrom erzeugt jedoch ebenfalls einen Spannungsabfall entlang des Kanals, welcher in Richtung Drain zunehmend positiv wird, so dass das E-Feld dort abgeschwächt und somit auch die Tiefe des Kanals in Richtung Drain immer geringer wird (Abb. 1.2, rechts). Dies hat zur Folge, dass der Drainstrom nicht endlos gesteigert werden kann, sondern durch die Drainspannung UDS begrenzt wird, da diese ab einer bestimmten Spannung den Kanal ganz unterdrückt. Dieser Grenzbereich wird als Sättigungsbereich eines Transistors bezeichnet. 3) Sättigungsbereich Erhöht man nun die Spannung UDS über den Wert von [UGS − UTh ], so nimmt die La- dungsträgerkonzentration (Elektronendichte) im Kanal wieder ab. Dies passiert zuerst am Drain-Ende des Kanals. Unterschreitet die Spannung Drain-Ende den Wert UTh , UGD (Gate-Drain-Spannung) am so wird die Inversionsbedingung verletzt, man spricht von einer Kanalabschnürung. Der vormals lineare Zusammenhang zwischen ID und UDS geht verloren. ID , die nun abknickt und langsam in die Steigung Null einläuft (parallel zur x-Achse, wo UDS aufgetragen wird, siehe Ausgangskenn- Man erkennt dies auch an der Stromkennlinie linienfeld in Abbildung 1.5). Da Source am Minuspol und Drain am Pluspol der Laborquelle angeschlossen sind und über die Gate-Elektrode ein geometrisches Flächenpotential angelegt ist, fällt die Source-Drain-Spannung längs des Kanals ab. Dadurch verringert sich das entsprechende ortsabhängige Potential, je weiter man von Source in Richtung Drain wandert. Die im Gate-Kanal abfallende Spannung verringert sich also ortsabhängig. Daraus folgt u.a., dass die Spannung zwischen Source und Gate gröÿer als zwischen Gate und Drain ist. Man sagt, dass der Kanal mit zunehmender Spannung UDS zuerst auf der Drain-Seite abgeschnürt wird. Damit wird praktisch die Kanalverbindung zwischen Source und Drain unterbrochen. Dieser Vorgang wird auch durch den sogenannten Kanallängenmodulationsfaktor beschrieben. Konkret wandert mit zunehmender Spannung UDS das Kanalende in Source-Richtung. Da- durch baut sich zwischen dem Endpunkt des verkürzten Kanales und dem Drain-Bereich eine Raumladungszone auf. An Ende des Kanales verlassen die Elektronen den Kanal und werden in diese Raumladungszone injiziert. Das zwischen Kanalende und Drain-Elektrode bestehende elektrische Feld sorgt für einen kontinuierlichen konstanten Stromuss ser Sättigungsstrom ID . Die- ID ieÿt somit durch die ursprüngliche zuvor vom Kanal belegte Raum- zone. Ladungsträger können also sehr wohl auch ohne ausgebildeten Kanal den nunmehr abgeschnürten Raumbereich durchqueren, allerdings bewirkt eine weitere Zunahme von UDS keine (bzw. nur noch geringfügige) Zunahme von ID . Man unterscheidet daher drei Betriebszustände des Transistors: i) Sperrbereich: (UGS ≤ UTh , UDS ≥ 0) ID = 0 7 (1.1) ET3: MOSFET > UTh , 0 ≤ UDS ≤ UGS − UTh ) UDS ID = K UGS − UTh − UDS · (1 + λUDS ) 2 ii) Linearer- / Widerstandsbereich: (UGS iii) Sättigungsbereich: (UGS (1.2) > UTh , UDS > UGS − UTh ) ID = K (UGS − UTh )2 · (1 + λUDS ) 2 (1.3) λ beschreibt die Stärke der Unterdrückung und somit die Längenänderung des Kanals. Kanallängenmodulationsfaktor genannt. In dem Parameter K sind materialspezische Daten wie die Ladungsträgerbeweglichkeit µn für Elektronen bzw. µp für Löcher, die Dielektrizitätszahlen ε0 und εr , die Breite des Bauelements W , die Dicke der Siliziumdioxidschicht dSiO2 und die Kanallänge L enthalten (siehe Abb. 1.3): Der Faktor Er wird daher K= µ n ε0 ε r W · dSiO2 L (1.4) Häug ndet sich in den Datenblättern von Transistoren eine graphische Darstellung deren Verhaltens über sogenannte Kennlinienfelder, in denen der Zusammenhang zwischen den verschiedenen Strömen und Spannungen dargestellt ist. Hierbei werden vier Kennlinienfelder unterschieden, welche üblicherweise in den vier Quadranten eines kartesischen Koordinatensystems aufgetragen werden. In diesem Vierquadrantenkennlinienfeld nden sich folgende Kennlinien: Eingangskennlinienfeld, Stromsteuerkennlinienfeld, Ausgangskennlinienfeld und Spannungsrückwirkungskennlinienfeld. Für die Betrachtung des MOSFETs konzentrieren wir uns auf das Stromsteuer- und das Ausgangskennlinienfeld. Abbildung 1.4 und 1.5 zeigen das typische Steuer- und Ausgangskennlinienfeld des MOSFET. Mit ihnen lässt sich das Verhalten des MOSFET genau beschreiben. Abbildung 1.3: Geometrischer Aufbau eines MOSFET 8 ET3: MOSFET Abbildung 1.4: Die Steuerkennlinie beschreibt Beispiel für eine MOSFET Steuerkennlinie die Abhängigkeit des Drainstromes von der Gate-Source- Spannung. Die Steilheit berechnet sich über die Ableitung der Tangente an einem Punkt der Steuerkennlinie des MOSFET und gibt Auskunft über die Empndlichkeit des Steuerverhaltens (Stromverstärkungsfaktor). Der dierenzielle Leitwert ist deniert durch S=g= ∂ID ∂UGS . (1.5) Das Ausgangskennlinienfeld (Abb. 1.5) beschreibt die Abhängigkeit des Drainstromes von der Drain-Source-Spannung für bestimmte Gate-Source-Spannungswerte UGS . Gut zu erkennen sind die verschiedenen Betriebsbereiche des MOSFET. Über eine Arbeitsgerade kann man den optimalen Arbeitspunkt (AP) bestimmen. Der dierentielle Ausgangsleitwert des MOSFET entspricht der Steigung der Kennlinie im Ausgangskennlinienfeld und beschreibt die Widerstandsveränderung (Verstärkung) des MOSFET. Die Steigung ist deniert durch gDS = ∂ID ∂UDS 9 . (1.6) ET3: MOSFET Abbildung 1.5: MOSFET Ausgangskennlinienfeld 1.2.3 Arbeitspunkt Im Betriebszustand des MOSFET als Verstärker ist die Bestimmung eines Arbeitspunktes über einen DC-Oset (Vorspannung) erforderlich, d.h. eines Betriebspunktes, in dem sich der MOSFET im Ruhezustand bendet, wenn kein Signal anliegt. Ziel ist es hierbei, den AP so zu wählen, dass ein zweckmäÿiger Bereich der Ausgangskennlinie des MOSFET genutzt werden 3 kann . Dies kann z.B. bei einer Wechselstromverstärkung bedeuten, den AP möglichst mittig im Sättigungsbereich der Ausgangskennlinie zu legen, damit sowohl der maximale positive, wie auch der maximale negative Spannungsbereich des Eingangssignales verstärkt wird. Damit der DC-Oset nicht das zu verstärkende Signal beeinusst, wird ein geeigneter Koppelkondensator verwendet. Der AP kann über den Schnittpunkt einer Arbeitsgeraden mit einer der Kennlinien des Ausgangskennlinienfeldes des MOSFET bestimmt und anschlieÿend in der Schaltung über einen Spannungsteiler realisiert werden. Die Bestimmung der Arbeitsgeraden erfolgt über die Verbindung der Punkte UDS |ID =0 und ID |UDS =0 im Ausgangskennlinienfeld und ist formal deniert durch eine Geradengleichung. Die Berechnung der Arbeitsgeraden erfolgt über die Gleichung ID = U2 − UDS RL . (1.7) Über diese Arbeitsgerade bestimmt sich der Arbeitspunkt wie in Abbildung 1.6. 3 Je nach Anwendungsbereich werden verschiedene AP verwendet (A-, B-, AB-, C-Betrieb, hier: A-Betrieb). 10 ET3: MOSFET Abbildung 1.6: Wahl des optimalen Arbeitspunktes im Ausgangskennlinienfeld 1.2.4 MOSFET als Schalter Vorbereitungsaufgabe 2 AND, OR und NOT. Notieren Sie zur Vorbereitung die Wahrheitstabellen der Logikgatter Aus der Vorlesung Computersysteme ist die Realisierung von logischen Funktionen in CMOSTechnologie (Complimentary Metal Oxide Semiconductor) bekannt. Über die Kombination von n-Kanal- und p-Kanal-MOSFETs auf einem gemeinsamen Substrat lassen sich alle logischen Gatter erzeugen (NAND, NOR, NOT, etc.) und diese wiederum bilden die Grundlage für moderne Mikroprozessoren und andere integrierte Schaltkreise (IC). Bekannt ist ebenfalls, dass mit einem n-Kanal-MOSFET in der Regel eine logische 0 und mit einem p-Kanal-MOSFET eine logische 1 umgesetzt wird. In diesem Versuch wird das Schaltverhalten des n-Kanal-MOSFET analysiert. Dieser kann im Widerstandsbereich als ein geschlossener Schalter und im Sperrbereich als ein geöneter Schalter betrachtet werden. Auf diese Weise lassen sich nach Abb. 1.7 über die Versorgungsspannung U1 des MOSFET die Logikpegel HI und LOW realisieren. Für eine hinreichend kleine Spannung UGS bendet sich der MOSFET im Sperrzustand (Schalter oen) und die maximale Ausgangsspannung UGS Ua liegt am Ausgang an. Mit zunehmender Spannung wird der MOSFET leitend (Schalter geschlossen) und die Versorgungsspannung wird zur Masse durchgeschaltet, so dass die Ausgangsspannung null ist. Es ergibt sich somit die Schaltlogik aus Tabelle 1.1. 11 ET3: MOSFET Abbildung 1.7: MOSFET als Schalter U1 Ua Zustand 1) U1 = UGS = 0V Uout = 5V HI 2) U1 = UGS > UTh Uout = 0V LOW Tabelle 1.1: Schaltlogik der MOSFET Schaltung Die gemeinsame Darstellung der Spannungsverläufe von U1 und Ua des MOSFET auf einem Oszilloskop ergibt den Signalverlauf aus Abb. 1.8. Der Schaltvorgang und auch die Schaltspannung sind in dieser Darstellung sehr gut zu erkennen. Für die Überschreitung der Schwellenspannung ergibt sich der Schaltvorgang und an dem Ausgang (Rot) ndet sich repräsentativ für die binären Zahlen 1 und 0 entweder die Betriebsspannung von 5 V oder 0 V. Abbildung 1.8: Signalverläufe für Ein- und Ausgang des MOSFET als Schalter 12 2 Versuchsdurchführung In den folgenden Versuchen soll der theoretische Inhalt angewendet und geprüft werden. Zunächst nehmen Sie die Steuerkennlinie des MOSFET auf. Anschlieÿend soll der MOSFET als Schalter Verwendung nden, danach bauen Sie einen einfachen Analogverstärker auf. Warnung: Damit der Transistor nicht zerstört wird, befolgen Sie bitte die nachfolgenden Hin- weise zur Durchführung! • Um die Bauteile vor Schädigungen zu schützen, sind vor jedem Auf- und Abbau einer Schaltung die Spannungsquelle und der Funktionsgenerator auszuschalten. • Um unnötige Fehlerquellen zu vermeiden, benutzen Sie für den Schaltungsaufbau nach Möglichkeit die Kurzschlussstecker anstatt der Kabel. • Bevor Sie die Spannungsquelle mit der Schaltung verbinden, stellen Sie die geforderte Spannung direkt mit dem Multimeter an der Spannungsquelle ein (höhere Genauigkeit). Danach ist die maximale Strombegrenzung einzustellen, ebenfalls mit dem Multimeter direkt an der Spannungsquelle. Diese beträgt bei jedem Versuch • Imax = 350 mA. Es ist darauf zu achten, dass bei dem verwendeten Funktionsgenerator die eingestellten Spannungswerte (z.B. Upp ) messtechnisch auch realisiert werden. Dazu ist es sinnvoll, die eingestellten Werte mit dem Oszilloskop zu kontrollieren und ggf. am Generator zu adaptieren. Übereinstimmung zwischen den vom Funktionsgenerator angezeigten SOLL-Werten mit den realen IST-Werten ergibt sich bei der Agilent 335XX Serie nur dann, wenn die Ausgangstreiber auf High-Z (also hochohmig) um-/eingestellt worden sind. Dies kann durch das Setup-Menü des Generators nach dem Power-On des Gerätes realisiert werden. • Übertragen Sie alle Skizzen direkt in dieses Protokoll und führen Sie weiterführende Rechnungen zu Hause durch. Vorbereitungsaufgabe 3 2n7000 mit! Bringen Sie am Versuchstag ein Datenblatt für den MOSFET Verwendete Geräte: • 1 x Leybold-Rastersteckplatte • n-Kanal-MOSFET 2N7000 • 1 x Spannungsquelle 13 ET3: MOSFET • 1 x Funktionsgenerator Agilent 335xxx-Serie • 1 x Oszilloskop Tektronix 2213 oder Tektronix TDS 2002x • 1 x Digitalmultimeter Fluke 175 • Widerstände: 2 x 4,7 kΩ, 1 x 1 • Kondensator: 1 x 100 nF • 1 x 10-Gang-Potentiometer (verstellbarer Widerstand) mit Ω Rmax = 10 kΩ 2.1 Aufnahme der Steuerkennlinie Bauen Sie die in Abb. 2.1 gezeigte Schaltung mit Rm = 1Ω auf. Verbinden Sie das Signal des Funktionsgenerators mit dem Oszilloskop (Kanal 1) und stellen Sie eine Dreieckspannung mit Upp = 2 V (pp bedeutet peak to peak) und f = 1 kHz ein (Null-Linie mittig auf Bildschirm). Wählen Sie nun den Oset des Funktionsgenerators so, dass der untere Signal-Peak bei 0 V liegt (vgl. Abb. 2.2). Achten Sie darauf, dass das Oszilloskop dabei auf DC eingestellt ist. Schalten Sie nun die Spannungsversorgung Sie das Oszilloskop so ein, dass Sie beide Kanäle sehen können, mit Ua U2 = 5 V ein. Stellen auf Kanal 2. Die Null- Linie des zweiten Kanals soll dabei am unteren Ende des Bildschirms liegen. Über die Amplitude der Dreieckspannung können Sie nun den Drainstrom des MOSFET steuern. Steigern Sie die Amplitude so weit, bis Sie ungefähr den Verlauf von Abb. 2.3 erhalten (Hinweis: Sowohl die Abbildung 2.1: Messaufbau für die Steuerkennlinie des MOSFET 14 ET3: MOSFET Abbildung 2.2: Signalverlauf der Dreiecksspannung (Kanal 1) Amplitude als auch der Oset von von UTh . Upp des Funktionsgenerators beeinussen die Darstellung Regeln Sie daher den Oset am Signalgenerator so nach, dass in dem gewünschten Signalbild am Oszilloskop die unteren Signal-Peaks wieder auf 0 V liegen. Passiert dies NICHT, so wird die resultierende Stromsteuerkennlinie - wie in Abb. 2.4 gezeigt - nicht im Ursprung des Koordinatensystems beginnen, sondern mit einer Rechts-Verschiebung auf der x-Achse Betrag des von Null abweichenden Osets. Bestimmt man daraus dann UT h , im so ist dieser Wert dann um den von Null verschobenem Osetwert verfälscht!). Schalten Sie nun das Oszilloskop in den XY-Modus (Taste Display, Format XY). Verändern Sie die Skalierung in der Art, dass Sie eine Stromsteuerkennlinie wie in Abb. 2.4 erhalten. Aufgaben, die während des Versuchs zu bearbeiten sind: a) Zeichnen Sie die Steuerkennlinie in das Diagramm in Abb. 2.5 und beschriften Sie die Achsen. Bestimmen Sie grasch die Schwellenspannung UTh . Orientieren Sie sich dazu an Abbildung. 1.4. Aufgaben, die erst im Rahmen der Protokollerstellung bearbeitet werden müssen: b) Bestimmen Sie den dierenziellen Leitwert des MOSFET für µn an dem in Aufgabenteil = 9 nm und εr = 3, 9 (SiO2 ). c) Berechnen Sie die Ladungsträgerbeweglichkeit Punkt mit W = 900 µm, L = 2 µm, dSiO2 ID ≈ 200mA. b) bestimmten Verwenden Sie dafür die Näherung ID = K · (UGS − UTh )2 2 15 . (2.1) ET3: MOSFET Abbildung 2.3: Darstellung von Kanal 1 und Kanal 2 Abbildung 2.4: Stromsteuerkennlinie. 2.2 MOSFET als Schalter Bauen Sie die Schaltung nach Abb. 1.7 auf. Erzeugen Sie mit dem Funktionsgenerator ein Dreiecksignal mit f =1 kHz und Upp = 5 V am Eingang RL = 4, 7 kΩ. 16 U1 = UGS . Weiterhin gelte U2 = 5 V und ET3: MOSFET Abbildung 2.5: Steuerkennlinie. Aufgaben, die während des Versuchs zu bearbeiten sind: a) Stellen Sie ungefähr den Verlauf aus Abb. 1.8 nach und übertragen Sie diesen in das Diagramm in Abb. 2.6. Passen Sie über den DC-Oset des Oszilloskops beide Signale an. b) Bezeichnen Sie die Achsen und bestimmen Sie die Schaltspannung. Ergebnisse und Antworten 17 ET3: MOSFET Abbildung 2.6: Signalverläufe für Ein- und Ausgang des MOSFET als Schalter. c) Welche logische Funktion (welches Gatter) wird hierdurch abgebildet? Ergebnisse und Antworten d) Schalten Sie nun in den XY-Modus des Oszilloskops und übertragen Sie den Verlauf in das Diagramm in Abb. 2.7. Beschriften Sie die Achsen und überlegen Sie, welche zeitliche Einteilung die X-Achse haben muss. Bestimmen Sie die Schaltzeit für den Transistor (Eingangsspannungsbereich, in dem sich die Ausgangsspannung um ca. 90 % verändert hat). Verändern Sie ggf. die Skalierung, damit Sie die Schaltzeit besser ablesen können. Ergebnisse und Antworten 18 ET3: MOSFET Abbildung 2.7: Vorgegebenes Raster zum Eintragen der gewonnenen Messdaten aus Aufgabenstellung d). 2.3 MOSFET als analoger Verstärker In der alltäglichen analogen Anwendung ist Ihnen möglicherweise die Verwendung von MOSFETs als Audioverstärker aus dem HiFi-Audio Bereich bekannt. Häug wird mit Full- MOSFET Endstufen geworben und Bezeichnungen wie Class-A-, Class-B-, Class-AB-, Class-Cund Class-D-Verstärker nden sich in der genaueren Beschreibung. Aus dem Abschnitt 1.2.3 wissen Sie, dass diese Bezeichnungen mit dem Arbeitspunkt des MOSFET zu tun haben. In diesem Versuch soll lediglich der Class-A-Betrieb veranschaulicht werden. Dieser ist sehr einfach und kostengünstig umzusetzen und besitzt einen geringen Klirrfaktor. Der Wirkungsgrad hingegen ist sehr schlecht und es ist permanent ein hoher Ruhestrom vorhanden (DC-Oset). 2.3.1 Schaltungsaufbau und Wahl des Arbeitspunktes Bauen Sie zunächst die Schaltung aus Abb. 2.8 auf. Es gilt: U1 sei zunächst ohne Signal und die Spannungsversorgung C = 100 nF und RL = R1 = 4, 7 kΩ. U2 = 5 V ausgeschaltet. Aufgaben zum Arbeitspunkt, die während des Versuchs zu bearbeiten sind: a) Zeichnen Sie die Arbeitsgerade mit den beiden Punkten voll leitend) und UDS,max für ID = 0 ID,max für UDS = 0 V (MOSFET A (MOSFET voll gesperrt) in das Ausgangskennlini- enfeld Abb. 2.9 ein und nähern Sie den Arbeitspunkt zeichnerisch an. 19 ET3: MOSFET Abbildung 2.8: Abbildung 2.9: Analoge Verstärkergrundschaltung MOSFET. Ausgangskennlinienfeld zur Bestimmung des Arbeitspunktes. 20 ET3: MOSFET b) Wie würde sich die Arbeitsgerade verändern, wenn RL gröÿer bzw. kleiner gewählt wird? Ergebnisse und Antworten c) Kennzeichnen Sie im Ausgangskennlinienfeld (Abb. 2.9) den linearen Bereich und den Sättigungsbereich. Aufgaben zum Verstärker, die während des Versuchs zu bearbeiten sind: a) Dimensionieren Sie R2 über die Spannungsteilerformel mit UGS aus Abb. 2.9. Stellen Sie diesen Wert an dem 10-Gang-Poti mit dem Multimeter ein. UGS = (2.2) f = 1 kHz und Upp = 100 mV. Schalten Sie die Spannungsversorgung U2 = 5 V ein. Stellen Sie beide Kanäle U1 und Ua auf dem Oszilloskop dar (Null-Linie mittig) und ermitteln Sie den Verstärkungsfaktor A = Ua,pp /U1,pp . b) Erzeugen Sie eine Sinusspannung an U1 R2 · U2 R2 + R1 mit Ergebnisse und Antworten c) Wie verhält sich Ua bei Variation des AP? Ergebnisse und Antworten 21 ET3: MOSFET d) Verändern Sie den AP über das Poti in der Art, dass Sie eine maximale und verzerrungsfreie Verstärkung erhalten. Übertragen Sie das Bild in das Diagramm in Abb. 2.10 und kennzeichnen Sie die beiden Spannungen und die Achsen. Ermitteln Sie aus der Abbildung die Spannungen Abbildung 2.10: U1,pp und Ua,pp und berechnen Sie den maximalen Verstärkungsfaktor. Vorgegebenes Raster zum Eintragen der gewonnenen Messdaten aus Aufgabenstellung d). Ergebnisse und Antworten e) Woher kommt der Unterschied zwischen dem AP aus dem Ausgangskennlinienfeld und dem tatsächlichen optimalen AP aus Aufgabenteil d)? Ergebnisse und Antworten 22 3 Abschluss-Protokoll : Das anzufertigende Abschluss-Protokoll beinhaltet neben einer Liste der verwendeten Geräte auch eine Beschreibung des durchgeführten Versuchs sowie des Versuchsaufbaus. Die Beschreibung soll einem auÿenstehenden Leser das Vorgehen während des Experiments aufzeigen und ggf. die Möglichkeit der Reproduktion bieten. Des Weiteren ist darauf zu achten, dass Messergebnisse und Zeichnungen/Diagramme beschrieben und diskutiert werden müssen. Im Mittelpunkt der Diskussion steht das Herausstellen von Ergebnissen, die aus den Messwerten und/oder den Diagrammen abgeleitet werden können. Hinweis Der genaue Inhalt des jeweiligen Themas muss in Ihrem Protokoll nicht komplett mit aufgeführt werden. Ein kurze Erklärung des Themas sowie eine genaue Erläuterung zur Vorgehensweise und Durchführung sind jedoch notwendig. Bitte beachten Sie weiterhin: • Falls gefordert, benutzen Sie die Vorlage für die Anfertigung des Protokolls mit den dortigen Formatierungen. Ist keine Vorlage gegeben, dann fertigen Sie ein Protokoll an mit: Schriftgröÿe 12, Blocksatz, 5 cm Korrekturrand an rechter Seite. • Achten Sie immer auf die Beschriftung aller Abbildungen und Tabellen. • Achten Sie auch auf eine korrekte Inhaltsangabe und auf evtl. Literaturangaben! 23 Literaturverzeichnis [1] Hartl, H.: Elektronische Schaltungstechnik". Pearson Studium Nr. 7321. (Thema/Bemerkungen: Bauelemente & Schaltungen) [2] Cordes, K.-H.: Integrierte Schaltungen". Pearson Studium Nr. 4011. (Thema/Bemerkungen: Bauelemente & Schaltungen) [3] Tietze & Schenk: Halbleiterschaltungstechnik". Springer Verlag 2002. (Thema/Bemerkungen: Standardwerk für Schaltungen) [4] Sze, S.M.: Physics of Semiconductor Devices". Wiley, 1981. (Thema/Bemerkungen: Standardwerk für Bauelemente) [5] Ibach & Lüth: Festkörperphysik". (Thema/Bemerkungen: Grundlagen zur Festkörperphysik) [6] Bergmann-Schäfer: Lehrbuch der Experimentalphysik, Band 6: Festkörper". De Gruyter, 1992. (Thema/Bemerkungen: Grundlagen zur Festkörperphysik) [7] Paul, R.: Halbleiterphysik". (Thema/Bemerkungen: Grundlagen, sehr ausführlich) [8] Paul, R: Feldeekttransistoren". (Thema/Bemerkungen: MOSFETs, sehr ausführlich) [9] Göbel, H.: Einführung in die Halbleiterschaltungstechnik". Springer 2008. (Thema/Bemerkungen: Smile-Simulation anschauliche applets, sehr ausführliches Lehr- und Übungsbuch zu elektronischen Bauelementen und Schaltungen) [9] Kerns & Irwin: Essentials of electrical and computer engineering". Pearson 2004. [10] Fairchild Seminconductor Corp., Datenblatt 2N7000. 24