Rastersondenmikroskopie an molekularen Nanostrukturen Michael Mannsberger, Institut für Materialphysik Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Rastersondenmikroskopische Methoden, die atomare Auflösung erlauben Vortrag 1: Dynamische Rasterkraftmikroskopie Vortrag 2: Rastertunnelmikroskopie Datum: 20.11.02 Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Datum: 27.11.02 Unterschiede zw. STM und AFM Rastertunnelmikroskopie: • Beschränkung auf leitende Oberflächen • Flächen gleicher Ladungsdichte werden abgebildet. • Das Bildsignal (Tunnelstrom) ist streng monoton mit dem Abstand. Rasterkraftmikroskopie: • Leitende und nichtleitende Oberflächen • Flächen gleicher Kraftwechselwirkung werden abgebildet. • Das Bildsignal (Kraft zw. Spitze und Probe) ist im Allgemeinen nicht monoton mit dem Abstand. Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Gemeinsamkeit von STM und AFM Ähnliche Bilder bei atomarer Auflösung: • Tunnelstrom und Wechselwirkungskraft hängen in ähnlicher Weise vom Überlapp der Wellenfunktionen von Probenoberfläche und Messspitze ab. • Beide Größen hängen stark vom Abstand zw. Spitze und Oberfläche ab, da der Abstand die Stärke des Überlappens der Wellenfunktionen bestimmt. Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Dynamisches Kraftmikroskopie – Grundlagen und Beispiele Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Unterschied: Statisches AFM - Dynamisches AFM Statische Kraftmikroskopie: • die Kraft zw. Spitze und Probe wird über die Verbiegung des Cantilevers (der Blattfeder) im Kontakt bestimmt • Keine echte atomare Auflösung möglich Dynamische Kraftmikroskopie: • es wird der Einfluss des Kraftgradienten zw. Spitze und Probe auf den in Resonanzschwingung versetzte Blattfeder genutzt • Echte atomare Auflösung möglich • Formen: Intermittant Contact (IC) = tapping mode Non-Contact (NC) Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Detektion des Kraftgradienten Amplitudenmodulation Frequenzmodulation Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Amplitudenmodulation • Synonyme: constant excitation mode, slope detection Die Anregungsamplitude wird konstant gehalten. • Ursprünglich für NC-AFM entwickelt, nun hauptsächlich für Messungen an Luft verwendet, z. B. im tapping mode (IC-AFM) • Grund dafür: Änderung der Oszillationsamplitude mit τAM ~ 2Q/f0 Q... Q-Faktor bzw. Güte des Cantilevers f0... Resonanzfrequenz des Cantilevers Qluft ~ 100 bis 1000 • Echte atomare Auflösung möglich Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Amplitudenmodulation • Anregung mit festgehaltener Anregungsfrequenz (erzwungene Schwingung) • Änderung der Resonanzfrequenz durch Wechselwirkungskraft bewirkt - Abfall der Schwingungsamplitude - Phasenverschiebung zw. Anregungssignal und Cantileverantwort • SEHR SENSITIV, FÜR MESSUNGEN IM UHV ZU SENSITIV, DA EXTREM SCHARFE RESONANZKURVE ! Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Frequenzmodulation • Synonyme: constant amplitude mode, frequency (de)modulation detection • Die Oszillationsamplitude wird konstant gehalten. • Von Albrecht 1991 entwickelt, für Messungen im Vakuum ‚die‘ Methode der Wahl. • Änderung der Oszillationsamplitude mit τFM ~ Q/f0 Q... Q-Faktor bzw. Güte des Cantilevers f0... Resonanzfrequenz des Cantilevers QVacuum ~ 10000 bis 100000 • Echte atomare Auflösung möglich. Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Frequenzmodulation • Bei Messungen im UHV Resonanzkurve sehr scharf -> sehr große Amplitudenänderung. • Lösung: Cantilever stets mit seiner eigenen Schwingungsfrequenz angetrieben: SELBSTERREGENDE SCHWINGUNG. • Kraftgradient verschiebt mit der Cantilever-Resonanzfrequenz auch die Anregungsfrequenz. • Frequenzverschiebung wird zwecks Distanzregelung in Spannung umgewandelt. • VORTEIL GEGENÜBER AMPLITUDENMODULATION: Acantilever = const. Dadurch kann aus der Frequenzverschiebung direkt Fts als Funktion des Abstandes z analytisch berechnet werden. Bei der AM hingegen muss über A(z) und ∆f(A) Kurven Fts indirekt ermittelt werden. Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Beispiel für die Abstandsabhängigkeit des Frequenzshift-Bildes: Probe: P-GaAs(110) mit Zn dotiert Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Oberflächenpotential, Kraft und Kraftkonstante Lennard-Jones Potential: Φ( z) = − A B + 12 6 z z Positive Steigung: attraktive Wechselwirkung Kontaktpunkt Negative Steigung: repulsive Wechselwirkung Kraft: negativer Gradient des Potentials Positive Werte: attraktive Kräfte Negative Werte: repulsive Kräfte Kraftgradient: bestimmt die Frequenzverschiebung Positive Werte: Resonanzfrequenz wird kleiner Negative Werte: Resonanzfrequenz wird größer Achtung: Umkehrpunkt liegt noch im ATTRAKTIVEN WECHSELWIRKUNGSBEREICH ! Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Definition von Contact, Intermittent Contact und Non-Contact Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Auswirkungen des Kraftgradienten auf die Frequenz des Cantilevers keff = k – dF(z)/dz f = keff meff Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Kräfte in der Rasterkraftmikroskopie (Starke) chemische Bindung nur an Luft (durch Wasser und Kohlenwasserstoffe) Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Jump to contact (JTC) • Unterschreitet der Abstand zw. Spitze und Probe bei attraktiven Wechselwirkungen einen bestimmten Wert, kommt es zu einem sogenannten „jump to contact“. • Das ist genau der Fall, wenn die zweite Ableitung des Wechselwirkungspotentials zw. Spitze und Probe Vts größer als die Federkonstante k des Cantilevers wird, ∂ 2Vts k> =dF(z)/dz 2 ∂z • bzw. wenn die Rückstellkraft der maximal zur Probe ausgelenkten Feder (kA0) kleiner wird als die anziehende Kraft: Auswirkungen: kA0 + Fts < 0 - Cantilever hört auf zu schwingen -> Messung unterbrochen - Spitze kann stumpf werden • Lösung: Sind hohe Wechselwirkungskräfte zu erwarten: - Cantilever mit hoher Federkonstante k verwenden bzw. - Schwingungsamplitude A0 entsprechend groß wählen Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 BEISPIEL: atomare Auflösung auf Si(111) 7x7 Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Parameter, die für die Erzielung der atomaren Auflösung perfekt abgestimmt werden müssen: • Frequenzverschiebung ∆f • Schwingungsamplitude A • Regelempfindlichkeit der Abstandsregelung (Loop Gain) • Regelempfindlichkeit der Amplitudenregelung (Proportional P und Integral I) • Spannung zwischen Spitze und Probe Ugap Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Messung im STM-Modus, um die Spitze zu überprüfen Regelgröße: Tunnelstrom IT Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Wie kommen die Bildmodi zustande? • Topographie z: „ausgeregeltes“ Signal, d. h. das Signal am Ausgang des Regelkreises; verschiedene Regelgrößen sind möglich (z. B. Tunnelstrom IT, Frequenzverschiebung ∆f, ...) • Tunnelstrombild IT: Abwechung vom Tunnelstrom Sollwert IT • Frequenzverschiebungsbild: Abweichung vom Frequenzverschiebungs Sollwert ∆f • Dämpfungsbild D: ≅ Abweichung vom der Sollamplitude A0, auch Regelschleifenverstärkung genannt, spiegelt den Energieverlust der Dämpfung wieder Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Ermittlung der erforderlichen Kompensationsspannung • Unterschiedliche Dotierung des Siliziums von Probe und Spitze. Im Beispiel: Cantilever n-dotiert, Probe p-dotiert. • Dieses Kontaktpotential schwächt die Abstandsabhängigkeit aufgrund d. Langreichweitigkeit. • Für atomare Auflösung ist Kompensation durch Anlegen von Ugap wichtig. • Größenordnung wird durch Fahren einer z(V)-Kurve ermittelt. muß in kleinen Schritten optimiert werden ! (Piezohysterese, usw.) Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Messung im dynamischen Modus Regelgröße: Frequenzverschiebung ∆f Kompensationsspannung: 0.2 V Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Messung im dynamischen Modus Regelgröße: Frequenzverschiebung ∆f Kompensationsspannung: 0.31 V Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Kontrastinversion • Betrachten Kraftgradientenkurve: monoton fallend – monoton steigend • Vorzeichenwechsel: -> - ∆f bleibt negativ, wird aber kleiner • Jump to contact (JTC) wäre Folge bei zu starkem Annähern an die Probe Was passiert: + ∆f -> Regelkreis reagiert darauf mit umgekehrter Distanzregelung -> Tip Crash • Kräfte: Modulation der gesamten attraktiven WW mit der repulsiven WW • Bildkontrast: Aufmodulation eines invertierten Kontrasts • Atome werden in Topographie bei best. Abstand zu Löchern statt zu Erhebungen • Einstellen des gewünschten Arbeitsabstands: Achtung: - ∆f kommt 2x vor: - beim Tip Approach (aktive Distanzregelung) - im Min. der Frequenzverschiebungs-Abstands-Kurve Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Einfluss der Spitzengeometrie auf die Frequenzverschiebungs-Abstands-Kurve ∆f(z) Kontaktpunkt Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Experimentell bestimmte Frequenz-Abstands-Kurve ∆f(z) Minimum in Kraftkurve Abstandsbereich 1): Topographiebilder zeigen Kontrast wie STM Bilder Abstandsbereich 2): schwacher Kontrast, da Steigung der Kurve klein Abstandsbereich 3): starker und invertierter Kontrast, da Vorzeichen der Steigung umgekehrt. Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Vergleich Abstandsbereiche 1 und 3 Beide Messungen: sehr langsame Regelung: constant height mode Frequenzverschiebung eines thermisch Frequenzverschiebungs-Sollwert: -870 Hz vibrierenden Cantilevers, IT = 0.5nA Ugap= 1.9V weiß: -12 Hz (anziehende Kraft schwächer) weiß: -862 Hz (anziehende Kraft schwächer) schwarz: -145 Hz (anziehende Kraft stärker) schwarz: - 872 Hz (anziehende Kraft stärker) Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Dynamische Kraftmikroskopie – einige wichtige Punkte im Überblick • Energiedissipation durch Instabilitäten der Messspitze • Mechanische Manipulation von Atomen • Vorteile der Messung bei tiefen Temperaturen • Messung in Flüssigkeiten • Funktionalisierte Meßspitzen in der Biologie Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Energiedissipation durch Instabilitäten der Meßspitze Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Beispiel:NaCl Inseln auf Cu(111) Topographien Dämpfungsbilder Meßspitze ändert kurzfristig Zustand -> Kontrasterhöhung Möglichkeiten: • Atom am Apex der Meßspitze springt zwischen Spitze und Probe hin und her • Atom am Apex der Meßspitze ändert seine Position auf der Meßspitze Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Mechanische Manipulation von Atomen Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Beispiel: Extraktion eines Oberflächenatoms aus Si(111) 7x7 bei 9.3K vor der Si Extraktion nach der Extraktion Schritt 1: Messung bei bestimmten Abstand z1 Schritt 2: Reduktion auf z2 < z1 Schritt 3: Erneute Messung mit z1 Schritt 4: Überprüfen, ob Adatom extrahiert wurde. Wenn nicht, wiederhole Schritt 2 bei z3 < z2 Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Vorteile der Messung bei tiefen Temperaturen • Stabilität: - die meisten thermisch aktivierten Prozesse sind eingefroren - Defektbewegungen und Diffusion von Oberflächenatomen ist massiv unterdrückt • Piezo Relaxation / Hysterese: Kriecheffekt (creep) wird stark verringert Auslenkung l0 ist gefolgt von Relaxation ∆l - Beispiel: ∆l/l0 ~ 0.25 bei Raumtemperatur und ∆l/l0 ~ 0.02 bei 10K. • Thermische Drift: Signifikant kleiner durch Anbindung an großes Temperaturbad • Rauschen: ebenfalls reduziert Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Messung in Flüssigkeiten Keine Kapillarkräfte Für Messung an gegenüber Oxidation empfindlichen Oberflächen Für Messungen an gegenüber Dehydratation empfindlichen Proben, z. B. Proteinen Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Funktionalisierte Meßspitzen in der Biologie Beispiel: Untersuchung der Kraftwechselwirkung zw. Biotin und Avidin Inzwischen sind diese mit Proteinen funktionalisierten AFM Meßspitzen kommerziell erhältlich Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Meßkopf des Topometrix Explorer Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Piezoelektrischer Scanner für STM Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Piezoelektrischer Scanner für AFM Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Eigene Messungen an SWCNT‘s Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Dünne SWCNT Bundles Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Bildbearbeitung Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Breite der gemessenen Nanotubes ; Bsp: 26.3nm (Konvolutionseffekt) Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Höhe der gemessenen Nanotubes; Bsp: 2.3nm Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02 Rasterkraftmikroskopie im historischen Überblick Seminar Nanostrukturierte Festkörper 20.11.02