Piezoelektrischer dynamischer Bi-Moden Aktor für feinwerktechnische Anwendungen Inhalt Piezoeffekt und Materialien Unterteilung von Piezomotoren Charakteristiken des Bi-Moden-Aktors(PiezoWave™) Funktionsprinzip des Bi-Moden-Aktors Design & Simulation Messtechnik Performance-Daten Elektronische Ansteuerungen Applikationen Firmenüberblick Gegründet am 1. Februar 1991 wurde PMDM als Joint Venture zwischen den Firmen Minebea Co. Ltd. in Japan (führender Hersteller von Miniaturkugellagern) und der Papst KG in Deutschland (damals führender Hersteller für Spindelmotorentechnologie) Der Firmensitz in Villingen-Schwenningen ist das größte Motoren-Entwicklungszentrum im internationalen Verbund der japanischen Minebea Co. Ltd., Tokio. 260 Mitarbeiter am Standort PMDM; 53.000 weltweit Spezialisiert auf die Entwicklung von elektrischen Antrieben für verschiedene Produktfelder Piezoeffekt und Materialien Inverser Piezoeffekt • Blei-Zirkonat-Titanate (PZT) und • Blei-Magnesium-Niobate (PMN) Niedervoltaktoren. Blockaktor (Multilayer) Biegeaktor (Bimorph o. Multilayer) Plattenstapel (Multilayer) Ringaktoren Biegeringe Ringstapel (Multilayer) Charakteristiken des PiezoWave™-Aktors Eigenschaften eines Piezo-Ultraschallmotors: Elektrische Anregung des Aktors im Nahresonanzbereich mit einer bestimmten Frequenz (70 - 100 kHz „Ultraschall“) Kraftübertragung zwischen antreibendem und angetriebenem Teil durch Reibkontakt. Kleine Bewegungen am Aktor selbst werden in große Bewegungen der Antriebsstange gewandelt. Geschwindigkeiten bis 300 mm/s möglich Selbsthaltung durch Haftreibung im stromlosen Zustand 8 mm Unterteilung von Piezomotoren Piezoelectric Motors Quasistatic Motors Stepping principle Ultrasonic Motors Inertial principle Standing Wave Bidirectional Systems with 2 or more actuators PiezoWave™Motor Traveling Wave Unidirectional Single-actuator systems Quasistatic Motors: Stepping principle: Inchworm principle, Piezo Walk Drive Inertial principle: Konica Minolta Ultrasonic Motors: Traveling Wave: Shinsei Motor; Physik Instrumente Standing Wave: Unidirectional: Cylindrical stator Bidirectional: SQUIGGLE, Physik Instrumente PiezoWave Funktionsprinzip Spring Pivot support Drive Pad Drive element Spring Force Drive pad Rod (moving element) Drive pad Drive Rail Moving direction Drive element Zwei verschiedene Schwingungsmoden sind für das Funktionsprinzip notwendig (2nd bending mode & lift-up mode). Eine Überlagerung beider Schwingungsformen resultiert in einer elliptischen Bewegung am Drive-Pad und durch die Reibungskopplung in einer Linearbewegung des Drive-Rails. 2nd bending mode Spring Force Piezo Element Lift-up mode Funktionsprinzip Funktionsprinzip - Piezoelement GND VCC Biegesektion 1 Biegesektion 2 GND 9 1 8 7 Voltage [V] 6 5 Phase A Phase B 4 GND VCC 3 A 2 2 1 0 0 100 200 300 400 500 600 -1 Angle [°] VCC Polarization direction in the several layers indicated by red arrows Design & Simulation des Aktors Simulationen im Designprozess 1. Ermittlung der Eigenmoden des Aktors. a) Analytische Berechnung b) FEM-Simulation 2. Ermittlung der Impedanz bzw. Admittanz und Ableitung von Güte und elektrischen Ersatzparametern. 3. Frequenzabhängige Analyse zur Ermittlung der Aktorauslenkung und resultierenden Motorgeschwindigkeit. 4. Simulationen zur Ermittlung der Stromaufnahme im Frequenz- und Zeitbereich. 5. Auslegung des Federdesigns und resultierender Federkraft für die optimale Vorspannung des Aktors. Definition der Aktorgeometrie Ermittlung des dynamischen Verhaltens nein Kraft-Geschwindigkeitsverhalten Entsprechend Zielsetzung ??? nein Strom- und Leistungsaufnahme o.k. ??? Applikationsentwickluung Design & Simulation des Aktors Material Piezoelektrische Simulationen in ANSYS werden entsprechend folgenden Zustandsgleichungen durchgeführt: {T } = [c E ]{S }− [e]{E} {D} = [e]t {S }+ [ε S ]{E} Für eine Finite Elemente Analyse in ANSYS ist es notwendig die Materialdaten in tensorieller Form einzugeben. Folgende Materialdaten sind dabei erforderlich: Elastizitäts- bzw. Nachgiebigkeits-Koeffizienten s E −1 = c = E 11 E 12 E 11 s s [s ] [ ] E E 13 E 13 E 33 s s s 0 0 0 0 0 0 E 66 0 E s44 s 1 EX 0 0 0 = 0 0 E s44 −ν xy −ν xz EY EZ −ν yz 1 EY EZ 1 EZ 0 0 0 0 0 0 1 0 G XY 1 GYZ 0 0 0 0 0 1 G XZ Ladungs- bzw. Spannungskonstanten 0 0 0 [d ] = 0 0 d15 0 0 0 0 d15 0 d 31 d 31 d 33 0 0 0 Permittivitäten 0 0 0 [e] = 0 0 e15 0 0 0 0 e15 0 e31 e31 e33 0 0 0 optional: Dielektrischer Verlustwinkel [ε ] S 0 ε 11 0 = 0 ε 33 0 0 0 ε 11 tan δ Design & Simulation des Aktors Güte, Dämpfung und elektrische Ersatzparameter Berechnung der Eigenmoden Berechnung des Impedanzverlaufs Admittance of A-GND Section 4,00E-02 3,50E-02 Admittance [1/Ohm] 3,00E-02 2,50E-02 2,00E-02 1,50E-02 1,00E-02 Ableitung folgender Daten aus der Impedanzanalyse: • Güte und Dämpfung des Aktors • Skalenfaktor für die Berechnung der äquivalenten Ersatzparameter • Kinetische- und Potentielle Energie für die Berechnung der effektiven Masse und effektiven Steifigkeit 5,00E-03 0,00E+00 70000 72000 74000 76000 78000 80000 82000 84000 86000 88000 90000 92000 94000 96000 98000 10000 0 Frequency [Hz] VCC Lm Lm Rm Rm Cm Cm C0 Rd C0 Rd Phase B Phase A Lm Lm Rm Rm Cm Cm C0 C0 Rd GND Rd Design & Simulation des Aktors Trajektorien und Geschwindigkeit Berechnung der elliptischen Trajektorien und Ableitung der Geschwindigkeit PMAB Element @ 8V & damping = 0,34 Ns/m 1,00E-07 8,00E-08 %UY-75 %UY-76 %UY-77 6,00E-08 4,00E-08 %UY-78 %UY-79 %UY-80 %UY-81 %UY-82 UY [m] 2,00E-08 -4,00E-06 -3,00E-06 -2,00E-06 0,00E+00 -1,00E-06 0,00E+00 1,00E-06 2,00E-06 3,00E-06 4,00E-06 -2,00E-08 %UY-83 %UY-84 -4,00E-08 %UY-85 %UY-86 %UY-87 -6,00E-08 %UY-90 %UY-88 %UY-89 -8,00E-08 -1,00E-07 UX [m] No-Load Speed of PiezoWave™-Actuator Geschwindigkeitsprofil und Mittelwert der Antriebsschiene bei einer Frequenz von 85 kHz und 8V 0,4 0,50 0,35 0,40 0,3 Speed-Avg. 0,10 S p e e d [ m /s ] Speed [m /s] speed profile-85 kHz 0,20 0,00 0,00E+00 Mean-Speed-meas-8V PMAB 0,25 0,30 %Mean_Speed no Damp 0,2 %Mean_Speed Damp 0,34 Ns/m PMAB-8V 0,15 0,1 0,05 5,00E-06 1,00E-05 1,50E-05 2,00E-05 2,50E-05 3,00E-05 3,50E-05 0 70000 -0,10 Time [s] 75000 80000 85000 Frequency [Hz] 90000 95000 100000 Messtechnik Admittance Impedanzmessung → Messung der benötigten Schwingungsmoden 0,03 0,025 Admittance [S] 0,02 0,015 0,01 0,005 Weg & Geschwindigkeit 0 70000 72000 74000 76000 78000 80000 82000 84000 86000 88000 90000 92000 94000 96000 98000 1E+05 → Messung von effektiver Motorgeschwindigkeit und Weg in Frequency [Hz] Abhängigkeit der angelegten Spannung, Frequenz, Zyklenzahl und Last. Strom- bzw. Leistungsaufnahme Motor 43, center-Position 0,5 0,4 0,3 → Messung der maximalen Stellkraft bei mechanischem Kurzschluss 0,2 Stall Force [N] Stellkraft 43_6V_cen 0,1 43_7V_cen 0 -0,1 0 5000 10000 15000 43_8V_cen 20000 43_9V_cen -0,2 -0,3 -0,4 -0,5 Tim e [m s] Haltekraft → Messung der Haltekraft (Reibungskraft) im stromlosen Zustand. force [N] Friction measurement - Motor 10 2,0 1,9 1,8 1,7 1,6 1,5 1,4 1,3 1,2 1,1 1,0 0,9 0,8 0,7 0,6 0,5 0,4 0,3 0,2 0,1 0,0 0 500 1000 1500 path [µm] 2000 2500 3000 Messtechnik Admittance 0,03 0,025 Admittance [S] 0,02 0,015 0,01 0,005 0 70000 72000 74000 76000 78000 80000 82000 84000 86000 88000 90000 92000 94000 96000 98000 1E+05 Frequency [Hz] Piezomotor – Performance typ. Spannung Geschwindigkeit (ohne Last) Strom Geschwindigkeit (5g Last) Stellkraft Haltekraft (unbestromt) Weg Masse Temperaturbereich (indoor) Ausgangssignal Positionssensor 8 mm 6 >100 80 >75 0,25 0,35 2,3 0,7 0°C - 45°C +/- 80 10 >150 150 >125 V mm/s mA mm/s N N mm g mV Applikationen Linearaktoren für Schließsysteme Linsenverstellungen für Mobiltelefone, DSC-Cameras, Scannersysteme… Antriebe für Mikropumpen Blenden- bzw. Shutter für optische Systeme Elektron. Ansteuerung (buffered half bridge) Block Diagramm des AAT 4900 “Buffered half bridge” Für eine Motorschaltung werden folgende Bauteile benötigt: 2 x AAT 4900 (SOT23- or IJS-package) 2 x Induktivität = 22 – 33µH 4 x Diode 1N4148 9 2 x Kondensator = 1µF 8 7 Voltage [V] 6 5 Phase A Phase B 4 GND VCC 3 2 1 0 0 100 200 300 -1 Angle [°] 400 500 600 Elektron. Ansteuerung (Schaltung mit PIC12 µC) Spannungsregler Schmitt-Trigger mit Inverter PIC 12 Elektron. Ansteuerung (single driver NSD-2101 and dual driver NSD-1202 ) Vielen Dank für ihre Aufmerksamkeit!