Elektronenstrahlmikrosonde electron probe x-ray microanalysis (EPXMA) Eigenschaften der Elektronen Masse me = 9,1.10-31 kg Elektrische Ladung e = 1,6.10-19 As Kraft im elektrischen Feld F = eE Kraft im magnetischen Feld F = evB Prinzip des Rasterelektronenmikroskops und des Elektronenstrahlmikroanalysators Erzeugung einer Elektronensonde (<1µm) Elektronenquelle Triodensystem bestehend aus: Kathode Wehneltzylinder Anode Wehneltzylinder Wolfram Haarnadelkathode, arbeitet durch Glühelektronenemission bei ca. T=2700 K Elektronenlinse Das magnetische Feld einer weicheisengekapselten stromdurchflossenen Spule beeinflusst die Bahn von Elektronen Einheit zur Rasterung des Elektronenstrahls ABT DS 150F, Topcon, Tokio Auswahl rasterelektronenmikroskopischer Aufnahmen von künstlichen und natürlichen Objekten Eichstandard zur Vergrößerungskontrolle Seitenlänge der kleinen Quadrate 10 µm Nanopartikeln (mittlerer Durchmesser 40 nm) Halbleiterspeicher- Chip Teil eines integrierten Schaltkreises (IC) Papieroberfläche Glaskapillare patch clamp Technik Pollenkörner Flügel der Stubenfliege Facettenauge Facettenauge Blutkapillaren der Iris des Rinderauges Biokristall Riechzellen der Ratte Otholit Kaseinmicellen der Ziegenmilch laserinduzierte Perforationen: massive Probe (links), dünne Folie (rechts) Wechselwirkung zwischen Elektronen und Materie Reichweite der Primärelektronen PE Erzeugung von Röntgenstrahlung Vereinfachtes Schema der Energiezustände eines Atoms Das Moseleysche Gesetz ermöglicht über die Messung der Wellenlänge bzw. Energie von charakteristischer Röntgenstrahlung die qualitative Elementanalyse D Die Auswertung der Braggschen Interferenzbedingung 2dsin =n liefert die Wellenlänge Energiedispersive Röntgenspektrometrie (EDX) Si(Li)-Kristall für EDX EDX Spektrometer mit Dewar für flüssigen Stickstoff zur Kühlung des Si(Li)-Kristalls Röntgenspektrum von Messing Elementverteilungsbild, Kalium im Bereich einer Spaltöffnung