05_vsws1112_ecris_hf..

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5) Die Elektron Zyklotron Resonanz Ionenquelle (EZR) – HF Ionenquellen
5.1 Die EZR:
Mikrowellen-Ionenquellen (f > 1 GHz) wurden für die Erzeugung mehrfach geladener Ionen entwickelt.
Ende der 60er Jahre entstanden die ersten Quellen, welche die Elektron Zyklotron Resonanz Heizung
nutzen und einen magnetischen Einschluss des Plasmas in R. Geller's Gruppe. Seine Erfahrungen mit
"mirror machines" für Fusionsplasmastudien kamen dabei zu Hilfe. Hierzu wurde eine entsprechende
Min B Konfiguration gewählt. Je besser der magnetische Einschluss ist, umso höher geladene Ionen
kann man erzeugen.
Man unterscheidet EZR-Quellen mit
f < 2.45 GHz für intensive Strahlen
niedrig geladener Ionen und
f > 2.45 GHz für Strahlenhochgeladener Ionen.
Das Prinzip der EZR ist nebenstehend gezeigt. Der magnetische
Einschluss wird in die axiale
Richtung durch Solenoidspulen und
in die radiale Richtung durch
Permanentmagnete in Multipolanordnung. Eine Mikrowelle, die in
die Kammer geführt wird, sorgt
für die Plasmaproduktion.
Die Plasmakammer ist isoliert und wird zur Extraktion auf eine Hochspannung gelegt.
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5.1
Strahlt man Mikrowellenleistung bestimmter Frequenz in ein Gebiet, in dem sich ein Magnetfeld von
ausreichend hoher Feldstärke befindet, so kann bei einem bestimmten Gasdruck mit Hilfe der ZyklotronResonanzbedingung für Elektronen ein Plasma gezündet werden.
Durch spezielle Anordnung von axialen und radialen Magnetfeldkomponenten (magnetische Minimum-B
Struktur) erzielt man den höchst möglichen Plasmaeinschluss zur Erzeugung von heißen PlasmaElektronen durch Mikrowellenleistung. Die Plasmakammer ist eine Mikrowellenkavität. Für die
Mikrowellenheizung gilt die Resonanzbedingung:
B
e
c 
B 
me
f 
multipole
field
eB
 2.796 1010  BT 
2  me
solenoidal
field
ECR zone
BECR=e/m
Für B = 1 T ist f = 28 GHz
oder
f = 10 GHz erfordert B = 0.36 T.
Microwave
magnetic field
distribution
Das Spiegelverhätnis Bmax/Bmin beträgt im allgemeinen 2-4 und Bmax liegt in der Regel um den Faktor 2
über dem EZ-Resonanz Magnetfeldwert. Für Frequenzen oberhalb von 20 GHz werden Magnetfelder
oberhalb von 1.5 T erforderlich, die mit supraleitenden Magneten erzielt werden können. Die
Multipolgeometrie bestimmt die Form der Verlustlinien und –flächen. Je höher die Zahl der Pole, umso
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5.2
größer sind die Verlustflächen an den beiden Enden des "confinement". Die Verlustfläche ist eine Folge
der Schwächung des axialen Feldes durch das Feld der Permanentmagnete, welche den Multipol
formen und dem axialen Feld entgegengepolt sind.
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5.3
Moderne Quellen nutzen ein Eisenjoch, um den
Leistungsverbrauch zu reduzieren. Außerdem
vermindert ein Eisenjoch den Einfluss von Streufeldern auf das Plasma und den extrahierten
Strahl.
Die erste Quelle, welche die Basis für alle
EZR Quellen bildet war Geller's SuperMAFIOS
(1975). Jedoch war der Leistungsverbrauch
von 3 MW für Anwendungen inakzeptabel. Daher
wurde von Geller und Mitarbeitern die MiniMAFIOS
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5.4
entwickelt mit 100 kW Leistungsverbrauch und 10 GHz Mikrowellenfrequenz. 1987 bauten Geller und
Sortais die erste EZR komplett mit Permanentmagneten. Die sogenannte NEOMAFIOS benötigt nur die
Leistung zur Erzeugung der Mikrowelle.
Die Ionen im Plasma werden nicht aufgeheizt,
sondern bleiben nahezu thermisch. Aus
diesem Grund ist die Wechselwirkung
zwischen den „langsamen“ Plasma-Ionen
und dem Magnetfeld sehr gering. Der
Einschluss der Plasma-Ionen kann
daher nur elektrostatisch durch das
Raumladungsfeld der magnetisch eingeschlossenen Plasma-Elektronen erfolgen.
Ein EZR-Plasma unterscheidet sich deutlich
von anderen Plasmen, da die Temperatur
seiner Bestandteile, Elektronen und Ionen,
extrem verschieden sind. Während die PlasmaElektronen Temperaturen bis zu mehreren
hundert keV haben, sind die Temperaturen der
Plasma-Ionen im eV-Bereich, d. h. ihre mittlere
kinetische Energie ist sehr gering. Das
magnetische Moment der Plasma-Ionen
ist daher sehr klein und sie treten
somit kaum in Wechselwirkung mit dem äußeren Magnetfeld. Für die Plasma-Ionen mit geringer
Geschwindigkeit ist somit kein direkter Plasmaeinschluss mit Hilfe von Magnetfeldern möglich.
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5.5
Besonderheit EZR-Plasma: Geringfügige Potentialabsenkung des
inneren Plasmabereichs ggü. der Heizzone (Potential Dip).
Dies resultiert aus dem Zweikomponentenplasma mit unterschiedlichen Elektronentemperaturen.
Die Elektronenverteilung stellt sich so ein, daß
je, kalt  je, heiß
wegen
vheiß  vkalt
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
je ,kalt
kalte
Zone
 e, kalt vkalt   e, heißvheiß

 e, kalt   e, heiß
j e ,heiß
heiße
Zone,
EZR
5.6
Die Abhängigkeit von Elektronendichte ne und –temperatur Te von der Mikrowellenleistung zeigen
erstaunliches.
Die Dichte nimmt ab einer bestimmten Leistungsschwelle ab und die Temperatur geht in eine Sättigung.
Dies resultiert aus der Abnahme der Einschlusszeit und der Zunahme des Plasmavolumens mit
steigender Leistung. Vor allem wird auch die stochastische Elektronenheizung ineffizienter, wenn die
Mikrowellenleistung zu hoch ist.
Die Plasmadichte wird begrenzt durch
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f cutoff  f p  f  wave .
5.7
 
f p  8.98 ne m3 Hz 
ne 
==>

m   1.23 10
81
f p2
3
10

 f 2 cm 3

Te3 / 2
 
 const
Die Einschlusszeit der Elektronen ist e
ne
Prf
Für die Leistungsbilanz gilt
Vp

ne kTe
e
ne2 k
 1/ 2
Te
und damit
ne 
Prf
Vp
 Te1 / 4
Vp ist das Plasmavolumen, welches entlang der Feldlinien zum Extraktionsbereich führt. Diese wächst
stärker als die HF-Leistung und die Elektronentemperatur. Der Ionenstrom im Ladungszustand q ergibt
sich aus
Iq 
nq  q  e  V p
q
2
 ne  V p  B 2  V p   HF
Dabei ist q die Ioneneinschlusszeit im Plasma. Typische Werte für ne ~ 1012 cm-3. Um hochgeladene
Ionen zu generieren muss
 q  0.01s
sein.
Das „Aufheizen“ der Plasma-Elektronen mit Hilfe der Mikrowelle durch die Elektron-Zyklotron-Resonanz
wird optimal, wenn der elektrische Feldvektor der Mikrowelle senkrecht zu den Linien des statischen
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5.8
Magnetfeldes rotiert, d.h. es muß ein zirkular polarisiertes elektromagnetisches Feld sein. Hierbei erfährt
das Elektron während jeder Halbwelle des elektrischen Feldes einen Energiezuwachs. Ein Elektron muß
die Heizzonen sehr oft durchqueren, um auf hohe Energien aufgeheizt zu werden. Röntgenspektroskopische Messungen haben gezeigt, dass die Elektronen auf Energien bis zu 1 MeV
beschleunigt werden, obwohl die elektrischen Feldstärken der Mikrowellenfelder nur etwa 100 V/cm
betragen, d. h. die Elektronen müssen die Resonanzzone sehr oft durchlaufen haben.
Die Einkopplung der Mikrowelle in die "multimode"-Plasmakammer kann an verschiedenen Stellen
geschehen, wie oben gezeigt ist.
Die Produktion von Metall-Ionen geschieht durch
verdampfen des Materials in einem Ofen oder
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5.9
durch Sputtertargets, welche in die Nähe des
Plasmas gebracht werden.
Die Extraktion von Ionen geschieht entweder
kontinuierlich oder im sogenannten
"afterglow mode".
Bei diesem Modus wird
die HF abgeschaltet, wodurch der
Ioneneinschluss aufgehoben wird. Daher
erfolgt nach entsprechender Optimierung
der Magnetfeldkonfiguration, ein hoher
Strom hochgeladener Ionen im Puls.
Dazu muß der Einschluss möglichst gut sein.
Man erkennt, daß dann der dc-Strom
deutlich geringer ist.
Die Pulslängen liegen zwischen 0.5 – 5 ms.
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5.10
Die Ionen werden über die geerdete Elektrode zum Plasma transportiert und bei der Injektion in das
Plasma auf wenige eV abgebremst, da die Plasmavakuumkammer auf Hochspannung liegt. Die Ionen
werden nur dann gefangen, wenn diese durch Stöße mit den Plasma-Ionen schnell genug abgebremst
werden.
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5.11
Typisches Spektrum:
Metallionenproduktion
durch Metallverdampfen in
einem Ofen.
171 nA Pb2+ injected
560 nA In+ injected
Spektrum bei externer
Injektion von Metallionen wie
z.B. In1+ oder Pb1+.
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5.12
Entwicklung in der EZR-Technik. VENUS ist eine EZR der 3. Generation (high end device), wobei die
Magnetfelder ausschließlich mit supraleitenden Spulen erzeugt werden. Die Struktur und die Daten sind
nachfolgend dargestellt. Einen Überblick der Skalierungsgesetzte, welche für moderne EZR-Quellen
gelten, ist auch dargelegt.
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5.13
Skalierungen bei der EZR
Dabei ist M die Masse der Ionenspezies, welche man extrahieren möchte. Im Allgemeinen wird Gas
injiziert, um die hochgeladenen Ionen der gewünschten Isotope zu produzieren. Wenn hochgeladene
Ionen exotischer Nuklide für Experimente erforderlich werden, dann ist eine externe Injektion von
einfach geladenen Ionen erforderlich.
Des Weiteren gelten folgende Magnetfeldverhältnisse für eine Hochleistungs-EZR (siehe auch 5.2):
Binj/Becr ~ 4, Bext/Becr ~ 2, Bmin/Becr ~ 0.8, Brad/Becr > 2, Bext/Brad < 0.9
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5.14
Dabei ist Binj (Bext) die maximale Feldstärke auf der Injektionsseite (Extraktionsseite), Brad das radiale
Feld des Sextupols an der Plasmakammerwand und Bmin die Minimumfeldstärke zwischen den
magnetsichen Spiegeln.
Typische Werte:
 Mikrowellenleistungen von 100–500W:
 16O6+-und 40Ar10+-Ionenströme von mehr als 2μA und bis zu 10μA für 197Au25+
 209Bi25+ und 238U27+ - Ionen zu erreichen
28 GHz SC-ECRIS (extrapolated)
28 GHz SERSE
18 GHz SERSE
18 GHz RT-ECRIS
14 GHz GSI-CAPRICE II
Vergleiche von
EZR Quellentypen:
intensity (eµA)
1000
100
10
1
20
25
30
35
40
45
50
Xe charge state
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5.15
5.2 Hochfrequenz getriebene Ionenquellen:
Das Nutzen von HF-generierten Plasmen geht bis in die 40er Jahre zurück. Die HF-getriebenen
Volumenquellen können mit jedem Arbeitsgas operieren, da keine Filamente beschädigt werden
können. Ein Beispiel ist Sauerstoff, welches die Wolframfilamente der Volumenquellen angreift. Das
Grundprinzip zeigt die dargestellte Quelle vom Thonemantyp. Die typischen Arbeitsdrücke dieser
Quellen liegen bei 10-2 – 10-3 mbar.
Die HF-Leistung reicht von einigen hundert Watt
Bis zu einigen kW. Die eingestrahlte Radiofrequenz
liegt im Bereich zwischen 1-100 MHz.
Es gibt zwei mögliche Ankopplungsarten:
 Kapazitiv zwischen zwei Elektroden
typisch ist der Aufbau eines
Zylinderkondensators.
 Induktiv über eine Induktionsspule.
Die Spule kann dabei außerhalb der Vakuumkammer liegen. Dann muss die Kammer aus
Glas oder Quarz bestehen. Oder Innerhalb der
Vakuumkammer als spiralförmige Antenne
Die Vorteile der Quellen:
Kaum Verschleißteile, bessere konstante Entladung, unabhängig von den Kathodeneigenschaften.
Daher sind diese Quellen als Ionenantriebe geeignet!
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5.16
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5.17
externe Antenne
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interne Antenne
5.18
Plasmaerzeugung durch Einkopplung von HF:
E  E p sin( t )

x
HF
dv
me
 eE p sin( t   )
dt
eE p
cos  cost   
v  v0 
me
Ohne Kollisionen entnehmen die Elektronen der HF keine Energie!
Durch Stöße ändert sich die Phase der Elektronenbewegung. Dadurch können die Elektronen Energie
aus dem HF-Feld entnehmen. Durch Ionisation werden weitere freie Elektronen produziert. Übersteigt
die Produktionsrate die Verlustrate folgt eine stabile HF - Entladung.
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5.19
Der Schwingkreis der die Ankopplung übernimmt, wird resonant betrieben.
Pulsgenerator
Frequenzgenerator
Vorverstärker
HF-Verstärker
HFAnpassungsnetzwerk
Z  iL1  RV 
1

i C
1
1
1

iL2 RL
Änderung der Plasmaparameter führt zu einer Änderung von RL.
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5.20
Durch die induktive Kopplung wird ein
azimuthales elektrisches Wechselfeld
erzeugt, welches Elektronen im Gas zu
Oszillationen anregt und dabei genügend
Energie überträgt, damit ein Plasma
generiert werden kann.
Mit induktiv HF-getriebenen
multicusp-Volumenquellen können
Stromdichten von über 1 A/cm2
erzielt werden.
Die erreichbaren Stromdichten
sind von der Masse der Ionen abhängig,
vor allem für sehr leichte Ionen.
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5.21
Typische Spektren einer multicusp Quelle:
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5.22
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