Elektronik II, Foliensatz 4 Feldeekttransistoren G. Kemnitz Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 1/87 Inalt des Foliensatzes 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1.6 2.1 2.2 2.3 2.4 Feldeekttransistoren MOSFET Sperrschicht-Fet Leistungsschalter Kleinsignalmodell Schaltverhalten Aufgaben Grundschaltungen Source-Schaltung Drainschaltung Gateschaltung Aufgaben G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 2/87 1. Feldeekttransistoren G. Kemnitz Feldeekttransistoren · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 3/87 1. Feldeekttransistoren MOSFET Über der Halbleiteroberäche bendet sich, isoliert durch eine dünne Oxidschicht, die Steuerelektrode, das Gate Die Gate-Kanal-Spannung steuert die Zustandsdichte der beweglichen Ladungsträger (Elektronen oder Löcher) und damit den Leitwert im Kanal. Gate Leiter, Polysilizium Isolator, Siliziumoxid Kanal mit einer steuerbaren Dichte beweglicher Elektronen gesperrter pn-Übergang Halbleiter mit beweglichen Löchern G. Kemnitz · UGK p n ∼ UGK n ∼ GK Uth UGK Bulk Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 4/87 1. Feldeekttransistoren Aufbau und Anschlüsse n-Mosfet S UDS p-Mosfet D UGS G n B D UGS G ID n n-Kanal UDS S p p B ID p p-Kanal n Source: Quelle der beweglichen Ladungsträger Drain: Abuss der beweglichen Ladungsträger SB- und DB-Übergang immer in Sperrrichtung Vorzeichen UDS so, dass Ladungen zum Drain ieÿen NMOS: UDS ≥ 0, ID ≥ 0 PMOS: UDS ≤ 0, ID ≤ 0 G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 5/87 1. Feldeekttransistoren Sperrschicht-FET (Jfet und MesFet) normaler Jfet S G B n+ n− p+ p+ D B n+ p+ Mesfet S G Al n+ n− D n+ p p gesteuerte Sperrschichtbreite Steuerung der Kanalbreite über die Breite einer Sperrschicht: JFet (junction-fet) eines gesperrten pn-Übergangs MesFet (metal-semiconductor-fet) eines Schottky-Übergangs immer selbstleitend G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 6/87 1. Feldeekttransistoren Kennlinien und Symbole n-Mosfet selbstsperrend G D ID B Uth UGS S n-Mosfet selbstleitend G D ID B S p-Mosfet selbstsperrend G. Kemnitz D ID G ID ID UDS ID ID Uth UGS ID Uth UGS UDS ID UDS S · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 7/87 1. Feldeekttransistoren p-Mosfet selbstleitend D ID ID Uth UGS G UDS S n-Jfet D ID ID G S p-Jfet G. Kemnitz D ID Uth ID UGS UGS Uth ID UDS ID UDS G S · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 8/87 1. Feldeekttransistoren G. Kemnitz 1. MOSFET MOSFET · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 9/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Feldeekt (NMOS-Transistor) Gate-Isolator-Halbleiter ⇒ Plattenkondensator negative Gateladung führt zu einer Ansammlung positiver beweglicher Ladung unter dem Gate Source-Kanal- und Drain-Kanal-Übergang gesperrt G S UG < 0 G. Kemnitz n+ p-Substrat 0 ρ D n+ Akkumulationsschicht x ρ Ladungsdichte · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 10/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Positive Gatespannung kleiner der Einschaltspannung Uth wegdriften der Löcher; Anreicherung ortsfester Ladungen im Kanal Kanal bleibt gesperrt 0 G S 0 < UG < Uth G. Kemnitz n+ p-Substrat ρ D n+ Verarmungsschicht x Aufladung mit ortsfesten Ionen · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 11/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Positive Gatespannung gröÿer der Einschaltspannung Source-Kanal-Übergang wechselt in den Durchlassbereich der Kanal füllt sich mit beweglichen Elektronen bewegliche Ladung im Kanal ∼ UG − Uth 0 G UG ≥ Uth G. Kemnitz S D n+ n+ Verarmungsschicht Inversionsschicht p-Substrat · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal ρ x 9. Juli 2013 12/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Einschaltspannung Die Einschaltspannung eines MOS-Transistors : Uth = Uth.0 + γ · p p Uinv − UBS − Uinv (1) (UBS Bulk-Source-Spannung). Parameter für einen Beispiel-CMOS-Prozess: Param. Uth.0 γ Uinv Spice Bezeichnung VT0 Null-Schwellspannung GAMMA Substratsteuerfaktor PHI Inversionsspannung n-Kanal p-Kanal 0,73 0,73 0,76 -0,75 0,56∗ 0,73 V √ V V Beim PMOS-Transistoren sind γ und UBS negiert in Gl. 1 einzusetzen. Im Spice-Modell berücksichtigt. ∗ G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 13/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Stromgleichungen aktiver Bereich UDS RD UGS B S p+ n+ UV G Gate ID D Kanal p-Substrat n+ U (y) beweglichen Ladung im Kanal: Ql (y) = Cl · (UGK (y) − Uth ) = Cl · (UGS − Uth − U (y)) y Ql (y) Cl U (y) G. Kemnitz · Weg vom Source zum Drain beweglichen Ladung für Wegstück dy Gate-Kanal-Kapazität für Wegstück dy Gate-Kanal-Spannung an der Stelle y Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 14/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Der Drainstrom ist ein Driftstrom: ID = Ql (y) · µ · Ey µ Beweglichkeit Ey Feldstärke in Kanalrichtung µ · Ey Geschwindigkeit der Ladungsträger Die Feldstärke in Stromussrichtung ist gleich der Spannungsänderung entlang des Kanals: Ey = d U (y) dy Alle Gl. zusammen ergeben eine DGL: G. Kemnitz ID = Cl · µ · (UGS − Uth − U (y)) · · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal d U (y) dy 9. Juli 2013 15/87 1. Feldeekttransistoren G. Kemnitz 1. MOSFET UDS RD UGS B S p+ n+ UV G Gate ID D Kanal n+ U (y) p-Substrat U (y) UDS 0 0 l ID = Cl · µ · (UGS − Uth − U (y)) · · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal y d U (y) dy 9. Juli 2013 16/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET ID = Cl · µ · (UGS − Uth − U (y)) · d U (y) dy Die Integration beider Gleichungsseiten über die gesamte Kanallänge: ID · Z 0 L dy = Cl · µ · ID · L = Cl · µ · ID Z 0 Z L (UGS − Uth − U (y)) · d U (y) · dy dy ϕ(L) ϕ(0) (UGS − Uth − U (y)) · dU (y) mit ϕ (0) = 0 und ϕ (l) = UDS 2 UDS Cl · µ = · (UGS − Uth ) · UDS − L 2 mit relativem Steilheitskoezient: G. Kemnitz K0 = · Cl · µ W Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 17/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET 2 UDS W ID = K · · (UGS − Uth ) · UDS − L 2 0 Parameter für einen Beispiel-CMOS-Prozess: Param. Spice Bezeichnung n-Kanal p-Kanal K0 Kp relativer Steilheitskoezient 69 23,6∗ µA/V2 Bei PMOS-Transistoren ist der Steilheitskoezient in der Gleichung darüber negativ, damit ein negativer Strom herauskommt. Das Vorzeichen steckt aber oenbar schon im Modell des PMOS-Transistors: ∗ G. Kemnitz ID.PMOS = −K 0 · · W · (...) L Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 18/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Einschnürbereich UGS > Uth B S p+ n+ UV G Gate ID D n+ p-Substrat U (y) RD UGD < Uth Abschnürpunkt U (y) UDS Spannung über dem Abschnürpunkt Spannung über dem eingeschalteten Kanalstück UGS − Uth 0 0 l y Das Kanalende ist ausgeschaltet Die restliche Spannung UDS − UGS + Uth fällt über dem eingeschnürten Kanalstück ab. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 19/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Die Länge des Einschnürbereichs regelt sich so ein, dass die ankommenden Ladungsträger zum Drain abieÿen können. Der ankommende Strom ID hängt nicht von der Spannung über dem Einschnürpunkt ab. konstanter ID , gleiche Gröÿe wie beim Übergang in den Einschnürbereich UDS = UGS − Uth : G. Kemnitz ID ID · U2 W · (UGS − Uth ) · UDS − DS L 2 für UDS = UGS − Uth W 2 = K0 · · (UGS − Uth ) 2·L = K0 · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 20/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Kanallängenmodulation und Early-Eekt Steigende Drain-Source-Spannung: Ausdehnung Einschnürrpunkt. Kanalverkürzung. Beobachtbares Verhalten: −UA = − λ1 UDS UA Param. Spice Bezeichnung λ LAMBDA Kanallängen-Modulationsparameter · EB UDS Korrekturterm nach Strahlensatz: 1 + G. Kemnitz AB ID AB aktiver Bereich EB Einschnürrbereich Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal = (1 + λ · UDS ) n-Kanal p-Kanal 0,033 V−1 0,055 V−1 9. Juli 2013 21/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Stromgleichung mit Early-Eekt 0 0 W ID = K · ·(1 + λ · UDS )· (UGS − Uth ) · UDS − L (UGS −Uth )2 Sperrbereich 2 UDS 2 Einschnürrbereich 2 Bahnwiderstände: aktiver Bereich B S G D RG n+ RS RD n+ p+ p RB Param. Spice Bezeichnung BC547B BUV47 RG RS RD RG RS RD Gate-Bahnwiderstand Source-Bahnwiderstand Drain-Bahnwiderstand 0,02 25 5,6 0,022 0,022 G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal Ω Ω Ω 9. Juli 2013 22/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Ein Fertigungsprozess gibt statt der Einzelwiderstände Schichtwiderstände vor. Schichtwiderstand Rsh : Widerstand einer quadratischen leitfähigen Schicht. Produkt aus Dicke und spezischem Widerstand. Widerstand eines Schichtelements Länge L Breite W : R = Rsh · L W Param. Spice Bezeichnung NMOS PMOS Rsh RSH Drain-Source-Diusionsschichtwiderstand 25 45 G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal Ω 9. Juli 2013 23/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Sperrströme der Bulkdioden RD ID.D G RG RB ID ID.S RS UGS D B S Parameter für die Sperrströme der Bulk-Dioden: Param. Spice Bezeichnung BSD215 IRF140 IS IS 125 1,3 n N Sättigungssperrstrom Bulk-Dioden Emmisionskoezient der Bulk-Dioden - - G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal pA 9. Juli 2013 24/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET MOSFET in LT-Spice .model nmos1 nmos(Kp=69e-6 VT0=0.73 lambda=0.003 ...)1 .model pmos1 pmos(Kp=23e-6 VT0=0.75 lambda=0.055 ...) Param. Spice Bezeichnung n-Kanal p-Kanal K0 Kp 69 -23,6 Uth.0 γ Uinv λ VT0 gamma PHI lambda relativer Steilheitskoezient Null-Schwellspannung Substratsteuerfaktor Inversionsspannung Kanallängen-Modulationsparameter µA/V2 0,73 -0,75 V √ 0,73 0,56 V 0,76 0,73 V 0,033 V−1 0,055 V−1 Erzeugt ein neues Modell, bei dem die explizit zugewiesen Parameterwerte die Standardwerte der Basismodelle, hier nmos und pmos überschreiben. 1 G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 25/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Festlegung der Geometrie Geometrieunabhängiges Modell denieren: .modell nmos1 nmos(Kp=25µA/V² VT0=0.73 lambda=0.003 ...) MOS-Transistor nmos4 auswählen Modell und Geometrieparameter eintragen. S 1,5 µm 1µm 1,5 µm G D G. Kemnitz 3 µm n-Wanne p+ -Gebiet n+ -Gebiet Polysilizium-Streifen Metallleiterbahn Durchkontaktierung · Eingabemaske für die Kennlinienberechnung erforderlich Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 26/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Schaltung und Simmulationsergebnis G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 27/87 1. Feldeekttransistoren Kapazitäten B p+ 1. MOSFET NMOS-Transistor S G D n+ n+ PMOS-Transistor G S B D p+ p p+ n+ n Kapazität vom Gate zum Kanal bzw. Bulk: CG = ε0 · εSiO2 · L·W dox (ε0 = 8, 85 pF m Dielektrizitätskonstante Vakuum; εSiO2 = 3,9 relative Dielektrizitätskonstante von SiO2 ; L Länge; W Breite des Gates.) Kapazität der Source- und Draingebiete zum Substrat: 0 CBS/BD = A · CS0 + u · CR (A Fläche; u Umfang des Drain- bzw. Source-Gebiets). G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 28/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Param. Spice Bezeichnung NMOS PMOS dox CS0 TOX CJ 25 360 25 340 µF/m2 0 CR CJSW Oxiddicke SperrschichtKapazitätsbelag RandKapazitätsbelag 250 200 pF/m S 1,5 µm 1µm 1,5 µm G D W in µm CG CBS G. Kemnitz · nm W · µm2 Gatefläche: Fläche Source- / Draingebiet: A = 1,5 · W µm2 Umfang Source- / Draingebiet: u = 2 · W + 3 µm pF 1 µm · W · 3,9 · = W · 1,55 fF m 25 nm µF pF = CBD = W · 1,5 µm2 · 360 2 + (2 · W + 3 µm) · 250 m m = W · 1,04 fF + 0,75 fF = 8, 85 Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 29/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Kapazitäten im Simulationsmodell CSB CGD AC-Simulation der kapazitiven Ströme und Umrechnung in Kapazitäten: |I (f )| C... = ... 1V · 2π · f Die Gate-Kapazität wird oensichtlich zur Hälfte zu CGS und zur Hälfte zu CGD zugeordnet. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 30/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Modell mit Kapazitäten RD ID.D Kapazitäten CGS = CBS = CBD = G CGD CBD CGS ID CBS RB RG ε ·ε 2 ·L·W CGD = 0 SiO 2·dox AS · CS0 + uS · CR0 AD · CS0 + uD · CR0 D B ID.S RS S Stromgleichung mit Early-Eekt 0 W ID = K 0 · ·(1 + λ · UDS )· (UGS − Uth ) · UDS − L (UGS −Uth )2 Sperrbereich 2 UDS 2 2 aktiver Bereich Einschnürrbereich Bahnwiderstände und die Sperrströme der pn-Übergänge sollen im Weiteren bei integrierten Transistoren vernachlässigt werden. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 31/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Durchbruchspannung Durchschlag des Gateoxids bei Mosfets ab etwa 10 bis 20 V; zerstörend; Wegen hohen Eingangswiderstand genügt bereits die Ladung beim Berühren. Bei Einzel-MOSFETs ohne Schutzschaltung Anschlüsse verbunden; Verbindung erst nach Einbau entfernen. Drain-Source-Durchbruch: 10 bis 40 V wegen hoher Feldstärke gleich Spannung durch Kanallänge: ID UDS Spice-Parameter2 ? 2 Wird so vom Simulationsmodell nicht unterstützt. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 32/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Parasitärer Tyristor und Latch-up n-Kanal-Mosfet B S p+ n+ p-Kanal-Mosfet B S Rn n+ Rp p+ n Die Schichtfolge npnp bildet eine Thyristor Wenn einer der parasitären Bipolartransistoren einen kurzen Basisstrom bekommt, liefert er dem anderen Basisstrom. Zünden. Selbsthaltend. Ausschaltbar nur durch Stromunterbrechung. Wirkt wie ein Kurzschluss zwischen Versorgungsspannung und Masse. Thermische Zerstörung des Bauteils. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 33/87 1. Feldeekttransistoren 1. MOSFET Potentielle Quellen für Zündströme: Eingangs- und Ausgangspotentiale < 0 oder > UV über Eingangsschutzdioden oder die Bulkdioden am Ausgang. Bei Gefahr von unzulässigen Eingangsspannungen Reihenwiderstand ≈100 Ω zur Begrenzung des Stroms durch die Schutzdioden. G. Kemnitz UV ue UV 0 t ue Quellen für Zündströme · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 34/87 1. Feldeekttransistoren G. Kemnitz 2. Sperrschicht-Fet Sperrschicht-Fet · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 35/87 1. Feldeekttransistoren 2. Sperrschicht-Fet Sperrschicht-Fets ID.D D G G D ID.S ID S S Weglassen des isolierten Gates Umbenennen Bulk in Gate Ersatz Kn0 · W L durch 2 · β 0 ID = 2·β ·(1 + λ · UDS )· (UGS − UTh ) · UDS − (UGS −UTh )2 Sperrbereich 2 UDS 2 2 aktiver Bereich Einschnürrbereich Einfaches, aber nicht sehr genaues Modell. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 36/87 1. Feldeekttransistoren 2. Sperrschicht-Fet Simulation Kennline NJFET Param. β λ Uth G. Kemnitz · Spice beta lambda VT0 Bezeichnung Steilheitskoezient Kanallängenmodulation Null-Schwellspannung Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 2N3819 1,3m 2,25m -3 A/V2 1/V V 9. Juli 2013 37/87 1. Feldeekttransistoren G. Kemnitz 3. Leistungsschalter Leistungsschalter · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 38/87 1. Feldeekttransistoren 3. Leistungsschalter MOSFET für hohe Spannungen B S G D ID D UDrift Poly-Si p+ n− n+ n+ G p gesteuerter Kanal D’ RG Driftstrecke G’ UD′ S′ S’ RS hohe Steilheit, kurze Kanallänge, geringe S Drain-Source-Spannung Erhöhung der zulässigen UGSmax durch zusätzliches niedrig dotiertes Driftgebiet zwischen Kanal und Drain, über dem ein Groÿteil der Drain-Source-Spannung abfällt Durchbruchspannung ∼ Länge des Driftgebiets Im aktiven Bereich wirkt die Driftstrecke wie ein selbstleitender Fet G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 39/87 1. Feldeekttransistoren 3. Leistungsschalter MOSFET für hohe Ströme und Spannungen G n+ p S, B n+ + n+ p p p G n+ + n+ p p p n− n+ D gesteuerter Kanal Driftstrecke Bei Einzel-Mosfets paltzsparende vertikale Anordnung Der Kanal ist unter dem Gate. Die Driftstrecke geht nach unten. Als 3D-Struktur Kanalbreiten bis zu 1 m G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 40/87 1. Feldeekttransistoren 3. Leistungsschalter IGBT G E p+ SiO2 n+ Ersatzschaltung C Symbol C n− G + n p+ G parasitärer Transistor C E E Kombination aus MOSFET und Bipolatransistor Bipolartransistor mit breiter Basis für hohe Spannungsfestigkeit Basisstrom wird vom MOS-Transistor geliefert. Wenn eingeschaltet, von unten Injektion von Ladungsträgern in die n− Driftregion der Basis. · G. Kemnitz Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 41/87 1. Feldeekttransistoren 3. Leistungsschalter IGBT-Modul für 1,2 kA und 3,3 kV Latch-Up-Gefahr: Bipolar- + zusätzlicher parasitären Transistor = Flächentyristor. Beim Zünden entsteht ein nicht mehr über das Gate ausschaltbarer Strom. Anwendung als Schalter: Sperrspannung bis 6500 kV Durchlassstrom bis 3500 A Schaltfrequenz bis 200 kHz Schaltbare Verbraucherleistung bis 100 MW Verlustleistung im IGBT: Durchlassspannung typ. 2,3 V Ausschaltverzögerung durch die für Bipolartransistoren typ. Stromschleife. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 42/87 1. Feldeekttransistoren G. Kemnitz 4. Kleinsignalmodell Kleinsignalmodell · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 43/87 1. Feldeekttransistoren 4. Kleinsignalmodell Lineare Ersatzschaltung Ersatzschaltung Normalbetrieb G lineare Ersatzschaltung D ID f (UGS , UBS ) UGS UBS G uGS S · UGS S B D iD rDS SB · UBS B uBS S Abschnürbereich: G. Kemnitz 2 ID = K0 · Uth · W (UGS − Uth ) · (1 + λ · UDS ) · L 2 p p = Uth.0 − γ · Uinv − UBS − Uinv Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 44/87 1. Feldeekttransistoren 4. Kleinsignalmodell 2 Uth Steilheit S W (UGS − Uth ) · (1 + λ · UDS ) · L 2 p p Uinv − UBS − Uinv = Uth.0 − γ · = Kn0 · ID = ≈ d ID W · (1 + λ · UDS.A ) · (UGS.A − Uth.A ) = K0 · {z } | {z } d UGS A L | K · (UGS.A − Uth.A ) ≈ Ausgangswiderstand: 1 rDS p ≈1 √ 2·ID.A·... 2 · K · ID.A mit K = K 0 · W (2) L 2 d ID (UGS.A − Uth.A ) 0 W = = K · · λ · ≈ λ · ID.A n d UDS A L 2 Substratsteilheit: G. Kemnitz SB · = d ID d Uth S·γ √ =S· = d UBS A d UBS A 2 · Uinv − UBS.A Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal (3) 9. Juli 2013 45/87 1. Feldeekttransistoren 4. Kleinsignalmodell Für NMOS-Transistor W = 3, Kn0 = 69 −S = µA V2 , ... d I(VD) d VG UG.A S = rDS = G. Kemnitz · S · 0, 73 µA √ · (UGS.A − 0, 73 V) ; SB = = S · 0, 28 V2 2 · 0, 67 + 1 2 293 kΩ · V2 = 2 2 µA 207 V2 · 0, 033 V−1 · (UGS.A − 0, 73 V) (UGS.A − 0, 73 V) 207 Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 46/87 1. Feldeekttransistoren 4. Kleinsignalmodell Einbeziehung der Kapazitäten Ersatzschaltung mit C’s D iD CGD CBD CGS CBS G S UGD B lineare Ersatzschaltung mit Kapazitäten D iD CBD CGD G CGS S · UGS UGD rDS S SB · UBS B CBS UBS Die Kapazitäten bewirken, dass für hohe Frequenzen die Verstärkung mit der Frequenz abnimmt. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 47/87 1. Feldeekttransistoren 4. Kleinsignalmodell Rg Rg Ug G ID D S Ug Gate CGS CGD Drain ID U GS Source S · U GS Für Source, Drain und Substrat wechselspannungsmäÿig auf Masse und einem Generatorwiderstand Rg : entfallen alle Kapazitäten, die Massepunkte verbinden die von der Substratspannung gesteuerte Quelle. ID = Ug · S Ug · S = 1 + jωRg · (CGS + CGD ) 1 + j ·ff0 Übergangsfrequenz der Steilheit: G. Kemnitz f0 = · 1 2π · Rg · (CGS + CGD ) Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 48/87 1. Feldeekttransistoren G. Kemnitz 5. Schaltverhalten Schaltverhalten · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 49/87 1. Feldeekttransistoren 5. Schaltverhalten Beispiel Inverterkette CGS4 CGD3/4 CGS2 ID4 CGD1/2 UV CGS6 ID2 CGD5/6 ID6 x CGS3 ID3 CBD3/4 CGS1 ID1 z1 x M1 M2 UV CBD1/2 CGS5 ID5 y CBD5/6 z2 M3 M4 y M5 UV M6 UV Transistorsteilheiten und Kapazitäten berechnen sich aus den Abmessungen der Source-, Gate- und Draingebiete. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 50/87 1. Feldeekttransistoren 5. Schaltverhalten Simulation des Schaltverhaltens M1, M3, M5 M2, M4, M6 L µm W µm 1 1 1,5 3 AD µm2 2,25 4,5 AS µm2 PD µm PS µm 2,25 4,5 6 9 6 9 M1 – M4 Einzeltansistoren, M5 und M6 Parallelschaltung 2 Transistoren G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 51/87 1. Feldeekttransistoren 5. Schaltverhalten td1 td2 Peaks zu Beginn der Schaltvorgänge werden oensichtlich von CGD verursacht. td2 ≈ 2 · td1 , weil V(Z2) die doppelte Last wie V(Z1) hat. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 52/87 1. Feldeekttransistoren 5. Schaltverhalten Folgerung 1 Logische Funktionen werden durch Reihen- und Parallelschaltung von Transistoren realisiert. Die Verzögerung ist umgekehrt proportional zur Steilheit und proportional zur kapazitiven Last. Die Kapazitiven Lasten nehmen proportional zu Breite*Breite und die Steilheit mit Breite durch Länge zu. Einfach zu modellieren und zu entwerfen. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 53/87 1. Feldeekttransistoren G. Kemnitz 6. Aufgaben Aufgaben · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 54/87 1. Feldeekttransistoren 6. Aufgaben Kontrollfragen 1 2 3 4 5 6 7 Warum sind Sperrschicht-FETs selbstleitend? Hat die Schwellspannung Uth eines selbstsperrenden PMOS-Transistors einen positiven oder einen negativen Wert. Was beschreibt der Kanallängen-Modulationsparameter λ? Was ist ein Latch-up in einer CMOS-Schaltung? Woraus setzt sich der Flächentyristor zusammen und was passiert, wenn der Flächentyristor zündet? Was ist ein IGBT, was sind seine wesentlichen Eigenschaften und was ist seine Hauptanwendung? Was bewirkt die Driftstrecke zwischen Kanal und Drain von MOSFETs für hohe Spannungen? Wie ist die Steilheit im Kleinsignalmodell eines MOS-Transistors deniert und was ist die Substratsteilheit? G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 55/87 1. Feldeekttransistoren 1 2 Berechnen Sie für einen NMOS-Transistor mit Kp = 70 µA/V2 der Nullschwellspannung UTh = 0, 8 V ... die Steilheit und den Ausgangswiderstand im Arbeitspunkt UGS.A = 3 V. Berechnen Sie für einen NMOSFET mit den geometrischen Abnessungen in der nachfolgenden Abbildung und den geometrieunabhängigen Paramtern in der nachfolgenden Tabelle die Kapazitäten ...: Param. Spice Bezeichnung NMOS PMOS Oxiddicke 25 25 nm Sperrschicht360 340 µF/m2 Kapazitätsbelag 0 CR CJSW Rand250 200 pF/m Kapazitätsbelag Schätzen Sie für die nachfolgende JFET-Source-Schaltung die Übertragungsfunktion. ... zu Schwer? den · dox CS0 3 6. Aufgaben G. Kemnitz TOX CJ Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 56/87 2. Grundschaltungen G. Kemnitz Grundschaltungen · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 57/87 2. Grundschaltungen Grundschaltungen Source-Schaltungen mit unterschiedlicher Gegenkopplung ohne Strom Spannung UV UV UV RD RD RD Ue Ua Ue Drain-Schaltung UV Ua RS R1 R2 Ua Ue Gate-Schaltung UV RD Ue G. Kemnitz RS U a Ue · Ua Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 58/87 2. Grundschaltungen Genau wie bei Bipolartransistoren lassen sich für jede dieser Grundschaltungen: die Parameter der Transferfunktion die Übertragungsfunktion im Frequenzbereich die Übergangsfrequenz das Rauschen, der Klirrfaktor, ... bestimmen. Die resultierenden Besonderheiten sind ähnlich zu denen der vergleichbaren Transistorschaltung: Source-Schaltung: normale Verstärker, Strom-/Spannungsgegenkopplung zur Linearisierung Drainschaltung: Impedanzkonverter Gate-Schaltung: Verstärker für hohe Frequenzen G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 59/87 2. Grundschaltungen G. Kemnitz 1. Source-Schaltung Source-Schaltung · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 60/87 2. Grundschaltungen 1. Source-Schaltung Übertragungskennlinie UV RD Ue Ua Verstärker nutzen den Abschnürbereich3 : ID Ua K 2 · (Ue − Uth ) 2 K · RD 2 ≈ UV − · (Ue − Uth ) 2 ≈ Gilt für Ue ≥ Uth und Ua ≥ Ue − Uth . Ue < Uth : Sperrbereich Ua < Ue − Uth : aktiver Bereich. 3 Nachfolgender Überschlag ist ohne Kanallängenmodulation. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 61/87 2. Grundschaltungen 1. Source-Schaltung Simulation Transistor: W = 10 µm L = 1 µm RD Ua Sperr- Einschnürbereich bereich Arbeitspunkt aktiver Bereich Ue Die Kennlinie ist nichtlinear. Für Kleinsignalverstärker wird der Arbeitspunkt in der Mitte des Einschnürrbereichs gewählt. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 62/87 2. Grundschaltungen 1. Source-Schaltung RD U a Grundwelle Klirrfaktor Oberwellen f Eine näherungsweise quadratische Kennlinie: Ua ≈ UV − K · RD 2 · (Ue − Uth ) 2 Hauptsächlich Oberwellen der doppelten Frequenz? G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 63/87 2. Grundschaltungen Harmonic Number 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Total 1. Source-Schaltung Frequency Fourier Normalized [Hz] Component Component 1.000e+03 4.615e-01 1.000e+00 2.000e+03 1.279e-02 2.772e-02 3.000e+03 9.857e-03 2.136e-02 4.000e+03 8.984e-04 1.947e-03 5.000e+03 4.568e-04 9.899e-04 6.000e+03 6.210e-04 1.346e-03 7.000e+03 2.262e-04 4.901e-04 8.000e+03 5.054e-04 1.095e-03 9.000e+03 8.046e-04 1.743e-03 1.000e+04 4.306e-04 9.330e-04 Harmonic Distortion: 3.516327% Phase [degree] -179.72° 91.64° 17.28° -111.24° 104.30° 160.23° 147.54° 168.58° 93.23° 165.59° Höherer Frequenzen vernachlässigte Kanallängenmodulation? G. Kemnitz 2 · ID = K · (1 + λ · UDS ) · Ua = UV − (UGS − Uth ) 2 K · RD 2 · (Ue − Uth ) · (1 + λ · UDS ) 2 Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 64/87 2. Grundschaltungen 1. Source-Schaltung Oberwellen und Bandbegrenzung Nutzsignal aus benachbarten Frequenzen, im Beispiel 95kHz, 100kHz und 105kHz: Was bewirken hier Nichtlinearitäten, z.B. Quadrierung? G. Kemnitz t · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 65/87 2. Grundschaltungen 1. Source-Schaltung U e (Amplitudenspektrum Eingangssignals) Signal f U a (Amplitudenspektrum des verzerrten Ausangssignals) Differenzen Summen f ua enthält alle Summen- und Dierenzfrequenzen von 95kHz, 100kHz und 105kHz: 5kHz, 10kHz, 190kHz, 195kHz, ... Unterdrückbar durch Bandbegrenzung. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 66/87 2. Grundschaltungen 1. Source-Schaltung Kleinsignalersatzschaltung Rg ug S0 · uGS uGS rDS RD ua RL Eingangswiderstand: ∞ Ausgangswiderstand: ra = rDS k RD Verstärkung: mit der S= 4 Steilheit4 d ID = d UGS d vU = −S · ra K 2 2 · (UGS − Uth ) d UGS = K · (UGS.A − Uth ) Term für Kanallängenmodulation vernachlässigt. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 67/87 2. Grundschaltungen Transistor: W = 10 µm L = 1 µm RD 1. Source-Schaltung Ua Sperr- Einschnürbereich bereich Arbeitspunkt aktiver Bereich Ue Simulation mit .tf (V(a) Ve: Eingangswiderstand: ∞ (berechnet wird 1020 Ω) Ausgangswiderstand: 9,6 kΩ (rDS fast vernachlässigbar groÿ) Verstärkung: vU = −4,7. Probe vU = K · (UGS.A − Uth ) · ra ; 10 · 69 µA · (1,5 V − 0,67 V) · 9,6 kΩ = −5,1. Abweichung V2 vermutlich, weil Überschlag ohne Kanallängenmodulation. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 68/87 2. Grundschaltungen 1. Source-Schaltung Übergangsfrequenz Ergänzen von CGS und CGD in der Kleinsignalersatzschaltung. Rg RL′ CGD U GS Ug CGS S0 · U GS rDS RD RL Ua Umrechnung von CGD in Kapazitäten zum Emitter: Rg Ug U GS (* exakt 1 − vU ; G. Kemnitz · ∗∗ |vU · CGD )| +CGS exakt ∗ 1−vU vU ; S0 · U GS ∗∗ CGD RL′ Ua d.h. Näherung für −vU 1) Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 69/87 2. Grundschaltungen 1. Source-Schaltung Rg Ug U GS |vU · CGD )| +CGS ∗ S0 · U GS ∗∗ CGD RL′ Ua Gate-Source-Spannungsteiler: U GS 1 = Ug 1 + jω · f mit fSS1 = fSS1 1 2π · RG · (CGS + (1 − vU ) · CGD ) Ausgangsspannung in Abhängigkeit vom Drainstrom: Ua RL0 =− ID 1 + jω · f fSS2 mit fSS2 = 1 2π · RL0 · CGD Übertragungsfunktion: G. Kemnitz Ua = − Ug 1 + jω · · S0 · RL0 f fSS1 · 1 + jω · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal f fSS2 9. Juli 2013 70/87 2. Grundschaltungen 1. Source-Schaltung Sourceschaltung mit Stromgegenkopplung Ua RD Arbeitspunkte mit RS RS ohne RS 1,8 V Ue Minderung der Verstärkung Minderung des Aussteuerungsbereiches Erhöhung der Linearität; Verringerung Klirrfaktor, hier bei 100 mV Eingangsamplitude von 2,8% auf 2,3% (nicht viel) G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 71/87 2. Grundschaltungen 1. Source-Schaltung Transferfunktion mit und ohne Stromgegenkopplung Rg ug uGS mit RS ohne RS Ue.A 1,8 V 1,6 V re ∞ ∞ S0 · uGS rDS RD ua 10 k RL RS 1k 9,7 kΩ 9,6 kΩ vU -3,06 -4,73 Kontrollrechnungen: Die Steilheit beträgt hier etwa S0 ≈ 690 µA V2 · (1,6 V − 0,75 V) = 587 µS. Verstärkung ohne Gegenkopplung vU ≈ −S0 · ra = −5,6. Wo kommt die Abweichung her? Bei Gegenkopplung Substratsteilheit berücksichtigen ... ra G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 72/87 2. Grundschaltungen 1. Source-Schaltung Übergangsfrequenz In der Ersatzschaltung CGS ergänzen und CGD durch äquivalente Kapazitäten zum Source nachbilden: Rg Ug U GS (1 − vU ) · CGD +CGS Cers RS S0 · U GS ≈ CGD RL′ Ua U e · S0 · R S Über dem Source-Widerstand RS stellt die Stromquelle eine zu U GS proportionale Spannung ein. Mit Cers zu einer skalierten Kapazität zusammenfassbar. G. Kemnitz Cers 1+RS ·S0 · U GS · (1 + RS · S0 ) Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 73/87 2. Grundschaltungen 1. Source-Schaltung Rg U GS Ug (1 − vU ) · CGD +CGS Cers Rg Ug Cers 1+RS ·S0 RS S0 · U GS ≈ CGD Ua U GS · S0 · RS ⇓ funktionsgleich mit U GS · (1 + RS · S0 ) RL′ S0 · U GS ≈ CGD RL′ Ua Die gate-seitige Knickfrequenz erhöht sich um den Skalierungsfaktor: fSIK1 = fSS1 · (1 + RS · S0 ) = 1 + RS · S0 2π · RG · (CGS + (1 − vU ) · CGD ) Die drain-seitige Knickfrequenz bleibt unverändert: fSIK2 = fSS2 G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 74/87 2. Grundschaltungen G. Kemnitz 2. Drainschaltung Drainschaltung · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 75/87 2. Grundschaltungen 2. Drainschaltung Übertragungsfunktion Für Uth < Ue < UV + Uth Einschnürrbereich. Variante 1: Verbindung des Substrats mit Source (UBS = 0): G. Kemnitz Ue = Ua + UGS = Ua + r 2 · ID + Uth K Ua Arbeitspunkt Ue · vU = 0,92, ra = 3,8 kΩ Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 76/87 2. Grundschaltungen 2. Drainschaltung Variante 2: Verbindung Substrat mit Masse (UBS = −Ua ): Ue = Ua + UGS = Ua + r p p 2 · ID + Uth.0 + γ · Uinv + Ua − Uinv K Ua Übertragungsfunktion bei Verbindung von Substrat und Source RS Arbeitspunkt Ue Kleinsignalparameter mit .tf V(a) Ve: vU = 0,75, ra = 3,5 kΩ Substratsteuerfaktor senkt die Verstärkung Ausgangswiderstand RS G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 77/87 2. Grundschaltungen 2. Drainschaltung Kleinsignalverhalten Rg Gate ug Source ue S0 · (ue − ua ) rDS RS ua RL Der Stromanteil −S0 · ua der Quelle wirkt Eingangsspannungsänderungen entgegen. Regelung. Schwingungsgefahr bei zu hoher Steilheit? Ausgangswiderstand ra geringer als RS k rDS . Für groÿe Steilheiten strebt vU gegen eins. Substrat mit Source verbunden: vU = 0,92, ra = 3,8 kΩ Substrat mit Masse verbunden: vU = 0,75, ra = 3,5 kΩ G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 78/87 2. Grundschaltungen 2. Drainschaltung Übergangsfrequenz Am Eingang liegt die Gate-Drain-Kapazität. Die Gate-Source-Kapazität liegt zwischen Ein- und Ausgang und ist wegen ua ≈ ue vernachlässigbar: Rg Gate Ug ue Source CGD S0 · (U e − U a ) rDS RS Ua RL Übergangsfrequenz der Spannungsverstärkung: fV0 ≈ 1 2π · Rg · CGD Für eine hohe Grenzfrequenz mehrere Drainschaltungen verketten. Erst eine mit sehr kleiner Transistorbreite (kleinem CGD und S0 ), dann mit zunehmend gröÿerer ... G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 79/87 2. Grundschaltungen G. Kemnitz 3. Gateschaltung Gateschaltung · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 80/87 2. Grundschaltungen 3. Gateschaltung Übertragungsfunktion Ua Arbeitspunkt Einschnürrbereich Ue Steigende Eingangsspannung mindert UGS , damit auch ID , den Spannungsabfall über RD und erhöht Ua . Bei sehr hoher Steilheit bleibt UGS nahezu konstant. Verstärkung vU = RRDS . Wäre hier 10. Die Verstärung im Arbeitspunkt ist aber nur vier. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 81/87 2. Grundschaltungen 3. Gateschaltung Kleinsignalverhalten Ersatz des Transistors durch eine im Arbeitspunkt linearisierte spannungsgesteuerte Stromquelle und rDS . Rg ie Source ue = −uGS Gate ug rDS ia Drain S0 · uGS RD ua RL Eingangswiderstand: Verstärkung: RD + rDS d ue re = ≈ d ie ie =0 1 − S · rDS d ua vU = ≈ S · RD d ue ia =0 Ausgangswiderstand: re = G. Kemnitz · d ua ≈ RD d ia Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 82/87 2. Grundschaltungen 3. Gateschaltung Übergangsfrequenz Die Gate-Source- und die Drain-Source-Kapazität liegen zwischen Ein- bzw. Ausgang und Masse. rDS lässt sich durch re nachbilden, der zur Abschätzung der Zeitkonstante parallel zu Rg wirkt. Rg ug S0 · uGS Source ue CGS Gate re Drain CDS RD ua RL Für CGS ≈ CDS und RD Rg k re hat die Drainseite die gröÿere Zeitkonstante: CGS · Rg k re CDS · RD und bestimmt die untere Grenzfrequenz: G. Kemnitz fGS0 ≈ · 1 2π · CDS · RD Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 83/87 2. Grundschaltungen G. Kemnitz 4. Aufgaben Aufgaben · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 84/87 2. Grundschaltungen 4. Aufgaben Aufgaben Begründen Sie anhand der Übertragungskennlinie einer Source-Schaltung, warum nur der Kennlinienbereich, in dem der Transistor im Einschnürrbereich arbeitet, von Verstärkern genutzt wird. (Beim Übergang in den Sperrbereich und in den aktiven Bereich nimmt die Verstärkung drastisch ab.) Bestimmen Sie für eine xxx-Schaltung den Eingangswiderstand, Ausgangswiderstand oder die Verstärkung. G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 85/87 2. Grundschaltungen 4. Aufgaben Kaskadierte Drainschaltung In der nachfolgenden Schaltung (2x Drainschaltung) seien die Kanallängen der Transistoren jeweils 1µm. Der Steilheitsparameter je µm Transistorbreite sei 70 V2µA und ·µm fF die Gate-Source-Kapazität je µm Transistorbreite 1 µm . Wie ist die Transistorbreite von T2 zu wählen, damit die Gesamtschaltung einen Ausgangswiderstand von 100 Ω hat? Welche Eingangskapazität resultiert daraus für T2. Wie ist die Transistorbreite von T1 zu wählen, damit beide RC-Glieder in der Ersatzschaltung dieselbe Übergangsfrequenz haben? (Für die Lösung fehlen Formeln in den Folien!) G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 86/87 2. Grundschaltungen 4. Aufgaben Granzfrequenz Gateschaltung Wie ändert sich die Steilheit mit dem Drainstrom. In der nachfolgenden Schaltung nimmt der Steilheitsparameter und die Drain-Source-Kapazität proportional mit der Transistorbreite zu. Wie ändert sich das Verstärkungs-Bandbreiteprodukt mit der Transistorbreite? G. Kemnitz · Institut für Informatik, Technische Universität Clausthal 9. Juli 2013 87/87