Bau eines REM-Modells

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ZfP-Sonderpreis der DGZfP beim Regionalwettbewerb Jugend forscht
DÜSSELDORF
Bau eines REM-Modells
Florian Büttner
Maurice Wald
Schule:
St. Michael-Gymnasium
Markt 11
53902 Bad Münstereifel
Jugend forscht 2010
Bau eines REM-Modells
Heizung
Wolframspitze
Spule
Spule
Mikrokanalplatte
Probe
Mehrfachstecker
Schüler experimentieren 2010
Florian Büttner und Maurice Wald
St. Michael-Gymnasium Bad Münstereifel
Bau eines REM-Modells
Bau eines REM-Modells
1. Zusammenfassung
2. Zielsetzung
3. Funktionsweise eines Rasterelektronenmikroskops
4. Lasermodelle
4.1 Das Abflussrohrmodell
4.2 Das X-Y-Schreibermodell
5. Das Elektronenstrahlmodell
5.1 Bauplan
5.2 Mikrokanalplatte
5.3 Problem Elektronenkanone
5.4 Signalaufzeichnung
5.5 Problem Vakuum
6. Ausblick
7. Danksagung
8. Linkliste
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Bau eines REM-Modells
1. Kurzfassung
Heutzutage sind Rasterelektronenmikroskope (REM) von großem Interesse. Mit ihnen ist es möglich
in kleinste Welten vorzudringen. Leider ist es an Schulen aus Kostengründen nicht möglich
Rasterelektronenmikroskopie durchzuführen.
Ziel unserer Schüex-Arbeit ist es deshalb, ein Rasterelektronenmikroskop-Modell für Schulen zu
bauen, an dem die Schüler wenigstens die Funktionsweise dieses wichtigen Gerätes verstehen
können.
In unserem ersten Modell ersetzten wir die Elektronen durch Photonen, d.h., wir verwendeten
anstelle der Elektronenkanone einen Laserpointer. Diesen bauten wir zusammen mit einem LDR und
einer „atomaren Oberfläche“ in ein Abflussrohr ein. Die „atomare Oberfläche“ - bestehend aus
kleinen Kunststoffkugeln - rasterten wir mit dem Laserstrahl ab. Die von der LDR-Schaltung
gelieferten Spannungswerte trugen wir in Excel ein und so erhielten wir ein einfaches 3D-Bild der
abgerasterten Oberfläche.
Um ein REM mit einem richtigen Elektronenstrahl zu verwirklichen, versuchten wir zunächst eine
eigene einfache Elektronenkanone zu bauen. Bei unseren ersten Experimenten sahen wir uns aber
mit einer Vielzahl von Problemen konfrontiert. Da eine geeignete Fokussierung von Elektronen so
nicht möglich war, entschieden wir uns eine Elektronenkanone aus einem Monitor auszubauen.
Durch ein verbessertes Vakuum und die ständige Optimierung unserer Apparatur hoffen wir unserem
Ziel nahe zu kommen, ein möglichst realistisches Modell eines REM sehr preiswert herzustellen.
2. Zielsetzung
Heutzutage sind Rasterelektronenmikroskope (REM) von großem Interesse. Mit ihnen ist es möglich
in kleinste Welten vorzudringen. Leider ist es an Schulen aus Kostengründen nicht möglich
Rasterelektronenmikroskopie durchzuführen.
Ziel unserer Schüex-Arbeit ist es deshalb, ein Rasterelektronenmikroskop-Modell für Schulen zu
bauen, an dem die Schüler wenigstens die Funktionsweise dieses wichtigen Gerätes verstehen
können.
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3. Funktionsweise eines Rasterelektronenmikrokops
Abb. 3.1: Funktionsweise eines Rasterelektronenmikroskops
Quelle: Wikipedia
Bei einem Rasterelektronenmikrokop (REM) befindet ganz oben eine
Elektronenkanone; im einfachsten Fall ein Wolframdraht. Über diesen Draht
werden mit Hilfe von Hochspannung Elektronen beschleunigt, welche durch
ringförmige Spulen zu einem haarfeinen Strahl gebündelt werden. Trifft dieser
Strahl nun auf eine Probe, so entstehen Sekundärelektronen, welche aufgefangen und mit Hilfe eines Computers zu einem Bild verarbeitet werden. Da
man aber so immer nur einen einzelnen Punkt der Probe sehen kann, wird der
Elektronenstrahl mit Hilfe der Spulen so gelenkt, dass er die Probe zeilenweise
abrastert. So entsteht ein ganzes Bild. Will man nun das Bild der Probe
vergrößern, verkleinert man einfach den Bereich der abgerastert wird.
Für den Bau unseres Rasterelektronenmikroskops dürfen wir nur Spannungen
unter 5 kV benutzen, damit keine gefährliche Röntgenstrahlung entsteht.
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4. Lasermodelle
4.1 Das Abflussrohrmodell
Statt Elektronen auf das zu betrachtende Objekt zu schießen benutzten wir in
unserem ersten Modell Photonen aus einem handelsüblichen Laserpointer. In
unserem sogenannten „Abflussrohrmodell“ (Abb. 4.1), welches wesentlich
einfacher zu bauen ist als eines mit
Elektronen, bauten wir in ein Rohrstück
einen LDR ein, bohrten in den Deckel ein
Loch und bauten eine Vorrichtung die den
Laserpointer hielt. So kann die
Funktionsweise eines REM gut erklärt
werden.
Abbildung 4.1: Abflussrohrmodell mit
angeschlossenem Widerstandsmessgerät
Unsere ersten Messungen beruhten nur auf Hell- und Dunkelbetrachtungen.
Dazu benutzten wir weiße und schwarze Pappstreifen, schlossen den LDR an
ein Widerstandsmessgerät an und trugen per Hand die Werte in Excel ein um
Unterschiede zu verdeutlichen. Dabei kam als Ergebnis ein deutlicher
Unterschied zwischen hell und dunkel heraus (Abb. 4. 2).
Abbildung 4.2: Die Messergebnisse
zeigen einen deutlichen Unterschied
zwischen schwarz und weiß
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Abbildung 4.3: Unser Abflussrohrmodell
getestet an einem dreidimensionalen Objekt.
Noch von Hand abgerastert und ebenfalls
von Hand gemessen und eingetragen
Jedoch wollten wir nicht in dieser Dimension verweilen, sondern auch
dreidimensionale Objekte mit dem Laserpointer abrastern, um sie so mit Excel
darstellen können. So nahmen wir uns zwei weiße Kugeln, steckten diese in
mit schwarzer Pappe überklebtes Styropor, und rasterten dieses 3D-Objekt
nach einem Rastergitter auf der Pappe ab (Abb. 4. 3). Diese Werte in Excel
eingetragen ergab schon ein dreidimensionales Bild. Jedoch waren es keine
zwei Kugeln, sondern es erinnerte mehr an die Höcker eines Kamels (Abb. 4. 4).
Abbildung 4.4 : Messergebnisse dargestellt mit Excel
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4.2 Das X-Y-Schreiber-Modell
Das Abflussrohrmodell brachte uns zwar ein Bild, jedoch
war es infolge der Handabrasterung nicht sehr genau und
es dauerte sehr lange, bis wir die Messwerte per Hand in
Excel eingegeben hatten. So entschieden wir uns für eine
automatische Bewegung des Laserpointers durch einen
alten X-Y-Schreiber, welcher sich im gleichmäßig einstellbaren Tempo horizontal bewegt und auch in der Höhe
verstellbar ist. Damit wäre das Problem der ungenauen
Rasterung geklärt. Es bleibt aber noch das Problem mit
der Messwerterfassung. Auch dafür fiel uns nach langer
Grübelei eine Lösung ein:
Unser
Ein Data Logger. Das ist ein Abbildung 4.5:
Messgerät „Data Logger“
Messgerät mit Software,
womit man die Messwerte auf den Computer
übertragen, aufzeichnen und dann in Excel
eintragen kann (Abb. 4.5). Über einen
Spannungsteiler zeichneten wir die
Abbildung 4.6:
Unser
Spannungsteiler mit angebautem Spannungsänderungen auf. Erhöht sich der
Data Logger
Widerstand des LDRs, erhöht sich ebenfalls die
Spannung, die am Data Logger gemessen wird (Abb. 4.6).
Erste Kurven wiesen bereits eine
gute Genauigkeit auf, trotz nur 20
Messungen pro Reihe. Nach
Verbesserung der Leuchtstärke des
Laserspointers und der Geschwindigkeit des X-Y-Schreibers, wagten wir
den ersten Versuch: Die
Aufzeichnung eines kompletten 3DObjektes, d.h., 3x3 weiße Kugeln
ganz abzurastern (Abb. 4.7).
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Abbildung 4.7:
X-Y-Schreibermodell mit X-YSchreiber, Laserpointer, 3-D-Objekt, Data Logger,
Schaltung und angeschlossenem PC
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Die Messergebnisse, importiert in Excel und als Oberflächendiagramm
dargestellt, ergaben nach viel Messerei ein erstaunlich genaues 3D-Bild
welches trotz nur 20 Messungen in X-, und 21 in Y-Richtung, eine relativ gute
Oberfläche darstellt und unserer Meinung nach krönend die Lasermodelle für
uns abschließt (Abb. 4.8).
Anhand unserer Photonenmodelle kann man sehr gut verstehen, wie bei einem
REM mittels Abrasterung ein 3D-Bild entsteht. Viele Leute denken ja, der
Sensor im REM sieht wie eine Digitalkamera in einem Lichtmikroskop. Dies ist
jedoch falsch. Auf einem CCD-Chip sind viele Sensoren. In einem REM befindet
sich aber nur ein Sensor und trotzdem kann der Computer hieraus ein 3D-Bild
machen. Im Großen und Ganzen waren die Lasermodelle ein Erfolg für unser
Projekt „Bau eines REM-Modells“.
Abbildung 4.8:
Die Messwerte vom Data Logger in Excel eingetragen und als Oberflächendiagramm dargestellt ergeben ein gut erkennbares 3D-Bild des Objekts
Da das mit den Photonen jetzt abgeschlossen war, wendeten wir uns nun der
Elektronenkanone und dem Vakuum zu. Hier wartete wieder eine Menge von
Problemen auf uns.
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5.1 Bauplan
Abbildung 5.1: Unsere Vakuumglocke auf der Plexiglasplatte mit Kontakten
Womit fängt ein gutes Projekt an? Natürlich mit einem Plan. Um unseren Plan
einmal zu erklären: Das transparente Rechteck in Abbildung 5.1 ist unsere
Plexiglasplatte mit durchgeführten Anschlüssen für die elektrische Verkabelung
des REMs. In Abbildung 5.2 haben wir dargestellt, wie unser fertiges REMModell aussehen soll. Der „Mehrfachstecker“ ist ein Durchgang durch die
Platte, welcher 6 Anschlüsse mit sich führt. An ihm soll die Heizung der
Elektronenkanone und die Spulen angeschlossen werden. Die Spulen steuern
den Elektronenstrahl über die beschichtete Probe. Die Wolframspitze wird die
„Quelle“ des Elektronenstrahls werden. Deshalb liegt an ihr der negative Pol
der Hochspannung an. Der positive Pol liegt an der Unterlage und der Probe an,
damit der Elektronen auch in Richtung Probe fliegen. Die Rückstreu- und
Sekundärelektronen werden von unserer Mikrokanalplatte vervielfacht und
von der Auffangplatte hinter der Mikrokanalplatte aufgefangen. Dadurch fließt
ein Strom durch den Widerstand außerhalb der Vakuumglocke. Mit einem
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Speicheroszilloskop kann die am Widerstand anfallende Spannung aufgezeichnet werden. Wie bei unserem Lasermodell kann mittels eines Computers
aus den aufgezeichneten Spannungsänderungen ein Bild erstellt werden.
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Wolframspitze
Spule
Spule
Mikrokanalplatte
Probe
Mehrfachstecker
Abbildung 5.2: Bauplan für unser REM-Modell unter der Vakuumglocke
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5.2 Mikrokanalplatte
Eine Mikrokanalplatte ist von mikroskopisch feinen Kanälen mit einem Durchmesser von 6-8 µm durchzogen. Diese sind in einem Abstand von 10µm
voneinander entfernt. Damit auch alle Elektronen mehrmals gegen eine
Kanalwand prallen, und so zahlreiche neue Elektronen auslösen, sind die
Kanäle in einem Winkel von 10° geneigt. Nach dem Austreten hat sich die
Elektronenzahl um das ca. 1000-fache erhöht (Abb. 5.3).
Abbildung 5.3 Schematische Darstellung der Funktionsweise einer Mikrokanalplatte
Quelle: Wikipedia
Unsere erste Idee war es, die Mikrokanalplatte mit einem dahinter befestigten
Leuchtschirm oder einem CCD-Chip von einer WebCam als „Auge“ zu benutzen,
denn die Mikrokanalplatte ja sehr viele kleine Löcher, so dass man vielleicht ein
feingerastertes Bild der Probe sehen könnte. Diese Idee haben wir jedoch nach
einigem Hin- und Herüberlegen wieder verworfen, denn dieser Aufbau entspricht ja letztlich nicht unserer Zielsetzung, ein REM-Modell zu bauen.
Stattdessen wollen wir Mikrokanalplatte als Elektronenvervielfacher nutzen. So
erhalten wir ein genügend starkes und damit rauscharmes Signal für die
Signalaufzeichnung.
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5.3 Problem Elektronenkanone
Ein großes Problem was es zu bewältigen gab war der Bau einer Elektronenkanone. Einen Elektronenstrahl mit großer Reichweite zu erschaffen, wenn
man aus Gründen der Sicherheit (Vermeidung von gefährliches Röntgenstrahlung) nur eine Spannung kleiner als 5 kV verwenden darf, ist kein Kinderspiel. Mit unseren selbstgebauten Elektronenkanonen schafften wir es
jedenfalls nicht. Selbst als wir kurzzeitig mal 30 kV anlegten, erhielten wir einen
Elektronenstrahl von nur wenigen Zentimeter Länge.
Abb. 5.4: Die geringe Reichweite des Elektronenstrahls ist ein großes Problem
Nach einigem Hin- und Herüberlegen kam dann der Einfall, dass in handelsüblichen Bildschirmen ja schon eine eine fertige Elektronenkanone vorhanden
ist (Abb. 5.5). Natürlich waren uns die Gefahren der Implosion beim Öffnen und
„schlachten“ der Bildröhre bekannt. So „schlachteten“ wir den Monitor unter
strenger Sicherheitsaufsicht. Das Resultat waren einige Scherben und eine, so
scheint es, intakte Elektronenkanone (Abb. 5.6).
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Abbildung 5.5: Geöffneter Monitor mit
Elektronenkanone und Elektrik
Abbildung 5.6: „Geschlachter“ Monitor,
Elektronenkanone mit intakter Spule zur
Ablenkung des Strahls
Die Frage ist nun, warum haben wir die Elektronenkanone noch nicht getestet?
Eine Antwort auf diese Frage geben wir in Kapitel 5.5.
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5.4 Signalaufzeichnung
Da der Elektronenstrahl der Elektronenkanone aus dem „geschlachteten“
Monitor unsere Probe sehr schnell abrastern würde, ergibt die Datenaufzeichnung mit unserem Data Logger keinen Sinn, da er nur drei Messwerte pro
Sekunde aufnimmt. Also musste ein schnelleres Gerät her. Zum Glück besitzt
unsere Schule ein schnelles digitales Speicheroszilloskop mit USB-Anschluss.
Nach dem wir uns mit der Bedienung des Gerätes und der zugehörigen
Software vertraut gemacht hatten, starten wir unsere erste Messung. Dazu
benutzten wir wieder unser X-Y-Schreibermodell. Wie man auf der Abbildung
5.6 sehen kann, gelang uns diese Messung ganz gut.
Abbildung 5.6: Unser Speicheroszilloskop
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5.5 Problem Vakuum
In Kapitel 5.3 haben wir die Frage gestellt, warum wir unsere Elektronenkanone
noch nicht getestet haben? Hier ist nun die Antwort: Wir haben Angst, dass uns
die Heizung der Elektronenkanone durchbrennt. Warum? Weil unser Vakuum
zu schlecht ist!
Bei unseren selbstgebauten Elektronenkanonen sind uns die Wolframglühwendel, die wir kleinen Glühbirnchen entnommen haben, trotz geringer
Stromstärke schon nach relativ kurzer Betriebsdauer durchgebrannt, bzw. sie
sind verdampft.
Das unser Vakuum kein optimales Vakuum ist, erkennt man auch an den
Lichtbögen (Plasmaschläuchen) auf der Abbildung 5.4. Vakuum kann man mit
Hochspannung nicht zum Leuchten bringen, Luft aber schon. Unser Druckmessgerät zeigte zwar regelmäßig den Wert Null an und manchmal sogar negative
Werte, doch wir trauen ihm nicht.
Bis zum Wettbewerb müssen wir unser Vakuum verbessern, in dem wir unsere
Apparatur besser abdichten und uns eine bessere Vakuumpumpe besorgen,
denn unsere alte Drehschieberpumpe scheint unseren Ansprüchen nicht mehr
gerecht zu werden.
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6. Ausblick
Wir sind überzeugt, dass man anhand unserer Lasermodelle die Funktionsweise
eines Rasterelektronenmikroskops sehr gut verstehen kann. Für den Bau eines
überzeugenden Elektronenstrahlmodells benötigen wir jedoch eine bessere
Vakuumpumpe. Wir hoffen, dass wir eine solche Pumpe besorgen können und
unser Modell noch bis zum Wettbewerb fertigstellen können.
7. Danksagung
Wir danken unserem Bertreuungslehrer Walter Stein, der uns alle unsere
Fragen immer geduldig beantwortet hat.
8. Literatur- und Linkliste
1. Stetter, Andreas
Rasterelektronenmikroskopie Teil I
http://www.physik.uni-regensburg.de/forschung/schwarz/Mikroskopie/03-REM.pdf
2. Wikipedia
http://de.wikipedia.org/wiki/Wikipedia:Hauptseite
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