Gebrauchsanweisung - 4

Gebrauchsanweisung UltrA C150
Plasma Cleaner
UltrA C150
Gebrauchsanweisung
TEC
TEC
Gebrauchsanweisung UltrA C150
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Das Plasmareinigungsgerät UltrA C150 dient der trockenen,
materialschonenden und umweltfreundlichen Feinreinigung von
Metalloberflächen.
Hinweis

Vor Inbetriebnahme unbedingt die Anleitung lesen! Die
Gebrauchsanweisung an gut sichtbarer Stelle in der
Nähe des Gerätes anbringen.
Wirkungsweise
Der reinigende Effekt entsteht durch die Einwirkung des
Plasmas (ionisierter Gasteilchen) auf die kontaminierte
Metalloberfläche. Durch die Energie der Ionen werden hauptsächlich organische Substanzen und Kohlenstoff von der
Oberfläche abgetragen und mit dem Gasstrom aus der
Vakuumkammer entfernt.
Inbetriebnahme
Lagerung und Betrieb des Gerätes nur in trockenen Räumen.
Vor der Inbetriebnahme prüfen, ob die Netzspannung mit den
auf den Typenschildern von Gerät und Pumpe angegebenen
Nennspannungen übereinstimmt.
1.
Anwendung
Das Verfahren ist nur für die Reinigung metallischer Teile
anwendbar. Es eignet sich besonders zur Entfernung der o.g.
Kontaminationen im Nanometerbereich. Mit einem geringfügigen
Abtrag der Metalloberfläche ist zu rechnen.
Bei komplexen Gebilden mit Kunststoffteilen ist darauf zu
achten, daß Kunststoffe dem Plasma möglichst wenig ausgesetzt werden.
Ungeeignet ist das Verfahren bei groben, mineralischen
Verunreinigungen, wie z.B. Fingerabdrücken.
Zu reinigende Objekte müssen elektrisch leitend mit dem
Kontaktierungsgerüst (d.h. der Hochspannung) verbunden
werden. Bei der Reinigung erwärmen sich die Objekte je nach
Größe, Gewicht und Plasmaleistung auf bis zu 90°C.
Geräteeigenschaften und -merkmale
Die Plasmareinigung erfolgt auf Tastendruck microprozessorgesteuert, wobei verschiedene Prozeßparameter vom Benutzer
vorgegeben werden. Für den Prozeß ist Vakuum sowie die
Erzeugung einer Hochspannung innerhalb der Vakuumkammer
erforderlich.
Das Gerät beinhaltet mehrere Sicherheitsfunktionen, um
Fehlermöglichkeiten und Gefährdungen vorzubeugen.
Die Vakuumkammer dient während dem Reinigungsbetrieb als
Prozessraum und als Schutz vor Hochspannungsschlag.
Das Vakuumsystem wird durch Reedkontakte, die das
Vorhandensein der Vakuumglocke kontrollieren, sowie durch
einen Drucksensor zweifach überwacht.
Während des Reinigungsprozesses stellt sich der Arbeitsdruck
durch ein abgestimmtes System von Vakuumpumpe und
Luftzufuhr ein.
Die grundlegenden Sicherheitsanforderungen der EG-Richtlinien
werden eingehalten.
Vorbereitung der Vakuumpumpe
Bei Bedarf die Vakuumpumpe gemäß Gebrauchs- und
Wartungshandbuch mit Öl befüllen. Der Füllstand darf nicht die
Mitte des Sichtfensters unterschreiten. Nur DVP-Öl verwenden.
2.
Aufstellung von Gerät und Pumpe
Gerät und Vakuumpumpe auf festen, nicht geneigten
Untergrund stellen. Gerät nicht auf Papier oder Folie stellen.
Pumpe wenn möglich auf den Fußboden stellen.
Darauf achten, daß am Gerät Kühlluft rundum am Boden
ungehindert eingesaugt werden kann, und daß der Luftstrom
zum Lüfter der Pumpe nicht behindert wird.
Die Transportsicherungskappen von den Hochspannunngsdurchführungen abziehen.
3.
Anschluß der Vakuumpumpe
Ein unsachgemäßer Vakuumanschluß kann zu Schäden am
Gerät führen.
Den Vakuumschlauch an die Pumpe mit Innenzentrierring und
Normalspannring,
an
der
Geräterückseite
(Flansch
"Vakuumschlauch") mit Außenzentrierring und Normalspannring
befestigen. Auf korrekten Sitz der Ringe achten.
Das Netzkabel der Pumpe mit der Schuko-Kupplung an der
Gehäuserückseite verbinden (Aufschrift "Vakuumpumpe").
Den Pumpennetzschalter 0/1 auf 1 einstellen und immer so
belassen. Die Pumpe wird automatisch vom Gerät geschaltet.
Es wird empfohlen, am Pumpenablaß eine Ablaßleitung nach
außen anzuschließen.
Gebrauchsanweisung UltrA C150
4.
Netzanschluß des Gerätes und Funktionstest
Nach dem Netzanschluß des Gerätes mit dem beiliegenden
Netzkabel ist das Gerät betriebsbereit.
Für einen Funktionstest das Gerät am grünen Netzschalter 0/1
einschalten. Dieser leuchtet auf, und im Display erscheint der
Text “UltrA C150 VX.X“.
TEC
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Gebrauchsanweisung UltrA C150
Text "Prozess beendet Lstg: X Zykl: Y"
Plasmareinigung - Verfahrensschritte
-
1.
Gerät am Netzschalter 0/1 einschalten. Text "Ultra C150
VX.X".
2.
Taste "Enter" betätigen. Ausschrift "Plasmaleistung?
3.
Vakuumglocke abnehmen und Kontaktgerüst aufsetzen.
Polarität beachten, schwarzer Punkt zu schwarzem Punkt .
Abbruchmöglichkeiten:
- Während des Evakuierens oder in der Abkühlpause mit
der Taste "Enter".
- Während der Plasmareinigung nur im Notfall durch
Ausschalten des Gerätes am Netzschalter 0/1.
4.
Zu reinigendes Objekt elektrisch kontaktieren:
Objekt auf Kontaktgerüst positionieren. Darauf achten, daß
Kunststoffteile möglichst mehr als 1 cm von allen metallischen Oberflächen entfernt sind (Kabel/Drähte von Metallteilen fernhalten, gefährdete Kunststoffpartien evtl. mit
Klebeband abkleben). Auf festen Sitz des Objekts wegen
möglichen Geräteerschütterungen achten.
Elektrisch isolierte Metallteile bei komplexen Objekten
gesondert kontaktieren (mittels Kontaktstecker etc.).
1".
5.
Vakuumglocke korrekt aufsetzen.
6.
Plasmaleistung wählen:
mit Taste "Value" den Wert verändern, mit Taste "Enter"
bestätigen.
1: kleine Leistung,
2: mittlere Leistung,
3: große Leistung.
Ausschrift nach “Enter“: "Anzahl Zyklen? 1".
7.
Anzahl der Plasmazyklen wählen:
mit Taste "Value" den Wert verändern, mit Taste "Enter"
bestätigen.
(Erläuterung Zyklus siehe unter 9.)
Die Zyklenzahl ist zwischen 1 und 10 einstellbar.
Ausschrift nach "Enter": "Plasmareinigung starten?".
8.
Plasmareinigung mit Taste "Enter" starten.
9.
Plasmareinigung:
Text: "Lstg: X Zykl: Y Restzeit: ZZZ"
"Lstg" gibt die gewählte Plasmaleistung an,
"Zykl" gibt die verbleibende Zyklenzahl an,
"Restzeit" gibt die verbleibende Zeit bis zum Ende des aktuellen Zyklus an.
10. Gereinigtes Objekt entnehmen.
11. Gerät für einen weiteren Reinigungsprozeß vorbereiten oder
am Netzschalter 0/1 ausschalten.
Wichtige Hinweise für den Betrieb
 Die Vakuumglocke nach dem Abnehmen auf dem
beigefügten Stativ absetzen, um den Dichtring vor
Verschmutzung zu schützen!
 Immer auf korrekten Sitz des Kontaktgerüstes auf den
Hochspannungsdurchführungen achten!
 Die Temperatur des zu reinigenden Objekts nimmt mit
höherer Plasmaleistung und größerer Zyklenzahl zu.
Dieser Sachverhalt ist besonders bei Objekten, denen
Temperaturen über 50°C schaden, zu berücksichtigen!
Sicherheitshinweise

Beim Betrieb sind die einschlägigen Richtlinien für
Arbeiten
an
Vakuumanlagen
zu
berücksichtigen.
Insbesondere sind Schutzbrillen zu verwenden!

Das Starten der Plasmareinigung ohne aufgesetzte
Vakuumglocke ist unzulässig und kann Gerät und
Benutzer gefährden!

Der Betrieb mit einer anderen als der mitgelieferten
Vakuumpumpe RC.8D kann zu Fehlfunktionen aufgrund
veränderter Vakuumbedingungen führen!

Der
Betrieb
mit
beschädigter
Vakuumglocke
ist
Ablauf des Reinigungszyklus:
unzulässig.
- Evakuieren der Vakuumkammer (ca. 40 Sek.),
!!
- Plasmareinigung (120 Sek.),
Die Vakuumglocke ist bei Beschädigung unverzüglich
- Belüftung der Kammer,
zu ersetzen!
- Abkühlpause (180 Sek., jedoch nur falls ein weiterer
Zyklus folgt),
Ende der Reinigung:
Implosionsgefahr
!!

Keine Arbeiten an elektronischen Bauteilen vornehmen!

Gerät nicht öffnen!
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Gebrauchsanweisung UltrA C150
Fehlermöglichkeiten
Displaytext
Fehler / Vorkommnis
Abhilfe
"Ultra C150 VX.X"
Vorhergehender Stromausfall oder
Prozessorfehler mit Reset
Reinigungsergebnis prüfen und evtl.
erneute Reinigung durchführen
"Bitte bestücken+Kammer schließen"
Versuch, den Reinigungsprozeß zu starten,
bevor Kontaktgerüst bzw. Vakuumglocke
aufgesetzt wurde.
Kontaktgerüst und Vakuumglocke
aufsetzen, und mit Verfahrensschritt Nr. 6
fortfahren
"Abbruch durch Benutzer"
Reinigungsprozeß wurde durch Betätigung
der “Enter“-Taste abgebrochen
“Enter“-Taste betätigen
"Bitte Kammer öffnen"
Reinigungsprozeß wurde erfolgreich beendet
und die “Enter“-Taste betätigt
Vakuumglocke abnehmen
"Bitte Kontaktgerüst aufsetzen"
Reinigungsprozeß wurde ohne Kontaktgerüst
gestartet und automatisch abgebrochen
Kontaktgerüst aufsetzen, “Enter“-Taste
betätigen
"Bitte Vakuumsystem prüfen"
"Vakuum außerhalb der Toleranz“
Der Drucksensor hat einen unzureichenden
Vakuumdruck in der Kammer ermittelt
Vakuumanschlüsse sowie Sitz der
Vakuumglocke auf Dichtigkeit überprüfen,
elektrischen Anschluß und Funktion der
Vakuumpumpe überprüfen
"Drucksensor ist defekt"
Fehlfunktion des Drucksensors
Vertrieb / Service benachrichtigen
"Fehler! Vorsicht Hochspannung!“
Fehlfunktion in der Geräteelektronik
Gerät am Netzschalter 0/1 ausschalten und
nach 10 Sek. wieder einschalten. Falls der
Fehler wiederholt auftritt, Vertrieb / Service
benachrichtigen
Gerät läßt sich nicht einschalten
Netzleitung und Netzspannung überprüfen
Vakuumpumpe arbeitet nicht nach
Prozeßstart
Elektrischen Anschluß der Vakuumpumpe
gemäß Inbetriebnahme Pkt. 3 überprüfen
Fehlverhalten der Gerätesoftware
Vertrieb / Service benachrichtigen
"Kammer ist nicht geschlossen"
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Gebrauchsanweisung UltrA C150
Regelmäßige Wartung und Reinigung
Technische Daten
Das Gerät ist zur Gewährleistung einer einwandfreien Funktion
immer in sauberem Zustand zu halten. Dies betrifft insbesondere
das Vakuumsystem.
Elektrische Daten



Leistungsaufnahme Ultra C150
250 W (max)
Leistungsaufnahme Pumpe RC.8D
370 W
Gehäuse:
Nennspannung UltrA C150
220 – 240 V / 50 – 60 Hz
Kunststoffgehäuse mit weichen Tuch entweder feucht oder
mit milden Reinigungsmittel reinigen. Die Frontfolien nur mit
Wasser reinigen.
Keine Feuchtigkeit in das Gehäuse eindringen lassen!
Nennspannung Pumpe RC.8D
220 – 240 V / 50 – 60 Hz
Sicherungen Ultra C150
T 4A 250 V
Daten Vakuumsystem
Enddruck
0,25 mbar (absolut)
Vakuumkammer:
Arbeitsdruck
1,2 – 1,8 mbar (absolut)
Vakuumglocke bei Bedarf innen von Ablagerungen reinigen.
Vorher den Dichtring abziehen. Die Außenbeschichtung der
Glocke (PU) nicht beschädigen. Anschließend gut trocknen.
Silicondichtring mit Ethanol reinigen.
Kontaktgerüst gelegentlich von Ablagerungen reinigen. Bei
Bedarf Keramikhülsen sandstrahlen oder austauschen.
Dazu die beweglichen Kontaktarme nach oben abziehen
(wie Stecker) und Hülsen abnehmen.
Ablagerungen auf dem Abzugsrohr mit geeignetem Mittel
entfernen. Aluminium-Grundplatte, besonders die Dichtfläche, stets sauber halten.
Feuchtigkeit im Beschichtungsraum beeinträchtigt das
Vakuum und muß vor Prozeßbeginn beseitigt werden.
Max. Anschlußleistung am
Netzausgang „Vakuumpumpe“
600 W
Material Vakuumglocke
Borofloat, PU-beschichtet
Sonstige Daten
Abmessungen
mit Vakuumglocke
Breite
Tiefe
Höhe
Gewicht Ultra C150
Ca. 5,5 kg
Schutzklasse
I
Material Gehäuse
Polycarbonat
Vakuumpumpe:
Technische Änderungen vorbehalten.
Gebrauchs- und Wartungshandbuch der Vakuumpumpe
beachten! Vor Inbetriebnahme mit Öl befüllen, den Ölstand
regelmäßig kontrollieren.
Die Überprüfung des Vakuumdrucks in Abständen von 3
Monaten wird empfohlen.
Lieferumfang
Transporthinweise
Vor dem Transport die Transportsicherungskappen auf die
Hochspannungsdurchführungen aufsetzen und den Vakuumflansch mit Staubschutzkappe verschließen. Gegebenenfalls das
Precursor-Vorratsgefäß vollständig entleeren.
Die Originalverpackung verwenden.
An der Vakuumpumpe das Öl gemäß Gebrauchs- und
Wartungshandbuch ablassen, Ansaugstutzen blindflanschen.
340 mm
340 mm
276 mm
Ultra C150 Grundeinheit
Vakuumglocke mit Silicondichtring
Tischstativ
Vakuumpumpe RC.8D
Vakuumschlauch
Normalspannring KF16 (2x)
Innenzentrierring KF16
Außenzentrierring KF16
Blindflansch KF16
Kontaktierungsgerüst
Netzanschlußkabel
Transportsicherungskappe (2x)
Staubschutzkappe
Gebrauchsanweisung
Haftungsausschluß
Für andere, von der Gebrauchsanweisung abweichende Verwendung, bei Vernachlässigung der Sicherheitshinweise sowie
bei eigenmächtigen Veränderungen wird von Seiten des
Herstellers und Vertreibers keine Haftung übernommen.
Reparaturen dürfen ausschließlich durch den Hersteller bzw.
hierzu ermächtigte Personen vorgenommen werden.
Zubehör
Zubehör- und Ersatzteile sind auf Anfrage lieferbar.
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Gebrauchsanweisung UltrA C150
UltrA C150
Grundgerät mit Vakuumpumpe RC.8D
Abnehmbares Kontaktgerüst für
Plasmafeinreinigung
Vakuum-Anlagenbau
Plasmatechnologie
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4-TEC GmbH
Vakuum-Anlagenbau
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