Auger Elektronenspektroskopie

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Auger
Elektronenspektroskopie
Von Benjamin Smith
PC II Seminar
20.12.2012
Inhaltsverzeichnis
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-Pierre Victor Auger
-Der Auger Effekt
-Aufbau/Prinzip
-Auger Elektronenspektrum
-Vor- und Nachteile
-Anwendungsbeispiele
-Quellen
Pierre Victor Auger
- geboren am 14. Mai 1899
-war Physiker und arbeitete in der Kern- und
Atomphysik
-beschäftigte sich mit kosmischer Strahlung
Piere Victor Auger
-1926 entdeckte er bei der Untersuchung der Einwirkung
von Röntgenstrahlung auf Materie den Auger Effekt
-Auger Effekt wurde bereits 1922 von Lise Meitner
entdeckt erhielt aber wenig Beachtung
-starb am 24. Dezember 1993
Der Auger Effekt
-strahlungsloser Übergang eines Elektrons in
der Elektronenhülle eines Atoms
-wird ein Elektron ausreichend angeregt wird es
aus dem Atom herausgelöst
-entstandene Lücke wird von Elektron aus
höherer Schale aufgefüllt
-frei werdende Energie wird auf ein Elektron in
einer höheren Schale übertragen
-dieses Elektron verlässt das Atom als Auger
Elektron
-konkurrenzprozess zur Emission eines
Photons
Schema Auger Effekt
Der Auger Effekt
-Energie des emitierten Auger-Elektrons
abhängig von Energieniveaus des beteiligten
Atoms
-ungefähre Energieabschätzung des Auger
Elektrons nach: KE= (EK-EL)-EM1,2
-Elektron wird aus K-Schale herausgelöst
-freigewordener Platz wird durch Elektron aus
L-Schale aufgefüllt
Schema Auger Effekt
-Elektron aus M-Schale wird ausgestrahlt
-emittiertes Elektron= KLM Auger Elektron
Der Auger Effekt
-anschauliche Vorstellung: Emittierung eines
Photons bei Auffüllung der Lücke
-sofortige Absorption dieses Photons im
selben Atom
-dadurch Emission des Auger Elektrons
-nur eine Modelvorstellung, da Auger Effekt
strahlungslos ist
Schema Auger Effekt
Der Auger Effekt
-Zahl der Auger Elektronen abhängig
von OZ des Elements
-Auger Elektronen eher bei leichteren
Elementen
-mit zunehmender OZ eher
Röntgenstrahlung ( Emission von
Photonen)
Aufbau/Prinzip
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-Auger Elektronen Spektroskop aufgebaut aus:
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-Probe
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-Elektronenkanone
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-Sputter
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-Elektronenanalysator
Aufbau/Prinzip
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Elektronenkanone:
Beschuss der Probe mit Elektronen
 beruht auf dem Prinzip der thermischen Emission
 Elektronen werden thermisch aus der
Elektronenquelle herausgelöst
 Quelle z.B. Wolfram mit einer Laufzeit von etwa
1000 Stunden
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Aufbau/Prinzip
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Sputter:
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Soll das eigentliche Material erfasst werden müssen Verunreinigugen
entfernt werden
Verunreinigungen können durch Sputtern ( zerstäuben) entfernt werden
Verunreinigungen werden mit energierreichen Ionen beschossen
Meist wird ionisiertes Argon verwendet
Verunreinigungen werden herausgelöst und gehen in die Gasphase über
Anwendung zur Präparation von hochreinen Oberflächen
Aufbau/Prinzip
Cylindrical Mirror Analyzer (CMA)
-bestehend aus zwei konzentrischen Zylindern
-äußerer Zylinder mit negativem Potential
-innerer Zylinder mit positivem Potential
-nur Elektronen mit der „richtigen“ kinetischen Energie
erreichen Detektor
-zu schnelle Elektronen prallen an den äußeren Zylinder
-zu langsame Elektronen prallen an den inneren
Zylinder
Schema CMA
Aufbau/Prinzip
Concentric Hemispherical Analyzer (CHA)
-bestehend aus zwei Halbkugeln mit
unterschiedlichen Potentialen
-Elektronen mit der „richtigen“ kinetischen
Energie erreichen den Detektor
-sonst selbes Prinzip wie bei CMA
Schema CHA
Aufbau/Prinzip
Schema Auger Elektronenspektroskop
Auger Elektronenspektroskop
Auger Elektronenspektrum
Sekundärelektronen
Auger Elektronen
Primärelektronen
Inelastische gestreute
Elektronen
Auger Elektronenspektrum
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-Primärelektronen: Elektronen, welche durch elastische Stöße die ursprüngliche
Energie des Elektronenstrahls haben

-Sekundärelektronen: Elektronen, welche durch inelastische Stöße mit
Primärelektronen nur noch eine geringe Energie besitzen

-inelastisch gestreute Elektronen: Elektronen, die einen Teil ihrer Energie durch
inelastische Stöße verloren haben
Auger Elektronenspektrum
-Auger Elektronspektrum von Kupfer
-L = ursprüngliche Elektronenlücke
-M2,3 = relaxierendes Elektron
-V = emittiertes Auger Elektron
-Verunreinigungen nicht so gut zu erkennen;
deshalb Autragung in differentierter Form
-Position des Signals = detektiertes Element
- Fläche unter Signal = Menge an Elektronen
Auger Elektronenspektrum und
differentiertes AES von Kupfer
Vorteile der AES
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-Hohe Nachweisempfindlichkeit
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-die Ergebnisse sind quantifizierbar. Es ist
möglich Konzentrationsangaben zu machen
Nachteile der AES
-Es werden nur die ersten 10 Atomlagen
durchdrungen
-Es muss unter Ultrahochvakuum
gearbeitet werden. Es kommt sonst zu
einer Anlagerung einer Schicht aus Gas.
Die Ergebnisse werden verfälscht
-Alle Elemente bis auf H und He
detektierbar. Die Ausbeute von AugerElektronen nimmt mit steigender OZ ab
Auger Elektronenausbeuter
Anwendungsbeispiele
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Chemische Forschung zur Aufklärung der Oberflächenstrukturen/Prozesse bei
Katalysen
Analyse von Korrosionsschutzproblematiken
Im Maschinenbau zur Herstellung dünner, verschleissfester Schichten oder
Hartstoffschichten auf Werkzeugoberflächen
Analyse in der Elektrotechnischen Industrie:
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Elektrische Kontakte
Kontaktmaterialien
Dünnschichttechnologien
Sensoren
Quellen
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http://www.chem.qmul.ac.uk/surfaces/scc/scat5_2.htm
http://www.prenhall.com/settle/chapters/ch42.pdf
http://upload.wikimedia.org/wikipedia/en/thumb/8/85/Pierre_Victor_Auger.jpg/220px-Pi
http://de.wikipedia.org/wiki/Pierre_Auger
http://de.wikipedia.org/wiki/Augerelektronenspektroskopie
http://www.fp.fkp.uni-erlangen.de/praktikumsversuche-master/Referate/e32.pdf
Danke für Eure
Aufmerksamkeit, Frohe
Weihnachten und einen
guten Rutsch ins neue Jahr
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