European Patent Office
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Europäisches P a t e n t a m t J » European Patent Office © Veröffentlichungsnummer: Office europeen des brevets © EUROPÄISCHE © Anmeldenummer: 83106059.5 0 099 A2 PATENTANMELDUNG © Int. Cl.3: H 01 J 3 7 / 0 4 © Anmeldetag: 21.06.83 © Priorität: 22.07.82 DE 3227426 © Veröffentlichungstag der Anmeldung: 01.02.84 Patentblatt 84/5 © Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB NL © Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT Berlin und München Wittelsbacherplatz 2 D-8000 München 2(DE) © Erfinder: Plies, Erich, Dr. Deisenhofener Strasse 79c D-8000 München 90(DE) © Ablenkstruktur für ein Korpuskularstrahl-Austastsystem und Verfahren zu seinem Betrieb Eine Ablenkstruktur mit zwei Ablenkelektroden (1,2) für ein Korpuskularstrahl-Austastsystem, von denen eine erste Ablenkelektrode (1) mit einem zeitlich variierenden Potential (U) beaufschlagt ist, während die zweite Ablenkelektrode (2) auf einem zeitlich konstanten Potential liegt, soll mit einer einfacheren und preiswerteren Schaltungsanordnung als nach dem Stand der Technik üblich Korpuskularpulse mit weitgehend denselben Eigenschaften wie beim Stand der Technik üblich ermöglichen. Am Eingang und am Ausgang einer solchen Ablenkstruktur sind, in Korpuskularstrahlrichtung gesehen, Zusatzelektroden (4,5,7,8) zur Verringerung der Energieverbreiterung des Korpuskularstrahls angeordnet, und die Zusatzelektroden (4,5,7,8) sind mit einem (M statischen Spannungswert versorgt. < 0) IS 4 7 9 Die betrifft Erfindung lenkelektroden dem nach ein für Meßtechnik eine ist die stem ist H.P. Feuerbaum die et 529-532, beide des gegengesetztes des zwei len die an mit den -E: for symmetrische Sci. werden in Für der ein einem von Vol. 11, zwei der Regel jedoch jeweils ent- eine solche Ablenkplatmit Pulsgenerator und Ab- wobei beiden "+"- in pulses Die Ablenkplatten wird mit Ablenksy- Instrum., beaufschlagt, Schaltung nämlich meist subnanosecond aufweisen. Ablenkkondensators Elektro- solches beschrieben. Pulsen Vorzeichen der Veröffentlichung Phys. beiden Abschaltung einem "-"-Aus- benötigt. ist technisch einfacher Pulsgenerator damit tors der chopper In Ein Ablenkkondensators Ausgängen, gang, Es Ab- Verfah- Strahlaustastung microscopy" gleichzeitig Spannungen ten in J. al, "Beam electron sogenannte ein und Ein- verwendet. beispielsweise lenkplatten zwei Elektronenstrahl- erforderlich. wird zur Ablenkkondensator scanning sowie stroboskopische Elektronenstrahls 1978, 1 Anspruchs hochfrequente nenstrahl-Meßtechnik ein mit Betrieb. Beispielsweise eines Ablenkstruktur Korpuskularstrahl-Austastsystem des Oberbegriff seinem zu ren für eine nur mit zweite eine mit einzige nur einem preiswerter, Ausgang Ablenkplatte Spannungspulsen Ablenkplatte und zu des des zu einen bauen schnelund Ablenkkondensa- beaufschlagen. Dann Ablenkkondensators muß auf aber eine konstante zeitlich im Ablenkkondensators solchen einer sogenannten bei eine das des des Farbfehler nach richtung des breite der der dem Hand sind. die Hand mit die eine Korpuskularpulses auf dem sogenannte einer Erfindung zum mit anzugeben, preiswerteren der Technik selben der Energie- eine Vergrö- durch Eigenschaften auch angeord- der Energie- die Differenz- bewirken. Target des Beschaltung die liegt zwei Aufgabe des Daher Ablenk- zugrunde, Ablenkelektroden und welche ein mit für Verfahren einer als nach dem mit weitgehend Stand der Technik beim ein zu einfacheren Korpuskularpulse wie die Korpuskularstrahl- Verschmierung Schaltungsanordnung üblich zu- eingesetzt. Korpuskularstrahl-Austastsystem und jedoch höhere Erhöhung wachsen Weg ein Beschaltung bedingt zeitliche nicht praktisch Betrieb Fall Eine in asymmetrische Ablenkstruktur seinem auf Korpuskularstrahl-Austastsystem in vorliegenden im Korpuskularsonde Korpuskularstrahls kondensators ist. Linsen, laufzeit-Effekte, die dies Korpuskularstrahls Durchmessers des soge- Korpuskularstrahls symmetrischen des deutschen bewirkt ist, sogenannten axialen eine gelegt Fall des Ablenkkondensators, beschriebenen der mit Diese als ßerung Der der Ablenkfeld, Ablenkkondensators wird des Energieverbreiterung verbreiterung net in Ablenkkondensators Potential des Beschaltung beschrieben. des erfolgt Ablenkstrukturen gepulste durch erst 660.0 Dies Ablenkplatte asymmetrischen Ablenkplatte höhere wird. Beschaltung konstantes zeitlich zweite beispielsweise 36 asymmetrische der eine sind P 30 Patentanmeldung die geerdet Ablenkkondensators nannte daß dadurch, allgemeinen werden. gelegt Spannung Stand den- üblich ermöglichen. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Ablenk- struktur welche dem nach die des Oberbegriff kennzeichnenden 1 gelöst, Anspruchs Merkmale des 1 auf- Anspruchs weist. Ausgestaltungen und der Unteransprüchen, stellt und Vorteile der den Zeichnung darge- beschrieben. der Erfindung dargestellt und werden Fig.1 zeigt das elektrische scher Beschaltung Fig.2 und in sind Erfindung Beschreibung Ausführungsbeispiele ten) der eines im folgenden der in näher der Zeichnung beschrieben. Feldlinien-Bild bei Ablenkelektroden symmetri- (Ablenkplat- Ablenkkondensators. die zugehörige zeigt das elektrische scher Beschaltung zeigt sind Feldstärke auf der optischen Achse. Fig.3 ten) Fig.4 eines zeigt der Feldlinien-Bild bei Ablenkelektroden asymmetri- (Ablenkplat- Ablenkkondensators. die zugehörige Feldstärke das elektrische auf der optischen Achse. Fig.5 Fig.6 zeigt trischer Beschaltung platten) und zeigt eines Fig.7 zeigt der der bei asymme- Ablenkelektroden erfindungsgemäßen idealisierte Beschaltung Feldlinien-Bild Zusatzelektroden. für Spannungspulse Ablenkelektroden (Ablenk- symmetrische (Ablenkplatten) Ablenkkondensators. einen metrische platten) idealisierten Beschaltung eines der Spannungspuls für Ablenkelektroden Ablenkkondensators. asym(Ablenk- Fig.8 eine zeigt sondern schränkt, wird ist, Strahlrichtung Strahlrichtung sind. gleich Denn Bei für gilt der hängigen Diese die Potential nur nicht veränderlichen gilt -e, Gleichung tial C für die Elektrons: das (1) dann wenn vor Energie der C(r, be- des t) sich kann ist, in nach Potentiale Austastsystem elektrischen oder aber Feld auch welche Potential C(r, Eges e i n e s diesem e x p l i z i t der die t) Elektrons zeitab- Zeit kinetischen des Gesamtenergie wenn elektrischen der Elektrons dem im not- befindet: konstant von nicht elektrischen nach in Gesamtenergie daß Änderung die aufnehmen besagt, äußeren Er- veränder- Elektrons - zeitabhängigem welches explizit die Austastfeld Austastfeld und Elektron explizit Ladung Elektrons auch Änderung ist zeitlich Gesamtenergie gesehen Austastsystems abgeben. mit das eines dem vor der sein, Elektronen- Korpuskularstrahl- Da Gesamtenergie gleich Austastfeld des beliebige werden. gesehen - wendigerweise dem auf kann die eines Dennoch Elektronenstrahl-Austastsystems lich ab- Elektronenstrahl-Austastsysteme angewandt Austastsysteme eines auf keineswegs anhand beschrieben. strahl-Austastssystems in werden Ausführungsbeispiele findung mit Zusatzelektroden. gewinkelten Die Ablenkstruktur erfindungsgemäße das elektrische abhängt. Im Feld t): E(r, Energie Poten- zeitlich Ekin des wobei v der Geschwindigkeitsvektor Integration über die Durchlaufen beim ist tEnde-tAnfang nachdem welchem welcher Pulses, angelegt in (3) das zeigt struktur. ist bei und an die dieser legt. trägt An Der Abstand Die Länge richtung beträgt optische Achse kartesischen tung verlaufen lenkelektroden trischen, des l. des 2 ist beiden der die 1, verlaufen x-Richtung 2 befinden passierenden den und sich Umgebung Austastfeldes die 2 der 3. Ablenk1 1, und in -U/2 2 in 2 beStrahl- damit die eines zur z-Rich- einer Elektronen Elektronenstrahls Ablenkwinkel @ . Ab- Die y-Richtung. innerhalb Die 1, ange- z-Richtung Senkrecht die +U/2 die Spannung Spannung Strahlrichtung Systems symmetri- (Ablenkplatte) Ablenkelektroden Die bei Ablenkelektroden Koordinatensystems. geerdeten Austastsystem folge der Für r=r(t) ist 1, Beschaltung symmetrischen Ablenkelektrode Austastsystems Feldlinien-Bild Ablenkelektrode elektrischen einzusetzen. Ablenkelektroden die d. des je Elektron des passiert. Elektronenbahn der Beschaltung scher betreffende Abschaltzeitpunkt elektrische des verschiedene unterschiedlich, das Ablenksystem die für Ablenkstruktur die an wird, das Gleichung -Fig.1 und Einschalt- gepulste Austastfeldes allgemeinen Zeitpunkt das Elektronenstrahls. des Elektronenstrahls des zu im Ener- die Austastsystems: Elektron ist Elektronen zwischen . ein Einwirkzeit Diese durch Einwirkzeit des die auf Austastsystems des damit und Energie ist. liefert (2) Gleichung Elektronenstrahls des gieverbreiterung Ablenkfeld bei t kinetischen der Änderung Zeit die Elektrons des symmedes erleiden das in- Fig.2 die Fig.1 Auf Feldstärke hängig von zu Achse. optischen nur die zeigt ob davon, der der die Da die fällt, weist Achse nur eine Fig.2 zeigt das elektrische trischer Beschaltung struktur und 1 wird mit trode mit 2 der ist den in Bezeichnungen ist 3 Umgebung Randfeld in Wie vorhanden. des einer aus übrigen leicht elektrischen des z-Komponente die der der stimmen Eine geerdete Säule aus immer das ist, hat den AblenkelekAchse optischen Feldes Ablenk- Ablenkelek- ersichtlich auf auch 2 besteht, asymme- Ablenkelektrode elektronenoptischen Fig.3 opti- 2 der 1, überein. Fig.1 bei Bezeichnungen Plattenkondensators, 1 und troden Die der a u f . +U b e a u f s c h l a g t , Spannung geerdet. Die oder zusammenauf Ablenkelektroden 3. unab- Null, Feldlinien-Bild Umgebung geerdeter Fig.1 3 benachbart Ex z - A b h ä n g i g k e i t der in z-Achse Feldstärke elektrische schen von der freistehen der mit Achse auf ist Umgebung geerdeten optische die verschieden Ablenkelektroden symmetrischen, sind. Achse optischen =-U/d Ex Feldstärke gehörige v e r s c h i e d e n eine von Null. Fig.4 die zeigt zu Achse. optischen Die auf der optischen ten wie bei symmetrischer den 1, bei asymmetrischer Die verschieden schaltung von in bei nach des elektrischen dasselbe der Fel- Verhal- Feldes Ablenkelektroden zur der der Ablenkelektro- elektrischen Gegensatz der (x-z-Ebene) symmetrischen die sowohl ist Ablenkelektroden asymmetrischer Fig.3 Beschaltung Beschaltung im etwa zeigt E auf ist 1, 2 Be- Fig.1. Im A b l e n k s c h n i t t Beschaltung Achse Ez-Komponente Null des Ex-Komponente des 2. Feldstärke gehörige Fig.3 Beschaltung Komponente Ey 1,2 der der bei nach symmetrischer Fig.1 als auch Ablenkelektroden 1,2 Feldstärke im Ablenkplat- tenkondensator (3) Gleichung Null. gleich Ablenkwinkel @ infolge die Größenordnung der @ Strahlapertur sich die Strahlaustast-Feldes z.B. beträgt im im S150 Cambridge E hat Austastsystem. des Austastsystem 10-2 rad. Wegen Relation: kann in Gleichung werden. Die Wegen vz z-Komponente schnitt weise der des Strahlapertur @ Elektronenstrahlgerätes der reduziert auf: Der Diese Daher (4) = dz/dt des (x-z-Ebene), durch eine x-Abhängigkeit der erste Summand sich: ergibt elektrischen Ez(r,t) abgebrochene vernachlässigt Feldes E im Ablerk- = Ez(x,o,z,t), kann näherungs- Taylorentwicklung werden. dargestellt Unter bezüglich der zusätz- lichen daß i n f o l g e des z e i t l i c h veränderlichen Annahme, Austastfeldes E induzierte elektrischen elektrische Wir- belfelder der Komponente zweiten des vernachlässigt Term werden können, Ex d e s e l e k t r i s c h e n der R e i h e n e n t w i c k l u n g elektrischen Ablenkfeldes kann der Ablenkfeldes für die E eingeführt Verlauf E in Komponente werden: den Ez Im Fall den 1, und für symmetrischen 2 nach die ist Fig.1 den aus systems des ist des Energieverbreiterung des kinetischen der Pulsdaches feld (siehe erfährt Wert dieser schwach vom spezifischen kann der (7) jedoch U ist die Spannung Mit 1, 2 des liegendem Mit grob Minuszeichen in des dem zur EnergieändeElektron Ausgangssystems Energieänderung des des der beiden durchhängt jeweiligen Mittelwertsatz der Inte- Energieänderung von werden: Ablenkelektroden Austastsystems Austastsignals (8) des des Dauer τp gesamte A u s g a n g s r a n d - abgeschätzt zwischen Gleichung Austast- Beitrag dasjenige Randfeldabfall Plattenkondensators Pulsdach des Maximalwert Gleichung einen maximale das gerade ab. des während der maximalen Der (6): Ausgangsrandfeld Energie läuft. gralrechnung und Die welches = Null Elektronenstrahls Austastsystems Fig.6) Plattenkondensators das nur Plattenkondensators des (5) liefert. Elektronenstrahls, Ez / x = 0 Komponente des Ablenkelektro- Plattenkondensators daß so x ≈ 0, Plattenkondensators rung die Gleichungen Eingangsrandfeld der Beschaltung Energieverbreiterung sich ergibt Im der bezeichnet. bei anDas bedeutet eine verzögerung des Elektrons, werden 10 kann. 10 so erhält Im Fall der den 1, 2 des den E auf der optischen zweite gen (5) Da nach @ des Summand (6) und der EZ Achse nicht mit (6) der die gangsrandfeld und Ausgangsrandfeld Energie nach Puls eingeschaltetem tors der gilt durchläuft. zweite Term genauer Elektrons, in bei bei daß Plattenkondensators der symmetrischen das bei wird tenkondensators der die für bei kann Puls die dann Grleichun- (6) kinetischen Plattenkondensa- von nach so worden Fig.1.) das beschleunigt, ist, solchen eines beide groß (9) Gleichung vernachlässigt Puls bei das Elektron, Energieänderung nur Ein- Ξz/x=0 im der des Ableitung asymmetrischer maximal Feldstärke entgegengesetztes ein durchläuft, Beschaltung eingeschaltetes nach des eingeschaltetem des durchläuft, Null Gleichung gesagt, das Feldkonponente beide Randfelder (Da Ablenkelektro- und Energieänderung (9) Gleichung -1eV. Ekin/max ≈ Null: Austastsystems die wird Wert zusammen: Fig.4 hat, U 2·10-2rad, von der werden und Vorzeichen Wert Rei henentwicklung dann des ein 1/d Austastsystems mehr Fig.3 Plattenkondensators Pulsdach elektrischen vernachlässigt ergeben ein Beschaltung z-Komponente Gleichung das Verhältnis Plattenkondensators die der das für eingesehen Energieänderung asymmetrischen ist der für maximale Fig.3 In (8) Ablenkwinkel eine man leicht der Fig.1 Gleichung werden, für und in Wenn V eingesetzt von anhand was Randfelder bleibt Ein wie b e i Elektron, Eingangsrandfeld Beschaltung während des ein Plat- Elektron, das bei feld maximal Energiebetrag der längs Ez/x=0 eine Für Ez das sators den Ez Ausdehnung d auf mit troden um daß eine (9) über die die daß eine Kompo- e f f e k t i v e besitzt. maximale Dann Energie- die des Energieverbreiterung Ablenkelek- bei den gemachten größer ist als Ablenksystems Größenordnung der Beschaltung der Ablenkelektroden das elektrische bei 2 des 1, ElektroAnnahmen symmetrischer Austastsystems Fig.1. Fig.5 zeigt trischer der Beschaltung Feldlinien-Bild Ablenkelektroden systems und den bei asymmetrischer des Plattenondensators des den 4, wird 5 das Potential erreicht optischen der des an Ablenksystems, wieder daß 1,2 in beiden die diese Achse also des 4, AblenkWer- 5. Randfeldern Zusatzelektroden im Innern U/2, wie des dies Ez so auf bei 4, Platten- angelegt, Feldkomponente verschwindet, asymme- Zusatzelektro- Austastsystems optischen werden, Achse Beschaltung und bei Zusatzelektroden erfindungsgemäßen 5 angebracht kondensators kann für und Achse optischen asymmetrischer des Beschaltung nach Kom- Elektrons bei 1, 2 der Gleichung bedeutet, nenstrahls Û-cos60°/d Näherungswert eines änderung etwa dieser der von sich ergibt Dies Ent- Umgebung 3 Verlaufs z-Achse unter ca.60° schneidet die nente von der von geerdeten des Abschätzung stark hängt der Verlauf o p t i s c h e n Achse kann angenommen w e r d e n , F e l d E im R a n d f e l d d e s P l a t t e n k o n d e n elektrische ponente daß grobe auf Achse Ausgangsrand- um d e n s e l b e n Der wird. Gestalt der gesamte durchläuft, verzögert optischen und fernung das nur Plattenkondensators des ab. Puls eingeschaltetem der der syn- metrischen ist fachsten oder in der Achse optischen elektroden 4, Potential Damit elektroden immer 5 genau U(t)/2 4, genommen Es zu chen Ablenkfeld E denn versorgen, 4, Am e i n - ist. Schlitz- 5 eine von Fig.5 Feldkomponente ist, müßten das zeitlich genügt mit statisch ches Fall Hälfte die Null haben. 5 linken der verwenden. zu der Fig.1 Zusatzelektroden als es, Lochblende,wie stellt, nach Beschaltung der Spannung das/Komponente auf Ez Zusatz- diese veränderliche Zusatzdiese U/2 d e s P u l s d a - jedoch, dann ist beim darge- zeitlich veränderli- EzVerschwindenderEzaufdercocischenAchsehurwährendderPuls- d e s an d i e A b und d e r P u l s a b f a l l z e i t τ f anstiegszeit τr lenkelektrode elektrischen 1 angelegten Pulses U(t) ver- . Die letzt. in der als aber Regel Fig.6). auch klein den die Pulsabfallzeit den 1, Es ist für werden den 4, und 5 noch Die eine der der von erreicht durch die verbleibende näherungsweise Ablenkelektro- der von wurde 4, 5 sind 3 befestigt. stärker über un zu Isolatoren Geerdete Zusatzelektroden sich statischen Säule 9 vorgesehen, elektroden den Zusatzelektro- lassen den an erzeugt aber Stigmator eingebauten RundIn kompensieren. noch die eine zusätzliche der Ausdehnung begrenzen. 6 an der Elektroden 9 5 oder 5 und Rundlinsenfelder Felder dieser Fig.5 4, Zylinderlinsenfelder elektronenoptischen Hälfte Zusatzelektrode vorhandenen - sowieso Zusatzfelder bei die Beschaltung statische statischen Umgebung Pulsdauer τp rotationssymmetrischen Wirkungen Elektrode geerdete die gegen Fokussierungsänderung rechten allein τf statische schwache einen - linsen daß schwache Verwendung durch (siehe Pulsdauer τp die P u l s a n s t i e g s z e i t τ r Austastsystems. bei werden. die sind Pulsabfallzeit Elektronenstrahls des beachten, mindestens die sowohl können, symmetrische 2 des zu daß Fall, Energieverbreiterung Wert gegen Für vernachlässigt den und Pulsanstiegszeit sowohl Die Zusatz- geerdeten können bei auch den Zu- 4 satzelektroden nach Puls und auf der während behält An Fig.1. der Wert U/2 5 an- linear während ein der symmetri- 2 eines 1 auf Austastder steigt den Wert U/2 τp b e i fällt wiederum während der P u l s a b f a l l s z e i t τ f linear An d e r A b l e n k e l e k t r o d e den W e r t N u l l ab. 2 wird gleichzeitig an der Ablenkelektrode daß er das entgegengesetzte scheidet, Fig.7 einen zeigt trische struktur nach U(t) linear während Null der abfallzeit Fig.8 τf anstelle der andersartige den Wert Û aufweist. für asymme- 2 der Ablenk- Ablenkelektrode 2 stän- 1, Ablenkelektrode während unter- der 1 eine Span- Pulsanstiegszeit ansteigt, diesen Wert U und w ä h r e n d d e r P u l s τp b e i b e h ä l t wiederum l i n e a r a u f den Wert N u l l a b f ä l l t . Zusatzelektroden Ablenkelektroden bei 1, 7, 8 verwendet nach ganz weggelassen Fig.8 elektroden 7 net oder werden 7 als können nur auch auch in bei sowohl der in Nähe 4, 5 von bei geerdete jeweils den Natürlich Auch werden. oder der Be- können Fig.5 nur Nähe Anord- Elektroden bei der auch Zusatz- einer den Zusatzelektroden der Verrin- zur abgewinkelte zusätzliche werden oder 2. z.B. Zusatzelektroden, 8 7, asymmetrischer Zusatzelektroden planen nung troden die Energieverbreiterung der elektroden Vorzeichen dem von dadurch Spannungspuls die abgewinkelte der schaltung auf die an sich Pulsdauer zeigt gerung wird angelegt, von Während der 1 nur Ablenkelektroden der Fig.3. ist, geerdet nung idealisierten Beschaltung Pulsdauer angelegt, Spannungspuls Spannungspuls dig 1, die Ablenkelektrode Anstiegszeit τr diesen für Spannungspulse Ablenkelektroden der Beschaltung systems an, idealisierte zeigt sche Zusatzelektroden werden. geordnet Fig.6 den bei auch als 8 9 Zusatzangeord- Zusatzelek- Zusatzelektroden 8 an- werden. geordnet Mit der der Verringerung tronenstrahls Hand geht in Hand Differenzlaufzeit-Effekten zeitlichen Beim 8 mitberücksichtigt andere des tastsystems höhere auf auch 4. 5, die die geringere ein der teurer negativem Zusatzelektroden spielsweise Pulsdaches 7, Ablenkelektroden 4, statisch versorgt. 5, mit verwendet 7, mit 5, 7, Pulsreflexionen 8 am E i n der 1, und Technik wird, halben bei 2 nach sowohl 8 werden dem 4, entstehen. Energieverbreiterung Ausgang des Design erfindungsgemäß Pulsgenerator einer entgegen- Zusatzelektroden keine von Ausgang Ablenkkondensators Stand beim Energieverbreiterung Beschaltung der Effekte geschalteten wird Elektronenpulses damit werden, unerwünschte asymmetrisch womit Elektronen, die müssen Zusatzelektroden Durch Verringerung hochfrequenztechnischen Strahlaustastsystems oder des Verschmierung wird. gewirkt der eine Elek- des Energieverbreiterung des Aus- auftretende weitgehend symmetrischer Fig.1, bei positivem als reduziert. erfindungsgemäß Spannungswert Die beid e s 1. Ablenkstruktur-mit ein Korpuskularstrahl-Austastsystem, Ablenkelektrode erste Potential (U) (2) dadurch und gang strahls zeitlich Zusatzelektroden und einem daß statischen Ab- zweite Potential daß am Ein- Korpuskular- (4, des Energieverbreiterung sind, eine konstanten in für 2) variierenden die Ablenkstruktur, gesehen, der mit zeitlich denen von während ist, einem der angeordnet 8) 7, einem (1, g e k e n n z e i c h n e t , strahlrichtung 5, auf am A u s g a n g Verringerung mit (1) beaufschlagt lenkelektrode liegt, Ablenkelektroden zwei 5, 7, 8) zur Korpuskular- Zusatzelektroden die Spannungswert (4, versorgt sind. Ablenkstruktur 2. z e i c etwa h daß t , halben d e m jenigen Ablenkstruktur 3. z e i c h elektrode 4. e t n nach durch h elektrode (4, e n nung n z e i c der Elektroden sind, (4, 8) 7, 5, Pulsdaches mit e n n- welcher derdie beaufschlagt ist. Schlitzblenden dadurch 1-2, für eine gekenn- Zusatz- h statischen (9) einen der Ansprüche eine Lochblende dadurch 1-3, für eine gekenn- Zusatz- 5). Ablenkstruktur 5. des einem der Ansprüche nach durch e t n g e k 5). (4, Ablenkstruktur z e i c (U/2) versorgt (1) dadurch Zusatzelektroden Mittelwert (U) Spannung 1, Anspruch die Ablenkelektrode erste k e n nach nach n einem der Ansprüche e t , daß zur Zusatzfelder angeordnet sind. 1-4, Begrenzung zusätzliche dadurch der gekenn- Ausdeh- geerdete 6. g nach einem Ablenkstruktur e k e n n z (7, 8) 7. Verfahren der daß e i c Ansprüche durch 1-6, die Betrieb dadurch und mittels eingebauten Rundlinsen kompensiert daß t , einer g e Zusatzelektroden Zylinderlinsenfelder Stigmators n e die Zusatzelektroden sind. abgewinkelt zum h der Ansprüche 1, 2 oder 5, d a d u r c h werden. bzw. Ablenkstruktur k e (4, n n 5, z e i c 7, 8) Rundlinsenfelder einer nach einem h n e t , hervorgerufene mittels Fokussierungsänderung der korpuskularoptischen eines an den Anordnung
