Aufrüstbare optische Tische der Serie SmartTable® mit IQ

987
Optische Tische und Schwingungsisolierung
M-ST-UT2 Serie
TECHNISCHE
ERLÄUTERUNGEN
Aufrüstbare optische Tische der Serie
SmartTable® mit IQ® Dämpfungstechnologie
• Vor Ort mit aktiven IQ Dämpfern über das Leistungsniveau
der M-ST SmartTable hinaus aufrüstbar
• Die gedämpfte Arbeitsfläche beseitigt Resonanzen in der
Deckplatte
• Kernwaben machen den Tisch leichter und steifer und sorgen für eine bessere dynamische Steifigkeit
Tisch und Isolatoren sind separat erhältlich
MONTAGEPLATTEN
• Dreilagige Verbindungen der Kernzellen erhöhen die
Punktbelastbarkeit
10-3
10-3
10-4
10-5
(in/lb)
Compliance (mm/N)
10-4
10-5
10-6
10-6
10-7
100
10
1000
Frequenz (Hz)
Aktive Dämpfung EIN
Aktive Dämpfung AUS
Rigid
Compliancekurve der M-ST-UT2 Serie. Die Tischresonanzen sind bei eingeschalteter Dämpfung
deutlich reduziert. Die Compliancekurve bezieht
sich auf einen 203 mm dicken Tisch.
Oberflächenebenheit (mm)
Kern-Design
2
Ferromagnetischer Edelstahl der Serie 400
4,8 mm dick mit interner Dämpfungsschicht
1,5
±0,1, über 600 mm im Quadrat
Stahlwaben mit Zwischenstreben; vertikal verklebte, geschlossene Zellkonstruktion;
0,25 mm dickes Stahlblech; dreilagige 0,76 mm dicke Kernverbindung
Schmalbandige abgestimmte Schwingungsdämpfer
0,5
Breitbanddämpfung
Kern mit dämpfenden Zwischenschichten, gedämpfte Arbeitsfläche und Seitenpaneele
aus Verbundwerkstoff
Montagebohrungen
M6-1,0 Gewindebohrungen im 25 mm Raster, 12,5 mm vom Rand
Bohrungs-/Kernversiegelung
Leicht zu reinigende konische Kappen, 19 mm tief,
nicht korrodierendes, schlagfestes Polymer-Material
Typische Leistungsdaten
1
M-RS2000 Serie
0,8 x 10-3
Maximale relative Bewegung (mm)*
<2,0 x 10-7
Durchbiegung unter Last (mm)**
<1,3 x 10-3
Anmerkung: Typische Werte für Tische mit 305 mm Dicke.
* Berechnet und interferometrisch in einem relativ ruhigen Labor überprüft; dabei ruhte der Tisch auf
pneumatischen Isolatoren.
** Berechnet und überprüft für eine 114 kg schwere Last in der Mitte eines 305 mm dicken Tisches.
Schwingungsisolatoren sind separat erhältlich.
100
150
200
Aktive Dämpfung EIN
Aktive Dämpfung AUS
250
300
350
400
450
Frequenz (Hz)
Diese Abbildung zeigt das Schwingungsspektrum
eines SmartTable der Serie M-ST-UT2 mit iQ
Dämpfung. Wenn die iQ Dämpfung aktiviert ist,
werden die Bewegungen auf dem Tisch minimiert.
Die iQ Dämpfung eliminiert die Resonanzen des
Tisches, insbesondere in dem wichtigen Bereich von
100-400 Hz. Darüber hinaus kann man festellen,
dass bei Vergleich des M-ST-UT2 Schwingungsspektrums mit dem Spektrum des M-ST Tisches die
auftretenden Amplituden bei der M-ST-UT2 Serie
aufgrund der zusätzlichen abgestimmten Dämpfung
deutlich kleiner sind.
TESTS, ANALYSEN
UND DESIGN
Email: [email protected] • Web: newport.com
50
SCHIENENSYSTEME
UND REITER
Maximaler dynamischer Durchbiegungskoeffizient
0
SCHWINGUNGSISOLIERTE
ARBEITSPLÄTZE
Abgestimmte Dämpfung
Verschiebung (nm)
Arbeitsfläche
ISOLATOREN
Technische Daten
STAHLWABEN, GRANIT UND
STARRE STRUKTUREN
Der komplett integrierte SmartTable der M-ST Serie besitzt ab Werk installierte IQ Dämpfer. Falls Sie sich jedoch noch nicht sicher sind, wieviel Dämpfung Sie für Ihre Anwendung
benötigen, oder wenn Sie auf spätere Änderungen Ihrer Versuchsanforderungen oder
Laborumgebung vorbereitet sein möchten, bieten die nachrüstbaren optischen Tische der
M-ST-UT2 Serie eine optimale Lösung, bei der die abgestimmte Dämpfung von Newport
mit der IQ Dämpfung verbunden werden kann. Die SmartTable der M-ST-UT2 Serie sind
vor Ort mit IQ Dampfern aufrüstbar. Ohne IQ Dämpfer entsprechen sie der Serie MRS2000. Mit steigenden Anforderungen können sie jedoch vor Ort mit dem Nachrüst-Set
IQ-200-UG auf das SmartTable Leistungsniveau mit aktiver Dämpfung aufgerüstet werden,
ohne dabei den auf dem Tisch befindlichen Aufbau entfernen zu müssen. Nach der Aufrüstung bietet der M-ST-UT2 Tisch eine deutlich ruhigere Arbeitsfläche und gewährleistet
damit eine höhere Qualität bei Abbildungen, eine optimierte Langzeitstabilität, kürzere
Rückstellzeiten und die Möglichkeit, empfindliche Messungen nicht nur bei absolut ruhigen Laborumgebungen durchführen zu können. Der aufgerüstete M-ST-UT2 SmartTable
gestattet es dem Anwender außerdem, die Schwingungen des optischen Tisches zu überwachen. Eingebaute Schwingungssensoren liefern in Echtzeit eine Rückmeldung über den
Schwingungszustand des Tisches.
OPTISCHE TISCHE
• Konstruktion reduziert selektiv Torsions- und Biegemoden
des Tisches
988
Optische Tische und Schwingungsisolierung
STAHLWABEN, GRANIT UND
STARRE STRUKTUREN
MONTAGEPLATTEN
OPTISCHE TISCHE
TECHNISCHE
ERLÄUTERUNGEN
Bestell-Information
Breite
(m)
Länge
(m)
Dicke
(mm)
M-ST-UT2-46-8
1,2
1,8
203
M-ST-UT2-46-12
1,2
1,8
305
M-ST-UT2-48-8
1,2
2,4
203
M-ST-UT2-48-12
1,2
2,4
305
M-ST-UT2-410-8
1,2
3,0
203
M-ST-UT2-410-12
1,2
3,0
305
M-ST-UT2-410-18
1,2
3,0
457
M-ST-UT2-412-18
1,2
3,6
457
M-ST-UT2-414-18
1,2
4,2
457
M-ST-UT2-56-8
1,5
1,8
203
M-ST-UT2-56-12
1,5
1,8
305
M-ST-UT2-58-8
1,5
2,4
203
M-ST-UT2-58-12
1,5
2,4
305
M-ST-UT2-510-18
1,5
3,0
457
M-ST-UT2-512-18
1,5
3,6
457
M-ST-UT2-514-18
1,5
4,2
457
Modell
Modell
Description
ST-BRKT
Montagewinkel für ST-200
IQ-200-UG-8
Aufrüstsatz für 203 mm dicke Tische der Serien M-ST-UT und M-ST-UT2. Dieser Aufrüstsatz ist mit zölligen und metrischen Tischen kompatibel und enthält
zwei IQ Dämpfer, eine ST-200 Steuerung, zwei Kabel, Handbuch, Software und alle darüber hinaus für die Aufrüstung benötigten Komponenten.
IQ-200-UG-12
Aufrüstsatz für 305 mm dicke Tische der Serien M-ST-UT und M-ST-UT2. Dieser Aufrüstsatz ist mit zölligen und metrischen Tischen kompatibel und enthält
zwei IQ Dämpfer, eine ST-200 Steuerung, zwei Kabel, Handbuch, Software und alle darüber hinaus für die Aufrüstung benötigten Komponenten.
Weitere kundenspezifische Abmessungen sind auf Anfrage erhältlich.
152,4
ISOLATOREN
3 Bohrungen mit
Gew. 1/4"-20 / Ø 203,2
W
Breite
der Platte
±3,0
Anordnung der Montagebohrungen für Isolatoren
Breite/2
A
A
Dicke
3
BREITE (W)
LÄNGE (L)
ABSTAND (A)
(mm)
(mm)
(mm)
900
6000
1346
1200
5400
1194
1500
4800
1067
4200
940
3600
813
3000
686
2400
559
1800
406
Die iQ Dämpfungstechnologie der M-ST-UT2
Serie verkürzt die Rückstellzeiten eines optischen
Tisches um den Faktor 4.
2
1
Anmerkung: Nachstehende Kurven sollten als
Anhaltspunkte betrachtet werden. Wenn Sie die
Leistungsdaten eines speziellen Tisches erfahren
möchten, wenden Sie sich bitte Ihr Newportbüro.
0
-1
-2
-3
0
TESTS, ANALYSEN
UND DESIGN
Breite
Länge
Beschleunigung (10-3 G)
SCHIENENSYSTEME
UND REITER
SCHWINGUNGSISOLIERTE
ARBEITSPLÄTZE
L ±3,0
0,1
0,2
0,3
0,4
0,5
0,6
0,7
0,8
0,9
1,0
Zeit (s)
Aktive Dämpfung AUS
Aktive Dämpfung EIN
Telefon: +49-(0) 6151-708-0 • Fax: +49-(0) 6151-708-952