1 Michael Reisch, Halbleiter-Bauelemente, 2.A., Springer 2007 Lösung zu Aufgabe 5.1 Der Ausgangsleitwert eines MOSFET im Widerstandsbereich ist im LEVEL1-Modell (λ = 0) im Grenzfall kleiner Werte von VDS gegeben durch µ ¶ W ∂ID 1 go = = µs c0ox (VGS − VTH ) = . ∂VDS VGS L RDSon Mit der flächenspezifischen Oxidkapazität ²0 ²r,SiO2 c0ox = dox kann dies nach dox aufgelöst werden mit dem allgemeinen Ergebnis dox = ²0 ²r,SiO2 µs W (VGS − VTH )RDSon . L Einsetzen der vorgegebenen Werte liefert dann das Ergebnis dox = 15.7 nm . 1 Michael Reisch, Halbleiter-Bauelemente, 2.A., Springer 2007 Lösung zu Aufgabe 5.2 (a) Da es sich um einen n-Kanal-MOSFET handelt ist Source vom n-Typ und Bulk vom p-Typ. Bei Sperrpolung muß Source demnach positiv gegenüber Bulk vorgespannt sein, d.h. VSB > 0. (b) Das Oberflächenpotential beim Einsetzen starker Inversion folgt mit der Substratdotierung NA = 5 · 1016 cm−3 zu ¶ µ NA = 794 mV . Φ = 2φF = 2VT ln ni Mit diesem Wert für das Oberflächenpotential folgt aus ³p √ ´ VTH = VTO + γ Φ + VSB − Φ der Substratsteuerungsfaktor γ = √ √ 2.4 V − 1.5 V √ = 1.153 V . 2.794 V − 0.794 V Der Wert von γ ist durch die Oxiddicke und die Substratdotierung bestimmt γ = dox p 2e²0 ²r,Si NA ²0 ²r,SiO2 so daß γ²0 ²r,SiO2 dox = p = 30.6 nm . 2e²0 ²r,Si NA 1 Michael Reisch, Halbleiter-Bauelemente, 2.A., Springer 2007 Lösung zu Aufgabe 5.3 Wird VGS um 43 mV erhöht, so steigt der Drainstrom um log(32/10) = 0.505 Dekaden an. Der Gate voltage swing beträgt demzufolge S = 43 mV mV = 85 . 0.505 dec dec 1 Michael Reisch, Halbleiter-Bauelemente, 2.A., Springer 2007 Lösung zu Aufgabe 5.4 Eine unerwünschte Inversionsschicht kann auftreten, wenn VTO ≤ 5 V gilt. Die Einsatzspannung errechnet sich aus p VTO = VFB + 2φF + γ 2φF wobei VFB = φF = WA − WχSi − Wg + VT ln e µ ¶ NA VT ln . ni µ NV NA ¶ = −1174 mV + VT ln µ NV NA ¶ Eine Inversionsschicht kann demnach auftreten, falls Substratdotierung und Oxiddicke der Beziehung s µ µ ¶ µ ¶ ¶ NA dox NV NA 4kB T ²Si NA ln 6.174 V ≥ VT ln + 2VT ln + NA ni ²SiO2 ni genügen. Unter den gegebenen Bedingungen ist µ ¶ NV = 166 mv VT ln NA ¶ µ NA = 794 mV 2VT ln ni s ¶ µ V NA 1 = 3.352 · 105 4kB T ²Si NA ln ²SiO2 ni cm d.h. Inversion kann auftreten, falls 6.174 V ≥ 0.166 V + 0.794 V + dox · 3.352 · 105 bzw. dox ≤ gilt. 5.214 V = 156 nm 3.352 · 105 V/cm V cm 1 Michael Reisch, Halbleiter-Bauelemente, 2.A., Springer 2007 Lösung zu Aufgabe 5.5 Die Spannung VDS wird über den Spannungsteiler im Verhältnis 1:3 aufgeteilt, so daß 3 VGS = VDS < VDS , 4 d.h. der MOSFET arbeitet im Sättigungsbetrieb. Der Strom durch die Serienwiderstände RD und RS setzt sich zusammen aus dem Strom durch den Spannungsteiler und dem Drainstrom ¶ µ VDS , VDS = VDD − (RD + RS ) ID + 4 kΩ bzw. mit RD = RS = 500 Ω VDS 4 VDS = VDD − (RD + RS )ID − Mit ID = βn 2 µ 3VDS − VTO 4 ¶2 bzw. (RD + RS )ID = ergibt sich so eine quadratische Gleichung für VDS 2 VDS − 2.31 V · VDS − 3.13 V2 = 0 mit der physikalisch relevanten Lösung VDS = 3.26 V . Der Spannungabfall über RS ist VRS = 8 V − 3.26 V = 2.37 V 2 and und somit V2 = VRS + VDS = 5.63 V . 2.5 V µ 3VDS − VTO 4 ¶2 1 Michael Reisch, Halbleiter-Bauelemente, 2.A., Springer 2007 Lösung zu Aufgabe 5.6 (a) Mit V1 = VGS folgt ID = βn 2 (V1 − VTO ) 2 so daß V1 = VTO + p 2ID /βn = 3 V . (b) Sättigung liegt vor, falls VDS ≥ VGS − VTO = 2 V . Deraus ergibt sich die Forderung RD ID ≤ 8 V bzw. RD ≤ 4 kΩ Mit gm = βn (V1 − VTO ) = 2 mS und RD = 2 kΩ folgt für die Spannungsverstärkung Av = g m RD = 4 . (c) Bei v1 = 0 wird CL über RD aufgeladen. Beginnt der Aufladevorgang zur Zeit t = 0, so folgt aus ³ ´ v2 (t) = 10 V 1 − e−t/τ mit der Zeitkonstanten τ = RD CL = 10 µs die Z eit nach der v2 den Wert 9 V erreicht hat tr = τ ln(10) = 23 µs . Springt v1 nach vollständiger Aufladung auf den Wert 4 V, so wird CL über den MOSFET entladen. Solange v2 größer ist als 3 V arbeitet der MOSFET dabei im Sättigungsbereich und führt den konstanten Strom ID = βn 2 (V1 − VTO ) = 4.5 mA . 2 Der Knotensatz ergibt unter diesen Umständen V+ − v 2 dv2 = ID + CL RD dt bzw. 2 dv2 v2 = S− dt τ mit S = V+ ID V − = 0.1 τ CL µs die Lösung dieser DGL zum Anfangswert v2 (0) ist v2 (t) = [v2 (0) − Sτ ] e−t/τ + Sτ Mit v2 (0) = 10 V ergibt sich die zum Entladen der Kapazität auf v2 = 3 V benötigte Zeit zu ¸ · v2 (0) − Sτ = 15.04 µs t1 = τ ln v2 (t) − Sτ Für größere Zeiten gilt v2 < 3 V und der MOSFET arbeitet im Widerstandsbereich. Nun gilt ³ dv2 V+ − v 2 v2 ´ v2 + C L = βn V1 − VTO − , RD 2 dt bzw. nach Trennung der Variablen dt = V+ − τ µ dv2 ¶ . 1 βn (V1 − VTO ) βn 2 + v2 + v2 τ CL 2CL Der Endwert ist erreicht, wenn dv2 /dt → 0 bzw. ³ V+ − v 2 v2 ´ v2 . = βn V1 − VTO − RD 2 Die Lösung dieser quadratischen Gleichung ergibt v2 → 2 V . Der Spannungshub beträgt demnach 8 V, d.h. bei v2 = 2 V + 0.8 V = 2.8 V weicht die Ausgangsspannung nur noch um 10 % von ihrem Endwert ab. Integration von 3 V bis 2.8 V ergibt die zusätzlich zum Entladen auf 2.8 V erforderliche Zeit. Bei der geringen Ausdehnung des Integrationsintervalls wäre hier in der Praxis eine Näherung gerechtfertigt: Da sich v2 und iD in dem sehr schmalen Spannungsintervall nur wenig ändern, können ID und v2 durch Mittelwerte ersetzt werden, so daß ∆v2 V+ − 2.9 V ≈ ID (v2 = 2.9 V) + CL . RD ∆t Mit ∆v2 = −0.2 V ergibt Umstellen nach ∆t das Ergebnis ∆t = 1.06 µs,so daß insgesamt 16.1 µs benötigt werden, um die Ausgangsspannung von 10 V auf 2.8 V abzusenken. Zur Übung wird die erforderliche Zeit zusätzlich durch Ausführen der Integration ermittelt. Z 2.8 V dv2 µ ¶ ∆t = V 1 β (V βn 2 + n 1 − VTO ) 3V − + v2 + v τ τ CL 2CL 2 Z 2.8 Z 2.8 du du = 10 µs . = 10 µs 2 − 7u + 10 2 − (1.5)2 u (u − 3.5) 3 3 3 Mit der Substitution ξ = u − 3.5 lautet das zu berechnende Integral ¯−0.5 µ ¶ Z −0.5 dξ 1 1 ¯¯ 1.5 + u 10 µs = 10 µs . ln ¯ 2 2 1.5 2 ¯ 1.5 − u −0.7 (1.5) − ξ −0.7 Einsetzen ergibt dann die zusätzlich erforderliche Zeit ∆t = 1.06 µs . und damit dasselbe Ergebnis wie die Näherungsrechnung. 1 Michael Reisch, Halbleiter-Bauelemente, 2.A., Springer 2007 Lösung zu Aufgabe 5.7 (a) Der Knotensatz liefert IDn + IDp + IR = 0 ; mit den unter der Annahme des Betriebs im Sättigungsbeich gültigen StromSpannungs-Beziehungen IDn = βn (V1 − VTHn )2 , 2 IDp = − βp (V1 − VDD − VTHp )2 2 folgt mit βn = βp = β die quadratische Gleichung (V1 − VTHn )2 − (V1 − VDD − VTHp )2 + 2V1 = 0 βR2 bzw. 2 µ ¶ 1 2 + VDD + VTHp − VTHn V1 = (VDD + VTHp )2 − VTHn βR2 so daß V1 = 2.143 V und damit IR = 2.143 mA. Dieser Strom muß am Widerstand R den Spannungsabfall 0.357 V hervorrufen, d.h. R = 0.357 V = 167 Ω . 2.143 mA Da die Potentialdifferenz über R geringer ist als 1 V ist die Annahme der Sättigung gerechtfertigt. 1 Michael Reisch, Halbleiter-Bauelemente, 2.A., Springer 2007 Lösung zu Aufgabe 5.8 (a) Bei V1 = 2 V arbeitet der n-Kanal MOSFET im Sättigungsbereich, d.h. βn (VGS − VTHn )2 = 0.5 mA ; 2 der p-Kanal-MOSFET arbeitet im Widerstandsbereich, d.h. µ ¶ VDS IDp = −βp VGS − VTHp − VDS . 2 IDn = Aus dem Knotensatz folgt damit βp 2 = 0.5 mA V 2 DS = −3 V βp (VGS − VTHp )VDS − bzw. mit VGS = V1 − VDD 2 + 4 V VDS + 1 V2 = 0 . VDS Die Lösung dieser quadratischen Gleichung ergibt ³√ ´ VDS = 3 − 2 V = −0.27 V , so daß V2 = 4.73 V . (b) Solange der p-Kanal MOSFET im Widerstandsbereich und der n-Kanal MOSFET im Sättigungsbereich arbeitet, lautet der Knotensatz allgemein µ ¶ VDD βn V2 2 (V2 − VDD ) = βp V1 − VTHp − − (V1 − VTHn ) 2 2 2 Differentiation bzgl. V1 ergibt βn (V1 − VTHn ) = ¶ µ 1 dV2 (V2 − VDD ) βp 1 − 2 dV1 ¶ µ V2 dV2 VDD +βp V1 − VTHp − − 2 2 dV1 bzw. βp (V1 − VTHp − V2 ) dV2 = βn (V1 − VTHn ) − βp (V2 − VDD ) . dV1 Der Kleinsignalspannungsübertragungsfaktor ist damit dV2 βn (V1 − VTHn ) − βp (V2 − VDD ) = = −0.734 , dV1 V1 − VTHp − V2 d.h. die Schaltung weist die Kleinsignalspannungsverstärkung 0.734 auf. (c) Abbildung ?? zeigt die Kleinsignalersatzschaltung. Aus dem Knotensatz 2 v 1 ~ = v g g s g m n v g s g m p v d p v 2 ~ g s Abb. 1. Kleinsignalersatzschaltung (gmn + gmp )v1∼ + gdp v2∼ = 0 folgt für den Kleinsignalspannungsübertragungsfaktor gmn + gmp v2∼ = − . v1∼ gdp Mit gmn = βn (V1 − VTHn ) = 1 mS gmp = −βp VDS = 0.27 mS gdp = −βp (VGS − VTHp ) + βp VDS = 1.73 mS folgt so 1.27 mS v2∼ = − = −0.734 = −Av v1∼ 1.73 mS in Übereinstimmung mit Teilaufgabe (b). (d) Wegen der vollständigen Symmetrie gilt nun V1 = V2 = 2.5 V. Der n-KanalMOSFET arbeitet nun nicht mehr als reine Stromquelle, die Kleinsignalersatzschaltung ist um den Kleinsignalausgangsleitwert gdn des n-Kanal-MOSFETs parallel zu gdp zu ergänzen. Damit gilt gmn + gmp gmn v2∼ = − = − . v1∼ gdn + gdp gdn Mit gmn = βn (VGS − VTHn )(1 + λVDS ) = 1.689 mS gdn = 1 λβn (VGS − VTHn )2 = 56.25 µS 2 ergibt sich so die Kleinsignalverstärkung 30. 1 Michael Reisch, Halbleiter-Bauelemente, 2.A., Springer 2007 Lösung zu Aufgabe 5.9 (a) Hier gilt für beide MOSFETs VBS = 0, d.h. es liegt kein Substratsteuereffekt vor. Beide MOSFETs werden im Widerstandsbereich betrieben und vom selben Strom durchflossen µ ¶ VDS1 βn V1 − VTO − VDS1 2 ¶ µ V2 − VDS1 (V2 − VDS1 ) . = βn V1 − VDS1 − VTO − 2 Ausmultiplizieren und Zusammenfassen führt auf die quadratische Gleichung µ ¶ V2 2 = 0, VDS1 − 2(V1 − VTO )VDS1 + V2 V1 − VTO − 2 bzw. 2 − 8 V VDS1 + 6 V2 = 0 . VDS1 Die Lösung dieser quadratischen Gleichung ergibt √ VDS1 = 4 V − 10 V = 837 mV und damit den Drainstrom ID = 3 mA. (b) Teilschaltung (b) wird prinzipiell durch denselben Ansatz beschrieben; einziger Unterschied ist die Substratvorspannung VSB2 = VDS1 von Transistor M2. Mit der Einsatzspannung ³p √ ´ VTH2 = VTO + γ Φ + VSB − Φ lautet der Knotensatz µ ¶ VDS1 βn V1 − VTO − VDS1 2 ¶ µ V2 − VDS1 = βn V1 − VDS1 − VTH2 − (V2 − VDS1 ) . 2 Zur numerischen Lösung kann entweder ein programmierbarer Taschenrechner oder aber SPICE herangezogen werden. Die Steuerdatei Arbeitspunktberechnung V2 3 0 DC 2 V1 1 0 DC 5 M1 2 1 0 0 Mnmos L=1U W=1U M2 3 1 2 0 Mnmos L=1U W=1U .MODEL Mnmos NMOS (VTO=1 KP=1E-3 GAMMA=0.8 PHI=0.6) .OP .END führt die Arbeitspunktberechnung durch und liefert VDS1 = 0.7766 V bzw. ID = 2.805 mA in der .OUT-Datei. 1 Michael Reisch, Halbleiter-Bauelemente, 2.A., Springer 2007 Lösung zu Aufgabe 5.10 (a) Wäre der MOSFET im Sättigungsbereich, so würde der Strom ID = 5 mA 2 (6.7 V) = 225 mA V2 fließen. An der Last würde dann der Spannungsabfall 112.2 V auftreten was deutlich mehr als die Versorgungsspannung ist. Der MOSFET muß deswegen im Widerstandsbereich arbeiten. Aus µ ¶ VDS V+ − VDS ID = βn VGS − VTHn − VDS = 2 R folgt VDS = · ¸ q 1 2 1 + βn R(VGS − VTHn ) − (βn R(VGS − VTHn ) + 1) − 2βn RV+ βn R = 0.236 V die Restspannung über dem schalter ist demnach 0.236 V. (b) In diesem Fall gilt VDS = VGS ; der MOSFET arbeitet im Sättigungsbereich. Nun gilt ID = V+ − VDS βn 2 (VGS − VTHn ) = 2 R so daß VDS = · ¸ q 1 2 2 −1 + βn RVTHn + (1 − βn RVTHn ) − βn R(βn RVTHn − 2V+ ) βn R = 2.749 V . In diesem Fall ist die Restspannung über dem Schalter also um mehr als das Zehnfache größer! 1 Michael Reisch, Halbleiter-Bauelemente, 2.A., Springer 2007 Lösung zu Aufgabe 5.11 Wegen der vollständigen Symmetrie der Transistoren und V1 = V2 folgt V1 = 2.5 V. Da beide Transistoren in Sättigung arbeiten gilt ID = βn (V1 − VTO )2 = 2.25 mA . 2 Wird parallel zu M1 ein ohmscher Widerstand geschaltet so lautet der Knotensatz IDp + IDn + V /R = 0 bzw., da beide MOSFETs im Sättigungsbereich arbeiten βn V βp 2 2 (5 V − V − 1 V) = (V − 1 V) + . 2 2 R Die Lösung dieser quadratischen Gleichung ergibt V = 2.14 V. 1 Michael Reisch, Halbleiter-Bauelemente, 2.A., Springer 2007 Lösung zu Aufgabe 5.12 (a) Am Gate liegt das Potential 5.6 V, d.h. VDS > VGS : Der MOSFET arbeitet in Sättigung. Mit VGS = VZN − V2 folgt ID = βn V2 2 (VZN − V2 − VTO ) = 2 Rk mit Rk = RL k 1 kΩ . Die Lösung dieser quadratischen Gleichung ist s µ ¶2 1 20.4 kΩ 1 kΩ 1 kΩ V2 = 10.2 + − 19.4 + + V 2 RL RL RL Für RL = 0.5 kΩ ergibt sich insbesondere V2 = 2.09 V. (b) Für RL → ∞ ergibt sich aus (a) der Spannungsendwert V2 = 2.9 V – auf diesen Wert wird die Kapazität aufgeladen; bei v2 = 2.61 V ist die Ausgangsspannung nur noch 10 % unterhalb des Endwerts. Der Knotensatz liefert nun iD = v2 dv2 βn 2 (VZN − v2 − VTO ) = + CL 2 1 kΩ dt bzw. mit u = v2 /V (4.6 − u)2 = u + 1 kΩ CL du dt Nach Trennung der Variablen dt = 20 µs du (4.6 − u)2 − u ergibt sich die zum Aufladen der Kapazität auf 2.61 V erforderliche Zeit Z 2.61 du t = 20 µs = 8.48 µs . (4.6 − u)2 − u 0 1 Michael Reisch, Halbleiter-Bauelemente, 2.A., Springer 2007 Lösung zu Aufgabe 5.13 Der Drainstrom ID = 2 mA bedingt an RS = 470 Ω den Spannungsabfall VSB = 2 mA · 470 Ω = 0.94 V . Dies führt auf die Einsatzspannung ³p √ ´ VTH = VTO + γ Φ + VSB − Φ = 1.39 V . Da VDS > VGS gilt, arbeitet der Transistor im Sättigungsbetrieb; aus ID = W 1 KP (VGS − VTH )2 2 L folgt VGS = VTH + r 2ID L = 2.54 V . KP W Am Gate ist deshalb die Spannung VG = 2.54 V + 0.94 V = 3.48 V zu Masse gefordert; damit sich diese über dem Spannungsteiler einstellt muß R = 4.37 kΩ gewählt werden.